JP6972563B2 - 光導波路デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
また特許文献3には次のような導波路チップが記載されている。
図1〜図4を用いて本発明の第1の実施形態を説明する。図1は第1の実施形態の光導波路デバイス1の構成を示す断面図である。
(動作の説明)
図1の光導波路デバイスの動作を説明する。図2は第1の実施形態の光導波路デバイス2’と既存の光導波路デバイス2における動作を比較した断面図である。
(光導波路デバイスの作製方法)
図1の形状の作製方法は図4に示すような手順で行われる。図4は第1の実施形態の光導波路デバイス1を作製する手順を説明するための断面図である。
(第2の実施形態)
図4の製造方法では、図4(e)の工程で、光導波路層11がある側を研磨したが、基板12側から研磨してもよい。本第2の実施形態はそのような場合である。図5は基板側から研磨した場合の光導波路デバイス5の断面図である。
(第3の実施形態)
図7は本発明の第3の実施形態の光導波路デバイス7の構成を示す断面図である。
3 光強度モニタ
12、22、52、72 基板
13 接続端面
13、13’ 接続端面
23、23’ 入射端面
14、24、34 入力導波路
15、25、35 反射防止膜
16、26、56、76 反射膜
17、27、57、77 迷光放射防止膜
28 光ファイバ
29 レンズ
34’ 別の光導波路層
36 方向性結合器
73、73’ 端面
100 迷光
Claims (2)
- 光導波路層の端面及び前記光導波路層が形成された基板の端面に反射膜を形成し、前記光導波路層の端面に形成された前記反射膜を研磨して前記光導波路層の端面を露出させるとともに、前記基板の端面に前記反射膜を残し、前記光導波路層の露出した端面上及び前記基板の端面に残っている前記反射膜上に反射防止膜を形成し、前記反射膜と前記反射防止膜が積層された膜を、迷光を反射する迷光放射防止膜とする光導波路デバイスの製造方法。
- 前記反射膜は前記反射防止膜と積層されて迷光放射防止膜としたときに、迷光を反射する光学膜厚である請求項1に記載の光導波路デバイスの製造方法。
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