JP6975598B2 - 炭化珪素部材の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の炭化珪素部材10を、炭化珪素焼結体を形成する周知のプロセスで作製した。具体的には、平均粒径が1μm以下の炭化珪素粉末に、焼結助剤としてB4Cを0.1〜0.5質量%、C(カーボンブラック)を2〜4質量%、成形助剤としてPVAなどのバインダー等を添加したものを原料粉末とした。炭化珪素粉末として、α型(六方晶)のものを用いた。
比較例1の炭化珪素部材30は、接合温度を変えたほかは実施例1と同様の方法により作製された。比較例1では、厚み変化率が小さすぎたため、リーク量が大きくなり、第1の炭化珪素部材10と第2の炭化珪素部材20を良好に接合することができなかった。
Claims (2)
- 炭化珪素焼結体からなる第1の炭化珪素部材の接合面を研磨する第1の研磨工程と、
化学的気相成長法により形成した第2の炭化珪素部材の接合面を研磨する第2の研磨工程と、
不活性雰囲気下で、研磨された前記第1の炭化珪素部材の接合面と研磨された前記第2の炭化珪素部材の接合面とを直接的に当接させ、前記第1の炭化珪素部材と前記第2の炭化珪素部材とをそれぞれの前記接合面に向けて押圧することにより、当接した前記接合面に圧力をかけながら、加熱することにより、前記第1の炭化珪素部材と前記第2の炭化珪素部材とを接合する接合工程とを有し、
前記押圧した方向における前記第1の炭化珪素部材及び前記第2の炭化珪素部材の寸法減少率が0.125〜1%であり、
前記接合工程では、当接した前記接合面に0.1〜10MPaの圧力をかけ、2000〜2200℃の温度で加熱することを特徴とする炭化珪素部材の製造方法。 - 前記第1の研磨工程では、前記第1の炭化珪素部材の接合面を表面粗さRa0.005〜0.4μmとなるまで研磨し、
前記第2の研磨工程では、前記第2の炭化珪素部材の接合面を表面粗さRa0.001〜0.4μmとなるまで研磨することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素部材の製造方法。
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