JP6975432B2 - 距離測定装置及び距離測定方法 - Google Patents

距離測定装置及び距離測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6975432B2
JP6975432B2 JP2019150170A JP2019150170A JP6975432B2 JP 6975432 B2 JP6975432 B2 JP 6975432B2 JP 2019150170 A JP2019150170 A JP 2019150170A JP 2019150170 A JP2019150170 A JP 2019150170A JP 6975432 B2 JP6975432 B2 JP 6975432B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
pixel
unit
predetermined time
distance measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019150170A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020030211A (ja
Inventor
優貴 松井
健 中室
ザッパ,フランコ
ヴィラ,フェデリカ
ルッサナ,ルディ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Politecnico di Milano
Omron Corp
Original Assignee
Politecnico di Milano
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politecnico di Milano, Omron Corp filed Critical Politecnico di Milano
Publication of JP2020030211A publication Critical patent/JP2020030211A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6975432B2 publication Critical patent/JP6975432B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • G01S17/10Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of interrupted, pulse-modulated waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/89Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers
    • G01S7/487Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
    • G01S7/4873Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection by deriving and controlling a threshold value
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4816Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers
    • G01S7/4861Circuits for detection, sampling, integration or read-out
    • G01S7/4863Detector arrays, e.g. charge-transfer gates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers
    • G01S7/4865Time delay measurement, e.g. time-of-flight measurement, time of arrival measurement or determining the exact position of a peak
    • G01S7/4866Time delay measurement, e.g. time-of-flight measurement, time of arrival measurement or determining the exact position of a peak by fitting a model or function to the received signal
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers
    • G01S7/487Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14609Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
    • H01L31/101Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • H01L31/102Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
    • H01L31/107Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier working in avalanche mode, e.g. avalanche photodiodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

本発明は、距離測定装置に関し、より詳細には、複数の画素を有する受光部を備える距離測定装置、および、当該距離測定装置を用いた測定方法に関する。
測定光が、受光素子又は画素のアレイによって構成される受光区域に入射する、様々な距離測定装置が知られている。このような距離測定装置は、例えば、距離測定装置から放出され、測定対象物によって反射され、距離測定装置の受光区域で受光される光線の飛行時間を評価する距離センサとして使用されている。
これらの画素が、測定光だけでなく、周辺光又は迷光も受光するならば、距離測定装置が行う測定対象物までの距離の判定は、誤判定となるか、又は、エラーを含むことになる。
特開2014−77658は、照射光を投射する光源と、それぞれ個別にオフ可能な複数のフォトダイオードを備え、対象物からの反射光を受光する受光手段と、複数のフォトダイオードの出力を加算する加算手段と、を備える光学距離測定装置を開示している。
本発明の一目的は、周辺光が測定結果に与える影響を軽減して、距離測定装置の精度を向上させることにある。
本発明の一態様によれば、距離測定装置は、
光を放出するように構成された発光部と、
前記発光部によって放出され測定対象物によって反射された測定光を受光するように構成された受光部であって、複数の画素を備え、各画素は、少なくとも1つの受光部を有すると共に、前記画素に入射した前記測定光に応じた受光信号を出力するように構成された受光部と、
前記画素が測定光を受光したかどうかを識別するように構成された識別部と、
前記識別部の判定結果に応じて、各画素の受光信号を個別に、選択的に出力(転送)するように構成された画素出力制御部と、
前記画素出力制御部によって出力(転送)された受光信号を受信し、前記受光信号に基づき、前記距離測定装置と前記測定対象物との間の距離を示す距離信号を出力するように構成された評価部と、を備える。
発光部は、光を、パルスとして放出し得る。この場合、測定光は、パルスの形をしていてもよい。具体的には、受光される測定光のパルスは、放出された光のパルスに対して時間的に遅延される。測定光の飛行時間は、光が距離測定装置から測定対象物に移動して戻って来るためにかかる時間に相当し、パルスの時間遅延から判定することができる。測定対象物までの距離は、測定対象物の一特徴として、飛行時間に基づいて計算されることが可能である。測定対象物までの距離に加えて、測定対象物の他の特性又は特徴、例えば、その形状、色、反射性、及び/又は、発光度が、距離測定装置によって判定可能である。
受光部によって受光された光は、一度測定対象物によって反射された光だけでなく、複数回反射された光、拡散光、散光、周囲環境からの背景光、測定対象物を透過した後に反射された、あるいは、受光部に戻ってきた光も含んでいてもよい。
ここで、「距離を示す距離信号」とは、当該距離を特定することが可能な情報を含む任意の信号を意味し得る。このような信号の例は、測定距離、又は、戻ってきた光線の飛行時間(「飛行時間」)を表すデジタル信号、及び、振幅が測定距離又は飛行時間に比例するアナログ信号である。
受光信号は、画素に入射した光量、及び/又は、画素に入射した光の光強度を示すことが可能である。画素出力制御部は、識別部により、測定光が受光されたと判定された画素の受光信号を転送するように構成されていてよい。具体的には、画素出力制御部は、受光部の他の全ての画素(例えば、周辺光又は背景雑音だけを受ける画素の、又は、単により低い信号強度)の受光信号を転送しないように構成されていてよい。これによって、信号対雑音比が高くなり、したがって、測定精度が向上する。具体的にいえば、転送されない受光信号は、測定結果に考慮されない。
距離測定装置は、画素出力制御部によって転送された受光信号を受信し、これらの受光信号に基づき、距離測定装置と測定対象物との間の距離を判定するように構成された評価部をさらに備えていてよい。この評価部は、この距離を示す信号を出力するように構成されていてよい。
この評価部は、画素出力制御部によって転送された受光信号だけに基づき、距離測定装置と測定対象物との間の距離を判定してよい。具体的には、測定光を受光する画素からの受光信号だけが、測定対象物までの距離を判定する際に考慮される。このように、周辺光に起因する信号は破棄されるため、高精度で測定を行うことが可能である。
識別部は、当該識別部に接続された画素(以下では「関連画素」とも呼ばれる)において、所定の期間における複数の第1の所定時間間隔、及び、所定の期間における複数の第2の所定時間間隔の間に、光が受光されたかどうかを検出する検出部と、例えば、所定の期間における第1の所定時間間隔、及び、第2の所定時間間隔の間に、検出部が受光を検出した回数を計数する計数部とを含んでいてよい。ここで、識別部は、計数部の計数結果に基づき、各画素が測定光を受光したかどうかを判定するように構成されている。検出部は、第1及び第2の所定時間間隔の間に、関連画素において少なくとも1つの光子又は少なくとも所定数の光子が検出された場合に、第1及び第2の所定時間間隔の間に光信号が受信されたと検出してよい。画素に到達した周辺光は、ランダムに拡散された光子の形を有していることが可能である。周辺光だけを受光する画素では、所定の期間中の任意の時間に光子を受光する確率は、ほぼ一定である。すなわち、周辺光は、時間と共に変動、又は、空間的に変化し得るが、距離検出の目的では、このような変動が距離測定に実質的に何の影響も与えない限り、周辺光は一定であると見做すことができる。換言すると、受光される周辺光の光子の分布は、測定光の分布とは、空間的及び/又は時間的に異なる。
具体的には、一定かつ均一な周辺光の場合、所定の期間中の任意の時間に光子を受光する確率は一定であり、他方、測定光は、所定の時間間隔の間だけ受光されるので、これらの時間間隔の間に光子を受光する確率は一定ではない。換言すると、受光される測定光の光子の分布は、一定ではない。所定の期間の第1又は第2の所定時間間隔の間に光信号がどれくらいの頻度で受信されるかを計数又は識別することは、ある画素において受光される光の種類を示すものであり、つまり、測定光が受光されたか、又は迷光だけが受光されたかを示すものである。
識別部は、所定の期間における第1の所定時間間隔の間に検出部が受光を検出した回数(又はその分布)が、所定の期間における第2の所定時間間隔の間に検出部が受光を検出した回数(又はその分布)と、少なくとも所定の比較閾値だけ異なる場合に、画素が測定光を受光したと判定するように構成されていてもよい。画素が測定光を受光すると、受光された光子の分布は、具体的には一定ではない(及び、周辺光だけを受光した場合と異なる)。光信号が第1の所定時間間隔の間に受信される回数(又はその分布)は、したがって、光信号が第2の所定時間間隔の間に受信される回数(又はその分布)と、大幅に異なるはずである。従って、光信号が第1の所定時間間隔の間に受信された回数(又はその分布)と光信号が第2の所定時間間隔の間に受信された回数(又はその分布)との比較は、画素において測定光が受光されたのか、又は、周辺光だけが受光されたのかについての表示を提供可能である。
幾つかの実施形態では、識別部は、検出部が所定の期間における第1の所定時間間隔の間に受光を検出した回数が、絶対閾値又は自動調整閾値よりも小さく、検出部が所定の期間における第2の所定時間間隔の間に受光を検出した回数が、絶対閾値又は自動調整閾値よりも大きい場合に(又は、その逆も可能である)、画素が測定光を受光したと判定するように構成されている。
識別部は、所定の期間における第1の所定時間間隔の間に検出部が受光を検出した回数が、所定の期間における第2の所定時間間隔の間に検出部が受光を検出した回数と、所定の比較閾値未満の値だけ異なる場合に、画素が測定光を受光していないと判定するように構成されていてよい。
第1の所定時間間隔、及び/又は、第2の所定時間間隔は、周期的であってよい。これによって、測定の精度が改善され得る。また、第1の所定時間間隔の長さは、第2の所定時間間隔の持続時間と同じであってよい。しかしながら、他のタイミングや持続時間を適用してもよく、これらは、他の実施形態の対象となっている。例えば、第1の所定時間間隔、及び/又は、第2の所定時間間隔は、疑似ランダムな時間間隔であり得る。
距離測定装置は、検出部が受光を検出する各第1の所定時間間隔の数に第1の重みを割り当て、及び/又は、検出部が受光を検出する各第2の所定時間間隔の数に第2の重みを割り当てる重み付け部をさらに備えていてよい。例えば、重み付け部は、光信号が検出された各第1の所定時間間隔に数「+1」を割り当て、光信号が検出された各第2の所定時間間隔に数「−1」を割り当ててよい。数「0」は、全く光信号が検出されていない第1及び第2の所定時間間隔に割り当てられ得る。その後、単にこれらの重み付けされた数を合計することによって、第1の所定時間間隔の間に光信号が検出された回数と、第2の所定時間間隔の間に光信号が検出された回数との間の差を容易に算出可能である。
計数部は、さらに、第1の所定時間間隔の重み付けされた数を合計し、第2の所定時間間隔の重み付けされた数を合計するように構成されていてよい。第1の所定時間間隔の重み、及び、第2の所定時間間隔の重みを加算した結果により、検出部が第1の所定時間間隔の間に受光を検出した回数と、検出部が第2の所定時間間隔の間に受光を検出した回数との比較が容易になり、これに基づき、測定光が受光されたかどうかを判定することが可能になる。
複数の画素出力制御部が単一の評価部に接続されていてよい。また、各画素について、1つの識別部及び1つの画素出力制御部が設けられていてよい。幾つかの画素出力制御部によって転送された受光信号が、単一の評価部に供給され得る。全ての画素出力制御部が単一の評価部に接続されていることが可能である。また、これらの複数の画素出力制御部は、単一の識別部に接続されていてよい。
識別部は、複数の画素のうちの各画素の受光信号を受信し得る。より詳細には、複数の画素は、同一の識別部に接続されて、それらの受光信号を識別部に供給し得る。複数の画素のうちの各画素の受光信号を受信する識別部は、単一の評価部に接続された単一の出力制御部に接続されていてもよい。画素を構成する受光部は、単一光子アバランシェダイオードであってよい。
同一の識別部に接続された複数の画素は、互いに隣接していなくてよい。隣接していない画素とは、少なくとも1つの他の画素が間に配置された非隣接の画素であり得る。具体的には、隣接していない画素の間には、当該隣接していない画素の間にある他の画素を横切らない直接路は存在しない。
本発明の一態様に係る距離測定装置を用いて、測定を行う距離測定方法は、
発光部によって光を放出するステップと、
発光部によって放出され測定対象物によって反射された測定光を、受光部によって受光するステップであって、前記受光部は、複数の画素を備え、各画素は、少なくとも1つの受光部を有すると共に、画素に入射した測定光に応じた受光信号を出力するように構成されている、ステップと、
具体的には各画素について個別に、画素が測定光を受光したかどうかを識別するステップと、
各画素について画素が測定光を受光したかどうかを判定するステップの判定結果に応じて、各画素の受光信号を個別に、選択的に出力(転送)するステップと、
受信された受光信号に基づき、前記距離測定装置と前記測定対象物との間の距離を示す距離信号を出力するステップと、を備える。
評価部は、複数の対象物からの複数の受光信号を検出し、これらの対象物が配置されている形状を判定し、及び/又は、各対象物までの距離を判定するように構成されていてよい。
本発明のさらに可能な形態又は他の解決方法は、上述又は以下の実施形態に関する特徴の組み合わせ(ここでは詳細には説明しない)も含む。当業者は、個々の又は別々の態様及び特徴を、本発明の最も基本的な形に加えてもよい。
本発明のさらなる実施形態、特徴、及び、利点は、添付の図面を参照した以下の説明と添付の特許請求の範囲より明らかとなろう。
図1は、第1の実施形態に係る距離測定装置を有する光学系の一例を示す。 図2は、受光部の一例を示す。 図3は、第1の実施形態に係る距離測定装置を示す。 図4は、第2の実施形態に係る距離測定装置を示す。 図5は、第1の実施形態に係る、測定対象物までの距離を判定する測定方法を示すフローチャートである。 図6は、第3の実施形態に係る距離測定装置を示す。 図7Aは、放出光強度を時間とともに示す一例である。 図7Bは、受光強度を時間とともに示す一例である。 図7Cは、受光強度を時間とともに示す他の一例である。 図7Dは、信号検出工程の一例を示す。 図7Eは、信号検出工程による結果の例を表す表を示す。 図8は、第2の実施形態に係る、測定対象物までの距離を判定する測定方法を示すフローチャートである。 図9は、測定対象物までの距離を判定するためのヒストグラムの一例を示す。 図10A〜10Gは、他の実施形態に係る距離測定装置の配置の例を示す。 図10A〜10Gは、他の実施形態に係る距離測定装置の配置の例を示す。 図10A〜10Gは、他の実施形態に係る距離測定装置の配置の例を示す。
図面では、他に記載のない限り、同様の参照番号は、同様又は機能的に同一の要素を指定するものである。
図1は、第1の実施形態に係る距離測定装置1と測定対象物2とを含む光学系20の一例を示す図である。本実施形態の距離測定装置1は、光電センサとして構成されており、測定対象物2までの距離を判定する距離判定装置である。測定対象物2は、以下では「対象物2」とも呼ばれる。距離測定装置1は、発光部3、受光部4、コリメータ6、及び、収束レンズ7を含む。
発光部3は、パルス光を所定の周波数及び所定の強度で放出するレーザ光源である。あるいは、パルスは、非周期で放出されてもよいし、及び/又は、パルスは、一定振幅を有していなくてもよい。例えば、パルスの振幅及び周波数は、信号対雑音比に基づき自動的に決定されてもよい。
発光部3によって放出された光は、距離測定装置1を出る時に、コリメータ6を通る。コリメータ6は、この発光部3によって放出された光を、ほぼ平行光にする。この光を、以下では放出光8と呼ぶ。
放出光8は、測定対象物2に達すると、測定対象物2によって距離測定装置1に向かって反射される。測定対象物2によって反射された放出光は、測定光5を形成する。換言すると、測定光5は、放出光8が測定対象物2に反射することによって得られる。測定光5は、距離測定装置1の入口に位置する収束レンズ7によって、受光部4の点19上に収束する。点19は、入射した測定光5を受ける受光部4の表面である。点19は円形に示されているが、異なる形状、例えば楕円形であってもよいことは、当業者には明らかであろう。
対象物2が距離測定装置1からどれくらい離れているかに応じて、点19の寸法は変動し得る。これについては、受光部4の一例を示す図2に示されている。図2に示されるように、受光部4は、アレイ状に配置された複数の画素10を有する検出領域を形成する。このアレイは、一例として、7列×7行に配置されている。受光部4は、入射光、特に入射測定光5を検出するために使用されることが可能である。この例では、各画素10は、正方形の受光表面9を有している。なお、図2では、説明のために、画素10が互いに連続しているものとして示したが、画素10は、通常、互いに連続しておらず、わずかに離間されており、隣接する画素の間に信号線などが配置され得る。また、図2では、画素10は、幾つかの行と列とのパターンに配置されている。しかしながら、画素10は、他の形状、例えば、円形、放出状配置、非対称配置、等に配置され得る。同じことは、以下に示す図面にも当てはまる。
図2は、図1に示される光点19の例として、4つの光点19a〜19dを示している。ほぼ円形の光点19a〜19dは、その直径において互いに異なっている。光点19a〜19dの直径に応じて、異なる数の画素10が、測定光5によって照射される。各光点19a〜19dの直径は、例えば、測定光5を受光した対象物2がどれくらい離れているかに応じて変動する。光点19a〜19dの直径が小さいほど、対象物2が距離測定装置1から離れて(又は、光学系によっては、距離測定装置1に近接して)配置されている。したがって、図2の例では、例えば光点19dは、光点19cを形成する対象物2よりも近い対象物2により得られる。図2に示されるように、視差効果により、対象物2の距離に応じて光点19a〜19dの中心もシフトする。
対象物2への距離は、測定光5の飛行時間を分析することによって判定可能である。測定光5の飛行時間は、測定光5が距離測定装置1から対象物2まで移動し、距離測定装置1に戻って来るためにかかる時間に相当する。ある光パルスが発光部3によって放出された時間と、当該光パルスが受光部4によって受光された時間との差分を測定することによって、測定光5の飛行時間を検出可能である。この飛行時間測定については、後で図7A〜7Eを参照してより詳細に説明する。
受光部4は、発光部3によって放出され、対象物2によって反射されて戻ってきた測定光5を受光することに加えて、周辺(迷)光も受光し得る。このような周辺光は、他の光源によって生じるか、又は、放出された光線が別の反射表面において複数回反射する(エコー)ことによって生じ得る。このような周辺光の受光は、距離測定装置1によって行われる対象物2までの距離の判定が誤判定となるため、望ましくない。距離測定装置1は、測定光5を受光する画素と、測定光5を受光しないが周辺光だけを受光する画素とを識別することが可能である。これについて以下に説明する。
図3は、距離測定装置1の一部を示す図である。具体的には、図3は、識別部11に接続された受光部4の1つの画素10と、画素出力制御部12と、評価部13とを示す。識別部11は、画素10から受光信号RS1を連続的に受信し、画素10が測定光5を受光したかどうかを、受光信号RS1に基づき判定する。受光信号RS1に応じて、識別部11は、画素10によって受光された光が測定光5を含むか、又は、周辺光だけを含むかを示す識別信号DR(識別結果)を出力する。識別信号DRは、ローレベルとハイレベルとの間で変動する二値信号であってよい。例えば、ハイレベルは、画素10によって受光された光が測定光5を含むことを示していてよく、ローレベルは、当該画素によって受光された光が測定光5ではなく周辺光だけを含むことを示していてもよい。
この識別信号DRは、画素出力制御部12に送信され、画素出力制御部12は、受信した識別信号DRに応じて、画素10の出力を可能又は無効にする。つまり、識別信号DRが、画素10が測定光5を受光したことを示す場合、画素出力制御部12は、画素10の出力を可能にし、受光信号RS1を受光信号RS2として評価部13に転送する。換言すると、画素10が測定光5を受光すると、画素出力制御部は、画素10からの受光信号RS1に対応する受光信号RS2を評価部に送信する。
反対に、識別信号DRが、画素10が周辺光だけを受光したことを示す場合、画素出力制御部12は、画素10の出力を無効にし、受光信号RS1と等しくない受光信号RS2を、評価部13に転送する。この場合、受光信号RS2は、例えば、一定のローレベル信号であり得る。
したがって、画素10が測定光5を受光した場合、画素出力制御部12から評価部13に転送される受光信号RS2は、画素10からの受光信号RS1に対応する。他方、画素10がいかなる測定光5も受光していないことが、識別結果DRによって示される場合、受光信号RS2は一定のローレベル信号等である。
画素10の出力を可能及び無効にするために、画素出力制御部12は、スイッチとして実施されていてよい。例えば、画素出力制御部12は、FET(電界効果トランジスタ)などのトランジスタであってよく、FETのゲートに、識別信号DRが印加される。画素出力制御部12は、1つ又は複数の論理ゲートを含んでいてもよい。なお、画素出力制御部12は、画素10と評価部13との間に位置している。また、本例では、画素出力制御部12は、直接、画素10に接続されている。換言すると、画素10と画素出力制御部12との間には、さらなる回路素子は設けられていない。
評価部13は、距離測定装置1によって放出され、当該評価部13に関連付けられた画素10によって受光された光線の飛行時間に関する情報を含む信号を生成する。
本実施形態では、受光信号RSは、画素10が測定光5を受光した時のみ、評価部13によって評価される。画素10が周辺光だけを受光した場合、受光信号RSは、破棄され、対象物2までの距離の評価には考慮されない。
受光部4の画素10毎に、上述の機能を有する識別部11及び画素出力制御部12が設けられていてよい。換言すると、画素10、識別部11、及び、画素出力制御部12の間には1対1対1の関係がある。図4は、このような構成を有する距離測定装置100を示している。本距離測定装置100では、識別部11a〜11c及び画素出力制御部12a〜12cは、受光部4の各画素10a〜10cに関連付けられている。図4は、3つの画素10a〜10cだけを、対応する識別部11a〜11c及び画素出力制御部12a〜12cと共に示しているが、受光部4は、より多くの画素10a〜10cを、それぞれの識別部11a〜11c及び画素出力制御部12a〜12cと共に含んでいてもよいことは理解されよう。好ましい一実施形態では、距離測定装置100は、50行×8画素のアレイ、又は、10行×40画素のアレイに配置された400個の画素を含む。
各画素に関連付けられた識別部11a〜11c及び画素出力制御部12a〜12cの機能は、図3を参照して説明した識別部11及び画素出力制御部12の機能に類似しており、したがって以下では、簡潔な説明だけを行う。識別部11a〜11cは、集合的に、単一の識別部11を構成するものと見なされることが可能である。画素出力制御部12a〜12cは、集合的に、単一の画素出力制御部12を構成するものと見なされることが可能である。
識別部11aは、画素10aによって受信された信号RS1aに基づいて、画素10aが測定光5を受光したかどうかを判定し、これに応じて、識別信号DRaを画素出力制御部12aに送信する。画素出力制御部12aは、識別信号DRaに応じて、つまり、画素10aが測定光5を受光したか、又は、周辺光だけを受光したかに応じて、画素10aの出力を可能又は無効にする。受光信号RS1aは、画素出力制御部12aによって画素10aの出力が活性化された時にのみ、受光信号RS2aとして評価部13aに転送される。それ以外の、画素10aが測定光5を受光していない場合には、受光信号RS1aは、評価部13aに送信されない。
同様に、識別部11bは、画素10bによって受信された信号RS1bに基づいて、画素10bが測定光5を受光したかどうかを判定し、これに応じて、識別信号DRbを画素出力制御部12bに送信する。画素出力制御部12bは、識別信号DRbに応じて、つまり、画素10bが測定光5を受光したか、又は、周辺光だけを受光したかに応じて、画素10bの出力を可能又は無効にする。受光信号RS1bは、画素出力制御部12bによって画素10bの出力が活性化された時にのみ、評価部13bに受光信号RS2bとして転送される。それ以外の、画素10bが測定光5を受光していない場合には、受光信号RS1bは、評価部13bに転送されない。
同様に、識別部11cは、画素10cによって受信された信号RS1cに基づいて、画素10cが測定光5を受光したかどうかを判定し、これに応じて、識別信号DRcを画素出力制御部12cに送信する。画素出力制御部12cは、識別信号DRcに応じて、つまり、画素10cが測定光5を受光したか、又は、周辺光だけを受光したかに応じて、画素10cの出力を可能又は無効にする。受光信号RS1cは、画素出力制御部12cによって画素10cの出力が活性化された時のみ、評価部13cに受光信号RS2cとして転送される。それ以外の、画素10cが測定光5を受光していない場合には、受光信号RS1cは、評価部13cに転送されない。
受光信号RS2a、RS2b、RS2cに基づいて、評価部13a、13b、及び、13cは、それぞれ、対象物2までの距離を示す距離信号を出力する。例えば、評価部13a、13b、13cは、受光信号RS2a、RS2b、RS2cから判定された飛行時間値の平均値を計算してよい。あるいは、評価部13a、13b、13cは、後述するヒストグラムを用いて、対象物2までの距離を判定してもよい。評価部13a、13b、13cは、画素10と同じ半導体チップ上で、配線で接続されていてもよいが、必要な計算を行うCPUにより、評価部13a、13b、13cの機能を実現することも可能である。
評価結果、つまり、対象物2までの距離は、距離測定装置100が備えるディスプレイ(図示しない)上に出力され得る。あるいは、対象物2までの距離は、コントローラ、CPU、コンピュータ、他の電子回路等といった他の処理部に出力されるか、又は、他のプロセスを制御するために使用されることも可能である。
対象物2までの距離は、測定光5を受光した画素10a〜10cからの信号だけに基づいて判定される。周辺光だけが入射する画素10a〜10cからの信号は、対象物2までの距離を判定する際には考慮されない。したがって、対象物2までの距離は、高精度に判定される。
本実施形態に係る距離測定装置100では、各画素10a〜10cは、それぞれに関連付けられた評価部13a、13b、13cを有している。距離測定装置100は、いかなる結合器又はマルチプレクサも含まず、このため、距離測定装置100の構造は簡略化される。他実施形態では、各画素出力制御部12a〜12cによって転送された各画素10a〜10cからの信号は、結合器又はマルチプレクサ(図示しない)を用いて、組み合わされてもよい。結合器又はマルチプレクサを使用することは、いくつの画素10からの受光信号RS1を結合器又はマルチプレクサを介して単一の識別部11に転送可能になるため、好都合である。これによって、距離測定装置100の寸法を低減することが可能である。
図5は、測定対象物2までの距離を、距離測定装置1又は100を用いて判定する測定方法を示すフローチャートである。
ステップS1において、距離測定装置1、100は、発光部3を用いて光8を放出する。ステップS2では、対象物2から反射された測定光5を、距離測定装置1、100の受光部4が受光する。
ステップS3では、識別部11、11a〜11cは、各画素10、10a〜10cについて、受光した光が測定光5であるかを判定し、これに応じて、識別信号DR、DRa〜DRcを生成する。ステップS3において、画素10、10a〜10cが受光した光は測定光5であると判定された場合、ステップS4において、画素出力制御部12は、画素10、10a〜10cの受光信号RS1を受光信号RS2として出力することを可能にし、当該出力を評価部13に転送する。その後、ステップS5において、評価部13、13a〜13cは、受光信号RS2に基づいて、対象物2までの距離を判定する。
あるいは、ステップS3において、画素10、10a〜10cによって受光された光が測定光5でないと判定された場合(つまり、周辺光やノイズである場合)、ステップS6において、画素出力制御部12は、画素10、10a〜10cの出力を無効にし、受光信号RS1を受光信号RS2として転送しない。なお、「出力を可能にする」及び「出力を無効にする」という表現は、それぞれ、画素出力制御部12のスイッチをオン又はオフすることに相当し得る。
図6は、第2の実施形態に係る距離測定装置101を示している。当該実施形態の距離測定装置101では、識別部11は、検出部14及び計数部15を含む。検出部14及び計数部15は、関連付けられた画素10によって受光された光が測定光5であるか、又は、周辺光であるかを判定することに貢献する。検出部14及び計数部15のこの機能は、以下に、図7A〜図7E及び図8を参照しながらより詳細に説明する。
図7Aは、発光部3によって放出された光の強度を時間とともに示す一例である。図7Aに示されるように、発光部3は、光8を対象物2に向けて、一定間隔で放出する。すなわち、光の光パルス17が、所定の期間ΔT内の時間tA1、tA2、tA3、tA4、tA5、及び、tA6において放出される。これらの時間tA1、tA2、tA3、tA4、tA5、及び、tA6は、時間間隔Δtだけ互いに対して間隔が置かれている。時間間隔Δtは、一定であってよいが、これに限定されない。
図7Bは、測定光5を受光する受光部4の画素10によって受光された光の光強度を、時間に応じて示している。画素10によって受光された光は、2つの成分を有している。これらは、すなわち、基本的に背景雑音に相当する周辺光成分18、及び、周辺光18に重なった測定光5である。測定光5の強度は、周辺光18の強度よりもかなり大きい。
周辺光18は、画素10に到達する光子のランダム分布である。測定光5は、パルス27として受光される。パルス27は、放出されたパルスを離間させる同一の一定時間間隔Δtだけ分離されている。測定光5のパルス27は、時間tB1、tB2、tB3、tB4、tB5、及び、tB6において受光される。時間tB1、tB2、tB3、tB4、tB5、及び、tB6は、それぞれ、時間tA1、tA2、tA3、tA4、tA5、及び、tA6と比べて時間シフトΔdだけシフトされた時間である。時間シフトΔdは、発光部3によって放出された光8が対象物2まで移動して、距離測定装置101に戻って来るためにかかる時間に、例えば、電子機器や配線等による他の何らかの時間遅延を加算することによって求められる。時間シフトΔdは、対象物2までの距離(飛行時間)に応じて変動し、対象物2までの距離を判定するために求めることが可能である。図7Bでは、時間シフトΔdは、必ずしも、時間間隔Δtと同じ縮尺で記載されていない。
図7Cは、測定光5を受光していない受光部4の画素10によって受光された光の光強度を示している。このような画素10が受信した光の信号は、単に、画素10に到達した光子のランダム分布によって特徴付けられた周辺光18及びノイズを含む。
図7Dは、計数部15を用いて行う計数工程の一例を示している。検出部14及び計数部15は、関連付けられた画素10によって受光された光が測定光5であるか、又は、周辺光18であるかを判定することに貢献する。このために、検出部14は、複数の第1の所定時間間隔TM1〜TM6、及び、複数の第2の所定時間間隔TP1〜TP6の間に、対応する画素10において光が受光されたかどうかを判定する。
第1の所定時間間隔TM1〜TM6は、パルス状の測定光5が距離測定装置101に入射した時間tB1、tB2、…を含むように設定され、第2の所定時間間隔TP1〜TP6は、これらの時間tB1、tB2、…を含まないように設定される。例えば、第1の所定時間間隔TM1〜TM6は、距離測定装置101によってパルス光8が放出された時に開始され、対象物2から反射された測定光5が当該時間間隔に含まれるような長さで終了するように設定されていてよい。第1の所定時間間隔TM1〜TM6の長さは、第2の所定時間間隔TP1〜TP6の長さと等しく、距離測定装置101の測定範囲に応じて、数ナノ秒、例えば5〜500ナノ秒であってよい。また、この長さは、変動可能である。例えば、この間隔の長さは、ユーザによって手動で調節可能であってもよいし、又は、周辺光の輝度や望ましい測定距離範囲に応じて、自動的に調節されてもよい。こうして、検知条件を周辺光条件に調節することが可能であり、これによって、精度がより改善される。
本例では、各画素10は、画素10に入射した単一光子の検出が可能な単一光子検出器、例えば単一光子アバランシェダイオード(SPAD)によって構成されている。すなわち、光子が画素10に入射する度に、画素は、検出部14によって検出されるSPAD電流を生成する。
光子は、何らかの統計的分布に従った離散イベントにおいて、画素10に入射する。したがって、ある時間間隔Tでは、画素10に入射する光子の数は、0、1、又は、複数であり得る。検出部14は、ある時間間隔Tにおいて、最小数n個の光子が画素10に入射した場合、当該画素が当該時間間隔Tにおいて光を受光したと判定するように構成されている。この最小数n個は、例えば1であり得るが、これよりも大きな数であってもよい。
図7Eは、検出部14の検出結果を表す表を示している。すなわち、この表は、第1の所定時間間隔TM1〜TM6及び第2の所定時間間隔TP1〜TP6のそれぞれについて、光が受光されたかどうか、つまり、最小数n個の光子が受光されたかどうかを示している。図7Eでは、「+1」は、光が画素10において受光された第1の所定時間間隔TM1〜TM6を示し、「−1」は、光が画素10において受光された第2の所定時間間隔TP1〜TP6を示し、「0」は、画素10において信号が受信されていないことを示している。
信号が画素10において受信された第1の所定時間間隔TM1〜TM6に「+1」を割り当てることは、当該第1の所定時間間隔TM1〜TM6に第1の重み(すなわち、「+1」)を割り当てることに相当する。信号が画素10において受信された第2の所定時間間隔TP1〜TP6に数「−1」を割り当てることは、当該第2の所定時間間隔TP1〜TP6に第2の重み(すなわち、「−1」)を割り当てることに相当する。この重み付けは、重み付け部(図示しない)によって行われることが可能である。この時間間隔Tの間に画素10によって光子が受光されないならば、重み「0」が割り当てられる。
図7Eでは、第1の行(「点の内側」)は、対応する画素10が光点19の内側にあり、(図7Bに示されるような)測定光5を含む光によって照射された時の、検出部14からの結果の一例を含み、第2の行(「点の外側」)は、対応する画素10が光点19の外側にあり、(図7Cに示されるような)周辺光18だけを含む光によって照射された時の、検出部14からの結果の一例を含む。
周辺光18だけを受光する画素10は、光子によってランダムに照射される。したがって、検出部14が、十分に長い時間間隔ΔTにわたって、第1の所定時間間隔TM1〜TM6及び第2の所定時間間隔TP1〜TP6において光の存在を測定すると、統計的に、検出部14が第1の所定時間間隔TM1〜TM6において光を検出した回数は、検出部14が第2の所定時間間隔TP1〜TP6において光を検出した回数に、ほぼ、等しくなるはずである。
反対に、測定光5を受光する画素10は、確実に測定信号5を受信し、全体として、識別部11が第1の所定時間間隔TM1〜TM6において光を検出する回数は、識別部11が第2の所定時間間隔TP1〜TP6において光を検出する回数よりも多くなる。なお、光が光子として画素10に入射することは確率過程であるので、画素10が点19の内側にあり、したがって測定光5を受ける場合であっても、必ずしも全ての時間間隔TM1〜TM6中に光が検出されなくてもよい。この一例は、測定光5の点の内側で光が検出されない期間TM3の場合である。しかしながら、一般的にいえば、時間間隔TM1〜TM6の間に測定光5の点の内側において光が検出される確率は、時間間隔TP1〜TP6の間におけるものよりもかなり高い。
計数部15は、検出部14が第1の所定時間間隔TM1〜TM6において信号を検出する回数、及び、検出部14が第2の所定時間間隔TP1〜TP6において信号を検出する回数を計数し、これらを比較する。この比較の結果が所定の比較閾値以上、例えば+2以上である場合、検出部14は、画素10によって受信された信号は、測定光5を含むと判定する。他方、この比較の結果が所定の比較閾値よりも小さい場合、検出部14は、画素10によって受信された信号は、周辺光18だけを含むと判定する。画素出力制御部12は、これに応じて、上述のように、画素10の出力を可能又は無効にする。この計算は、図7Eの表の各行について、重み付けの数を合計(積算)することに相当する。例えば、「点の内側」と記載された行の場合、合計は+2であり、これは、比較閾値に等しく、そのため、識別部11は、画素10が点の内側にあると見做し、対応する識別結果信号DRを画素出力制御部12に送信する。
本実施形態の一利点は、実際の測定中に、測定光5を受光する画素10と測定光を受光しない画素10との識別を継続して行うことが可能な点にある。すなわち、識別部11は、画素10を絶えず監視し、実際に測定光5を受光する画素からの信号だけが、測定結果の計算に考慮されるように構成されていることが可能である。本実施形態では、6個の光パルスの受光が監視されているが、言うまでもなく、受光が監視される光パルスの数は、これよりも多くてもよいし、少なくてもよい。可能な一実施形態では、上述の識別を、常に、所定期間ΔT(例えば1マイクロ秒)の間に放出される最後のm(例えば6)個の光パルスに基づき行う。このような画素10の出力を動的に転送することは、どの画素が点の内側にあるかを最初に判定し、その後、点の外側にある画素を、例えば当該画素への電圧の供給を遮断することによってオフする構成よりも有利である。
図8は、第2の実施形態に係る、測定対象物までの距離を判定する測定方法を示すフローチャートである。図8の方法は、第3の実施形態に係る距離測定装置101によって実施されることが可能である。
以下では、第1の実施形態に係る方法(図5)と、第2の実施形態に係る方法との違いだけを説明する。第2の実施形態では、ステップS3は、ステップS7、S8、及びS9を含む。ステップS7において、検出部11は、第1の所定時間間隔TM1〜TM6及び第2の所定時間間隔TP1〜TP6で、画素10において信号を検出する。ステップS8において、計数部15は、時間ΔTの間に、検出部14が第1の所定時間間隔TM1〜TM6で信号を検出した回数、及び、検出部14が第2の所定時間間隔TP1〜TP6において信号を検出した回数を計数する。
ステップS9において、時間ΔTの間に、検出部14が第1の所定時間間隔TM1〜TM6で信号を検出した回数、及び、検出部14が第2の所定時間間隔TP1〜TP6において信号を検出した回数を比較し、比較結果を比較閾値と比較する。比較結果が比較閾値以上である場合、ステップS4において、画素10の出力が可能にされる。そうでない場合、ステップS6において出力は無効にされ、ステップS1、S2、S7、S8、及び、S9は、時間ΔTの間中、繰り返される。
ステップS5において、画素10の出力が評価部13によって評価された後、又は、ステップS6において、画素10の出力が無効にされた後は、ステップS1に戻る。
図9は、ステップS5において評価部13によって生成され、測定光5の移動時間tを判定することが可能なヒストグラムを示している。このヒストグラムは、ある飛行時間が測定される画素の数を計数することによって生成されたものであり、測定された飛行時間の分布に相当する。ヒストグラムの飛行時間の平均値は、移動時間tとして求められ、これに基づいて、対象物2までの距離が求められる。ヒストグラムを使わずに、例えば上述の平均値を用いて、距離を推定することも可能である。
図10A〜図10Gは、距離測定装置1、100、101の他の配置を示している。図10Aの配置は、図4に示される配置に相当し、各画素10a〜10cが、それぞれに関連付けられた識別部11a〜11c、画素出力制御部12a〜12c、及び、評価部13a〜13cを含むことが示されている。
図10Bの配置は、図10Aの配置とは、3つの画素10a〜10cが、単一の識別部11を共有している点において異なる。単一の識別部11を使用することは、必要な構成要素の数が少ない点において有利であり、場所を取らず電力消費の少ない距離測定装置1、100、101を実現可能である。
図10Cの配置は、図10Aの配置とは、3つの画素10a〜10cが1つの画素出力制御部12を共有している点において異なる。単一の画素出力制御部12を使用することは、必要な構成要素の数が少ない点において有利であり、場所を取らず電力消費の少ない距離測定装置1、100、101を実現可能である。
図10Dの配置は、図10Aの配置とは、3つの画素10a〜10cが単一の評価部13を共有している点において異なる。単一の評価部13を使用することは、必要な構成要素の数が少ない点において有利であり、場所を取らず電力消費の少ない距離測定装置1、100、101を実現可能である。
図10Eの配置は、図10Bの配置と図10Dの配置との組み合わせに相当し、ここでは、各画素10a〜10cは、それぞれの画素出力制御部12a〜12cに接続されているが、複数(又は全て)の画素10a〜10cのために、単一の識別部11及び単一の評価部13だけが設けられている。
図10Fの配置は、図10Cの配置と図10Dの配置との組み合わせに相当し、ここでは、各画素10a〜10cは、それぞれの識別部11a〜11cを有しているが、画素10a〜10cは、単一の画素出力制御部12及び単一の評価部13を共有している。
図10Gの配置では、画素10a〜10cは、単一の識別部11、単一の画素出力制御部12、及び、単一の評価部13を共有している。
本発明を好ましい実施形態を参照しながら説明してきたが、全ての実施形態において変形が可能であることは、当業者には明らかであろう。例えば、受光素子4の画素10の数は、増やしてもよいし減らしてもよい。計数部は、比較結果を判定する代わりに、例えば、SPADや関連する検知回路の場合のような単なるデジタルパルスではなく、入射する検出光に比例する電気信号を供給する、アナログ光検出器(例えばAPD、CCD等)の場合、時間とともに受信した光信号を積算してもよい。
1 距離測定装置
2 測定対象物
3 発光部
4 受光部
5 測定光
6 コリメータ
7 (収束)レンズ
8 放出光線
9 受光表面
10 画素
10a〜10c 画素
11 識別部
11a〜11c 識別部
12 画素出力制御部
12a〜12c 画素出力制御部
13、13’ 評価部
14 検出部
15 計数部
17 光パルス
18 周辺光
19 光点
19a〜19d 光点
20 光学系
21、22 四角形
27 パルス
100 距離測定装置
101 距離測定装置
A1〜tA6 時間
B1〜tB6 時間
M1〜TM6 第1の所定時間間隔
P1〜TP6 第2の所定時間間隔
Δc 計数期間
Δd 時間シフト
Δt 期間
DR 識別信号
DRa〜DRc 識別信号
RS1〜RS2 受光信号
RS1a〜RS1c 受光信号
RS2a〜RS2c 受光信号
S1〜S9 方法ステップ

Claims (13)

  1. 距離測定装置であって、
    光を放出するように構成された発光部と、
    前記発光部によって放出され測定対象物によって反射された測定光を受光するように構成された受光部であって、複数の画素を備え、各画素は、少なくとも1つの受光部を有すると共に、前記画素に入射した前記測定光に応じた受光信号を出力するように構成された受光部と、
    前記画素が測定光を受光したかどうかを識別するように構成された識別部と、
    前記識別部の判定結果に応じて、各画素の受光信号を個別に、選択的に出力するように構成された画素出力制御部と、
    前記画素出力制御部によって出力された受光信号を受信し、前記受光信号に基づき、前記距離測定装置と前記測定対象物との間の距離を示す距離信号を出力するように構成された評価部と、を備え、
    前記識別部は、
    前記識別部に接続された画素において、所定の期間における複数の第1の所定時間間隔、及び、前記所定の期間における複数の第2の所定時間間隔の間に、光が受光されたかどうかを検出する検出部と、
    前記所定の期間における前記第1の所定時間間隔、及び、前記第2の所定時間間隔の間に、前記検出部が受光を検出した回数を計数する計数部と、を備え、
    前記識別部は、前記計数部の計数結果に基づき、前記所定の期間における前記第1の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数が、前記所定の期間における前記第2の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数と、少なくとも所定の比較閾値だけ異なる場合に、画素が測定光を受光したと判定するように構成され、
    前記複数の第1の所定時間間隔は、前記画素が測定光を受光する時間を含むように設定され、前記複数の第2の所定時間間隔は、前記画素が測定光を受光する時間を含まないように設定される、距離測定装置。
  2. 前記画素出力制御部は、前記識別部により、測定光が受光されたと判定された画素の受光信号を出力するように構成されている、請求項1に記載の距離測定装置。
  3. 前記識別部は、前記所定の期間における前記第1の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数が、前記所定の期間における前記第2の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数と、前記所定の比較閾値未満の値だけ異なる場合に、画素が測定光を受光していないと判定するように構成されている、請求項1に記載の距離測定装置。
  4. 前記第1の所定時間間隔、及び/又は、前記第2の所定時間間隔は、周期的である、請求項1〜のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  5. 前記検出部が受光を検出する各第1の所定時間間隔の数に、第1の重みを割り当て、及び/又は、前記検出部が受光を検出する各第2の所定時間間隔の数に、第2の重みを割り当てる重み付け部をさらに含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  6. 前記計数部は、前記第1の所定時間間隔の重み付けられた数を合計し、前記第2の所定時間間隔の重み付けられた数を合計するようにさらに構成されている、請求項に記載の距離測定装置。
  7. 複数の画素出力制御部が単一の評価部に接続されている、請求項1〜のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  8. 前記複数の画素出力制御部は、単一の識別部に接続されている、請求項に記載の距離測定装置。
  9. 前記複数の画素のそれぞれに、1つの識別部が設けられている、請求項1〜のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  10. 前記識別部は、複数の画素のうちの各画素の受光信号を受信する、請求項1〜のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  11. 同一の識別部に接続された前記複数の画素は、互いに隣接していない、請求項10に記載の距離測定装置。
  12. 前記画素を構成する受光部は、単一光子アバランシェダイオードである、請求項1〜11のいずれか1項に記載の距離測定装置。
  13. 請求項1〜12のいずれか1項に記載の距離測定装置を用いて、測定を行う距離測定方法であって、
    発光部によって光を放出するステップと、
    前記発光部によって放出され測定対象物によって反射された測定光を、受光部によって受光するステップであって、前記受光部は、複数の画素を備え、各画素は、少なくとも1つの受光部を有すると共に、前記画素に入射した前記測定光に応じた受光信号を出力するように構成されている、ステップと、
    前記画素が測定光を受光したかどうかを識別するステップと、
    各画素について個別に前記画素が測定光を受光したかどうかを識別するステップの判定
    結果に応じて、各画素の受光信号を個別に、選択的に出力するステップと、
    受信された前記受光信号に基づき、前記距離測定装置と前記測定対象物との間の距離を示す距離信号を出力するステップと、を備え、
    前記識別するステップは、
    前記識別する画素において、所定の期間における複数の第1の所定時間間隔、及び、前記所定の期間における複数の第2の所定時間間隔の間に、光が受光されたかどうかを検出し、
    前記所定の期間における前記第1の所定時間間隔、及び、前記第2の所定時間間隔の間に、前記検出部が受光を検出した回数を計数し、
    前記計数部の計数結果に基づき、前記所定の期間における前記第1の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数が、前記所定の期間における前記第2の所定時間間隔の間に前記検出部が受光を検出した回数と、少なくとも所定の比較閾値だけ異なる場合に、画素が測定光を受光したと判定し、
    前記複数の第1の所定時間間隔は、前記画素が測定光を受光する時間を含むように設定され、前記複数の第2の所定時間間隔は、前記画素が測定光を受光する時間を含まないように設定される、距離測定方法。
JP2019150170A 2018-08-21 2019-08-20 距離測定装置及び距離測定方法 Active JP6975432B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP18425071.0A EP3614174B1 (en) 2018-08-21 2018-08-21 Distance measuring device and distance measuring method
EP18425071.0 2018-08-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020030211A JP2020030211A (ja) 2020-02-27
JP6975432B2 true JP6975432B2 (ja) 2021-12-01

Family

ID=63667847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019150170A Active JP6975432B2 (ja) 2018-08-21 2019-08-20 距離測定装置及び距離測定方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11762070B2 (ja)
EP (1) EP3614174B1 (ja)
JP (1) JP6975432B2 (ja)
CN (1) CN110888140B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11493615B2 (en) * 2018-09-11 2022-11-08 Velodyne Lidar Usa, Inc. Systems and methods for detecting an electromagnetic signal in a constant interference environment
US11385335B2 (en) * 2018-12-07 2022-07-12 Beijing Voyager Technology Co., Ltd Multi-threshold LIDAR detection
JP2020118567A (ja) * 2019-01-24 2020-08-06 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 測距装置、車載システム及び測距方法
CN111812661A (zh) * 2020-06-22 2020-10-23 深圳奥锐达科技有限公司 一种距离测量方法及***
WO2022126429A1 (zh) * 2020-12-16 2022-06-23 深圳市大疆创新科技有限公司 测距装置、测距方法和可移动平台
CN112987023A (zh) * 2021-05-11 2021-06-18 深圳阜时科技有限公司 光学感测设备及其测量方法及电子设备
CN114114300B (zh) * 2022-01-25 2022-05-24 深圳市灵明光子科技有限公司 一种散点重分布测距装置和激光探测***
CN114460594B (zh) * 2022-04-14 2022-06-14 宜科(天津)电子有限公司 一种基于三角测距的图像的去噪方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2446301B1 (en) * 2009-06-22 2018-08-01 Toyota Motor Europe Pulsed light optical rangefinder
DE102009029372A1 (de) 2009-09-11 2011-03-24 Robert Bosch Gmbh Messvorrichtung zur Messung einer Entfernung zwischen der Messvorrichtung und einem Zielobjekt mit Hilfe optischer Messstrahlung
GB201012631D0 (en) * 2010-07-28 2010-09-15 Isis Innovation Image sensor and method of sensing
US9083905B2 (en) * 2011-04-26 2015-07-14 Semiconductor Components Industries, Llc Structured light imaging system
US9696412B2 (en) * 2012-02-16 2017-07-04 Nucript LLC System and method for measuring optical delay using a single photon detector with pulsed optical signals
EP2708913A1 (de) * 2012-09-18 2014-03-19 Sick Ag Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Objekterfassung
JP6236758B2 (ja) 2012-10-09 2017-11-29 株式会社豊田中央研究所 光学的測距装置
US9014551B1 (en) * 2013-03-13 2015-04-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method and apparatus for simulating a photon-counting detector array as used in a communication link
JP6207407B2 (ja) * 2014-01-17 2017-10-04 オムロンオートモーティブエレクトロニクス株式会社 レーザレーダ装置、物体検出方法、及び、プログラム
JP6386798B2 (ja) 2014-06-09 2018-09-05 浜松ホトニクス株式会社 測距装置
US9575184B2 (en) * 2014-07-03 2017-02-21 Continental Advanced Lidar Solutions Us, Inc. LADAR sensor for a dense environment
JP6477083B2 (ja) * 2015-03-19 2019-03-06 株式会社豊田中央研究所 光学的測距装置
WO2017006546A1 (ja) 2015-07-03 2017-01-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 距離測定装置および距離画像合成方法
FR3043797A1 (ja) * 2015-11-16 2017-05-19 Stmicroelectronics (Grenoble 2) Sas
CN107615010B (zh) 2016-01-22 2021-11-16 索尼公司 光接收器件、控制方法和电子设备
US9866816B2 (en) * 2016-03-03 2018-01-09 4D Intellectual Properties, Llc Methods and apparatus for an active pulsed 4D camera for image acquisition and analysis
US11312383B2 (en) * 2016-09-13 2022-04-26 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Road surface condition prediction system, driving assistance system, road surface condition prediction method, and data distribution method
JP6730150B2 (ja) * 2016-09-16 2020-07-29 株式会社東芝 光検出器、及び距離測定装置
DE102016011913A1 (de) * 2016-10-05 2018-04-05 Hensoldt Sensors Gmbh Detektoreinheit und ein Verfahren zum Detektieren eines optischen Detektionssignals
EP3589990A4 (en) * 2017-03-01 2021-01-20 Ouster, Inc. ACCURATE PHOTODETECTOR MEASUREMENTS FOR LIDAR

Also Published As

Publication number Publication date
CN110888140A (zh) 2020-03-17
JP2020030211A (ja) 2020-02-27
CN110888140B (zh) 2023-08-25
EP3614174A1 (en) 2020-02-26
US11762070B2 (en) 2023-09-19
EP3614174B1 (en) 2021-06-23
US20200064451A1 (en) 2020-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6975432B2 (ja) 距離測定装置及び距離測定方法
CN109239694B (zh) 用于测量距离的光电传感器和方法
US10775507B2 (en) Adaptive transmission power control for a LIDAR
RU2602734C2 (ru) Измерительное устройство для измерения расстояния между ним и целевым объектом с помощью измерительного оптического излучения
US10739445B2 (en) Parallel photon counting
US20200271765A1 (en) Method for calibrating a time-of-flight system and time-of-flight system
CN110888117A (zh) 使用多个雪崩光电二极管元件检测光
US20180372849A1 (en) Optoelectronic Sensor and Method of Measuring the Distance from an Object
CN110865384B (zh) 测距装置
US20230058113A1 (en) Differentiating close-range measurements of time of flight
US20230221442A1 (en) Lidar Clocking Schemes For Power Management
WO2020196257A1 (ja) 測距方法、測距装置、及び、プログラム
CN110554399B (zh) 用于测量距物体的距离的激光测量装置及其操作方法
US20230221439A1 (en) Addressing redundant memory for lidar pixels
US20230243928A1 (en) Overlapping sub-ranges with power stepping
US11681028B2 (en) Close-range measurement of time of flight using parallax shift
US20240061087A1 (en) Lidar system with fly's eye lens arrays
JP7384931B2 (ja) 分配された光電子倍増管を伴う高空間解像度の固体画像センサ
JP2022552350A (ja) Spadベースの検出器のダイナミックレンジの拡大

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190820

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190823

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201001

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210527

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210728

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20211001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20211027

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6975432

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150