JP6972984B2 - エッチング液塗布ノズル - Google Patents
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Description
110…吐出部
120…カバー
130…支持アーム
200…ノズル本体部
210…円錐側面部
220…液受部
230…誘導溝
240…貯留部
242…底面
244…堰部
250…貫通孔
260…下面
270…突起部
900…ウェハ
910…周縁部
Claims (1)
- ウェハの周縁部にエッチング液を塗布するエッチング液塗布ノズルであって、
エッチング液を吐出する吐出部と、
前記吐出部から吐出されるエッチング液を前記ウェハへと流下させるノズル本体部と
を備え、
前記ノズル本体部は、
円錐側面を形成する円錐側面部と、
前記円錐側面部における外径が縮小する縮径側に位置し、前記吐出部から吐出されるエッチング液を受け入れる液受部と、
前記円錐側面部に等間隔で形成され、前記液受部からエッチング液を、前記円錐側面部における外径が拡大する拡径側へと誘導する複数の誘導溝と、
前記円錐側面部の前記拡径側において、前記複数の誘導溝に対応して前記円錐側面部の周方向に沿って均等に設けられ、前記周方向に沿って深くなる底面を有し、前記誘導溝から流下するエッチング液を貯留する複数の貯留部と、
前記複数の貯留部に対応して前記周方向に沿って等間隔に形成され、前記底面へと貫通し、前記貯留部に貯留されているエッチング液を前記ウェハに供給する複数の貫通孔と
を含む、エッチング液塗布ノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017231958A JP6972984B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | エッチング液塗布ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017231958A JP6972984B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | エッチング液塗布ノズル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019102643A JP2019102643A (ja) | 2019-06-24 |
JP6972984B2 true JP6972984B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=66977198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017231958A Active JP6972984B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | エッチング液塗布ノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6972984B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4136493B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2008-08-20 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液材吐出用マルチノズル |
JP3917493B2 (ja) * | 2002-09-27 | 2007-05-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2017
- 2017-12-01 JP JP2017231958A patent/JP6972984B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2019102643A (ja) | 2019-06-24 |
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