JP6943618B2 - 分光測定装置及び分光測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、分光測定装置及び分光測定方法に関する。

特許文献１には、発光素子の量子効率を測定する測定装置が開示されている。この測定装置は、発光素子が配設される積分球と、発光素子を電流駆動する駆動・計測回路と、発光素子の発光スペクトルを計測するための測定装置とを備える。発光素子は、上下機構により上下動可能なステージの載置面上に載置されており、積分球内に露出している。この測定装置では、駆動・計測回路により発光素子を電流駆動し、その際に発光素子から発せられる被測定光の発光特性（スペクトル分布）を計測している。また、この測定装置では、励起光を入射するための励起光入口を積分球に設けることによって、励起光を発光素子に照射することにより発光素子から発せられる蛍光等の発光特性を計測している。

特開２００４−３０９３２３号公報 特開２００７−１９８９８３号公報

例えばＬＥＤ等の発光素子（試料）の発光特性を評価する項目として、注入された電子数に対する試料外部に放出された光子数の割合で定義される外部量子効率がある。外部量子効率は、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）法を用いて測定される。また、外部量子効率は、試料が吸収した励起光の光子数に対する試料からの発光の光子数の割合である発光量子収率でも定義される。この発光量子収率は、ＰＬ（フォトルミネッセンス）法を用いて測定される。さらに、発光素子にて使用される発光材料を評価する項目として、内部量子効率がある。この内部量子効率は、試料が吸収した励起光の光子数に対する試料から取り出される電荷等の割合として考えられる場合もある。これらの量子効率（量子効率ともいう）の測定においては、例えば特許文献１に記載された測定装置が用いられる。ここで、試料の量子効率を精度良く測定するためには、試料から発せられる被測定光が、積分球内において、例えば１００％に近い高反射率にて反射されることが望ましい。

しかしながら、特許文献１に記載された測定装置では、積分球内に露出する載置面が、被測定光を吸収してしまう。従って、試料の量子効率の値を精度良く測定することが困難となる。また、この測定装置では、仮に、積分球内に露出する載置面を反射材にて覆った場合であっても、試料が反射面（載置面）に直接接触しているので、反射面に傷や汚れが付着するおそれがある。このように反射面に傷や汚れが付着すると、その反射面の傷や汚れが付着した部分において被測定光の反射率が低下し、被測定光が吸収されてしまう。従って、この場合も、試料の量子効率等の特性を精度良く測定することが困難となる。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、試料の特性を精度良く測定することができる分光測定装置及び分光測定方法を提供することを目的とする。

本発明の分光測定装置は、試料から発せられる被測定光を測定する分光測定装置であって、被測定光を反射する内壁面、及び内壁面から外部に向けて延びる取付孔を有する積分球と、被測定光を誘導する誘導孔を有し、取付孔に配置されるアダプタと、積分球の外側から誘導孔を覆うと共に試料が載置される第１面、及び第１面とは反対側に配置される第２面を有し、被測定光を透過するプレートと、プレートを収容する凹部を有し、積分球に取り付けられるホルダと、積分球から出力される被測定光を検出する分光検出器と、を備え、凹部は、第２面と対向する底面、及びプレートの周りを取り囲む側面を含み、底面及び側面は、被測定光を反射する反射材にて覆われている。

本発明の分光測定方法は、試料から発せられる被測定光を反射する内壁面、及び内壁面から外部に向けて延びる取付孔を有する積分球を用いて、被測定光を測定する分光測定方法であって、第１面及び第１面とは反対側に配置される第２面を有すると共に被測定光を透過するプレートの第１面に試料を載置する載置ステップと、第２面と対向する底面、及びプレートの周りを取り囲む側面を含む凹部を有するホルダの凹部にプレートを収容する収容ステップと、被測定光を誘導する誘導孔を有するアダプタを、誘導孔が第１面に積分球の外側から覆われるようにプレート上に配置し、ホルダを積分球に取り付けてアダプタを取付孔に配置する配置ステップと、積分球から出力される被測定光を分光検出器により検出する検出ステップと、を含み、底面及び側面は、被測定光を反射する反射材にて覆われている。

本発明の分光測定装置及び分光測定方法では、試料から発せられた被測定光は、積分球内にて反射を繰り返す。ここで、プレートの第１面に入射した被測定光は、プレートを透過してホルダの凹部の反射材に覆われた底面及び側面にて反射し、再び積分球内に戻って反射を繰り返す。このように、積分球内の凹部の底面及び側面が被測定光を反射するので、擬似的に試料を積分球内に配置した状況を作ることができる。これにより、試料の特性を精度良く測定することができる。

また、プレートは、側面と嵌合してもよい。また、収容ステップでは、プレートが凹部の側面に嵌合するように収容してもよい。これにより、ホルダに対するプレートの相対的な位置決めを容易に行うことができる。

また、プレートは、第１面に露出する第１電極、及び第２面に露出する第２電極を更に有し、第１電極と第２電極とは、互いに電気的に接続されてもよい。これにより、第１電極及び第２電極を介して第１面上の試料と外部装置とを電気的に接続することができる。

また、プレートは、第１面から第２面にわたって延びる貫通孔、及び貫通孔内に設けられる第１導電体を更に有し、第１導電体は、第１電極と第２電極とを電気的に接続してもよい。これにより、積分球内に露出し得る第１電極の大きさを極力小さくすることができる。

また、凹部は、底面に設けられる孔部、及び孔部内に設けられる第２導電体を更に含み、第２導電体は、第２電極と電気的に接続されてもよい。これにより、例えば電極と第２電極とが接触するようにプレートをホルダの凹部に載置するだけで、第１面上の試料と外部装置とを電気的に接続することができる。

また、上述した分光測定装置は、第２導電体と電気的に接続される電源を更に備えてもよい。これにより、電流及び電圧のうち少なくとも一方を試料に供給することができる。

また、上述した分光測定装置は、第２導電体と電気的に接続され、試料に生じる電流及び電圧のうち少なくとも一方を検出する電気検出器を更に備えてもよい。これにより、例えば、励起光の照射によって試料に生じる電流及び電圧をのうち少なくとも一方を検出することができる。

また、アダプタは、底面にプレートを押し付ける押付部を更に有してもよい。また、配置ステップでは、凹部の底面にプレートを押し付けるようにアダプタをホルダに取り付けてもよい。このような配置ステップ及び押付部を設けることにより、簡単な作業によりプレートを凹部内に容易に保持することができる。これにより、プレートをホルダに固定する際に凹部内に傷や汚れが付着するリスクを抑えることができる。すなわち、凹部内において被測定光の反射率が低下することを更に抑えることができる。従って、試料の特性を更に精度良く測定することができる。

また、プレートの厚さは、底面からの側面の高さ以下でもよい。プレートの厚さが側面の高さよりも厚い場合、被測定光が側面から外れて他の部品に吸収されてしまうおそれがある。そこで、プレートの厚さを底面からの側面の高さ以下にすることにより、被測定光が側面から外れて吸収されることを抑えることができる。従って、試料の特性を更に精度良く測定することができる。

また、誘導孔は、積分球の中心部に向けて拡径するテーパ形状を含んでもよい。これにより、誘導孔の形状を積分球の内壁面の形状に近づけることができるので、被測定光をより精度良く測定することができる。すなわち、試料の特性をより精度良く測定することができる。

本発明によれば、試料の特性を精度良く測定することができる。

図１は、一実施形態の分光測定装置の構成を模式的に示す図である。 図２は、一実施形態の分光測定装置の斜視図である。 図３は、一実施形態の分光測定装置の上面図である。 図４は、図３のIV−IV線に沿った断面図である。 図５は、試料取付部の上面図である。 図６は、図５のVI−VI線に沿った断面図である。 図７は、プレートを斜め上方から見た斜視図である。 図８は、プレートを斜め下方から見た斜視図である。 図９は、透明基板の第１面を示す正面図である。 図１０は、図９のX−X線に沿った断面図である。 図１１は、透明基板の第２面を示す背面図である。 図１２は、図６のホルダの構成を示す断面図である。 図１３は、載置部の斜視図である。 図１４は、ＥＬ法により試料の量子効率を測定する分光測定方法を示すフローチャートである。 図１５は、ＰＬ法により試料の量子効率を測定する分光測定方法を示すフローチャートである。 図１６は、変形例によるプレートの斜視図である。 図１７は、変形例による載置部の斜視図である。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の分光測定装置及び分光測定方法の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

（実施形態）
図１は、一実施形態の分光測定装置１の構成を模式的に示す図である。なお、図１では、積分球１０が断面（後述する図４と同じ断面）として示されている。本実施形態による分光測定装置１は、励起光供給部３と、電源４と、電気検出器５と、データ処理部６と、積分球１０と、分光検出器６０とを備え、測定対象となるサンプルとしての試料２から発せられる被測定光を分光検出するものである。また、本実施形態による分光測定装置１は、励起光の照射に伴い、試料２から生じる光起電流を検出するものである。なお、被測定光は、例えば、試料２に対する励起光の照射に伴い試料２から発生する光、試料２に照射される励起光のうち試料２に吸収されなかった光、試料２に対する電流或いは電圧の供給に伴い試料２から発生する光、またはそれらの光の組み合わせなどである。

励起光供給部３は、測定対象の試料２に対して、その発光特性を測定するための励起光を照射する。図１に示す構成例では、励起光供給部３は、励起光源３ａと、励起光源３ａから供給された光を積分球１０へと導光するライトガイド３ｂとによって構成されている。ライトガイド３ｂは、積分球１０の取付孔１２に取り付けられる。

分光検出器６０は、積分球１０から出力される被測定光を検出する。具体的には、分光検出器６０は、積分球１０の内壁面１０ａにて多重反射した被測定光を検出し、その被測定光を波長成分に検出し、被測定光の波長毎の光強度に関する検出信号を出力する。分光検出器６０は、データ処理部６と接続されており、該検出信号をデータ処理部６に出力する。

電源４は、試料取付部２０を介して、試料２と電気的に接続されており、試料２に電流を供給する。

電気検出器５は、試料取付部２０を介して、試料２と電気的に接続されており、例えば、励起光供給部３からの励起光の照射に伴って試料２で発生する電流及び電圧のうち少なくとも一方を検出し、検出信号を出力する。電気検出器５は、データ処理部６と接続されており、該検出信号をデータ処理部６に出力する。

データ処理部６は、例えば、パーソナルコンピュータ、或いはスマートデバイス、クラウドサーバなどであり、励起光源３ａ、分光検出器６０、電源４、及び電気検出器５と電気的に接続される。データ処理部６は、分光検出器６０から出力される検出信号に基づいて、例えば、量子効率などの試料２の特性を算出する。また、データ処理部６は、電気検出器５から出力される検出信号に基づいて、例えば、光起電流及び／或いは内部量子効率などの試料２の特性を算出する。さらに、データ処理部６は、励起光源３ａ、分光検出器６０、電源４、及び電気検出器５を制御する。なお、データ処理部６とその他の構成要素との間の接続は、有線に限らず、無線であってもよく、また、ネットワーク通信による接続でもよい。

図２は、一実施形態の分光測定装置１の斜視図である。図３は、一実施形態の分光測定装置１の上面図である。図４は、図３のIV−IV線に沿った断面図である。なお、各図には、理解の容易のため、ＸＹＺ直交座標系が示されている。分光測定装置１は、被測定光を分光検出して、ＥＬ法及び／又はＰＬ法による量子効率等の試料２の特性を測定するために用いられる。試料２は、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の無機発光素子である。図２、図３、及び図４に示されるように、分光測定装置１は、積分球１０と、試料取付部２０と、分光検出器６０とを備える。

積分球１０は、被測定光を反射する内壁面１０ａを有する。内壁面１０ａは、例えば硫酸バリウム等の高拡散反射剤の塗布が施されるか、若しくは、例えばスペクトラロン（登録商標）等の高拡散反射材料にて形成されている。また、積分球１０は、取付孔１１，１２，１３、予備孔１４、及び取付ネジ孔１５を有する。取付孔１１，１２，１３は、積分球１０の内壁面１０ａから外部に向けて延びている。

取付孔１１は、試料取付部２０を取り付けるための孔である。取付孔１１は、積分球１０のＺ方向における一端部に設けられている。取付孔１２は、励起光供給部３を取り付けるための孔である。取付孔１２は、積分球１０のＺ方向における他端部に設けられている。すなわち、取付孔１２は、取付孔１１に対して、積分球１０の中心部Ｃ０を挟んで反対側に位置する。取付孔１３は、分光検出器６０を取り付けるための孔である。取付孔１３は、積分球１０のＸ方向における一端部に設けられている。一例では、取付孔１３は、取付孔１１及び取付孔１２から等距離にある位置に設けられている。予備孔１４は、積分球１０のＹ方向における一端部に設けられている。一例では、予備孔１４は、取付孔１１、取付孔１２、及び取付孔１３から等距離にある位置に設けられている。予備孔１４は、例えばプラグ（不図示）によって塞がれている。プラグの積分球１０内に露出する部分は、積分球１０の内壁面１０ａと連続面をなす。プラグの当該部分には、内壁面１０ａと同様の高拡散反射剤の塗布が施されるか、或いは、内壁面１０ａと同様の高拡散反射材料にて形成される。取付ネジ孔１５は、取付ネジ（不図示）により例えば架台（不図示）に積分球１０を取り付けるための孔である。取付ネジ孔１５は、積分球１０のＸ方向における他端部に設けられている。すなわち、取付ネジ孔１５は、取付孔１３に対して、積分球１０の中心部Ｃ０を挟んで反対側に位置する。

図５は、試料取付部２０の上面図である。図６は、図５のVI−VI線に沿った断面図である。試料取付部２０は、Ｚ方向を中心軸方向とする円柱形状を呈している。試料取付部２０は、図５及び図６に示されるように、アダプタ３０と、ホルダカバー３２と、プレート４０と、ホルダ５０とを有する。アダプタ３０は、Ｚ方向を中心軸方向とする円筒状の部品である。アダプタ３０は、取付孔１１に配置されている。具体的には、アダプタ３０は、その中心軸が積分球１０の中心部Ｃ０を通るように取付孔１１内に収容されている。アダプタ３０は、図６に示されるように、Ｚ方向において互いに対向する端面３１ａ及び端面３１ｂ、端面３１ａから端面３１ｂまで貫通する誘導孔３１ｃ、並びにＺ方向における端面３１ａ側に設けられるフランジ部３１ｄを含む。なお、端面３１ｂは、本実施形態における押付部である。

端面３１ａは、図４に示されるように、積分球１０の内壁面１０ａと連続する位置に配置されている。誘導孔３１ｃは、その中心軸が積分球１０の中心部Ｃ０を通る直線に対して傾斜するように、取付孔１１に沿って延びている。言い換えれば、中心部Ｃ０を通る直線に対して非対称な形状となっている（例えば図５を参照）。これは、斜め方向から入射された励起光がアダプタ３０に遮られることを防ぐ為である。誘導孔３１ｃは、被測定光を反射する反射材にて覆われており、被測定光が積分球１０内にて多重反射するように被測定光を誘導する。誘導孔３１ｃは、内壁面１０ａと同様の高拡散反射剤の塗布が施されるか、或いは、内壁面１０ａと同様の高拡散反射材料にて形成される。誘導孔３１ｃは、積分球１０の中心部Ｃ０に向けて徐々に拡径するテーパ形状を含む。フランジ部３１ｄは、図６に示されるように、アダプタ３０の外周面に沿って設けられている。

ホルダカバー３２は、図６に示されるように、Ｚ方向を中心軸方向とする円筒状の部品である。ホルダカバー３２は、アダプタ３０に対してＺ方向における中心部Ｃ０とは反対側に設けられる。ホルダカバー３２の一端部は、アダプタ３０と共に取付孔１１に挿入されている（図４参照）。ホルダカバー３２は、図６に示されるように、Ｚ方向において互いに対向する端面３２ａ及び端面３２ｂ、端面３２ａから端面３２ｂまで延びる貫通孔３２ｃ、並びにＺ方向における端面３２ｂ側に設けられるフランジ部３２ｄを含む。端面３２ａは、取付孔１１内において、フランジ部３１ｄの端面３１ｂ側の面に当接している。貫通孔３２ｃのＺ方向における中心部Ｃ０側の一端部には、アダプタ３０のフランジ部３１ｄを除く部分が挿入されている。貫通孔３２ｃの内径は、アダプタ３０の当該部分の外径と同じか、或いは僅かに小さい。フランジ部３２ｄは、ホルダカバー３２の外周面に沿って設けられている。フランジ部３２ｄの外径は、取付孔１１の内径よりも大きくなっている。フランジ部３２ｄは、Ｚ方向に沿って延びる一対の位置決め孔３３を含む。一対の位置決め孔３３は、Ｘ方向において貫通孔３２ｃを挟んで両側に並んで設けられる。

プレート４０は、図６に示されるように、ホルダカバー３２の貫通孔３２ｃ内に設けられている。図７は、プレート４０を斜め上方から見た斜視図である。図８は、プレート４０を斜め下方から見た斜視図である。プレート４０は、図７及び図８に示されるように、透明基板４１、一対の金属ピン４５、並びに一対の電極４６を有する。なお、一対の電極４６は、本実施形態における第１電極である。透明基板４１は、例えば石英ガラスや合成石英ガラス等の透明材料により構成され、試料２から発せられる被測定光を透過する。透明基板４１は、Ｚ方向から見て円形状を呈している。透明基板４１は、Ｚ方向と交差する第１面４１ａ、第１面４１ａとは反対側に配置される第２面４１ｂ、及び、第１面４１ａから第２面４１ｂにわたって貫通する一対の位置決め孔４３を含む。

第１面４１ａには、試料２が載置される。一例では、第１面４１ａの中心位置に試料２が配置される。第１面４１ａと試料２とは、例えばグリスにより互いに固定される。第１面４１ａは、誘導孔３１ｃの端面３１ｂ側（すなわち積分球１０の外側）の開口を覆っており、アダプタ３０の端面３１ｂに当接している。一対の位置決め孔４３は、図７及び図８に示されるように、Ｙ方向において透明基板４１の中心位置を挟んで対称な位置にそれぞれ設けられている。

図９は、透明基板４１の第１面４１ａを示す正面図である。図１０は、図９のX−X線に沿った断面図である。図１１は、透明基板４１の第２面４１ｂを示す背面図である。図９、図１０、及び図１１に示されるように、透明基板４１は、第１面４１ａから第２面４１ｂにわたって延びて貫通する一対の電極孔４２を更に含む。なお、一対の電極孔４２は、本実施形態における貫通孔である。一対の電極孔４２は、Ｘ方向において透明基板４１の中心位置を挟んで対称な位置にそれぞれ設けられている。一対の電極孔４２は、図１０及び図１１に示されるように、Ｚ方向と交差する段差面４２ａを含む。段差面４２ａは、第１面４１ａと第２面４１ｂとの間に配置されている。また、一対の電極孔４２は、図１０及び図１１に示されるように、第１面４１ａから段差面４２ａまで延びる第１孔部４２ｂ、及び段差面４２ａから第２面４１ｂまで延びる第２孔部４２ｃを更に含む。第１孔部４２ｂは、Ｚ方向から見て、円形状を呈している。第１孔部４２ｂは、段差面４２ａを介して第２孔部４２ｃに連結する。第２孔部４２ｃは、Ｚ方向から見て、Ｙ方向を長軸とする長円形状を呈している。第２孔部４２ｃの内径の最小値は、第１孔部４２ｂの内径よりも大きい。

再び、図７及び図８を参照する。一対の金属ピン４５は、Ｚ方向を中心軸方向とする段付き円柱形状を呈している。一対の金属ピン４５は、一対の電極孔４２にそれぞれ挿入されている。一対の金属ピン４５は、段差面（不図示）を介して互いに連結する第１柱部４５ａ（図６参照）及び第２柱部４５ｂ（図６及び図８参照）を含む。なお、第１柱部４５ａ及び第２柱部４５ｂは、本実施形態における第１導電体であり、第２柱部４５ｂの底面は、本実施形態における第２電極である。第１柱部４５ａと第２柱部４５ｂとは、互いに連結されていると共に電気的に接続されている。一対の金属ピン４５の段差面は、Ｚ方向と交差しており、一対の電極孔４２の段差面４２ａにそれぞれ当接している。第１柱部４５ａは、Ｚ方向から見て、円形状を呈している。第１柱部４５ａは、第１孔部４２ｂ内に設けられている。具体的には、第１柱部４５ａは、第１孔部４２ｂに挿入されている。一例では、第１柱部４５ａの外径は、第１孔部４２ｂの内径と同じか、或いは僅かに小さい。第１柱部４５ａのＺ方向における中心部Ｃ０側の一端部は、第１面４１ａから突出している。

第２柱部４５ｂは、図８に示されるように、Ｚ方向から見て長円形状を呈している。第２柱部４５ｂは、第２孔部４２ｃに挿入されている。第２柱部４５ｂの外形は、第２孔部４２ｃの内形に沿うように形成されている。第２柱部４５ｂの短軸の長さは、第２孔部４２ｃの短軸の長さと同じであり、第２柱部４５ｂの長軸の長さは、第２孔部４２ｃの長軸の長さよりも僅かに小さくなっている。第２柱部４５ｂの底面は、第２面４１ｂに露出している。一対の電極４６は、図７に示されるように、第１面４１ａに露出している。具体的には、一対の電極４６は、第１面４１ａ上に設けられており、一対の金属ピン４５の第１柱部４５ａの第１面４１ａから突出する一端部をそれぞれ覆っている。一対の電極４６は、一対の第１柱部４５ａとそれぞれ電気的に接続されている。また、一対の電極４６は、図示しないボンディングワイヤ等を介して試料２の一対の電極と電気的に接続されている。

図１２は、図６のホルダ５０の構成を示す断面図である。ホルダ５０は、アダプタ３０及びホルダカバー３２と共に積分球１０に取り付けられる。ホルダ５０は、図１２に示されるように、本体部５１及び載置部５５を有する。本体部５１は、Ｚ方向を中心軸方向とする円柱状を呈している。本体部５１は、取付部５１ａ、溝部５１ｂ、一対の位置決めピン５１ｃ、小径部５１ｄ、並びに配線５１ｅを含む。取付部５１ａは、本体部５１の中心軸を中心軸とする円柱形状を呈しており、本体部５１のＺ方向における中心部Ｃ０側の一端側に設けられている。取付部５１ａは、ホルダカバー３２の貫通孔３２ｃに挿入されている（図６参照）。一例では、取付部５１ａの外径は、貫通孔３２ｃの内径と同じか、或いは僅かに小さい。また、取付部５１ａの外径は、本体部５１の外径の最大値よりも小さくなっている。取付部５１ａ上には、載置部５５が取り付けられる。溝部５１ｂは、Ｚ方向を深さ方向として周方向に延びており、本体部５１の一端側に設けられている。溝部５１ｂは、取付部５１ａの外周に沿って形成されている。溝部５１ｂには、ホルダカバー３２の端面３２ｂ側の他端部が嵌合される。

一対の位置決めピン５１ｃは、本体部５１の一端側に設けられており、溝部５１ｂに対して本体部５１の径方向の外側に形成されている。一対の位置決めピン５１ｃは、Ｚ方向に沿って延びており、Ｘ方向において取付部５１ａを挟んで両側に並んで配置されている。一対の位置決めピン５１ｃは、ホルダカバー３２のフランジ部３２ｄの一対の位置決め孔３３に対応する位置にそれぞれ設けられている。一対の位置決めピン５１ｃは、一対の位置決め孔３３にそれぞれ挿入されている。一対の位置決めピン５１ｃの外径はそれぞれ、一対の位置決め孔３３の内径と同じか、或いは僅かに小さい。一対の位置決めピン５１ｃ並びに一対の位置決め孔３３により、アダプタ３０がホルダカバー３２を介してホルダ５０に対しＸＹ平面内にて相対的に位置決めされる。小径部５１ｄは、本体部５１のＺ方向における他端側に設けられている。小径部５１ｄは、本体部５１の中心軸を中心軸とする円柱状を呈しており、その外径は、本体部５１の外径の最大値よりも小さくなっている。

載置部５５は、本体部５１の中心軸を中心軸とする円柱形状を呈している。また、載置部５５は、ホルダカバー３２の貫通孔３２ｃ内に挿入されている（図６参照）。載置部５５の外径は、図１２に示されるように、取付部５１ａの外径と同じである。図１３は、載置部５５の斜視図である。載置部５５は、図１２及び図１３に示されるように、Ｚ方向において積分球１０の中心部Ｃ０側に設けられる端面５６、Ｚ方向において端面５６から凹む凹部５７、並びにＺ方向に延びる一対の端子５８を含む。なお、一対の端子５８は、本実施形態における第２導電体である。端面５６は、貫通孔３２ｃ内においてアダプタ３０の端面３１ｂに当接する（図６参照）。凹部５７には、プレート４０が収容される。凹部５７は、Ｚ方向と交差する底面５７ａ、ＸＹ平面と交差する側面５７ｂ、底面５７ａからＺ方向に延びる一対の電極孔５７ｃ、及び底面５７ａに設けられる一対の位置決めピン５７ｄを含む。なお、一対の電極孔５７ｃは、本実施形態における孔部である。底面５７ａ及び側面５７ｂは、被測定光を反射する反射材にて覆われている。すなわち、底面５７ａ及び側面５７ｂは、内壁面１０ａと同様の高拡散反射剤の塗布が施されるか、或いは、内壁面１０ａと同様の高拡散反射材料にて形成される。

底面５７ａは、Ｚ方向から見て、円形状を呈している。底面５７ａには、透明基板４１が載置される。一例では、底面５７ａの外径は、透明基板４１の外径よりも僅かに大きい。底面５７ａは、Ｚ方向において透明基板４１の第２面４１ｂと対向している。一例では、底面５７ａは、第２面４１ｂに当接している。底面５７ａには、アダプタ３０の端面３１ｂによってプレート４０が押し付けられている。具体的には、第１面４１ａが端面３１ｂに押し付けられることにより、第２面４１ｂが底面５７ａに押し付けられている。側面５７ｂは、底面５７ａからせり上がっている。具体的には、側面５７ｂは、Ｚ方向に沿って底面５７ａの縁部から端面５６まで延びている。なお、一例では、側面５７ｂは、底面５７ａ及び端面５６に対して垂直である。側面５７ｂは、底面５７ａに載置される透明基板４１の周りを取り囲んでいる。また、側面５７ｂは、透明基板４１と嵌合する。これにより、側面５７ｂは、透明基板４１の、底面５７ａに沿ったＸＹ面内における位置を規定する。側面５７ｂは、Ｚ方向から見て、透明基板４１の外形よりも僅かに大きい円形状を呈している。また、透明基板４１の厚さは、底面５７ａからの側面５７ｂの高さ以下である。すなわち、底面５７ａから端面５６までのＺ方向における距離は、透明基板４１の第１面４１ａから第２面４１ｂまでのＺ方向における距離以上である。

一対の電極孔５７ｃは、底面５７ａからＺ方向に延びており、Ｘ方向において底面５７ａの中心位置を挟んで対称な位置に設けられている。一対の電極孔５７ｃは、透明基板４１の一対の電極孔４２と対応する位置にそれぞれ設けられている。一対の位置決めピン５７ｄは、図１３に示されるように、Ｙ方向において底面５７ａの中心位置を挟んで対称な位置に設けられている。一対の位置決めピン５７ｄは、透明基板４１の一対の位置決め孔４３と対応する位置にそれぞれ設けられている。一対の位置決めピン５７ｄは、一対の位置決め孔４３にそれぞれ挿入されている。一対の位置決めピン５７ｄの外径はそれぞれ、一対の位置決め孔４３の内径と同じか、或いは僅かに小さい。一対の位置決めピン５７ｄ並びに一対の位置決め孔４３により、プレート４０が載置部５５に対して中心まわりの周方向にて相対的に位置決めされる。

一対の端子５８は、Ｚ方向に延びており、一対の電極孔５７ｃ内にそれぞれ設けられている。具体的には、一対の端子５８は、一対の電極孔５７ｃにそれぞれ挿入されている。一対の端子５８は、本体部５１に内蔵されたバネ（不図示）により、Ｚ方向における中心部Ｃ０側に向けて押圧力が与えられている。一対の端子５８は、一対の第２柱部４５ｂにそれぞれ接触することにより電気的に接続されている。一対の端子５８の他端部は、図１２に示されるように、本体部５１内の配線５１ｅの一端に繋がれている。配線５１ｅは、本体部５１の内部においてＺ方向に沿って延びている。配線５１ｅの他端は、本体部５１のＺ方向における小径部５１ｄ側の外側面から本体部５１の外部に向かって延びている。ここで、ＥＬ法により試料２の量子効率を測定する場合には、配線５１ｅの他端は、本体部５１の外部に設けられる電源４及び電気検出器５に繋がれる。これにより、一対の端子５８は、電源４及び電気検出器５のプラス極及びマイナス極にそれぞれ電気的に接続される。

次に、本実施形態の分光測定装置１を用いて試料２の量子効率を測定する分光測定方法について説明する。試料２の量子効率は、被測定光のスペクトル強度に基づいて測定される。

試料２の量子効率は、例えば、ＥＬ法により測定される。図１４は、ＥＬ法により試料２の外部量子効率を測定する分光測定方法を示すフローチャートである。まず、プレート４０に試料２を載置する（ステップＳ１：載置ステップ）。具体的には、プレート４０の透明基板４１の第１面４１ａに試料２をグリスを介して載置する。そして、試料２の一対の電極とプレート４０の一対の電極４６との間にワイヤボンディングを行う。次に、ホルダ５０の載置部５５の凹部５７にプレート４０を収容する（ステップＳ２：収容ステップ）。具体的には、透明基板４１の第２面４１ｂを凹部５７の底面５７ａに載置する。このとき、位置決め孔４３に対して、第２面４１ｂ側から凹部５７の位置決めピン５７ｄを挿入する。プレート４０の一対の第２柱部４５ｂは、凹部５７の底面５７ａから突出する一対の端子５８にそれぞれ接触する。

次に、アダプタ３０をプレート４０上に配置し、ホルダ５０を積分球１０に取り付ける（ステップＳ３：配置ステップ）。具体的には、アダプタ３０のフランジ部３１ｄを除く部分をホルダカバー３２の一対の位置決め孔３３に挿入させ、アダプタ３０のフランジ部３１ｄをホルダカバー３２の端面３２ａに当接させる。そして、ホルダカバー３２の一対の位置決め孔３３に対して、位置決め孔３３の端面３２ｂ側から本体部５１の一対の位置決めピン５１ｃをそれぞれ挿入する。このとき、アダプタ３０の端面３１ｂは、プレート４０の透明基板４１の第１面４１ａ上に配置され、その重さによってプレート４０を底面５７ａに押し付ける。また、誘導孔３１ｃの端面３１ｂ側の開口が第１面４１ａに覆われる。その後、ホルダ５０の載置部５５を、アダプタ３０及びホルダカバー３２と共に、アダプタ３０の端面３１ａ側から取付孔１１内に挿入し、ホルダ５０を積分球１０に取り付ける。

次に、ホルダ５０の本体部５１の配線５１ｅの他端を電源４に接続する。そして、電源４を介して電流を試料２に供給し、試料２を発光させる（ステップＳ４：発光ステップ）。この電流は、配線５１ｅ、一対の端子５８、及び一対の金属ピン４５を介して試料２に供給される。試料２に電流が供給されると、試料２から被測定光が発せられる。試料２から発せられた被測定光は、アダプタ３０の誘導孔３１ｃによって積分球１０内に導かれる。ここで、透明基板４１の第１面４１ａに入射した被測定光は、透明基板４１を透過してホルダ５０の凹部５７の底面５７ａ及び側面５７ｂにて反射し、再び積分球１０内に戻って反射を繰り返す。

その後、被測定光は、分光検出器６０により検出される（ステップＳ５：検出ステップ）。分光検出器６０は、被測定光の波長毎の光強度に関する信号をデータ処理部６に出力する。データ処理部６は、該信号をデータ処理し、被測定光のスペクトル強度を算出する。次に、データ処理部６は、このスペクトル強度、及び電源４によって測定される試料２に供給される電流値に基づいて、試料２の外部量子効率を算出する（ステップＳ６：算出ステップ）。具体的には、データ処理部６は、次の数式を用いて外部量子効率を算出する。

ＥＱＥ_１は、外部量子効率であり、ＰＮｅは、被測定光の光子数であり、ｅ_１は、試料２に供給される電子数である。光子数ＰＮｅは、上記スペクトル強度に基づいて算出され、電子数ｅ_１は、上記電流値に基づいて算出される。なお、この外部量子効率ＥＱＥ_１及び内部量子効率ＩＱＥは、次式のような関係がある。

ＬＥＥは、光取り出し効率であり、試料２内で発生した光のうち実際に外部に取出せた光の割合を示す。また、ＥＩＥは、電子注入効率であり、全電荷のうち、試料２の発光層に注入される電荷の割合を示す。光取り出し効率ＬＥＥ及び電子注入効率ＥＩＥは、例えば公知の方法により算出される。

続いて、ＰＬ法を用いた試料２の外部量子効率を測定する方法について説明する。図１５は、ＰＬ法により試料２の外部量子効率を測定する分光測定方法を示すフローチャートである。この方法では、上記ステップＳ１〜ステップＳ３まで試料２のＥＬ法による外部量子効率を算出する方法が同じであるので、上記ステップＳ１〜ステップＳ３までの説明を省略する。この方法では、励起光供給部３が積分球１０の取付孔１２に取り付けられている。そして、励起光供給部３の励起光源３ａから励起光を、積分球１０内において第１面４１ａ上に載置される試料２に直接照射する（ステップＳ７：照射ステップ）。試料２に励起光が照射されると、試料２によって吸収されなかった励起光の成分と、励起光を吸収することによって試料２から発せられる成分からなる被測定光が発生する。被測定光は、上述したように、アダプタ３０の誘導孔３１ｃにて反射して積分球１０内に導かれる。ここで、透明基板４１の第１面４１ａに入射した被測定光は、透明基板４１を透過してホルダ５０の凹部５７の底面５７ａ及び側面５７ｂにて反射し、再び積分球１０内に戻って反射を繰り返す。

その後、被測定光は、分光検出器６０により検出される（ステップＳ８：検出ステップ）。分光検出器６０は、被測定光を波長成分毎に分離して、波長毎の光強度に関する信号を出力する。そして、分光検出器６０は、該信号をデータ処理部６に出力する。データ処理部６は、該信号をデータ処理し、励起光のスペクトル強度、及び試料２から発せられる光のスペクトル強度を算出する。次に、データ処理部６は、これらのスペクトル強度に基づいて、試料２の内部量子効率を算出する（ステップＳ９：算出ステップ）。具体的には、データ処理部６は、次の数式を用いて内部量子効率を算出する。

ＰＬＱＥは、ＰＬ法によって求められる内部量子効率であり、ＰＮｅは、試料２から発せられる光の光子数であり、ＰＮａは、試料２が吸収する励起光の光子数である。光子数ＰＮｅは、試料２から発せられる光のスペクトル強度に基づいて算出され、光子数ＰＮａは、励起光のスペクトル強度に基づいて算出される。なお、この内部量子効率ＰＬＱＥ及び次の関係式を用いて外部量子効率を測定することも可能である。

ＥＱＥ_２は、外部量子効率である。光取り出し効率ＬＥＥは、公知の方法で算出される。

なお、本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法では、例えば、フォトカレント（光吸収電流）を測定することにより、試料２の内部量子効率ＩＱＥを測定することも可能である。このフォトカレントを測定する方法では、励起光供給部３から励起光を、積分球１０内の試料２に照射する。データ処理部６は、上述したように試料２が吸収する励起光の光子数ＰＮａを算出する。また、電気検出器５は、試料２から取り出される電荷、電流、及び電圧のうち少なくとも１つを測定し、検出信号を出力する。そして、データ処理部６は、次の数式を用いてフォトカレントを算出する。このように算出されたフォトカレントは、試料２の内部量子効率ＩＱＥに比例しているため、試料２に対する励起光の照射によって生じるフォトカレントを測定することによって、試料２の内部量子収率を求めることができる。

Ｐは、フォトカレントであり、ｅ_２は、上記の試料２から取り出せる電荷量である。

次に、本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法によって奏される効果について説明する。本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法では、積分球１０内の凹部５７が被測定光を反射する反射材にて覆われているので、擬似的に試料２を積分球１０内に配置した状況を作ることができる。すなわち、積分球１０内において被測定光が吸収されることを抑えることができる。また、試料２と凹部５７の底面５７ａ及び側面５７ｂとが透明基板４１を介して互いに離間しており、反射材にて覆われている底面５７ａ及び側面５７ｂに試料２が直接接触していないので、試料２により底面５７ａ及び側面５７ｂに傷や汚れが付着することを防止することができる。これにより、底面５７ａ及び側面５７ｂにおいて被測定光の反射率が低下することを更に抑えることができる。すなわち、積分球１０内において被測定光が吸収されることを抑えることができる。従って、試料２の内部量子効率及び／又は外部量子効率などの発光特性を精度良く測定することができる。なお、本発明者は、反射材にて覆われた面上に試料２を直接載置した状態で被測定光を同様に測定したところ、試料２の内部量子効率及び外部量子効率を精度良く測定することができなかったことを確認している。

また、ＰＬ法では、通常、試料２に対して励起光を直接照射するために、試料２を積分球１０内に露出させた状態で配置することが望ましい。何故なら、試料２を積分球１０外に配置し、励起光を例えば透明基板を介して試料２に照射すると、試料２と透明基板との界面における全反射により、試料２から外部に放出されない光子が発生するので、試料２の量子効率の測定精度が低下するからである。一方、ＥＬ法では、通常、例えばケーブルを試料２に接続させる構成となるので、ケーブルが積分球１０内に露出しないように、試料２を積分球１０外に露出させた状態で配置することが望ましい。何故なら、積分球１０の内壁面１０ａの材料とは異なる材料であるケーブルが積分球１０内に露出した場合、ケーブルが被測定光を吸収することにより、試料２の外部量子効率或いは内部量子効率を精度良く測定することが困難となるからである。このように、ＰＬ法とＥＬ法とでは、通常、試料２の配置が互いに異なる。しかしながら、ＰＬ法とＥＬ法とで、試料２の配置を変えることは煩わしい。また、このように試料２の配置を変えて被測定光を測定することにより、測定の結果にばらつきが生じるおそれある。

これに対し、本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法では、試料２が積分球１０内に露出した状態であるので、励起光を直接照射することができる。更に、プレート４０の金属ピン４５を介して試料２に電流を供給する構成とすることにより、積分球１０内における被測定光が吸収され得る部分を極力小さくすることができる。従って、本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法によれば、試料２の配置を変えることなく、ＰＬ法及びＥＬ法の両方の測定を行うことができる。また、ＰＬ法とＥＬ法とで、通常、試料２の配置の違いによりホルダの構成が異なるので、異なるホルダを使い分けることが行われる。これに対し、本実施形態の分光測定装置１及び分光測定方法では、ＰＬ法とＥＬ法とで同じホルダ５０を使用することができ、汎用性が高い。また、ホルダ５０ごとに校正する手間を省くこともできる。

また、本実施形態のように、プレート４０が、側面５７ｂと嵌合してもよい。また、収容ステップＳ２では、プレート４０が側面５７ｂに嵌合するようにプレート４０を凹部５７に収容してもよい。これにより、ホルダ５０に対するプレート４０の相対的な位置決めを容易に行うことができる。

また、本実施形態のように、一対の電極４６と第２柱部４５ｂとは、互いに電気的に接続されてもよい。これにより、一対の電極４６及び第２柱部４５ｂを介して第１面４１ａ上の試料２に電流及び電圧のうち少なくとも一方を供給することができるので、ＥＬ法による量子効率を好適に測定することができる。

また、本実施形態のように、電極孔４２内に設けられる第１柱部４５ａが、一対の電極４６と第２柱部４５ｂとを電気的に接続してもよい。このように一対の電極孔４２に設けられる第１柱部４５ａを介して一対の電極４６に電流を供給することにより、積分球１０内に露出し得る一対の電極４６の大きさを極力小さくすることができる。すなわち、積分球１０内において被測定光が吸収され得る部分を極力小さくすることができる。これにより、ＥＬ法による量子効率を精度良く測定することができる。

また、本実施形態のように、端子５８は、第２柱部４５ｂと電気的に接続されてもよい。これにより、例えば電極と第２柱部４５ｂとが接触するようにプレート４０をホルダ５０の凹部５７に載置するだけで、第２柱部４５ｂに電流及び電圧のうち少なくとも一方を供給することができる。すなわち、簡易な構成により試料２に電流及び／或いは電流を供給することができる。

また、本実施形態のように、電源４は、第２柱部４５ｂと電気的に接続されてもよい。これにより、電流及び電圧のうち少なくとも一方を試料２に供給することができる。

また、本実施形態のように、電気検出器５は、第２柱部４５ｂと電気的に接続され、試料２に生じる電流及び電圧のうち少なくとも一方を検出してもよい。これにより、例えば、励起光の照射によって試料２に生じる電流及び電圧のうち少なくとも一方を検出することができる。

また、本実施形態のように、端面３１ｂが、底面５７ａにプレート４０を押し付けてもよい。また、配置ステップＳ３では、底面５７ａにプレート４０を押し付けるようにアダプタ３０をホルダ５０に取り付けてもよい。これにより、簡単な作業によりプレート４０をホルダ５０の凹部５７に容易に保持することができる。これにより、透明基板４１を凹部５７に固定する際に凹部５７内に傷や汚れが付着するリスクを抑えることができる。すなわち、凹部５７内において被測定光の反射率が低下することを更に抑えることができる。従って、試料２の量子効率を更に精度良く測定することができる。また、底面５７ａにプレート４０が押し付けられることにより、端子５８と第２柱部４５ｂとが互いに接触した状態を保持することができる。従って、電極４６と第２柱部４５ｂとが互いに電気的に接続された状態をより確実に保持することができる。すなわち、試料２に電流及び電圧のうち少なくとも一方をより確実に供給することができる。

また、本実施形態のように、プレート４０の厚さは、底面５７ａからの側面５７ｂの高さ以下でもよい。プレート４０の厚さが側面５７ｂの高さよりも厚い場合、アダプタ３０の端面３１ｂとホルダ５０の載置部５５の端面５６との間に隙間が生じるおそれがある。この場合、被測定光が、当該隙間を伝って例えば反射材にて覆われていない部品（例えばホルダカバー３２の貫通孔３２ｃ）に入射すると、被測定光が当該部品に吸収されてしまう可能性がある。そこで、プレート４０の厚さを底面５７ａからの側面５７ｂの高さ以下にして、端面３１ｂと端面５６との間に隙間が生じることを抑えることにより、積分球１０内において被測定光が吸収されることを更に抑えることができる。従って、試料２の量子効率などの発光特性を更に精度良く測定することができる。

また、本実施形態のように、誘導孔３１ｃは、積分球１０の中心部Ｃ０に向けて拡径するテーパ形状を含んでもよい。これにより、誘導孔３１ｃの形状を積分球１０の内壁面の形状に近づけることができるので、被測定光をより精度良く測定することができる。すなわち、試料２の量子効率などの発光特性をより精度良く測定することができる。

（変形例）
図１６は、上記実施形態の変形例によるプレート４０Ａの斜視図である。図１７は、本変形例による載置部５５Ａの斜視図である。本変形例と上記実施形態との相違点は、プレート４０Ａが一対の金属ピン４５に代えて一対のクリップ電極７０を有している点、透明基板４１Ａが一対の電極孔４２を有していない点、及び載置部５５Ａの凹部５７Ａが一対の電極用凹部８０を更に含む点である。図１６に示されるように、クリップ電極７０は、透明基板４１ＡのＸ方向における両端部を挟みこむように取り付けられている。クリップ電極７０は、第１面４１ａに露出する上部電極７０ａ、及び第２面４１ｂに露出する下部電極７０ｂを含む。なお、上部電極７０ａは、本変形例における第１電極であり、下部電極７０ｂは、本変形例における第２電極である。上部電極７０ａは、第１面４１ａ上に設けられている。上部電極７０ａは、ボンディングワイヤ９０を介して試料２に電気的に接続されている。下部電極７０ｂは、上部電極７０ａと連結されており、第２面４１ｂ上に設けられている。下部電極７０ｂは、上部電極７０ａと電気的に接続されている。一対の電極用凹部８０は、一対のクリップ電極７０の外形に沿って設けられている。図１７に示されるように、一対の電極用凹部８０は、底面５７ａの一対の電極孔５７ｃをそれぞれ含む一部から側面５７ｂにわたって設けられている。一対の電極用凹部８０には、一対のクリップ電極７０の下部電極７０ｂがそれぞれ収容される。一対の電極用凹部８０の電極孔５７ｃから突出する端子５８は、一対のクリップ電極７０の下部電極７０ｂにそれぞれ接触する。これにより、一対の下部電極７０ｂは、一対の端子５８とそれぞれ電気的に接続される。

本発明の分光測定装置及び分光測定方法は、上述した実施形態及び実施例に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上述した実施形態及び変形例を、必要な目的及び効果に応じて互いに組み合わせてもよい。

１…分光測定装置、２…試料、３…励起光供給部、３ａ…励起光源、３ｂ…ライトガイド、４…電源、５…電気検出器、６…データ処理部、１０…積分球、１０ａ…内壁面、１１，１２，１３…取付孔、１４…予備孔、１５…取付ネジ孔、２０…試料取付部、３０…アダプタ、３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，５６…端面、３１ｃ…誘導孔、３１ｄ，３２ｄ…フランジ部、３２…ホルダカバー、３２ｃ…貫通孔、３３，４３…位置決め孔、４０，４０Ａ…プレート、４１，４１Ａ…透明基板、４１ａ…第１面、４１ｂ…第２面、４２…電極孔、４２ａ…段差面、４２ｂ…第１孔部、４２ｃ…第２孔部、４５…金属ピン、４５ａ…第１柱部、４５ｂ…第２柱部、４６…電極、５０…ホルダ、５１…本体部、５１ａ…取付部、５１ｂ…溝部、５１ｃ，５７ｄ…位置決めピン、５１ｄ…小径部、５１ｅ…配線、５５，５５Ａ…載置部、５７，５７Ａ…凹部、５７ａ…底面、５７ｂ…側面、５７ｃ…電極孔、５８…端子、６０…分光検出器、７０…クリップ電極、７０ａ…上部電極、７０ｂ…下部電極、８０…電極用凹部、９０…ボンディングワイヤ。

Claims (12)

1. 試料から発せられる被測定光を測定する分光測定装置であって、
   前記被測定光を反射する内壁面、及び前記内壁面から外部に向けて延びる取付孔を有する積分球と、
   前記被測定光を誘導する誘導孔を有し、前記取付孔に配置されるアダプタと、
   前記積分球の外側から前記誘導孔を覆うと共に前記試料が載置される第１面、及び前記第１面とは反対側に配置される第２面を有し、前記被測定光を透過するプレートと、
   前記プレートを収容する凹部を有し、前記積分球に取り付けられるホルダと、
   前記積分球から出力される前記被測定光を検出する分光検出器と、
   を備え、
   前記凹部は、前記第２面と対向する底面、及び前記プレートの周りを取り囲む側面を含み、
   前記底面及び前記側面は、前記被測定光を反射する反射材にて覆われており、
   前記プレートは、前記第１面に露出する第１電極、及び前記第２面に露出する第２電極を更に有し、
   前記第１電極と前記第２電極とは、互いに電気的に接続される、分光測定装置。
2. 前記プレートは、前記側面と嵌合する、請求項１に記載の分光測定装置。
3. 前記プレートの側面は、前記第１面にかけてまで、前記凹部の前記側面と嵌合する、請求項２に記載の分光測定装置。
4. 前記プレートは、前記第１面から前記第２面にわたって延びる貫通孔、及び前記貫通孔内に設けられる第１導電体を更に有し、
   前記第１導電体は、前記第１電極と前記第２電極とを電気的に接続する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の分光測定装置。
5. 前記凹部は、前記底面に設けられる孔部、及び前記孔部内に設けられる第２導電体を更に含み、
   前記第２導電体は、前記第２電極と電気的に接続される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の分光測定装置。
6. 前記第２導電体と電気的に接続される電源を更に備える、請求項５に記載の分光測定装置。
7. 前記第２導電体と電気的に接続され、前記試料に生じる電流及び電圧のうち少なくとも一方を検出する電気検出器を更に備える、請求項５又は６に記載の分光測定装置。
8. 前記アダプタは、前記底面に前記プレートを押し付ける押付部を更に有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の分光測定装置。
9. 前記プレートの厚さは、前記底面からの前記凹部の前記側面の高さ以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の分光測定装置。
10. 前記底面は、前記第２面に当接している、請求項９に記載の分光測定装置。
11. 前記誘導孔は、前記積分球の中心部に向けて拡径するテーパ形状を含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の分光測定装置。
12. 試料から発せられる被測定光を反射する内壁面、及び前記内壁面から外部に向けて延びる取付孔を有する積分球を用いて、前記被測定光を測定する分光測定方法であって、
    第１面及び前記第１面とは反対側に配置される第２面を有すると共に前記被測定光を透過するプレートの前記第１面に前記試料を載置する載置ステップと、
    前記第２面と対向する底面、及び前記プレートの周りを取り囲む側面を含む凹部を有するホルダの前記凹部に前記プレートを収容する収容ステップと、
    前記被測定光を誘導する誘導孔を有するアダプタを、前記誘導孔が前記第１面に前記積分球の外側から覆われるように前記プレート上に配置し、前記ホルダを前記積分球に取り付けて前記アダプタを前記取付孔に配置する配置ステップと、
    前記積分球から出力される前記被測定光を分光検出器により検出する検出ステップと、
    を含み、
    前記底面及び前記側面は、前記被測定光を反射する反射材にて覆われており、
    前記プレートは、前記第１面に露出する第１電極、及び前記第２面に露出する第２電極を更に有し、
    前記第１電極と前記第２電極とは、互いに電気的に接続される、分光測定方法。

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