JP6969465B2 - 目標開度推定器および圧力調整真空バルブ - Google Patents
目標開度推定器および圧力調整真空バルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6969465B2 JP6969465B2 JP2018052100A JP2018052100A JP6969465B2 JP 6969465 B2 JP6969465 B2 JP 6969465B2 JP 2018052100 A JP2018052100 A JP 2018052100A JP 2018052100 A JP2018052100 A JP 2018052100A JP 6969465 B2 JP6969465 B2 JP 6969465B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening degree
- pressure
- opening
- target
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
- G05D16/202—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means actuated by an electric motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/046—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor with electric means, e.g. electric switches, to control the motor or to control a clutch between the valve and the motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
- F16K3/06—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members in the form of closure plates arranged between supply and discharge passages
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
- F16K37/0083—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring valve parameters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
- F16K37/0091—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring fluid parameters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/024—Controlling the inlet pressure, e.g. back-pressure regulator
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/14—Control of fluid pressure with auxiliary non-electric power
- G05D16/16—Control of fluid pressure with auxiliary non-electric power derived from the controlled fluid
- G05D16/163—Control of fluid pressure with auxiliary non-electric power derived from the controlled fluid using membranes within the main valve
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/208—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using a combination of controlling means as defined in G05D16/2013 and G05D16/2066
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
さらに好ましい態様では、前記相関関係は、開度変化に対する圧力応答特性を表す相関関係である。
さらに好ましい態様では、前記相関関係は、前記真空チャンバの圧力をP、前記真空チャンバの圧力の変化をΔP、前記弁体の開度の変化をΔθとしたときに、式「|(ΔP/Δθ)|/P」で表される量である。
さらに好ましい態様では、現在の開度に開度増分を加算した加算後開度と前記相関関係とに基づき算出される圧力が前記調圧目標圧力以上となるまで前記開度増分の加算を繰り返し行って前記目標開度推定値を推定し、加算前開度が所定開度未満の場合には前記開度増分として第1の開度増分を使用し、加算前開度が所定開度以上の場合には前記開度増分として前記第1の開度増分よりも大きな第2の開度増分を使用する。
本発明の好ましい態様による圧力調整真空バルブは、開閉駆動する弁体と、上記態様のいずれか一つに記載の目標開度推定器と、前記目標開度推定器により推定された目標開度推定値に基づいて前記弁体の開度を制御する開度制御部と、を備える。
さらに好ましい態様では、前記開度制御部は、現在の開度から目標開度推定値までのフィードフォワード開度を弁体駆動による調圧開始時から出力して、前記弁体の開度をフィードフォワード制御する。
さらに好ましい態様では、前記開度制御部は、前記フィードフォワード制御に加えてフィードバック制御を行い、前記フィードバック制御においては、前記フィードフォワード開度が前記目標開度推定値に達するまでは値がゼロのフィードバック開度を出力し、前記フィードフォワード開度が前記目標開度推定値に達したならば、前記調圧目標圧力に対する前記真空チャンバの圧力の偏差に応じたフィードバック開度を出力する。
さらに好ましい態様では、前記開度制御部は、前記調圧目標圧力が前記真空チャンバの圧力よりも低い場合には、現在の開度から前記目標開度推定値よりも大きな開度までのフィードフォワード開度を出力し、前記調圧目標圧力が前記真空チャンバの圧力よりも高い場合には、現在の開度から前記目標開度推定値よりも小さな開度までのフィードフォワード開度を出力する。
上述したように、目標開度推定器110の演算部111では、記憶部112に記憶されている開度θと真空チャンバ3の圧力Pとの相関関係と、入力された目標圧力値Psとに基づいて、目標開度推定値θeを推定演算する。ここでは、開度θと圧力Pとの相関関係として次式(1)で定義されるプラントゲインGpを使用する場合を例に説明する。式(1)から分かるように、プラントゲインGpは開度θの変化に対する圧力応答特性を表している。なお、|(ΔP/Δθ)|は、(ΔP/Δθ)の絶対値を示している。
Gp=|(ΔP/Δθ)|/P …(1)
次に、プラントゲインGpを用いた目標開度推定値θeの算出方法の一例について説明する。ここでは、現在の調圧状態(θ,P)は(θ0,P0)であって、移行すべき次の調圧状態は(θ1,P1)であるとする。いずれの調圧状態も平衡状態なので、調圧のガス種、流量に対応するプラントゲインGp(θ)に従う。さらに、上述したようにプラントゲインGpはガス種および流量に対する依存性が小さいので、記憶部112に予め記憶している所定のガス種、流量におけるプラントゲインGpのデータ、あるいは校正後のデータでおよそ近似できるものと考えて良い。
ΔP=−P×Gp(θ)×Δθ …(2)
θ1=θ0+∫dθ (積分範囲はθ0からθ1まで) …(3)
P1=P0+∫dP (積分範囲はP0からP1まで) …(4)
θ1=θ0+ΣΔθ_n(θ_n) …(5)
P1=P0+ΣΔP_n(P_n) …(6)
Δθ_n=Δθ_n(θ_n) …(7)
ΔP_n=ΔP_n(P_n)=−P_n×Gp_n×Δθ_n …(8)
θ_n+1 = θ_n+Δθ_n …(9)
P_n+1 = P_n+ΔP_n …(10)
上述したように、本実施の形態では目標開度推定器110で目標圧力値Psとなる目標開度推定値θeを推定し、その目標開度推定値θeに基づいてフィードフォワード開度設定出力Δθ1を出力するようにしている。この種の圧力調整真空バルブでは、前述したようにバルブ吸気口での実効排気速度値Seを用いて開度制御が行われる。初期校正時に所定ガス流量Qinのガスが真空チャンバ3内に導入され、そのときの圧力変化情報から真空チャンバ3の容積Vがビルドアップ法により求められる。また、弁体開度θiごとにチャンバ圧力Priが平衡状態にて測定され、各開度θiにおける実効排気速度値Sei(θi)が、Sei=Qin/Priにより算出される。このときのデータ(θi,Sei)は校正された実効排気速度値Seのデータテーブルとして記憶される。
上述したように、目標開度推定器110は、調圧状態(θ0,P0)にて次の調圧条件(目標圧力値P1)が指示されると、上述したアルゴリズムに従って目標開度推定値θeを演算にて求める。そして、フィードフォワード制御器120は、所定の開度速度で現在開度θ0から目標開度推定値θeまで弁体12を駆動するためのフィードフォワード開度設定出力Δθ1を出力する。また、フィードバック制御器130は、フィードフォワード開度が所定の経路を辿り、最終的にθeに到達するまでは、フィードバック開度設定出力Δθ2としてΔθ2=0を出力し、フィードフォワード開度がθeに到達したら、偏差ε=Pr−Psに応じたフィードバック開度設定出力Δθ2(≠0)を出力する。なお、フィードバック制御が開始されたら、フィードフォワード開度設定出力Δθ1はθe値に一定とされる。
上述した説明では、式(7)におけるΔθ_nの値を微小量(例として±0.1%)の固定値とした場合を例に示した。しかし、図4のプラントゲインGpのカーブ特性からもわかるように、開度θが小さい領域(目安として30%未満)ではGp値の変化量が大きく、また、その領域にはGp値が最大値となるピーク位置も存在する。一方、開度θが大きい領域(目安として30%以上)ではGp値が単調に減少し、Gp値の大きさも30%未満の開度領域に比べて小さく、また、開度θの変化に対するGp値の変化量も小さい。
フィードフォワード制御が適用されている状態においては、現在の圧力計測値Prが目標圧力値Psから比較的離れている。そのことから、即応性を求める観点で、上述したフィードフォワード制御による開度出力(開始時θs0→終了時θs1)をやや増し気味にすることで、応答性改善を図ることができる。つまり、最終値θs1の値を割り増してθs1’とする。例えば、終了時目標圧力Ps1よりも10%程度到達圧力が過剰になるように計算上の目標圧を設定して算出する。具体的には、Ps1<Ps0の場合、式(6)の左辺P1を0.9×Ps1と設定して開度を算出する。また、Ps1>Ps0の場合は、1.1×Ps1と設定して算出する。このような算出結果θs1’は、Ps1<Ps0の場合θs1’>θs1、Ps1>Ps0の場合θs1’<θs1となり、実際出力を割り増し(割り引き)して補正出力する。さらに応用例として、割り増し(割り引き)した開度を経由して最終は割り増し(割り引き)しない開度へ至るようなフィードフォワード制御による開度出力(開始時θs0→途中θs1’→終了時θs1)としても良い。ただし、割り増し(割り引き)の大小はフィードバック制御の応答能力を考慮して決める必要があり、応答能力が低い場合は割り増し率を小さくし、能力が高い場合には割増率を大きくする。
Claims (7)
- 圧力調整真空バルブの弁体の開度と前記圧力調整真空バルブが接続される真空チャンバの圧力との相関関係と、現在の前記開度および前記圧力とに基づいて、前記真空チャンバの圧力が調圧目標圧力に到達したときの前記弁体の開度である目標開度推定値を推定し、
前記相関関係は、開度変化に対する圧力応答特性を表す相関関係である、
目標開度推定器。 - 請求項1に記載の目標開度推定器において、
前記相関関係は、前記真空チャンバの圧力をP、前記真空チャンバの圧力の変化をΔP、前記弁体の開度の変化をΔθとしたときに、式「|(ΔP/Δθ)|/P」で表される量である、目標開度推定器。 - 請求項2に記載の目標開度推定器において、
現在の開度に開度増分を加算した加算後開度と前記相関関係とに基づき算出される圧力が前記調圧目標圧力以上となるまで前記開度増分の加算を繰り返し行って前記目標開度推定値を推定し、
加算前開度が所定開度未満の場合には前記開度増分として第1の開度増分を使用し、加算前開度が所定開度以上の場合には前記開度増分として前記第1の開度増分よりも大きな第2の開度増分を使用する、目標開度推定器。 - 開閉駆動する弁体と、
請求項1から請求項3までのいずれか一つに記載の目標開度推定器と、
前記目標開度推定器により推定された目標開度推定値に基づいて前記弁体の開度を制御する開度制御部と、を備える圧力調整真空バルブ。 - 請求項4に記載の圧力調整真空バルブにおいて、
前記開度制御部は、現在の開度から目標開度推定値までのフィードフォワード開度を弁体駆動による調圧開始時から出力して、前記弁体の開度をフィードフォワード制御する、圧力調整真空バルブ。 - 開閉駆動する弁体を有する圧力調整真空バルブであって、
前記弁体の開度と前記圧力調整真空バルブが接続される真空チャンバの圧力との相関関係と、現在の前記開度および前記圧力とに基づいて、前記真空チャンバの圧力が調圧目標圧力に到達したときの前記弁体の開度である目標開度推定値を推定する目標開度推定器と、
前記目標開度推定器により推定された目標開度推定値に基づいて前記弁体の開度を制御する開度制御部と、を備え、
前記開度制御部は、
現在の開度から目標開度推定値までのフィードフォワード開度を弁体駆動による調圧開始時から出力して、前記弁体の開度をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御と、
前記フィードフォワード開度が前記目標開度推定値に達するまでは値がゼロのフィードバック開度を出力し、前記フィードフォワード開度が前記目標開度推定値に達したならば、前記調圧目標圧力に対する前記真空チャンバの圧力の偏差に応じたフィードバック開度を出力するフィードバック制御と、
を実行する、圧力調整真空バルブ。 - 開閉駆動する弁体を有する圧力調整真空バルブであって、
前記弁体の開度と前記圧力調整真空バルブが接続される真空チャンバの圧力との相関関係と、現在の前記開度および前記圧力とに基づいて、前記真空チャンバの圧力が調圧目標圧力に到達したときの前記弁体の開度である目標開度推定値を推定する目標開度推定器と、
前記目標開度推定器により推定された目標開度推定値に基づいて前記弁体の開度を制御する開度制御部と、を備え、
前記開度制御部は、
現在の開度から目標開度推定値までのフィードフォワード開度を弁体駆動による調圧開始時から出力して、前記弁体の開度をフィードフォワード制御し、
前記開度制御部は、
前記調圧目標圧力が前記真空チャンバの圧力よりも低い場合には、現在の開度から前記目標開度推定値よりも大きな開度までのフィードフォワード開度を出力し、
前記調圧目標圧力が前記真空チャンバの圧力よりも高い場合には、現在の開度から前記目標開度推定値よりも小さな開度までのフィードフォワード開度を出力する、圧力調整真空バルブ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018052100A JP6969465B2 (ja) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 目標開度推定器および圧力調整真空バルブ |
US16/251,178 US10711909B2 (en) | 2018-03-20 | 2019-01-18 | Target opening degree estimator and pressure adjustment vacuum valve |
CN201910191927.0A CN110307388B (zh) | 2018-03-20 | 2019-03-14 | 目标开度推断器以及压力调整真空阀 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018052100A JP6969465B2 (ja) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 目標開度推定器および圧力調整真空バルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019165117A JP2019165117A (ja) | 2019-09-26 |
JP6969465B2 true JP6969465B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=67984939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018052100A Active JP6969465B2 (ja) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 目標開度推定器および圧力調整真空バルブ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10711909B2 (ja) |
JP (1) | JP6969465B2 (ja) |
CN (1) | CN110307388B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7306300B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2023-07-11 | 株式会社島津製作所 | 推定器および真空バルブ |
CN114542779B (zh) * | 2020-11-26 | 2023-05-23 | 株式会社岛津制作所 | 真空阀及推断装置 |
CN112947613B (zh) * | 2021-02-05 | 2022-06-07 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 压力调节***、方法和设备 |
CN117660944B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-04-23 | 浙江大学 | 一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5898916A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-13 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JP3261537B2 (ja) * | 1990-12-26 | 2002-03-04 | 東芝機械株式会社 | 処理室の圧力制御装置 |
JPH05158554A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Sintokogio Ltd | 真空室の真空度制御装置 |
US6142163A (en) * | 1996-03-29 | 2000-11-07 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for pressure control in vacuum processors |
US5803107A (en) * | 1996-03-29 | 1998-09-08 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for pressure control in vacuum processors |
US8316879B2 (en) * | 2007-12-05 | 2012-11-27 | Hitachi Zosen Corporation | Method and device for controlling pressure of vacuum container |
JP5528363B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2014-06-25 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP6063803B2 (ja) * | 2013-04-15 | 2017-01-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空装置及びバルブ制御方法 |
DK3039500T3 (da) * | 2013-08-26 | 2019-09-23 | Spraying Systems Co | Strømningsreguleringsventilsystem og -fremgangsmåde |
US9645584B2 (en) * | 2014-09-17 | 2017-05-09 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic health monitoring |
JP6459503B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2019-01-30 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
GB2535794B (en) * | 2015-02-27 | 2018-07-18 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
US10557736B2 (en) * | 2016-05-10 | 2020-02-11 | Mks Instruments, Inc. | Predictive diagnostics systems and methods using vacuum pressure control valves |
JP6841201B2 (ja) * | 2017-10-06 | 2021-03-10 | 株式会社島津製作所 | ガス推定装置および真空排気装置 |
-
2018
- 2018-03-20 JP JP2018052100A patent/JP6969465B2/ja active Active
-
2019
- 2019-01-18 US US16/251,178 patent/US10711909B2/en active Active
- 2019-03-14 CN CN201910191927.0A patent/CN110307388B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10711909B2 (en) | 2020-07-14 |
CN110307388A (zh) | 2019-10-08 |
US20190293201A1 (en) | 2019-09-26 |
JP2019165117A (ja) | 2019-09-26 |
CN110307388B (zh) | 2020-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6969465B2 (ja) | 目標開度推定器および圧力調整真空バルブ | |
US11054847B2 (en) | Valve control apparatus and vacuum valve | |
CN109630446B (zh) | 气体推断装置及真空排气装置 | |
EP1996988B1 (en) | Pressure control system with optimized performance | |
US10599166B2 (en) | Valve control device | |
US8321060B2 (en) | Method and system of on-tool and on-site MFC optimization providing consistent response | |
JP2018106718A (ja) | バルブ装置 | |
CN111007885A (zh) | 推断装置以及阀控制装置 | |
CN114157207B (zh) | 基于自适应测速的pi控制器及其控制方法、*** | |
JP6834501B2 (ja) | バルブ制御装置 | |
JPH09217898A (ja) | 流量制御方法 | |
CN114063658A (zh) | 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质 | |
US8056579B2 (en) | Mass flow controller | |
CN114706431A (zh) | 反应腔室的压力控制方法、装置和半导体工艺设备 | |
JP4636271B2 (ja) | サーボ制御装置とその調整方法 | |
CN111750125B (zh) | 阀控制装置以及真空阀 | |
JP3523974B2 (ja) | 流体圧力制御装置 | |
JP2020009111A (ja) | 推定装置および圧力制御バルブ | |
JP2000161236A (ja) | 真空圧力制御システム | |
JP2022115176A (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
JPH1058510A (ja) | 成形機の制御方法 | |
JPH07293506A (ja) | 液圧装置の圧力制御装置 | |
JPH10154016A (ja) | 流体圧力制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200717 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210721 |
|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20210721 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210726 |
|
RD15 | Notification of revocation of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7435 Effective date: 20210831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211011 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6969465 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |