JP6970304B2 - ノズル構成および供給チャネル - Google Patents

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Description

背景
流体吐出ダイは、そのノズルを介して流体滴を吐出することができる。係る流体吐出ダイは、ノズルのノズルオリフィスを介して流体滴の吐出をもたらすように付勢され得る流体アクチュエータを含むことができる。幾つかの例示的な流体吐出ダイは、プリントヘッドであることができ、この場合、吐出される流体はインクに対応する場合がある。
例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す略図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。 例示的な流体吐出デバイスの幾つかの構成要素を示すブロック図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。 例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。 例示的な流体吐出デバイスの幾つかの構成要素を示す略図である。
図面の全体にわたって、同様の参照符号は、類似するが、必ずしも同じでない要素を示す。図面は、必ずしも一律の縮尺に従っておらず、幾つかの部品のサイズは図示された例をより明確に示すために誇張され得る。更に、図面は、説明と首尾一貫した例および／または具現化形態を提供するが、説明は図面に提供された例および／または具現化形態に制限されない。
説明
流体吐出ダイの例は、ダイの長さと幅にわたって分散（分布）することができるノズルを含むことができる。例示的な流体吐出ダイにおいて、各ノズルは、吐出チャンバに流体的に連通するように結合されることができ、流体アクチュエータは吐出チャンバ内に配置され得る。例は、各吐出チャンバ及びノズルに流体的に連通するように結合された少なくとも１つの流体供給穴を含むことができる。流体は、ノズルを介した吐出のために、少なくとも１つの流体供給穴を介して吐出チャンバに運ばれ得る。本明細書で提供される説明は、ノズル、吐出チャンバ、流体供給穴、流体供給チャネル、及び／又は他の係る流体構造を有するような例を説明する場合がある。係る流体構造は、基板または他の材料層から材料を除去することにより形成され得る。
本明細書で提供される例は、構造体および／または構成要素を形成および／または接続するために基板および材料の層の上で様々な微細製造プロセス及び／又は微細加工プロセスを行うことにより形成され得る。基板は、シリコンベースのウェハー又は微細製造されるデバイスに使用される他の係る類似の材料（例えば、ガラス、ガリウムヒ素、プラスチック他）からなることができる。例は、微小流体チャネル、流体供給穴、流体アクチュエータ、及び／又は容積チャンバを含むことができる。微小流体チャネル、穴、及び／又はチャンバは、基板においてエッチング、微細製造プロセス（例えば、フォトリソグラフィー）又は微細加工プロセスを行うことにより形成され得る。従って、微小流体チャネル、供給穴、及び／又はチャンバは、微小流体デバイスの基板に製造された表面により画定され得る。
更に、材料層は、基板層の上に形成されることができ、微細製造プロセス及び／又は微細加工プロセスは、それらの上で行われて、流体構造体および／または構成要素を形成することができる。材料層の一例は、例えばノズルのような開口が形成され得るフォトレジスト層を含むことができる。更に、様々な構造体およびそれらにより画定される対応する容積（体積）は、基板の結合または他の類似したプロセスから形成され得る。
例示的な流体吐出ダイにおいて、ノズルは、流体吐出ダイの長さにわたって及び流体吐出ダイの幅にわたって配列され得る。本明細書で説明される例において、一組の隣接するノズルは、ダイの長さに沿って最も近い位置を有する少なくとも２つのノズルを意味することができる。更に、個々の対の隣接するノズル及び隣接するノズル対も、ダイの長さに沿って最も近い位置を有する２つのノズルを意味することができる。本明細書で企図された例において、流体吐出ダイの少なくとも１つの個々の対の隣接するノズルは、流体吐出ダイの幅に沿って異なる位置に配置され得る。従って、逐次のノズル位置（ダイの長さを基準としたノズルの位置に対応する）を有する少なくとも幾つかのノズルは、流体吐出ダイの幅に沿って間隔を置いて配置され得る。
更に、本明細書で説明される流体吐出ダイは、流体吐出ダイがダイ上に約２０００個から約６０００個のノズルを含むように、ノズルの配列を含むことができる。幾つかの例において、ダイの全ノズルは、単一の流体源に結合され得る。例えば、本明細書で提供される説明に従ったプリントヘッドの形態の例示的な流体吐出ダイにおいて、プリントヘッドは、２０００個を上回るノズルを含むことができ、この場合、ダイの全ノズルは、単一インク色のような単一の印刷流体に対応することができる。他の例において、ダイの第１の組のノズルが第１の流体源に結合されることができ、ダイの第２の組のノズルが第２の流体源に結合され得る。例えば、プリントヘッドにおいて、ダイは第１のインク色流体源に結合された少なくとも２０００個のノズルを含むことができ、ダイは第２のインク色流体源に結合された少なくとも２０００個のノズルを含むことができる。これらの例において、ダイのノズルは、ダイの長さと幅にわたって分散するように配列され得る。例えば、ダイのノズルは、ダイのノズル間の最小距離が約１００マイクロメータ（μｍ）であるように配列され得る。
上述されたように、各ノズルに関して、流体吐出ダイは流体吐出器を含むことができ、この場合、流体吐出器は、圧電膜を使用しているアクチュエータ、熱抵抗器を使用しているアクチュエータ、静電膜アクチュエータ、機械的／衝撃駆動型膜アクチュエータ、磁歪駆動型アクチュエータ、又は電気的付勢に応答して流体の変位をもたらすことができる他の係る要素を含むことができる。
幾つかの流体吐出ダイにおいて、ノズル配列からの流体滴の吐出は、液滴吐出領域における気流パターンに関係することができる。ノズルの幾つかの配列は、液滴吐出領域において吐出された液滴の進行に影響を及ぼす気流パターンという結果になる場合がある。流体吐出ダイの流体滴吐出により生じる幾つかの気流パターンは、低減された液滴の飛翔軌道および／または液滴配置精度という結果になる場合がある。更に、流体吐出ダイの流体滴の吐出により生じる幾つかの気流パターンは液滴吐出領域に粒子を分散させる場合があり、当該粒子は流体吐出ダイ上に蓄積する場合がある。従って、本明細書で説明される例示的な流体吐出ダイは、気流パターンを制御するためにダイの長さと幅にわたってノズルを分散させる場合がある。本明細書で説明される幾つかの例は、流体吐出ダイのノズル配列に少なくとも部分的に基づいて流体滴吐出に関連した気流の発生を低減することができる。幾つかの例示的な流体吐出ダイは、本明細書で説明されるノズル配列に少なくとも部分的に基づいて、隣接したノズルからの他の流体滴の吐出に起因する吐出流体滴の空気乱れを低減することができる。本明細書で説明されるノズル配列は、ノズル間の距離、ノズル列間の距離、ノズル間の方位角（幾何学的配置の角度）、流体吐出ダイの表面積の単位平方当たりのノズル密度、ダイの長さに対応する距離の単位当たりのノズル数、又はそれらの任意の組み合わせに対応することができる。
さて、図面、特に図１を参照すると、この図は、例示的な流体吐出ダイ１０を示す。図示されたように、流体吐出ダイ１０は、ダイの長さ１４及びダイの幅１６に沿って配列された複数のノズル１２ａ−１２ｘを含むことができる。本明細書で使用される限り、隣接するノズルは、ダイの長さ１４に沿って隣接した位置を有する個々のノズル１２ａ−１２ｘを説明するために使用され得る。例えば、第１のノズル位置を有するとして説明され得る第１のノズル１２ａは、第２のノズル位置を有するとして説明され得る第２のノズル１２ｂの隣接するノズルであることができる。第１のノズル１２ａ及び第２のノズル１２ｂは更に、隣接するノズル対または一対の隣接するノズルとして説明され得る。図１の例示的なダイ１０において、ノズル１２ａ−１２ｘは、ダイの長さ１４を基準としたノズル１２ａの配置に基づいて個々のノズル位置に対応するように説明され得る。従って、この例において、ダイ１０は、第１のノズル位置に第１のノズル１２ａ、第２のノズル位置に第２のノズル１２ｂを含み、３番目から２４番目のノズル位置１２ｃ−１２ｘそれぞれに対して同様のノズル場所が指定される。
更に、この例において、隣接するノズルの組および隣接するノズルセット（組）は、ダイ１０の長さ１４に沿って隣接した場所を有するノズルグループを参照するために使用されることができ、即ち、隣接するノズルの組は、逐次のノズル位置を有する少なくとも２つのノズル１２ａ−１２ｘを含むことができる。例えば、第１のノズル１２ａ、第２のノズル１２ｂ、及び第３のノズル１２ｃは、一組の隣接するノズルとみなされ得る。同様に、第１のノズル１２ａ、第２のノズル１２ｂ、第３のノズル１２ｃ、及び第４のノズル１２ｄは、一組の隣接するノズルとみなされ得る。
従って、図１の例において、ノズル１２ａ−１２ｘは、流体吐出ダイの幅に沿って異なるダイ幅の位置に配置された少なくとも１つの個々の対の隣接するノズルからなる。一例として示すために、第１のノズル１２ａ及び第２のノズル１２ｂは、隣接するノズルの個々の対であり、第１のノズル１２ａ及び第２のノズル１２ｂは、ダイの幅１６に沿って異なる位置に配置される。同様に、第２のノズル１２ｂ及び第３のノズル１２ｃは、隣接するノズルの個々の対であり、第２のノズル１２ｂ及び第３のノズル１２ｃは、ダイの幅１６に沿って異なるダイ幅の位置に配置される。更に、この例において、第１のノズル１２ａ、第２のノズル１２ｂ、第３のノズル１２ｃ、及び第４のノズル１２ｄは、一組の隣接するノズルであり、隣接するノズル１２ａ−１２ｄの個々の組の少なくとも１つのノズルは、異なるダイ幅１６の位置に配置される。特に、この例において、隣接するノズル１２ａ−１２ｄの個々の組の各ノズル１２ａ−１２ｄは、異なるダイ幅１６の位置に配置される。従って、図１に示されたように、流体吐出ダイ１０のノズル１２ａ−１２ｘは、隣接するノズルの対および組に関して、隣接するノズルの各組の少なくとも１つの個々のノズルが異なるダイ幅１６の位置に配置されるように、配列される。
更に、留意されるべきは、図１の例の流体吐出ダイ１０は、ノズル位置毎に少なくとも１つのノズル１２ａ−１２ｘを含む。従って、理解され得るように、流体吐出ダイのノズル１２ａ−１２ｘは、単一の流体源に流体的に連通するように結合され得る。例えば、流体吐出ダイ１０がプリントヘッドに対応する場合、ノズル１２ａ−１２ｘは全て、単一色の単一の流体印刷材料源に結合することができる。別の例として、流体吐出ダイ１０が積層造形システムのプリントヘッドに対応する場合、ノズル１２ａ−１２ｘは、流体結合剤、流体ディーテイリング剤、流体表面処理材料などのような、単一の３Ｄ印刷材料源に流体的に連通するように結合され得る。単一の流体源に結合されたノズルは、互いに流体的に連通するように結合されているとして説明され得る。
図１に示された例において、流体吐出ダイ１０は、ノズル列２０ａ−２０ｄに配列されたノズル１２ａ−１２ｘを含む。図示されたように、当該例の第１のノズル列２０ａは、第１のノズル１２ａ、第５のノズル１２ｅ、第９のノズル１２ｉ、第１３のノズル１２ｍ、第１７のノズル１２ｑ、及び第２１のノズル１２ｕを含む。当該例の第２のノズル列２０ｂは、第２のノズル１２ｂ、第６のノズル１２ｆ、第１０のノズル１２ｊ、第１４のノズル１２ｎ、第１８のノズル１２ｒ、及び第２２のノズル１２ｖを含む。当該例の第３のノズル列２０ｃは、第３のノズル１２ｃ、第７のノズル１２ｇ、第１１のノズル１２ｋ、第１５のノズル１２ｏ、第１９のノズル１２ｓ、及び第２３のノズル１２ｗを含む。当該例の第４のノズル列２０ｄは、第４のノズル１２ｄ、第８のノズル１２ｈ、第１２のノズル１２ｌ、第１６のノズル１２ｐ、第２０のノズル１２ｔ、及び第２４のノズル１２ｘを含む。
図示されたように、隣接するノズルは、異なるノズル列２０ａ−２０ｄにおいてダイの幅１６にわたって分散される。更に、各ノズル列２０ａ−２０ｄのノズル１２ａ−１２ｘは、ダイの長さ１４及びダイの幅１６に沿ってオフセットされ、各ノズル列２０ａ−２０ｄの個々のノズルが隣接するノズル１２ａ−１２ｘとの幾何学的配置（方位）の斜角を有するようになっている。図１において、隣接するノズル間の例示的な方位角２２は、第６のノズル１２ｆと第７のノズル１２ｇとの間に示される。従って、異なるノズル列２０ａ−２０ｄに配置された隣接するノズルは、ダイの長さ１４及びダイの幅１６に対して斜線２４に沿って配列され得る。留意され得るように、斜線２４は、隣接するノズル間の方位角２２に対応することができる。更に、留意され得るように、幾つかの例において、一組の隣接するノズルのサイズは、ノズル列の数に対応する場合がある。図１の例において、一組の隣接するノズルのサイズは、４個のノズルであることができ、ノズル列２０ａ−２０ｄの数も４個であることができる。従って、一組の４個の隣接するノズルに関して、当該組のそれぞれのノズルは、異なるそれぞれのノズル列２０ａ−２０ｄに配列され得る。
更に、図１の例は、他の例で具現化され得るノズル１２ａ−１２ｘの例示的な配列を示す。図１に示されたように、個々のノズル列２０ａ−２０ｄのノズル１２ａ−１２ｘは、個々のノズル列２０ａ−２０ｄの少なくとも幾つかのノズル１２ａ−１２ｘ間のノズルからノズルの距離が少なくとも１００マイクロメータ（μｍ）であることができるように配列され得る。幾つかの例において、個々のノズル列２０ａ−２０ｄの少なくとも幾つかのノズルに関してノズルからノズルの距離２４は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内であることができる。図１の例において、個々のノズル列２０ａ−２０ｄの隣接するノズル１２ａ−１２ｘは、個々のノズル列２０ａ−２０ｄの逐次のノズル１２ａ−１２ｘと呼ばれ得る。一例として示すために、第１のノズル１２ａ及び第５のノズル１２ｅは、個々の第１のノズル列２０ａの逐次のノズルと呼ばれ得る。同様に、第２のノズル１２ｂ及び第６のノズル１２ｆは、個々の第２のノズル列２０ｂの逐次のノズルと呼ばれ得る。従って、個々の列２０ａ−２０ｄのノズル１２ａ−１２ｘに関するノズルからノズル（ノズル間）の距離２４は、個々の列２０ａ−２０ｄの逐次のノズル１２ａ−１２ｘ間の距離を表すことができる。
同様に、図１の例は、他の例において具現化され得るノズル列の配列も示す。図示されたように、ノズル列間の距離２６（ノズル列からノズル列の距離と呼ばれ得る）は、少なくとも約１００μｍであることができる。幾つかの例において、ノズル列間の距離２６は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内であることができる。
図１において、線Ａ−Ａに沿った断面図３０が提供される。この例において図示されたように、それぞれのノズル（例示的な断面図３０は第１６のノズル１２ｐに関して提供される）に関して、流体吐出ダイ１０は更に、ノズル１２ｐに隣接して配列され且つノズル１２ｐに流体的に連通するように結合された流体吐出チャンバ３２を含む。ダイ１０は更に、流体吐出チャンバ３２に流体的に連通するように結合された少なくとも１つの流体供給穴３４を含む。従って、本明細書で企図された例において、流体は、流体供給穴３４を介して流体吐出チャンバ３２に流れることができ、流体は、流体吐出チャンバ３２からノズル１２ｐを介して吐出され得る。断面図３０により示されたように、流体吐出ダイ１０は、ノズル１２ｐが形成される表面の反対側の表面を貫通して形成された流体供給穴３４のアレイを含むことができる。
図１に関して理解され得るように、図示されたノズルの数量は、明確にするためである。流体吐出ダイの例は、より多い又はより少ないノズル列においてより多くのノズルを含むことができる。流体吐出ダイの幾つかの例において、ダイは、約２０００個から約６０００個のノズルを含むことができる。更に、係る例示的な流体吐出ダイの幾つかの例示的なノズル列は、列当たり約４０個から約３００個のノズルを含むことができる。
更に、幾つかの例において、個々のノズル列のノズル間の間隔（例えば、図１の第１のノズル１２ａと第５のノズル１２ｅとの間の距離）は、約５０μｍから約５００μｍであることができる。他の例において、個々のノズル列のノズル間の間隔は、少なくとも１００μｍであることができる。同様に、幾つかの例において、ノズル列間の間隔（例えば、図１の第１のノズル列２０ａと第２のノズル列２０ｂとの間の距離）は、約５０μｍから約５００μｍであることができる。幾つかの例において、ノズル列間の間隔は、少なくとも１００μｍであることができる。
更に、図１に示されるように、ノズル列は、一組のノズル列に関して、少なくとも１つのノズルがそれぞれのノズル位置（この場合、ノズル位置はダイの長さに沿った位置に対応する）に位置するようにオフセットした態様で配列され得る。従って、理解されるように、係る例において、隣接するノズル間の方位角（例えば、図１に示された方位角２２）は、異なるノズル列のノズルが一意のノズル位置に配列されるようにすることができる。言い換えれば、ダイの長さと幅にわたるノズルの斜めの配列は、異なるノズル列のノズルが隣接するノズルであり且つ異なるノズル列のノズルが共通のノズル位置に配置されないようにする。幾つかの例において、隣接するノズル間の方位角は、約１０°から約４５°であることができる。幾つかの例において、隣接するノズル間の方位角は、少なくとも２０°であることができる。他の例において、方位角は、約７５°未満であることができる。更に、個々のノズル列のノズルは、液滴吐出タイミングを調整するためにダイの幅に関してオフセットされ得る。従って、本明細書で示された例は、ノズルの整列した斜線および列を示すことができるが、他の例は、ダイの幅に沿ったオフセットを有するカラム状ノズルを含むことができる。幾つかの例において、個々の列（カラム）のノズルは、約５μｍから約３０μｍだけ幅に沿ってオフセットされ得る。
従って、ノズル間の間隔、ノズル列間の間隔、隣接するノズル間の方位角は、ノズル列がダイにわたってずらして配置された及びオフセットした態様で配列される。係る例において、ノズル間の間隔、ノズル列間の間隔、及び／又は隣接するノズル間の方位角は、吐出に関連して生じる気流を制御する係るノズルを介した液滴の吐出を容易にすることができる。
幾つかの例において、ノズルの列は、ダイの幅にわたって間隔をおいて配置されることができ、ノズルの列は、ダイの長さに沿ってずらして配置および／またはオフセットされ得る。幾つかの例において、異なるノズル列の少なくとも幾つかのノズルは、方位角に従ってずらして配置され得る。ノズル１２ａ−１２ｘ及びノズル列２０ａ−２０ｄの配列は、ずらして配置されたノズル列と呼ばれ得る。従って、本明細書で企図された例は、少なくとも４個ずらして配置されたノズル列を含むことができる。
図２は、例示的な流体吐出ダイ５０を提供する。図示されたように、ダイ５０は、ダイ長さ５４及びダイ幅５６に沿って配列された複数のノズル５２ａ−５２ｘを含む。前述されたように、ノズル位置はダイ長さ５４に沿った位置に対応し、この例において、ダイ５０は、第１のノズル位置における第１のノズル５２ａから第２４のノズル位置における第２４のノズル５２ｘを含む。例示的なダイ５０のノズル５２ａ−５２ｘは、一組の隣接するノズル（即ち、逐次のノズル位置を有するノズル）に関して、一組の隣接するノズルの少なくともサブセットが、ダイ５６の幅に沿った異なる位置に配置されるように配列される。例えば、第１のノズル５２ａ（第１のノズル位置にある）及び第２のノズル５２ｂ（第２のノズル位置にある）は、一組の隣接するノズルとみなされ得る。図示されたように、第１のノズル５２ａ及び第２のノズル５２ｂは、ダイ幅５６に関して間隔をおいて配置され、即ち第１のノズル５２ａ及び第２のノズル５２ｂは、流体吐出ダイ５０の幅に沿って異なるダイ幅の位置に配置される。
図２の例示的なダイ５０において、ノズル５２ａ−５２ｘは、第１のノズル列６０ａ及び第２のノズル列６０ｂに配列される。この例において、流体吐出ダイ５０は更に、ダイ５０の後面に形成されたリブ６４ａ、６４ｂ（破線で示される）のアレイを含む。図示されたように、リブ６４ａ、６４ｂのアレイは、例示的なダイ５０に関してノズル列６０ａ、６０ｂと整列される。線Ｂ−Ｂに沿った断面図７０が、リブ６４ａ、６４ｂ及び流体吐出ダイ５０の更なる特徴要素の構成に関する更なる詳細を提供する。それぞれのノズル５２ａ−５２ｘ（例示的な断面図において、第１６のノズル５２ｐが示される）に関して、流体吐出ダイ５０は更に、個々の流体吐出チャンバ７４に流体的に連通するように結合された個々の第１の流体供給穴７２ａ及び個々の第２の流体供給穴７２ｂを含む。それぞれの流体吐出チャンバ７４は更に、個々のノズル５２ｐに流体的に連通するように結合される。
図示されたように、流体吐出チャンバ７４は、第１の流体供給穴７２ａが個々のリブ６４ｂの第１の側に配置され且つ第２の流体供給穴７２ｂが個々のリブ６４ｂの第２の側に配置されるように、リブのアレイの個々のリブ６４ｂの上に配列される。リブ６４ａ、６４ｂのアレイは、ダイ５０にわたって流体循環チャネル８０、８２を形成することができる。従って、流体は、個々の第１の流体循環チャネル８０から個々の第１の流体供給穴７２ａを介して個々の流体吐出チャンバへ入力され得る。流体は、個々の流体吐出チャンバ７４から個々の第２の流体供給穴７２ｂを介して個々の第２の流体循環チャネル８２へ出力され得る。微小循環と呼ばれ得るこの流体の例示的な流れは、図２において破線で示される。図示されていないが、理解され得るように、流体は、個々のノズル５２ｐを介して流体滴として個々の流体吐出チャンバからも出力され得る。
図２の断面図７０において示されたように、それぞれのノズル５２ｐに関して、ダイ５０は更に、個々の流体吐出チャンバ７４に配置された個々の第１の流体アクチュエータ９０を含むことができる。個々の第１の流体アクチュエータ９０の付勢は、個々の流体吐出チャンバ７４からの流体滴の吐出をもたらすことができる。幾つかの例において、第１の流体アクチュエータ９０は、サーマル（熱）流体アクチュエータと呼ばれ得る熱抵抗器を用いた流体アクチュエータであることができる。ダイ５０は更に、個々の第２の流体アクチュエータ９２を含むことができる。個々の第２の流体アクチュエータ９２の付勢は、個々の流体吐出チャンバ７４から個々の第２の流体循環チャネル８２への流体の流れをもたらすことができる。従って、ノズル５２ａ−５２ｘは流体源に対して互いに流体的に連通するように結合されることができるが、リブ６４ａ、６４ｂは、吐出チャンバ７４へ入力される流体、及び吐出チャンバ７４から出力される流体を流体的に分離することができる。
例示的な断面図７０に示されていないが、理解され得るように、個々の第１の流体循環チャネル８０、リブのアレイの第１のリブ６４ａ及び第２のリブ６４ｂにより画定され得る表面も、ダイ５０の個々の流体吐出チャンバ全てに関して個々の第１の流体供給穴に流体的に連通するように結合され得る。従って、個々の第１の流体循環チャネル８０は、ダイ５０のノズル５２ａ−５２ｘに対する流体入力供給部であることができる。流体吐出チャンバ７４を介して循環される流体（例えば、断面図７０に示された例示的な流れ）は、個々の第１の流体循環チャネル８０から流体的に分離されることができ、それ故に第１のリブ６４ａ及び第２のリブ６４ｂを介して流体入力供給部から個々の吐出チャンバ７４まで流体的に分離され得る。
図３は、例示的な流体吐出ダイ１００のブロック図を提供する。この例において、ダイ１００は、ダイ長さ１０４及びダイ幅１０６に沿って配列された複数のノズル１０２ａ−１０２ｘを含む。特に、ノズル１０２ａ−１０２ｘは、１個のノズル１０２ａ−１０２ｘがダイ長さ１０４の各位置に配置され且つ隣接するノズル（例えば、第１のノズル１０２ａ、第２のノズル１０２ｂ、第３のノズル１０２ｃ；又は第４のノズル１０２ｄ及び第５のノズル１０２ｅ）がダイ幅１０６の異なる位置に配置されるように、配列される。この例において、ノズル１０２ａ−１０２ｘは、４個のノズル列１１０ａ−１１０ｄに配列される。
更に、図３の流体吐出ダイ１００は、リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイを含む。図３の例示的なダイ１００のような流体ダイの例において、各ノズル１０２ａ−１０２ｘのオリフィスは、流体吐出ダイ１００の前面に形成され得る。リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイは、流体吐出ダイ１００の、反対側の後面に配置され得る。前述されたように、リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイは、流体吐出ダイ１００の中を通る流体循環チャネル１１４、１１６ａ、１１６ｂを形成することができる。各ノズル１０２ａ−１０２ｘに関して、流体吐出ダイ１００は更に、個々の第１の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ、及び個々の第２の流体供給穴１２２ａ−１２２ｘを含む。この例において、各第１の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘは、流体循環チャネル１１４、１１６ａ、１１６ｂのアレイの第１の流体循環チャネル１１４に流体的に連通するように結合され得る。同様に、各第２の流体供給穴１２２ａ−１２２ｘは、第２の流体循環チャネル１１６ａ、１１６ｂに流体的に連通するように結合され得る。従って、この例において、流体吐出ダイは、ノズル１０２ａ−１０２ｘが形成される表面の反対側である、ダイ１００の表面を貫通して形成された流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ、１２２ａ−１２２ｘのアレイを含む。この例において、流体吐出ダイ１００は、それぞれの吐出チャンバ及びノズル１０２ａ−１０２ｘに対して２個の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ、１２２ａ−１２２ｘを含む。更に、図示されたように、流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ、１２２ａ−１２２ｘのアレイは、リブ１１２ａ、１１２ｂにも係合するダイ１００の表面を貫通して形成され得る。特に、ノズル１０２ａ−１０２ｘは、ダイ１００の上面を貫通して形成されることができ、流体供給穴１２２ａ−１２２ｘは、リブ１１２ａ、１１２ｂに隣接することができる、ダイ１００の底面を貫通して形成されることができ、当該底面は、流体チャネル１１４、１１６ａ、１１６ｂの内面を画定することができる。
この例において明確にするために示されていないが、流体ダイ１００は、それぞれのノズル１０２ａ−１０２ｘの下に配置された個々の流体吐出チャンバを含むことができ、流体吐出ダイ１００は更に、それぞれの流体吐出チャンバに配置された少なくとも１つの個々の流体アクチュエータを含むことができる。この例において図示されたように、各ノズル１０２ａ−１０２ｘ（及びその下に配置された個々の流体吐出チャンバ）は、個々の微小流体チャネル１２８により個々の第１の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ及び個々の第２の流体供給穴１２２ａ−１２２ｘに流体的に連通するように結合され得る。
理解され得るように、この例において、それぞれの第１の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘは、流体の入力であることができ、この場合、新鮮な流体が第１の流体循環チャネル１１４から供給され得る。同様に、それぞれの第２の流体供給穴は流体の出力であることができ、この場合、流体は、流体がノズル１０２ａ−１０２ｘを介して吐出されない際に第２の流体循環チャネル１１６ａ、１１６ｂに運ばれ得る。従って、幾つかの例において、流体は、個々の第１の流体供給穴１２０ａ−１２０ｘ及び第１の流体循環チャネル１１４から個々の微小流体チャネル１２８を介して、個々のノズル１０２ａ−１０２ｘと関連した個々の吐出チャンバへ入力され得る。流体滴は、個々の吐出チャンバに配置された少なくとも１つの流体アクチュエータの付勢により、個々のノズル１２ａ−１０２ｘを介して個々の吐出チャンバから吐出され得る。また、流体は、個々の流体吐出チャンバから微小流体チャネル１２８及び個々の第２の流体供給穴１２２ａ−１２２ｘを介して第２の流体循環チャネル１１６ａ、１１６ｂへも運ばれ（即ち、出力され）得る。この例において含まれていないが、図２の例に類似して、流体吐出ダイ１００は、各流体吐出チャンバを介した微小循環を容易にするために付勢され得る、各微小流体チャネル１２８に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータを含むことができる。幾つかの例において、少なくとも１つの流体アクチュエータは、流体を吐出チャンバ内へポンプ作用により送り込むために個々の第１の流体供給穴に近接して配置され得る。幾つかの例において、少なくとも１つの流体アクチュエータは、吐出チャンバから流体をポンピングするために個々の第２の流体供給穴に近接して配置され得る。
流体の入力から吐出チャンバを介して流体出力まで流体を運ぶことは、微小循環と呼ばれ得る。本明細書で説明される例に類似した流体吐出ダイ及び流体吐出デバイスの幾つかの例において、内部で使用される流体は、液体担体に懸濁された固形物質を含むことができる。係る流体の微小循環は、流体吐出チャンバにおける液体担体の係る固形物質の沈殿を低減することができる。一例として、プリントヘッドは、インク、液体トナー、３Ｄプリンタの薬剤、又は他の係る材料のような流体印刷材料を使用することができる。係る例示的なプリントヘッドにおいて、流体循環チャネル、リブのアレイ、及び微小循環チャネルの態様は、プリントヘッドの流体構造の全体にわたって流体印刷材料の移動を容易にするために具現化され、それにより印刷材料の液体担体における固形物質の懸濁を維持することができる。
さて、図４Ａから図４Ｅを参照すると、これらの図面は、隣接するノズルの各組に関して、各組の隣接するノズルの個々のサブセットがダイの幅に沿って異なるダイ幅の位置に配置されるように、ノズルがダイの長さ及び幅にわたって配列されている様々な例示的なノズル配列を有する例示的な流体吐出ダイの一部を提供する。更に、留意され得るように、これらの例において、個々の流体入力に対して、単一のノズルが各ノズル位置に配置され得る。
図４Ａにおいて、例示的な流体吐出ダイ２００が示される。図示されたように、ノズル２０２ａ−２０２ｘは、ダイの長さ及び幅に沿って配列される。この例において、ノズル２０２ａ−２０２ｘは、８個のノズル列２０４ａ−２０４ｈに配列される。この例において、第１のノズル列２０４ａは、第１のノズル２０２ａ、第９のノズル２０２ｉ、及び第１７のノズル２０２ｑを含むことができる。第２のノズル列２０４ｂは、第６のノズル２０２ｆ、第１４のノズル２０２ｎ、及び第２２のノズル２０２ｖを含むことができる。第３のノズル列２０４ｃは、第３のノズル２０２ｃ、第１１のノズル２０２ｋ、及び第１９のノズル２０２ｓを含むことができる。第４のノズル列２０４ｄは、第８のノズル２０２ｈ、第１６のノズル２０２ｐ、及び第２４のノズル２０２ｘを含むことができる。第５のノズル列２０４ｅは、第５のノズル２０２ｅ、第１３のノズル２０２ｍ、及び第２１のノズル２０２ｕを含むことができる。第６のノズル列２０４ｆは、第２のノズル２０２ｂ、第１０のノズル２０２ｊ、及び第１８のノズル２０２ｒを含むことができる。第７のノズル列２０４ｇは、第７のノズル２０２ｇ、第１５のノズル２０２ｏ、及び第２３のノズル２０２ｗを含むことができる。第８のノズル列２０４ｇは、第４のノズル２０２ｄ、第１２のノズル２０２ｌ、及び第２０のノズル２０２ｔを含むことができる。
この例において、第１のノズル２０２ａ、第２のノズル２０２ｂなどの指示は、ノズル位置と呼ばれ得る、ダイ２００の長さに沿ったノズルの位置を意味する。特に、図４Ａに示されたように、少なくとも１つのノズルが、ダイ２００の幅に沿って各ノズル位置に配置される。従って、ダイ２００の幅に沿った各ノズル位置に関して流体の流体滴吐出を行うために、この例の全ノズル２０２ａ−２０２ｘは、他のノズル２０２ａ−２０２ｘと流体的に連通するように結合され得る。
更に、この例において、ノズル列２０４ａ−２０４ｈは、ノズル列間の距離が一致しない場合があるように配列され得る。図示されたように、第１のノズル列２０４ａ及び第２のノズル列２０４ｂは、第１の距離２０６ａだけ間隔を置いて配置され得る。第２のノズル列２０４ｂ及び第３のノズル列２０４ｃは、第１の距離２０６ａと異なる第２の距離２０６ｂだけ間隔を置いて配置され得る。他のノズル列２０４ｃ−２０４ｈは同様に配列され得る。例えば、第３のノズル列２０４ｃと第４のノズル列２０４ｄとの間の間隔は、第１の距離２０６ａであることができ、第４のノズル列と第５のノズル列との間の間隔は、第２の距離２０６ｂであることができる。
図４Ｂは、４個のノズル列２５４ａ−２５４ｄにおいてダイ２５０の長さと幅に沿って配列された複数のノズル２５２ａ−２５２ｘを有する例示的な流体吐出ダイ２５０を示す。更に、図４Ｂにおいて、留意され得るように、ノズル２５２ａ−２５２ｘは、幾つかの隣接するノズルがそれらの間の異なる方位角を有することができるように配列され得る。例えば、例の第９のノズル２５２ｉ、第１０のノズル２５２ｊ及び第１１のノズル２５２ｋを参照すると、図示されたように、第９のノズル２５２ｉと第１０のノズル２５２ｊは、第１の方位角２５６でダイ２５０の長さと幅に沿って配列され得る。第１０のノズル２５２ｊと第１１のノズル２５２ｋは、第１の方位角２５６と異なる第２の方位角２５８でダイの長さと幅に沿って配列され得る。
図４Ｃは、２個のノズル列２７４ａ、２７４ｂにおいて流体吐出ダイ２７０の長さと幅に沿って配列された複数のノズル２７２ａ−２７２ｘを有する例示的な流体吐出ダイ２７０を示す。図４Ｃに示されるように、幾つかの例において、個々のノズル列２７４ａ、２７４ｂのノズル２７２ａ−２７２ｘは、異なる距離で隔置され得る。一例として示すために、及び図４Ｃを参照すると、ダイ２７０の第１のノズル列２７４ａの第９のノズル２７２ｉと第１０のノズル２７２ｊとの間の第１の距離２７６ａは、第１のノズル列２７４ａ内にある第２のノズル２７２ｂと第５のノズル２７２ｅとの間の第２の距離２７６ｂと異なることができる。共通のノズル列のノズルは、カラム状ノズルと呼ばれ得る。ノズル列において互いに隣接するノズルは、逐次カラム状ノズルと呼ばれ得る。例えば、第１のノズル２７２ａ及び第２のノズル２７２ｂは、逐次カラム状ノズルと呼ばれ得る。同様に、第２のノズル２７２ｂ及び第５のノズル２７２ｅは、逐次カラム状ノズルとみなされ得る。更に、第９のノズル２７２ｉ及び第１０のノズル２７２ｊは、逐次カラム状ノズルと呼ばれ得る。上記の例に戻ると、逐次カラム状ノズル２７２ｉ、２７２ｊ間の第１の距離２７６ａは、５０μｍ未満であることができ、逐次カラム状ノズル２７２ｂ、２７２ｅ間の第２の距離２７６ｂは、少なくとも１００μｍであることができる。別の例として、第１の距離は２５μｍ未満であることができ、第２の距離２７６ｂは約１００μｍから約４００μｍであることができる。更に、図４Ｃで表記されていないが、留意され得るように、隣接するノズル間の方位角は、例示的なダイ２７０のノズル２７２ａ−２７２ｘに関して異なる場合がある。例えば、幾つかの隣接するノズル対は、ほぼ直角である方位角で配列され得る（例えば、第１のノズル２７２ａと第２のノズル２７２ｂとの間の方位角）。他の隣接するノズル対は、鋭角である方位角で配列され得る（例えば、第２のノズル２７２ｂと第３のノズル２７２ｃとの間の方位角）。
線Ｃ−Ｃに沿った断面図２８０が図４Ｃに提供される。図示されたように、流体吐出ダイ２７０は、少なくとも２個のノズル２７２ｃ、２７２ｄに対する少なくとも１つの流体供給穴２８２を含むことができる。各ノズル２７２ｃ、２７２ｄは、流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂに流体的に連通するように結合されることができ、各流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂは、少なくとも１つの流体供給穴２８２に流体的に連通するように結合され得る。更に、他の例に類似して、ダイ２７０は、各流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂに配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ２８６を含むことができる。
図４Ｄにおいて、例示的な流体吐出ダイ３００は、２個のノズル列３０４ａ、３０４ｂにおいてダイ３００の長さと幅に沿って配列された複数のノズル３０２ａ−３０２ｘを含む。この例において、３個の隣接するノズル３０２ａ−３０２ｘのグループが、逐次カラム状ノズルであることができる。３個の隣接するノズルのグル−プは、３個のノズル３０２ａ−３０２ｘの各グループが隣の３個の隣接するノズルに対応するノズル３０２ａ−３０２ｘの個々のグループからダイ幅に沿って間隔をおいて配置されるように、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂにおいて交互に配列され得る。従って、図４Ｃの例に類似して、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂの少なくとも幾つかのノズル３０２ａ−３０２ｘは、第１の距離（寸法線３０６ａで示された一例）だけ隔置されることができ、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂの少なくとも幾つかのノズル３０２ａ−３０２ｘは、第２の距離（寸法線３０６ｂで示された一例）だけ隔置されることができ、この場合、第１の距離と第２の距離は異なることができる。
図４Ｅは、複数のノズル３５２ａ−３５２ｘが少なくとも３個のノズル列３５４ａ−３５４ｃにおいてダイ３５０の長さと幅に沿って配列されている例示的な流体吐出ダイ３５０を示す。従って、幾つかの例は、少なくとも３個のずらして配置されたノズル列を含むことができる。この例において、リブ３５６のアレイは、当該リブがダイ３５０の下側に配置されるので、破線で示されている。図示されたように、リブ３５６は、隣接するノズルの組が配列され得る斜線と整列され得る。
さて、図５Ａを参照すると、この図は、少なくとも４個のノズル列４０４ａ−４０４ｄにおいてダイ長さとダイ幅に沿って配列された複数のノズル４０２ａ−４０２ｘを含む例示的な流体吐出ダイ４００を提供する。この例において、一組の隣接するノズル４０２ａ−４０２ｘは、４個のノズルを含むことができる（例えば、第１の組の隣接するノズルは、第１のノズル４０２ａから第４のノズル４０２ｄであることができる）。更に、隣接するノズルのグループ内のノズルは、ダイの長さと幅に関して斜線４０６に沿って配列され得る。方位角４０８の一例が、第１のノズル４０２ａと第２のノズル４０２ｂとの間に提供され、この場合、方位角４０８は、隣接するノズルが配列され得る斜線４０６に対応することができる。幾つかの例において、隣接するノズル４０２ａ−４０２ｘが配列され得る斜線４０６は、ダイの長さに対して斜めであることができ、斜線４０６は、ダイの幅に対して斜めであることができる。例示的なダイ４００に類似する例において、各組の隣接するノズル（例えば、第１のノズル４０２ａから第４のノズル４０２ｄ；第５のノズル４０２ｅから第８のノズル４０２ｈなど）は、平行な斜線に沿って配列され得る。
図５Ｂは、図５Ａの視野線Ｄ−Ｄに沿った断面図４３０を提供し、図５Ｃは、視野線Ｅ−Ｅに沿った図５Ａの例示的なダイ４００の断面図４３１を提供する。この例において、ダイ４００は、流体循環チャネル４３４ａ−４３４ｂのアレイを画定するリブ４３２のアレイを含む。更に、図５Ｂの断面図４３０は、リブのアレイのリブ４３２及びそれらにより画定された流体循環チャネル４３４ａ−４３４ｂに関して第４のノズル４０２ｄ、第７のノズル４０２ｇ及び第１１のノズル４０２ｋの相対的な配置を示すために係るノズル４０２ｄ、４０２ｇ及び４０２ｋの破線の描写を含む。図５Ｃを参照すると、この図は、第２１のノズル４０２ｕ、第２２のノズル４０２ｖ、第２３のノズル４０２ｗ、及び第２４のノズル４０２ｘの破線の描写を含む。
更に、理解され得るように、断面図４３０が提示される視野線Ｄ−Ｄは、隣接するノズルの組が配列され得る斜線４０６にほぼ直角である。従って、第４のノズル４０２ｄ、第７のノズル４０２ｇ及び第１１のノズル４０２ｋがグループ化される隣接するノズルの組の他のノズルは、断面図４３０において図示されたノズルと整列され得る。同様に、理解され得るように、第１のノズル列４０４ａ、第２のノズル列４０４ｂ、第３のノズル列４０４ｃ、及び第４のノズル列４０４ｄの他のノズルは、図５Ｃの断面図４３１に示された例示的なノズル４０２ｕ−４０２ｘと整列され得る。
更に、破線で示されたように、それぞれのノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋ、４０２ｕ−４０２ｘは、個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘに流体的に連通するように結合され得る。図示されていないが、ダイ４００は、各流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘ内に少なくとも１つの流体アクチュエータを含むことができる。更に、それぞれの流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘは、個々の第１の流体供給穴４４０ａ−４４０ｃに流体的に連通するように結合されることができ、それぞれの流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘは、個々の第２の流体供給穴４４２ａ−４４２ｃ、４４２ｕ−４４２ｘに流体的に連通するように結合され得る。図５Ｃの断面図４３１において、第１の個々の流体供給穴は図示されていない。その理由は、第１の個々の流体供給穴が含まれないように断面図の線が配置されているからである。個々の流体吐出チャンバ４３８ｕ−４３８ｘに対する個々の第２の流体供給穴４４２ｕ−４４２ｘは、視野線から間隔をおいて配置され得るので、破線で示されている。
この例において、リブのアレイの各リブ４３２の上面４５０は、流体吐出チャンバ及び流体供給穴が少なくとも部分的に形成され得る基板４５４の底面４５２に隣接し且つ当該底面４５２と係合することができる。従って、基板の底面４５２は、流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂの内面を形成することができる。図５Ｂに示されたように、基板の底面４５２は、基板４５４の上面４５６の反対側にあることができ、この場合、基板４５４の上面４５６は、ノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋが形成され得るノズル層４６０に隣接することができる。この例において、流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘの一部は、基板４５４に形成された流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃの一部の上に配置されたノズル層４６０の表面により画定され得る。他の例において、吐出チャンバ、ノズル及び供給穴は、より多い又はより少ない層および基板に形成され得る。各リブ４３２の底面４６２は、インターポーザ４６６の上面４６４に隣接することができる。従って、この例において、流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂは、流体循環リブ４３２、基板４５４、及びインターポーザ４６６により画定され得る。従って、図５Ｂ、図５Ｃに示されたように、流体吐出ダイ４００は、流体吐出ダイ４００の底面４５２を貫通して形成された流体供給穴４４０ａ−４４０ｃ、４４２ａ−４４２ｃ、４４２ｕ−４４２ｘのアレイを含む。
図５Ａ−図５Ｃに例に類似した例において、流体循環チャネルは、流体吐出チャンバを介した流体の循環を容易にするように配列され得る。例において、個々の第１の流体供給穴４４０ａ−４４０ｃは、流体が個々の第１の流体循環チャネル４３４ａから個々の第１の流体供給穴４４０ａ−４４０ｃを介して個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘに運ばれ得るように、個々の第１の流体循環チャネル４３４ａに流体的に連通するように結合され得る。同様に、それぞれの第２の流体供給穴４４２ａ−４４２ｃ、４４２ｕ−４４２ｘは、流体が個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、４３８ｕ−４３８ｘから個々の第２の流体供給穴４４２ａ−４４２ｃ、４４２ｕ−４４２ｘを介して個々の第２の流体循環チャネル４３４ｂに運ばれ得るように、個々の第２の流体循環チャネル４３４ｂに流体的に連通するように結合され得る。個々の第１の流体循環チャネル４３４ａ及び個々の第２の流体循環チャネル４３４ｂは、流体の流れが供給穴４４０ａ−４４０ｃ、４４２ａ−４４２ｃ及び吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃを介して単に生じることができるように、ダイ４００の幾つかの部分に沿ってリブ４３２により流体的に分離され得る。
従って、個々の第１の流体循環チャネル４３４ａは、新鮮な流体が流体吐出チャンバ３４８ａ−４３８ｃに入力され得る流体入力チャネルに対応することができる。吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃに入力される一部の流体は、流体滴としてノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋを介して吐出され得る。しかしながら、吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃを介した循環を容易にするために、流体の一部は、吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃから、流体出力チャネルに対応することができる個々の第２の流体循環チャネル４３４ｂに戻るように運ばれ得る。
図５Ａ及び図５Ｂを参照すると、留意されるべきは、リブのアレイのリブ４３２、及びそれにより部分的に画定された流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂは、隣接するノズル４０２ａ−４０２ｘも配列される斜線４０６に平行であることができる。更に、図示されたように、この例において、隣接するノズルの組のノズル４０２ａ−４０２ｘの個々の第１の流体供給穴は、個々の流体循環チャネル４３４ａに共通に結合されることができ、隣接するノズルの組のノズル４０２ａ−４０２ｘの個々の第２の流体供給穴は、個々の流体循環チャネル４３４ｂに共通に結合されることができる。この例において、吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃ、第１の流体供給穴４４０ａ−４４０ｃ、及び第２の流体供給穴４４２ａ−４４２ｃの流体的構成は、リブのアレイの個々のリブ４３２を跨ぐものとして説明され得る。
例えば、図５Ｂに示されるように、第７のノズル４０２ｇに結合された個々の第１の流体供給穴４４０ｂ、第１１ノズル４０２ｋに結合された個々の第１の流体供給穴４４０ｃは、個々の第１の流体循環チャネル４３４ａに流体的に連通するように結合される。同様に、第４のノズル４０２ｄに結合された個々の第２の流体供給穴４４２ａ及び第７のノズル４０２ｇに結合された個々の第２の流体供給穴４４２ｂは、個々の第２の流体循環チャネル４３４ｂに流体的に連通するように結合される。隣接するノズル４０２ａ−４０２ｘが図５Ｂに示されるように個々のリブ４３２に沿ってノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋと整列されるので、隣接するノズルの図示された個々のノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋと関連する流体供給穴が同様に配列され得ることに留意されたい。
図５Ｂに示されるように、吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃは、個々のリブ４３２の上で基板内に配置されることができ、個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃに結合された流体供給穴４４０ａ−４４０ｃ、４４２ａ−４４２ｃは、個々の第１の流体供給穴４４０ａ−４４０ｃを介して個々の吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃに入力される流体が個々の第２の流体供給穴４４２ａ−４４２ｃを介して個々の吐出チャンバ４３８ａ−４３８ｃから出力される流体から流体的に分離され得るように、個々のリブ４３２の両側に配置され得る。
図５Ｂ、図５Ｃに示されるように、インターポーザ４６６の上面４６４は、流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂの表面を形成することができる。更に、インターポーザ４６６は、ダイ流体入力４８０及びダイ流体出力４８２がインターポーザ４６６及び／又は基板４５４により少なくとも部分的に画定され得るように、基板４５４及びリブ４３２に対して配置され得る。係る例において、ダイ流体入力４８０は、流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂに流体的に連通するように結合されることができ、ダイ流体出力４８２は流体循環チャネル４３４ａ、４３４ｂに流体的に連通するように結合され得る。
図６は、複数のノズルが流体吐出ダイ５００の長さと幅に沿って配列されている例示的な流体吐出ダイ５００の図を提供する。この例において、ノズルは、ずらして配置されたノズル列と呼ばれ得る８個のノズル列５０２ａ−５０２ｈへ配列される。従って、本明細書の幾つかの例は、少なくとも８個の、ずらして配置されたノズル列を含むことができる。留意され得るように、ノズルは明確化のために図６に表記されていない。図７は、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８、及び第２の複数のノズル５５４１−５５４４８が流体吐出ダイ５５０の長さと幅に沿って配列されている例示的な流体吐出ダイ５５０の図を提供する。この例において、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、第１の組のノズル列５５６ａ−５５６ｈに配列され、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８は第２の組のノズル列５５８ａ−５５８ｈに配列される。従って、幾つかの例は、少なくとも１６個の、ずらして配置されたノズル列を含むことができる。幾つかの係る例において、例示的なダイは、少なくとも８個の、ずらして配置されたノズル列からなる第１の組、及び少なくとも８個の、ずらして配置されたノズル列からなる第２の組を含むことができる。
この例において、ダイ５５０は、流体循環チャネルの第１のアレイを画定するリブ５６０の第１のアレイを含むことができ、ダイ５５０は更に、流体循環チャネルの第２のアレイを画定するリブ５６２の第２のアレイを含むことができる。図７において、リブ５６０、５６２のアレイは、当該アレイがノズル５５２１−５５２４８、５５４１−５５４４８、及び対応する流体吐出チャンバ（図示せず）の下に配置されるので、破線で示される。更に、リブ５６０の第１のアレイは、第１のインターポーザ５７０に隣接して配置されることができ、当該第１のインターポーザが流体循環チャネルの第１のアレイの表面を形成するようになっている。リブ５６２の第２のアレイは、第２のインターポーザ５７２に隣接して配置されることができ、当該第２のインターポーザ５７２が流体循環チャネルの第２のアレイの表面を形成するようになっている。留意され得るように、この例において、リブ５６０、５６２のアレイ、流体循環チャネル、及びインターポーザ５７０、５７２の構成は、図５Ａ−図５Ｃに示された例示的なダイ４００に関して類似する要素の構成に類似することができる。従って、図示されていないが、図５Ａ−図５Ｃの例に類似して、図７の例は、複数のノズル５５２１−５５２４８、５５４１−５５４４８のそれぞれに対する各インターポーザ５７０、５７２により少なくとも部分的に画定された個々のダイ流体入力および個々のダイ流体出力を含むことができる。
更に、この例において、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、ノズルの斜めに配列された隣接する組へ配列され得る。例えば、第１の複数のノズルの第１から第８のノズル５５２１−５５２８は、斜めに配列された隣接するノズルの組とみなされ得る。図示されたように、リブ５６０（及びそれにより画定された流体循環チャネルのアレイ）は、ノズルの斜めに配列された隣接する組と整列され得る。第２の複数のノズル５５４１−５５４４８及びリブ５６２の第２のアレイのリブは同様に、ダイ５５０の長さと幅に対して平行な斜線に沿って配列され得る。
更に、図７の例において、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８（及びそれと関連する流体吐出チャンバ）は、第１の流体タイプに対応することができ、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８（及びそれと関連する流体吐出チャンバ）は、第２の流体タイプに対応することができる。例えば、図７の流体吐出ダイ５５０がプリントヘッドの形態である場合、第１の複数の流体ノズル５５２１−５５２４８は、第１の着色剤（例えば、第１のインク色）に対応することができ、第２の複数の流体ノズル５５４１−５５４４８は、第２の着色剤（例えば、第２のインク色）に対応することができる。別の例として、図７の流体吐出ダイ５５０が積層造形システム（例えば、三次元プリンタ）で具現化される流体吐出ダイの形態の場合、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、融剤に対応することができ、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８は、ディーテイリング剤に対応することができる。従って、この例に関連して図示および説明されたように、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、互いに流体的に連通するように結合されることができ、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８は、互いに流体的に連通するように結合されることができる。従って、幾つかの例において、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８から流体的に分離され得る。他の例において、第１の複数のノズル５５２１−５５２４８は、第２の複数のノズル５５４１−５５４４８に流体的に連通するように結合され得る。図８は、例示的な流体吐出ダイ６００のブロック図を提供する。この例において、流体吐出ダイは、流体吐出ダイ６００の長さと幅にわたって分散された複数のノズル６０２を含み、隣接するノズルの少なくとも１つの個々の対が、流体吐出ダイ６００の幅に沿った異なるダイ幅位置に配置されるようになっている。前述されたように、ノズル６０２は、流体滴が吐出され得るノズル６０２が形成される層の表面上に形成されたノズルオリフィス６０４を含むことができる。ダイ６００は更に、個々のノズル６０２に関して、ノズル６０２に流体的に連通するように結合された個々の吐出チャンバ６０６を含む複数の吐出チャンバ６０６を含む。流体吐出ダイ６００は更に、各吐出チャンバ６０６に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ６０８を含む。流体吐出ダイ６００は更に、ノズル６０２が形成される表面の反対側の、ダイ６００の表面に形成された流体供給穴６０９のアレイを含む。この例において、ダイ６００の流体供給穴６０９のアレイは、各吐出チャンバ６０６に流体的に連通するように結合された少なくとも１つの個々の流体供給穴６１０を含む。
図９は、例示的な流体吐出デバイス６５０のブロック図を提供する。図示されたように、流体吐出デバイス６５０は、少なくとも１つの流体供給チャネル６５３が形成され得る支持構造体６５２を含む。流体吐出デバイス６５０は少なくとも１つの流体吐出ダイ６５４を含み、この場合、少なくとも１つの流体吐出ダイ６５４は、ダイ６５４の長さとダイ６５４の幅にわたって分散された複数のノズル６５５を含むことができ、各ノズル６５５は、流体滴が吐出され得るノズルオリフィス６５６を含む。更に、ダイ６５４は、複数の吐出チャンバ６５７を含むことができ、この場合、個々のノズル６５５のそれぞれに関して、ダイ６５０は、個々の流体吐出チャンバ６５７、及び内部に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ６５８を含む。流体吐出ダイ６５４は更に、流体供給穴のアレイ６５９を含み、この場合、流体供給穴のアレイ６５９は、それぞれの流体吐出チャンバ６５７に流体的に連通するように結合された個々の第１の流体供給穴６６０及び個々の第２の流体供給穴６６２を含む。それぞれの第１の流体供給穴６６０は、個々の第１の流体循環チャネル６６４に流体的に連通するように結合され、それぞれの第２の流体供給穴は、個々の第２の流体循環チャネル６６８に流体的に連通するように結合され得る。第１の流体循環チャネル６６４及び第２の流体循環チャネル６６８は、少なくとも１つの流体供給チャネル６５３に流体的に連通するように結合され得る。従って、流体吐出デバイス６５０に関して、少なくとも１つの流体供給チャネル６５３、流体循環チャネル６６４、６６８、流体供給穴６６０、６６２、吐出チャンバ６５７、及びノズル６５５は、互いに流体的に連通するように結合され得る。
図１０Ａは、流体吐出デバイス７００の例示的なレイアウトを示すブロック図を提供する。この例において、流体吐出デバイス７００は、流体吐出デバイス７００の支持構造体７０６の幅７０４に沿って配列された複数の流体吐出ダイ７０２ａ−７０２ｅを含む。この例において、複数の流体吐出ダイ７０２ａ−７０２ｅは、支持構造体７０６の幅７０４に沿って千鳥に配置された態様で端から端まで配列される。更に、破線で示されるように、第１の流体供給チャネル７０８ａ及び第２の流体供給チャネル７０８ｂが、支持構造体７０６の幅７０４に沿って支持構造体７０６を貫通して形成され得る。第１の組の流体吐出ダイ７０２ａ−７０２ｃは、概して端から端まで配列され且つ第１の流体供給チャネル７０８ａに流体的に連通するように結合されることができ、第２の組の流体吐出ダイ７０２ｄ−７０２ｅは、概して端から端まで配列され且つ第２の流体供給チャネル７０８ｂに流体的に連通するように結合され得る。
図１０Ａの詳細図７２０は、例示的な流体吐出デバイス７００の流体吐出ダイ７０２ａ−７０２ｅの幾つかの構成要素を示すブロック図を提供する。本明細書で説明された他の例に類似して、図１０Ａの例において、流体吐出ダイ７０２ｄは、ダイ７０２の長さと幅に沿って分散された複数のノズル７２２を含むことができ、複数のノズルの個々のノズルの少なくとも１つの隣接するノズルは、ダイ７０２の幅に沿って間隔をおいて配置されるようになっている。この例において、各ノズル７２２は、個々の吐出チャンバ７２４に流体的に連通するように結合され、各吐出チャンバ７２４は、少なくとも１つの供給穴７２６に流体的に連通するように結合される。各流体供給穴７２６は、個々の流体循環チャネル７２８に流体的に連通するように結合され得る。流体循環チャネル７２８は、リブ７３０のアレイにより画定される。例示的なダイ７０２ｄの流体循環チャネル７２８は、第２の流体供給チャネル７０８ｂに流体的に連通するように結合され得る。従って、この例において、ノズル７２２は、吐出チャンバ７２４、供給穴７２６、及び流体循環チャネル７２８を介して第２の流体供給チャネル７０８ｂに流体的に連通するように結合され得る。
図１０Ｂは、図１０Ａの視野線Ｆ−Ｆに沿った断面図７５０を提供する。この例において、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは、支持構造体７０４に少なくとも部分的に埋め込まれ得る。この例において留意され得るように、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅの上面は、支持構造体７０６の上面とほぼ一平面内にあることができる。他の例において、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは、支持構造体７０６の表面に結合され得る。この例において、各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは、ノズル、吐出チャンバ、及び流体供給穴７２２−７２６（明確化のために図１０Ｂにおいてまとめて表記される）を含む。図１０Ｂにおいて、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは、図５Ａ−図５Ｃの例示的な流体吐出ダイ４００に類似することができる。従って、ダイ７０２は、流体循環チャネル７２８を画定するインターポーザ７５２及びリブ７３０を含むことができる。図示されたように、各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅのインターポーザ７５２は、流体が流体供給チャネル７０８ａ−７０８ｂから各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅの流体循環チャネル７２８へ流れることができるダイ流体入力７６２及びダイ流体出力７６４を少なくとも部分的に画定する。
更に、図１０Ｂに示されたように、流体吐出デバイス７５０は、流体供給チャネル７０８ａ、７０８ｂに配置された流体分離部材７８０を含むことができる。係る例において、流体分離部材７８０は、インターポーザ７５２に係合することができる。流体分離部材は、流体チャネル７０８ａ、７０８ｂにおいてダイ流体入力７６２及びダイ流体出力７６４を流体的に分離することができる。幾つかの例において、流体分離部材７８０による流体チャネル７０８ａ、７０８ｂの分離は、ダイ流体入力７６２及びダイ流体出力７６４の間に圧力差を印加することを容易にすることができ、この場合、係る圧力差は、流体循環チャネル７２８のアレイを介して交差ダイ流体循環をもたらすことができる。
図１１は、例示的な流体吐出デバイス８００の断面図を提供する。この例において、流体吐出デバイス８００は、支持構造体８０４に結合された流体吐出ダイ８０２を含む。この例において、流体吐出ダイ８０２は、図７の例示的な流体吐出ダイ５５０に類似することができる。従って、流体吐出ダイ８０２は、第１の複数のノズル８０６、対応する吐出チャンバ、及び対応する流体供給穴を含み、それらは明確化のために当該例においてまとめて表記される。ダイは更に、第２の複数のノズル８１０、対応する吐出チャンバ、及び対応する流体供給穴を含み、それらは明確化のために全てまとめて表記される。
例示的なダイ８０２は更に、第１のインターポーザ８１０及び第１の複数のノズル８０６の下に配置されたリブ８１２の第１のアレイを含み、第１のインターポーザ８１０及びリブ８１２の第１のアレイが、流体循環チャネル８１４の第１のアレイを形成するようになっている。流体吐出デバイス８００は、支持構造体８０４を貫通して形成され且つ流体吐出ダイ８０２の第１のダイ流体入力８１８及び第１のダイ流体出力８２０に流体的に連通するように結合された第１の流体供給チャネル８１６を含む。図示されたように、第１のダイ流体入力８１８及び第１のダイ流体出力８２０は、流体循環チャネル８１４の第１のアレイに流体的に連通するように結合される。
更に、例示的なダイ８００は、第２のインターポーザ８２２及び第２の複数のノズル８０８の下に配置されたリブ８２４の第２のアレイを含み、第２のインターポーザ８２２及びリブ８２４の第２のアレイが、流体循環チャネル８２６の第２のアレイを形成するようになっている。流体吐出デバイス８００は、支持構造体８０４を貫通して形成され且つ第２のダイ流体入力８３０及び第２のダイ流体出力８３２に流体的に連通するように結合された第２の流体供給チャネル８２８を含む。図示されたように、第２のダイ流体入力８３０及び第２のダイ流体出力８３２は、流体循環チャネル８２６の第２のアレイに流体的に連通するように結合される。
図１１に示されたように、第１の複数のノズル８０６及びそれに流体的に連通するように結合された対応する流体構成要素（例えば、吐出チャンバ、流体供給穴、流体循環チャネルなど）は、第２の複数のノズル８０８及びそれに流体的に連通するように結合された対応する流体構成要素から流体的に分離され得る。従って、異なるタイプの流体が、第１の複数のノズル８０６及び第２の複数のノズル８０８から吐出され得る。例えば、流体吐出デバイスがプリントヘッドの形態である場合、第１の流体供給チャネル８１６は、第１の色の印刷材料を第１の複数のノズル８０６に運ぶことができ、第２の流体供給チャネル８２８は、第２の色の印刷材料を第２の複数のノズル８０８に運ぶことができる。更に、１個の流体吐出ダイ８０２のみが図１１の例示的な流体吐出デバイスに示されるが、他の例示的な流体吐出デバイスは、より多くの流体吐出ダイ８０２を含むことができる。例えば、例示的な流体吐出デバイスは、図１１の流体吐出ダイ８０２に類似した複数の流体吐出ダイを含むことができ、この場合、当該複数の流体吐出ダイは、図１０Ａに示された例示的な構成に類似して、流体吐出デバイスの支持構造体の幅に沿って千鳥に配置された態様で概して端から端まで配列され得る。
更に、図１１において、図１１の流体吐出デバイス８００は、流体供給チャネル８１６、８２８に配置され且つインターポーザ８１０、８２２に係合する流体分離部材８４０を含む。係る例において、流体分離部材８４０は、流体供給チャネル８１６、８２８においてダイ流体入力８１８、８３０及びダイ流体出力８２０、８３２を流体的に分離することができる。流体チャネル８１６、８２８においてダイ流体入力８１８、８３０及びダイ流体出力８２０、８３２を流体的に分離することにより、ダイ８０２の流体循環チャネル８１４、８２６のアレイを介した流体の流れは、ダイ流体入力８１８、８３０とダイ流体出力８２０、８３２との間に圧力差を印加することによりもたらすことができる。
従って、本明細書で提供される例は、少なくとも幾つかのノズルが流体吐出ダイの長さと幅に沿って分散することができるノズル配列を含む流体吐出ダイを提供することができる。幾つかの例は、ノズル列が図１に示された例に類似してずらして配置された態様で流体吐出ダイの幅に沿って間隔をおいて配置され得るノズルの配列を含むことができる。他の例において、流体吐出ダイは、図４Ｃ及び図４Ｄに示された例に類似して、幾つかの隣接するノズルが個々のノズル列において整列され得るが、他の隣接するノズルは、他の隣接するノズルが少なくとも１つの異なるノズル列に存在するように間隔をおいて配置され得るノズル配列を含むことができる。他の例は、本明細書で説明された例示的なノズル配列の様々な組み合わせを含むことができる。
更に、本明細書で説明された及び図面に示されたノズル及び他の構成要素の数と配列（構成）は、例示のためだけである。上述されたように、本明細書により企図された幾つかの例示的な流体吐出ダイは、ノズル列毎に少なくとも４０個のノズルを含むことができる。幾つかの例において、流体吐出ダイは、ノズル列毎に少なくとも１００個のノズルを含むことができる。更に他の例において、幾つかの流体吐出ダイは、列毎に少なくとも２００個のノズルを含むことができる。幾つかの例において、各ノズル列は、ノズル列毎に４００個未満のノズルを含むことができる。幾つかの例において、各ノズル列は、ノズル列毎に２５０個未満のノズルを含むことができる。同様に、幾つかの例は、例示的な流体吐出ダイ上に５００個を超えるノズルを含むことができる。幾つかの例は、例示的な流体吐出ダイ上に少なくとも１０００個より多いノズルを含むことができる。幾つかの例は、流体吐出ダイ上に少なくとも１２００個のノズルを含むことができる。幾つかの例において、流体吐出ダイは、少なくとも２４００個のノズルを含むことができる。幾つかの例において、流体吐出ダイは、２４００個未満のノズルを含むことができる。
上述された及び本明細書で提供された様々な図面において示されたように、本明細書で説明されたようなノズルの配列は、流体滴の吐出に起因して生じた空気力学的効果が低減および／または制御され得るように、幾つかの寸法的関係に従うことができる。幾つかの例において、隣接するノズルの少なくとも一対は、少なくとも約５０μｍだけ流体吐出ダイの幅に沿って隔置され得る。幾つかの例において、少なくとも１つの隣接するノズル対は、少なくとも１００μｍだけ流体吐出ダイの幅に沿って隔置され得る。幾つかの例において、個々の隣接するノズル対の２個の個々のノズル間の、流体吐出ダイの幅に沿った個々の距離は、約１００μｍから１２００μｍの範囲内にあることができる。
同様に、幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２個の逐次のノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、少なくとも約５０μｍであることができる。幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２個の逐次のノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、少なくとも約１００μｍであることができる。幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２個の逐次のノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内にあることができる。幾つかの例において、ノズル間の係る距離は、異なる隣接するノズル対および／または個々の列の逐次のノズル間で異なることができる。
更に、本明細書により企図された例において、流体吐出ダイは、本明細書で説明された例より多いノズル列または少ないノズル列を含むことができる。例において、少なくとも３個のノズル列が互いに流体的に連通するように結合されて、係るノズル列のノズルが特定の流体の液滴を吐出することができるようになっている。例えば、幾つかの流体吐出ダイは、ダイの幅に沿って隔置された少なくとも４個のノズル列を含むことができ、この場合、ノズルは、ノズル列のノズルが特定の流体の液滴を吐出することができるように、流体的に連通するように結合され得る。本明細書により企図された幾つかの例は、特定の流体が１６個のノズル列のノズルにより吐出され得るように、流体的に連通するように結合された少なくとも１６個のノズル列を含むことができる。係る例において、ノズル列間の距離は、少なくとも１００μｍであることができる。幾つかの例において、ノズル列間の距離は少なくとも２００μｍであることができる。幾つかの例において、ノズル列間の距離は、約２００μｍから約１２００μｍの範囲内にあることができる。
更に、幾つかの例において、各ノズル列は、ダイの長さの１インチ当たり約５０個のノズルから約２００個のノズルを含むことができる。幾つかの例において、各ノズル列は、ダイの長さの１インチ当たり２５０個未満のノズルを含むことができる。本明細書で企図された幾つかの例において、逐次カラム状ノズルのノズル間の間隔は、ノズル列間の間隔より大きくすることができる。他の例において、逐次カラム状ノズルのノズル間の間隔は、ノズル列間の間隔より小さくすることができる。
前述の説明は、説明される原理の例を例示および説明するために提供された。この説明は、網羅的にする又は開示された何らかの全く同一の形態にこれら原理を制限することは意図されていない。多くの変更態様および変形態様が説明に鑑みて可能である。更に、様々な例が本明細書で説明されるが、要素および／または要素の組み合わせは、本明細書により企図された様々な例のために組み合わされ得る及び／又は取り除かれ得る。例えば、図１〜図１１の例に示された構成要素は、他の図面の何れかに対して追加され得る及び／又は取り除かれ得る。更に、値に関連して使用される場合の用語「約」は、±１０％の範囲に対応する場合がある。角度方向に関連して使用される場合の「約」は、約±１０°の範囲に対応する場合がある。従って、本明細書において図面に提供された及び説明された上記の例は、特許請求の範囲において定義される本開示の範囲の制限として解釈されるべきでない。

Claims (15)

  1. 流体吐出デバイスであって、
    貫通して形成された少なくとも１つの流体供給チャネルを有する支持構造体と、
    前記支持構造体に結合された少なくとも１つの流体吐出ダイとを含み、前記少なくとも１つの流体吐出ダイのそれぞれの流体吐出ダイがダイ長さ及びダイ幅を有し、それぞれの流体吐出ダイは、
    前記ダイ長さ及び前記ダイ幅に沿って少なくとも２個のノズル列に配列された複数のノズルであって、前記複数のノズルは、隣接するノズルの組が前記少なくとも２個のノズル列の個々のノズル列に交互に千鳥に配置されるように配列された、複数のノズルと、
    前記複数のノズルのそれぞれのノズルに流体的に連通するように結合された個々の吐出チャンバを含む複数の流体吐出チャンバと、
    それぞれの吐出チャンバに流体的に連通するように結合され且つ前記支持構造体を貫通して形成された少なくとも１つの流体供給チャネルに流体的に連通するように結合された少なくとも１つの個々の流体供給穴を含む流体供給穴のアレイとを含む、流体吐出デバイス。
  2. 前記少なくとも２個のノズル列の個々のノズル列における少なくとも幾つかの逐次カラム状ノズルは、異なる距離で隔置される、請求項１に記載の流体吐出デバイス。
  3. 個々のノズル列において、第１の逐次カラム状ノズル間の第１の距離は、第２の逐次カラム状ノズル間の第２の距離と異なり、（i）前記第１の距離は５０μｍ未満であり、前記第２の距離は少なくとも１００μｍであり、又は（ii）前記第１の距離は２５μｍ未満であり、前記第２の距離は約１００μｍから約４００μｍの範囲内である、請求項２に記載の流体吐出デバイス。
  4. 前記少なくとも２個のノズル列のノズル列間の距離は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内である、請求項１〜３の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  5. 前記隣接するノズルの組のそれぞれは、２個の隣接するノズル又は３個の隣接するノズルを含む、請求項１〜４の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  6. 前記少なくとも１つの流体吐出ダイは、概して端から端まで千鳥に配置された態様で前記支持構造体の長さに沿って配列された複数の流体吐出ダイを含む、請求項１〜５の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  7. 前記少なくとも１つの流体供給チャネルは、貫通して形成された少なくとも２個の流体供給チャネルを含み、前記複数の流体吐出ダイは、端から端まで配列され且つ前記少なくとも２個の流体供給チャネルの第１の流体供給チャネルに流体的に連通するように結合された第１の組の流体吐出ダイを含み、前記複数の流体吐出ダイは、端から端まで配列され且つ前記少なくとも２個の流体供給チャネルの第２の流体供給チャネルに流体的に連通するように結合された第２の組の流体吐出ダイを含む、請求項６に記載の流体吐出デバイス。
  8. 前記それぞれの吐出チャンバに流体的に連通するように結合された少なくとも１つの個々の流体供給穴は、前記それぞれの吐出チャンバに流体的に連通するように結合された第１の個々の流体供給穴を含み、前記それぞれの吐出チャンバに流体的に連通するように結合された少なくとも１つの個々の流体供給穴は、前記それぞれの吐出チャンバに結合された第２の個々の流体供給穴を含み、前記少なくとも１つの流体吐出ダイのそれぞれの流体吐出ダイは更に、
    流体循環チャネルのアレイを画定する、前記それぞれの流体吐出ダイにおけるリブのアレイを含み、前記流体循環チャネルのアレイは、前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルに流体的に連通するように結合され、
    前記第１の個々の流体供給穴は、個々の第１の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合され、前記第２の個々の流体供給穴は、個々の第２の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合される、請求項１〜６の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  9. 前記少なくとも１つの流体吐出ダイの前記複数のノズルが第１の複数のノズルであり、前記第１の複数のノズルが互いに流体的に連通するように結合され、前記少なくとも１つの流体吐出ダイは更に、
    前記ダイ長さおよび前記ダイ幅に沿って配列された第２の複数のノズルを含み、前記第２の複数のノズルは、隣接するノズルの少なくとも１つの個々の対が前記流体吐出ダイの幅に沿った異なるダイ幅位置に配置されるように、配列され、前記第２の複数のノズルは互いに流体的に連通するように結合されている、請求項１〜６の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  10. 流体吐出デバイスであって、
    貫通して形成された少なくとも１つの流体供給チャネルを有する支持構造体と、
    複数の流体吐出ダイとを含み、前記複数の流体吐出ダイのそれぞれは、
    ずらして配置された態様でダイ長さ及びダイ幅に沿って少なくとも４個のノズル列に配列された複数のノズルであって、前記複数のノズルのノズルは、前記複数のノズルの４個の隣接するノズルの個々の組のそれぞれのノズルが前記少なくとも４個のノズル列の異なる個々のノズル列に配列されるように配列され、前記少なくとも４個のノズル列の第１のノズル列および前記第１のノズル列に隣接する第２のノズル列が、第１の距離だけ間隔を置いて配置され、前記少なくとも４個のノズル列の前記第２のノズル列および前記第２のノズル列に隣接する第３のノズル列が、第１の距離とは異なる第２の距離だけ間隔を置いて配置される、複数のノズルと、
    前記流体吐出ダイのそれぞれにおいて流体循環チャネルのアレイを画定する、リブのアレイであって、前記流体循環チャネルのアレイは、前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルに流体的に連通するように結合される、リブのアレイと、
    それぞれのノズルに流体的に連通するように結合された個々の第１の流体供給穴および個々の第２の流体供給穴を含む流体供給穴のアレイとを含み、それぞれの第１の流体供給穴は、前記流体循環チャネルのアレイの個々の第１の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合され、それぞれの第２の流体供給穴は、前記流体循環チャネルのアレイの個々の第２の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合される、流体吐出デバイス。
  11. 流体吐出デバイスであって、
    貫通して形成された少なくとも１つの流体供給チャネルを有する支持構造体と、
    複数の流体吐出ダイとを含み、前記複数の流体吐出ダイのそれぞれは、
    ずらして配置された態様でダイ長さ及びダイ幅に沿って少なくとも４個のノズル列に配列された複数のノズルであって、前記複数のノズルのノズルは、前記複数のノズルの４個の隣接するノズルの個々の組のそれぞれのノズルが前記少なくとも４個のノズル列の異なる個々のノズル列に配列されるように配列され、前記流体吐出ダイの前記長さに沿った４個の隣接するノズルの個々の組の第１、第２、第３及び第４のノズルが、前記少なくとも４個のノズル列の第１、第３、第２及び第４のノズル列にそれぞれ配置される、複数のノズルと、
    前記流体吐出ダイのそれぞれにおいて流体循環チャネルのアレイを画定する、リブのアレイであって、前記流体循環チャネルのアレイは、前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルに流体的に連通するように結合される、リブのアレイと、
    それぞれのノズルに流体的に連通するように結合された個々の第１の流体供給穴および個々の第２の流体供給穴を含む流体供給穴のアレイとを含み、それぞれの第１の流体供給穴は、前記流体循環チャネルのアレイの個々の第１の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合され、それぞれの第２の流体供給穴は、前記流体循環チャネルのアレイの個々の第２の流体循環チャネルに流体的に連通するように結合される、流体吐出デバイス。
  12. 前記４個の隣接するノズルの個々の組の前記第１と第２のノズルとの間の第１の方位角は、前記４個の隣接するノズルの個々の組の前記第２と第３のノズルとの間の第２の方位角とは異なる、請求項１１に記載の流体吐出デバイス。
  13. 前記複数の流体吐出ダイのそれぞれは更に、
    前記流体循環チャネルのアレイの表面を形成するインターポーザを含み、前記インターポーザは、前記流体循環チャネルのアレイ及び前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルが流体的に連通するように結合されるダイ流体入力を流体的に画定し、前記インターポーザは更に、前記流体循環チャネルのアレイ及び前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルが流体的に連通するように結合されるダイ流体出力を画定する、請求項１０〜１２の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
  14. 前記４個の隣接するノズルの個々の組は、前記ダイ長さ及び前記ダイ幅に対する個々の斜線に沿って整列され、前記リブのアレイは前記個々の斜線に平行に配列される、請求項１０又は請求項１０に従属する請求項１３に記載の流体吐出デバイス。
  15. 前記複数の流体吐出ダイは、第１の組の流体吐出ダイ及び第２の組の流体吐出ダイにおいて前記支持構造体の長さに沿って千鳥に配置された態様で概して端から端まで配列され、前記支持構造体を貫通して形成された前記少なくとも１つの流体供給チャネルは、前記支持構造体を貫通して形成された第１の流体供給チャネル及び前記支持構造体を貫通して形成された第２の流体供給チャネルを含み、前記第１の組の流体吐出ダイは、前記第１の流体供給チャネルに流体的に連通するように結合され、前記第２の組の流体吐出ダイは、前記第２の流体供給チャネルに流体的に連通するように結合される、請求項１０〜１４の何れか１項に記載の流体吐出デバイス。
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