JP6942992B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
このような光導波路素子では、光導波路に光波を入射する光ファイバの配置のズレや、光導波路の作製誤差、光ファイバと光導波路素子内の光導波路のモードフィールド形状の不一致などにより、光導波路を伝搬する光に高次モード光が発生し、この高次モード光が光導波路を伝搬することがある。
この高次モード光と最低次(1次)モード光(基本モード光とも言う)との各成分が干渉することによって、光の伝搬と共に光分布が揺動する揺動光となる。このような揺動光は、光導波路が分岐するY分岐構造において、光の分岐比がアンバランスとなる原因になる。
このような高次モード光を除去するため、特許文献1では、主導波路を挟むように副導波路を設けた3分岐構造が提案されている。
(1) 光導波路が形成された基板と、該光導波路は、主導波路を伝搬する光を2つに分岐するY分岐構造と、該Y分岐構造の前段に、該主導波路と該主導波路の両側の2つの副導波路を含む3つの導波路に分岐する3分岐構造とを有する光導波路素子において、該副導波路は、光導波路を伝搬する高次モード光を除去するための導波路であり、該主導波路は、該3分岐構造と該Y分岐構造との間で、導波路幅が一定の直線導波路部分と、導波路幅が徐々に広くなるテーパー導波路部分とを備え、該直線導波路部分の長さは、400μmから600μmの範囲であり、かつ該直線導波路部分と該テーパー導波路部分との長さの和が2000μm以下であり、該直線導波路部分と該テーパー導波路部分とが接続される位置において、該主導波路と該副導波路との間隔が、該主導波路のモードフィールド径の0.7〜1.4倍に設定されていることを特徴とする。
本発明に係る光導波路素子は、図2に示すように、光導波路2が形成された基板1と、該光導波路は、主導波路を伝搬する光を2つに分岐するY分岐構造Bと、該Y分岐構造の前段に、該主導波路と該主導波路の両側の2つの副導波路21を含む3つの導波路に分岐する3分岐構造Aとを有する光導波路素子において、該主導波路は、該3分岐構造と該Y分岐構造との間で、導波路幅が一定の直線導波路部分201と、導波路幅が徐々に広くなるテーパー導波路部分202とを備えることを特徴とする。
なお、本発明は、基板の厚みが薄いほど、効果が期待できる。これは、基板が薄くなると、主導波路の近傍に高次モード光が留まり易いため、本発明の構成を用いて高次モード光をより効率的に除去することが可能となるためである。具体的には、基板の厚みが、1μm〜20μmの範囲で、本発明を適用できる。
なお、基板には、光導波路2中を伝搬する光の電極層への吸収を少なくするための酸化シリコン(SiO2)などからなるバッファ層や、光導波路2(特に、図2に示すY分岐構造の分岐導波路)を伝搬する光波を変調するための制御電極(例えば、信号電極や接地電極、DCバイアス電極)なども設けられるが、説明を簡略化するために図示を省略する。
10μmの厚みのニオブ酸リチウ基板に、Ti拡散で光導波路を形成し、図2に示す光導波路素子を作製した。
第1の試験では、図2に示す直線導波路部分201とテーパー導波路部分202との長さの和L1を1200μmに設定し、直線導波路部分201の長さL2を0〜1000μmの範囲で変化させた。
また、光導波路2の左端の入射側端部において、入射光を光導波路の光軸から0.5μmオフセットさせて入射し、意図的に揺動光を発生させた。
また、3分岐構造とY分岐構造との間の主導波路の形状は、L2が、0,400,600及び1190μmの場合について、測定を行なった。また、L1は1200μmに設定した。図5の凡例は、「L2/(L1−L2)」の数値を示したものである。
また、L2が1190μmの場合は、Loss|X−Y|の変化量も増加する傾向に変化することが理解される。このことからも、L2は1000μm以下に設定することが好ましい。
さらに、図7に示すように、本発明の光導波路素子には、特許文献2に示されるような、スラブ導波路3を用いて、高次モード光を除去する技術をさらに付加することが可能である。また、特許文献3のように、Y分岐構造でテーパー導波路と2つの分岐導波路との接続部Bを不連続に構成する技術を付加することも可能であることは、言うまでも無い。
2 光導波路
3 スラブ導波路
21 副導波路
22 分岐導波路
201 直線導波路部分
202 テーパー導波路部分
Claims (3)
- 光導波路が形成された基板と、
該光導波路は、主導波路を伝搬する光を2つに分岐するY分岐構造と、該Y分岐構造の前段に、該主導波路と該主導波路の両側の2つの副導波路を含む3つの導波路に分岐する3分岐構造とを有する光導波路素子において、
該副導波路は、光導波路を伝搬する高次モード光を除去するための導波路であり、
該主導波路は、該3分岐構造と該Y分岐構造との間で、導波路幅が一定の直線導波路部分と、導波路幅が徐々に広くなるテーパー導波路部分とを備え、
該直線導波路部分の長さは、400μmから600μmの範囲であり、かつ該直線導波路部分と該テーパー導波路部分との長さの和が2000μm以下であり、
該直線導波路部分と該テーパー導波路部分とが接続される位置において、該主導波路と該副導波路との間隔が、該主導波路のモードフィールド径の0.7〜1.4倍に設定されていることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、該光導波路の入射側端部から該Y分岐構造のテーパー導波路部分と2つの分岐導波路との接続部までの長さが3000μm未満であることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該基板の厚みは、20μm以下であることを特徴とする光導波路素子。
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