JP4467544B2 - 光ハイブリッド集積回路 - Google Patents
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Description
(a)光導波路44dの端面から出射された光信号は、直接、他の受光面34cに達する。
(b)光導波路44bの端面から出射された光信号は、蓋33の内部で多重反射して受光面34aに達する。
(c)光導波路44cの端面から出射された光信号は、光素子35dと蓋33との間の空隙で多重反射して受光面34dに達する。
(d)光導波路44bの端面から出射された光信号は、光素子35b,35cを透過し、光素子35の裏面または筐体32の底面で反射し、光素子の内部で多重反射して受光面34cに達する。
図3に、光素子の受光面と光導波路の端面との距離に対するクロストークを示す。受光面34a〜34dと光導波路44a〜44dの端面との距離に対して、光導波路から出射された光信号のビーム半値全幅(FWHM)の広がり角を変えたときのクロストークを示す。図2に示した従来の光モジュール31は、受光面34から蓋33までの距離200μm、蓋33の厚さ200μm、蓋33からミラーを介して光導波路44の端面までの距離100μmである。屈折率を加味した実効的な回折距離は、400μmである。従って、半値全幅(FWHM)=12度のとき、クロストークはおよそ−25dBであり、FWHM)=5度のときと比較すると、10dB以上劣化していることがわかる。
樹脂 d(1)=100μm、n(1)=1.5
蓋 d(2)=200μm、n(2)=1.75
空隙 d(3)=150μm、n(3)=1.0
光素子 Dpd=80μm、Tpd=350μm、npd=3.2
とする。これを(1)式に代入すると、ビームの広がり角φ=7.6度となり、図3に示したように、クロストークは−30〜−35dB程度に改善される。従って、光導波路の端面から出射された光信号が、アレイ方向のビームの広がり角φ<7.6度となるように狭角化する。
図4に、本発明の第1の実施形態にかかる光ハイブリッド集積回路の光路変換部を示す。また、図5(a)に光ハイブリッド集積回路の断面図を示し、図5(b)に光導波路の詳細を示す。光路変換部101に形成されるミラー溝102は、幅W=160μm、光軸方向の奥行きd=80μmである。光導波路121の導波路端面104と対向する壁面に沿って、ミラーを形成するための斜面103が形成されている。光導波路121からの出射光があたる斜面103には、ミラー111が形成されている。また、斜面103の一端には、液状樹脂を供給する樹脂供給溝105が設けられている。
図6に、本発明の第2の実施形態にかかる光ハイブリッド集積回路の光路変換部を示す。光モジュール131と光路変換部101の構造は、第1の実施形態と同じであり、PLCの光導波路の形状のみが異なる。光導波路122のコアは、幅4.5μm×高さ4.5μm、非屈折率差Δ=1.5%である。光導波路122の導波路端面104に接続される部分は、幅2.0μm×高さ4.5μmであり、テーパ導波路となっている。テーパ部の長さは2mmである。この構成によれば、光導波路122の導波路端面104から出射された光信号は、Z軸方向およびY軸方向のビームの広がり角が狭角化される。ビームの広がり角は、Y軸方向(アレイ方向)、Z軸方向ともにφ=5度程度となり、クロストークは−35dB以下に改善され、光素子135の受光特性は、1.5dB改善される。
図7に、本発明の第3の実施形態にかかる光ハイブリッド集積回路の光路変換部を示す。光モジュール131と光路変換部101の構造は、第1の実施形態と同じであり、PLCの光導波路の形状のみが異なる。光導波路123のコアは、幅4.5μm×高さ4.5μm、非屈折率差Δ=1.5%である。光導波路123の導波路端面104に接続される部分は、幅40μm×高さ4.5μm×長さ40μmのスラブ導波路124となっている。さらに、導波路端面104には、凸レンズ125が形成されている。この構成によれば、光導波路123の導波路端面104から出射された光信号は、Y軸方向、すなわちアレイ方向のビームの広がり角が狭角化されφ=5度程度となる。第1および第2の実施形態のように、テーパ部の余長を確保する必要がないので、PLCの小型化を図ることができる。なお、本実施形態では、凸レンズの効果を引き出すために、ミラー溝102内部に樹脂は充填しない。
図8に、本発明の第4の実施形態にかかる光ハイブリッド集積回路の光路変換部を示す。光モジュール131と光路変換部101の構造は、第1の実施形態と同じであり、PLCの光導波路の形状のみが異なる。光導波路126のコアは、幅4.5μm×高さ4.5μm、非屈折率差Δ=1.5%である。光導波路126の導波路端面104に接続される部分(長さ300μm)は、幅10μm×高さ4.5μmであり、テーパ部の長さは500μmである。さらに、導波路端面104には、曲率半径10μmの凹レンズ128が形成されている。この構成によれば、光導波路126の導波路端面104から出射された光信号は、Y軸方向、すなわちアレイ方向のビームの広がり角が狭角化されφ=5度程度となる。
12,32,132 筐体
13,33,133 蓋
14,34,134 受光面
15,35,135 光素子
21,41 PLC
22,42 シリコン基板
23,43,111 ミラー
24,44,121〜123,126 光導波路
101 光路変換部
102 ミラー溝
103 斜面
104 導波路端面
105 樹脂供給溝
124,127 スラブ導波路
125 凸レンズ
128 凹レンズ
Claims (6)
- コア、上部クラッドおよび下部クラッドから成る複数の光導波路が基板上に形成された平面光導波回路と、蓋と筐体とにより複数の光素子が封止され、前記複数の光素子の受光面の各々が前記複数の光導波路の各々と光学的に結合するように前記平面光導波回路に固定された光モジュールとを含む光ハイブリッド集積回路において、
各々の光導波路の端面に、前記光導波路のコアよりも深く形成されたミラー溝と、
該ミラー溝の内部に設けられ、前記各々の光導波路の端面から出射された光信号を、各々の光素子の受光面に結合する光路変換ミラーとを備え、
前記各々の光導波路の端面におけるコアの幅が、前記平面光導波回路内の回路における各々のコアの幅と異なり、前記各々の光導波路の端面から出射された光信号の、前記複数の光素子の配列方向に関する光強度の半値全幅におけるビームの広がり角φが、
- 前記各々の光導波路の端面におけるコアの幅は、前記平面光導波回路内の回路における各々のコア幅よりも広いことを特徴とする請求項1に記載の光ハイブリッド集積回路。
- 前記各々の光導波路の端面におけるコアの幅は、前記平面光導波回路内の回路における各々のコア幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の光ハイブリッド集積回路。
- 前記各々の光導波路は、スラブ導波路を有し、該スラブ導波路の端面が前記各々の光導波路の端面であることを特徴とする請求項2に記載の光ハイブリッド集積回路。
- 前記各々の光導波路の端面が凸レンズとなるように形成されており、前記光導波路のコアの屈折率が、前記凸レンズと前記光路変換ミラーとの間に存在する媒質の屈折率より大きいことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光ハイブリッド集積回路。
- 前記各々の光導波路の端面が凹レンズとなるように形成されており、前記光導波路のコアの屈折率が、前記凹レンズと前記光路変換ミラーとの間に存在する媒質の屈折率より小さいことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光ハイブリッド集積回路。
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