JP6975056B2 - Transport mechanism - Google Patents
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Description
本発明は、ウェーハの外周縁を保持して搬送する搬送機構に関する。 The present invention relates to a transfer mechanism that holds and conveys the outer peripheral edge of a wafer.
ウェーハを切削、研削等する加工装置おいて、例えばデバイスが形成されていない裏面側を吸着保持できない場合などにおいては、ウェーハの外周縁を保持するエッジクランプ型の搬送機構が用いられる。 In a processing device for cutting or grinding a wafer, for example, when the back surface side on which the device is not formed cannot be sucked and held, an edge clamp type transfer mechanism for holding the outer peripheral edge of the wafer is used.
エッジクランプ型の搬送機構では、少なくとも3つの保持爪を備え、保持爪をウェーハの径方向中心に向けて移動させることにより、ウェーハを保持するテーブルの保持面とウェーハの下面との間に保持爪を進入させ、ウェーハの外周縁を保持している(例えば、特許文献1参照)。また、保持面とウェーハの下面との間に保持爪を進入させる際には、保持面からエアを噴出してウェーハを浮かせることも行われている。 The edge clamp type transfer mechanism is provided with at least three holding claws, and by moving the holding claws toward the radial center of the wafer, the holding claws are placed between the holding surface of the table holding the wafer and the lower surface of the wafer. (See, for example, Patent Document 1). Further, when the holding claw is inserted between the holding surface and the lower surface of the wafer, air is ejected from the holding surface to float the wafer.
しかし、部分的にウェーハの浮き上がりが足りないところがあり、ウェーハの浮き上がりが足りない外周縁と保持爪の先端とが接触し、ウェーハに欠けが生じることがある。 However, there is a part where the wafer is not sufficiently lifted, and the outer peripheral edge where the wafer is not sufficiently lifted may come into contact with the tip of the holding claw, resulting in chipping of the wafer.
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、保持爪をウェーハ下面と保持面との間に進入させてウェーハの外周を保持する搬送機構において、ウェーハ下面と保持面との間への保持爪の進入を確実にすることを目的とする。 In the present invention, such a problem is considered, and in a transfer mechanism in which a holding claw is inserted between the lower surface of the wafer and the holding surface to hold the outer periphery of the wafer, the lower surface of the wafer and the holding surface are transferred to each other. The purpose is to ensure the entry of the holding claws.
本発明は、保持テーブルの保持面に保持された円形の板状ワークを、該保持面から離間させ板状ワークの外周部を保持部によって保持して該保持テーブルから板状ワークを搬出する搬送機構であって、該保持部は、板状ワークの中心を中心として等角度に少なくとも3つ配設され、該保持面に保持された板状ワークの外周側から該板状ワークに向けてエアを噴出するエアノズルと、該板状ワークの外周縁に接触して該保持面の面方向に板状ワークをガイドするガイド柱と、該板状ワークの外周部の下面側に進入して該板状ワークを保持する保持爪と、該エアノズルと該ガイド柱と該保持爪とが配設された可動支持部と、該可動支持部を該板状ワークの径方向に進退させる進退手段と、該ガイド柱を該板状ワークの径方向に移動自在とするガイド部と、該ガイド柱を該板状ワークの中心に向かう方向に付勢する付勢手段と、を備え、該エアノズルからエアを噴出して該保持面から該板状ワークを浮上させ、該進退手段によって該可動支持部を該板状ワークの中心に向かって移動させることにより該ガイド柱を該板状ワークの外周縁に接触させ、さらに該可動支持部を同方向に移動させ、該保持爪を該板状ワークの下面と該保持面との間に進入させて該板状ワークを保持する。 In the present invention, the circular plate-shaped work held on the holding surface of the holding table is separated from the holding surface, the outer peripheral portion of the plate-shaped work is held by the holding portion, and the plate-shaped work is carried out from the holding table. It is a mechanism, and at least three holding portions are arranged at equal angles about the center of the plate-shaped work, and air is directed toward the plate-shaped work from the outer peripheral side of the plate-shaped work held on the holding surface. The air nozzle that ejects the plate-shaped work, the guide pillar that contacts the outer peripheral edge of the plate-shaped work and guides the plate-shaped work in the surface direction of the holding surface, and the plate that enters the lower surface side of the outer peripheral portion of the plate-shaped work. A holding claw for holding the shaped work, a movable support portion in which the air nozzle, the guide column, and the holding claw are arranged, an advancing / retreating means for advancing / retreating the movable support portion in the radial direction of the plate-shaped work, and the said. It is provided with a guide portion that makes the guide pillar movable in the radial direction of the plate-shaped work, and an urging means for urging the guide pillar in a direction toward the center of the plate-shaped work, and ejects air from the air nozzle. Then, the plate-shaped work is levitated from the holding surface, and the movable support portion is moved toward the center of the plate-shaped work by the advancing / retreating means so that the guide column is brought into contact with the outer peripheral edge of the plate-shaped work. Further, the movable support portion is moved in the same direction, and the holding claw is inserted between the lower surface of the plate-shaped work and the holding surface to hold the plate-shaped work.
本発明は、エアノズルが板状ワークの外周側から中心に向けてエアを噴出することにより板状ワークを浮上させ、ガイド柱が板状ワークを支持した状態で、保持爪が板状ワークの下面と保持面との間に進入した板状ワークを保持する。したがって、板状ワークを確実に浮上させて保持爪を板状ワークの下面と保持面との間に進入させることができ、板状ワークに欠けが生じるのを防ぐことができる。 In the present invention, the plate-shaped work is floated by the air nozzle ejecting air from the outer peripheral side of the plate-shaped work toward the center, and the holding claw supports the plate-shaped work while the guide pillar supports the plate-shaped work, and the holding claw is the lower surface of the plate-shaped work. Holds the plate-shaped work that has entered between the holding surface and the holding surface. Therefore, the plate-shaped work can be reliably lifted and the holding claw can be inserted between the lower surface of the plate-shaped work and the holding surface, and it is possible to prevent the plate-shaped work from being chipped.
図1に示す搬送機構1は、各種加工装置等に備えた保持テーブル9の保持面910において保持された板状ワークWを保持面910から離間させて搬出する機構であり、図示しない駆動手段(モータやエアシリンダ)によって駆動されて移動可能な搬送アーム21と、搬送アーム21から垂下する軸部22と、軸部22の下端に取り付けられた上プレート23と、上プレート23に対して上下動する少なくとも3本の支持軸31と、それぞれの支持軸31の上端に取り付けられ各支持軸31を吊垂状態にて支持する吊り下げ部32と、各支持軸31の下端に固定された下プレート33とを備えている。支持軸31は、上プレート23の表裏を貫通する貫通孔231に遊嵌している。また、吊り下げ部32は、貫通孔231の内径よりも大径に形成されており、支持軸31の下降範囲を規制している。
The transport mechanism 1 shown in FIG. 1 is a mechanism for carrying out the plate-shaped work W held on the
一方、保持テーブル9は、ポーラス部材からなる吸引部91と、吸引部91を下側及び外周側から支持する枠体92とから構成されている。吸引部91は、開閉弁93を介して吸引源94と接続されている。吸引部91の上面は、板状ワークWを保持する保持面910となっており、開閉弁93を開放することにより保持面910に吸引力を作用させて板状ワークWを吸引保持することができる。保持面910は、保持面910と面一に形成された枠体92の上面も含んでいる。
On the other hand, the holding table 9 is composed of a
下プレート33には、下プレート33の周方向に等角度間隔に、板状ワークWを保持する保持部3が少なくとも3つ配設されている。そして、それぞれの保持部3には、板状ワークWの径方向に移動自在な可動支持部4と、可動支持部4を板状ワークWの径方向に進退させる進退手段5とを備えている。
The
各進退手段5は、例えば径方向に延びるピストンロッド51と、ピストンロッド51を径方向に移動させるシリンダ52と、ピストンロッド51と同方向に延びる案内部53とによって構成されている。ピストンロッド51の先端には可動支持部4が固定されており、ピストンロッド51の移動にともない可動支持部4も案内部53に案内されて同方向に移動する構成となっている。
Each advancing / retreating
各可動支持部4は、可動支持部4から下方に延びほぼ円柱状に形成されたガイド柱6と、可動支持部4から下方に延びその下端から中心方向に向けてさらに延びる保持爪7と、可動支持部4から下方に延びその下端から板状ワークWの中心方向に向けてエアを噴出するエアノズル8とを支持している。
Each movable support portion 4 includes a
保持爪7及びエアノズル8は、可動支持部4に固定されているか、又は可動支持部4と一体に形成されている。保持爪7の先端は、その下面71が保持面910と平行に形成され、上面72は、板状ワークWの中心方向にいくほど下降する斜面となっている。
The
エアノズル8の内部には流路81が形成されており、流路81の一端はエア源82に連通している。一方、流路81の他端は、噴出口83において開口している。エアノズル8の先端の噴出口83は、保持爪7の下面71よりも低い位置にある。また、保持爪7の先端は、エアノズル8の噴出口83よりも板状ワークWに近い側に位置している。
A
図2に示すように、保持爪7の先端は、板状ワークWの中心に向いている。一方、エアノズル8は、1つの保持爪7に対して2つ配設されている。2つのエアノズル8は、その噴出口83が保持爪7の先端に向いている。
As shown in FIG. 2, the tip of the
図1に示すように、可動支持部4とガイド柱6との間には、ガイド柱6を板状ワークの中心に向かう方向に付勢する付勢手段61が介在している。この付勢手段61としては、例えばバネを使用することができる。図2に示すように、ガイド柱6がアーム62の先端に固定されアーム62が旋回することによってガイド柱6が板状ワークWに接触する構成としてもよい。この場合、付勢手段61としては、例えば渦巻きバネを用いることができる。
As shown in FIG. 1, an urging means 61 for urging the
以下では、このように構成される搬送機構1を用いて保持テーブル9に保持された板状ワークWを搬出する場合について説明する。なお、図3に示すように、板状ワークWは、その外周部Wcが丸く面取りされており、外周縁Wdは、外周部Wcのうち最も外径が大きい部分である。また、開閉弁93は開放されており、板状ワークWの下面Wbが保持面910において保持され、上面Waが露出している。
Hereinafter, a case where the plate-shaped work W held on the holding table 9 is carried out by using the transport mechanism 1 configured as described above will be described. As shown in FIG. 3, the outer peripheral portion Wc of the plate-shaped work W is chamfered in a round shape, and the outer peripheral peripheral portion Wd is a portion of the outer peripheral portion Wc having the largest outer diameter. Further, the on-off
まず、図1に示した搬送アーム21を旋回させ、下プレート33の中心と吸引部91の中心とが一致した状態とする。そして、搬送機構1全体を下降させていき、図3に示すように、1つの保持爪7に対して2つのエアノズル8のどちらか一方のエアノズル8の下面84を保持面910に接触させる。このとき、支持軸31が貫通孔231内を上昇し、保持部3が上プレート23に対して上方に相対移動する。こうして少なくとも3つのエアノズル8の下面84が保持面910に接触すると、エアノズル8の噴出口83が、板状ワークWの外周部Wcの下面Wbと保持面910との間に向けられる。また、エアノズル8の下面84を保持面910に接触させることで、吊り下げ構造で吊り下げられる下プレート33を、上プレート23から浮き上がらせ保持面910と平行にしている。1つの保持爪7に対して2つのエアノズル8の下面84は面一で形成されるとよい。また、1つの保持爪7に対してエアノズル8を1つにしてもよい。
First, the
次に、図4に示すように、開閉弁93を閉止し、保持面910に吸引力が作用しない状態とする。そして、エアノズル8の下面84が保持面910に接触したままの状態で、図4に示すように、板状ワークWの外周側に位置するすべてのエアノズル8の噴出口83からエア831を噴出することにより、板状ワークWの外周部Wcを浮上させる。板状ワークWは、図4に示したように全体が浮上してもよいが、外周部Wcのうち少なくとも保持爪7の内周側に位置する部分が浮上していればよい。
Next, as shown in FIG. 4, the on-off
次に、図5及び図6に示すように、噴出口83からのエア831の噴出を継続した状態で、進退手段5が可動支持部4を板状ワークWの中心方向に向けて移動させ、ガイド柱6を板状ワークWの外周縁Wdに接触させ、外周部Wcを保持する。これにより、少なくとも3本のガイド柱6によって板状ワークWが横ずれしない状態となる。3本のガイド柱6は、それぞれの進退手段5によって駆動され、それぞれが独立して板状ワークWの中心に向けて移動するため、板状ワークWの中心と下プレート33の中心とが一致していない場合は、板状ワークWが保持面910の面方向にガイドされる。そしてその後、すべてのガイド柱6が板状ワークWの外周縁Wdの3箇所に接触し、板状ワークWに保持面910の面方向のずれが生じるのを防ぐことができる。
Next, as shown in FIGS. 5 and 6, the advancing / retreating
次に、図7及び図8に示すように、噴出口83からのエア831の噴出を継続した状態で、進退手段5が可動支持部4をさらに板状ワークWの中心方向に移動させることにより、保持爪7を保持面910と板状ワークWの下面Wbとの間に進入させる。そうすると、保持爪7が板状ワークWの中心に向けて移動するにつれて、保持爪7の上面72の傾斜に沿って板状ワークWが上昇し、少なくとも3つの保持爪7によって板状ワークWが保持される。保持爪7を保持面910と板状ワークWの下面Wbとの間に進入させる際には、エアノズル8の噴出口83からのエアの噴出により板状ワークWの外周部Wcが浮上しているため、保持爪7を確実に進入させて保持することができる。
Next, as shown in FIGS. 7 and 8, the advancing / retreating
保持爪7を保持面910と板状ワークWの下面Wbとの間に進入させる際には、ガイド柱6によって板状ワークWの外周縁Wdが支持されているため、板状ワークWは、ガイド柱6の側面にガイドされて上昇する。したがって、板状ワークWが保持面910の面方向に横ずれするのを防止することができる。
When the holding
次に、保持爪7の水平方向の位置を維持した状態で、図1に示した搬送アーム21を上昇させることにより、板状ワークWを保持テーブル9の保持面910から離間させる。そして、搬送アーム21を旋回等させることにより、板状ワークWを所望の位置に搬送することができる。
Next, the plate-shaped work W is separated from the holding
以上のように、搬送機構1は、エアノズル8が板状ワークWの外周側から板状ワークWに向けてエアを噴出することにより板状ワークWを浮上させ、ガイド柱6が板状ワークWを支持した状態で、保持爪7が板状ワークWの下面Wbと保持面910との間に進入した板状ワークWを保持する。したがって、板状ワークWを確実に浮上させて保持爪7を板状ワークWの下面Wbと保持面910との間に進入させることができ、板状ワークWに欠けが生じるのを防ぐことができる。
As described above, in the transport mechanism 1, the
また可動支持部4によってガイド柱6、保持爪7及びエアノズル8が支持されており、進退手段5が可動支持部4を板状ワークWの径方向に進退させることによって、ガイド柱6、保持爪7及びエアノズル8を移動させることができるため、ガイド柱6、保持爪7及びエアノズル8について個別に駆動機構を設ける必要がなく、装置構成が複雑化するのを防ぐことができる。
Further, the
上記実施形態では、保持テーブル9の吸引部91が開閉弁93を介して吸引源94のみに接続された構成としたが、吸引部91が切り替えバルブを介して吸引源94とエア供給源とに選択的に接続される構成でもよい。かかる構成では、噴出口83からエアを噴出するのと並行して、吸引部91をエア供給源に連通させて保持面910からエアを噴出させることによって、より確実に板状ワークWを保持面910から浮上させることができる。
In the above embodiment, the
1:搬送機構
21:搬送アーム 22:軸部 23:上プレート 231:貫通孔
3:保持機構
31:支持軸 32:吊り下げ部 33:下プレート
4:可動支持部
5:進退手段 51:ピストンロッド 52:シリンダ 53:案内部
6:ガイド柱 61:付勢手段
7:保持爪 71:下面 72:上面
8:エアノズル
81:流路 82:エア源 83:噴出口 84:下面
9:保持テーブル
91:吸引部 910:保持面
92:枠体 93:開閉弁 94:吸引源
W:板状ワーク Wa:上面 Wb:下面 Wc:外周部 Wd:外周縁
1: Transfer mechanism 21: Transfer arm 22: Shaft part 23: Upper plate 231: Through hole 3: Holding mechanism 31: Support shaft 32: Suspended part 33: Lower plate 4: Movable support part 5: Advance / retreat means 51: Piston rod 52: Cylinder 53: Guide part 6: Guide pillar 61: Energizing means 7: Holding claw 71: Bottom surface 72: Top surface 8: Air nozzle 81: Flow path 82: Air source 83: Spout 84: Bottom surface 9: Holding table 91: Suction part 910: Holding surface 92: Frame body 93: On-off valve 94: Suction source W: Plate-shaped work Wa: Top surface Wb: Bottom surface Wc: Outer peripheral part Wd: Outer peripheral edge
Claims (1)
該保持部は、板状ワークの中心を中心として等角度に少なくとも3つ配設され、
該保持面に保持された板状ワークの外周側から該板状ワークに向けてエアを噴出するエアノズルと、
該板状ワークの外周縁に接触して該保持面の面方向に板状ワークをガイドするガイド柱と、
該板状ワークの外周部の下面側に進入して該板状ワークを保持する保持爪と、
該エアノズルと該ガイド柱と該保持爪とが配設された可動支持部と、
該可動支持部を該板状ワークの径方向に進退させる進退手段と、
該ガイド柱を該板状ワークの径方向に移動自在とするガイド部と、
該ガイド柱を該板状ワークの中心に向かう方向に付勢する付勢手段と、
を備え、
該エアノズルからエアを噴出して該保持面から該板状ワークを浮上させ、該進退手段によって該可動支持部を該板状ワークの中心に向かって移動させることにより該ガイド柱を該板状ワークの外周縁に接触させ、さらに該可動支持部を同方向に移動させ、該保持爪を該板状ワークの下面と該保持面との間に進入させて該板状ワークを保持する
搬送機構。 A transport mechanism that separates the circular plate-shaped work held on the holding surface of the holding table from the holding surface, holds the outer peripheral portion of the plate-shaped work by the holding portion, and carries out the plate-shaped work from the holding table. ,
At least three holding portions are arranged at an equal angle around the center of the plate-shaped work.
An air nozzle that ejects air from the outer peripheral side of the plate-shaped work held on the holding surface toward the plate-shaped work, and
A guide pillar that comes into contact with the outer peripheral edge of the plate-shaped work and guides the plate-shaped work in the surface direction of the holding surface.
A holding claw that enters the lower surface side of the outer peripheral portion of the plate-shaped work and holds the plate-shaped work.
A movable support portion in which the air nozzle, the guide pillar, and the holding claw are arranged, and
An advancing / retreating means for advancing / retracting the movable support portion in the radial direction of the plate-shaped work,
A guide portion that makes the guide column movable in the radial direction of the plate-shaped work, and
An urging means for urging the guide pillar in a direction toward the center of the plate-shaped work, and
Equipped with
The guide pillar is moved toward the center of the plate-shaped work by ejecting air from the air nozzle to levitate the plate-shaped work from the holding surface and moving the movable support portion toward the center of the plate-shaped work by the advancing / retreating means. A transport mechanism that brings the movable support portion into contact with the outer peripheral edge of the plate, moves the movable support portion in the same direction, and causes the holding claw to enter between the lower surface of the plate-shaped work and the holding surface to hold the plate-shaped work.
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