JP4161897B2 - 光導波路素子の位相差調整方法 - Google Patents
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Description
結晶質基板と、この基板上に設けられた入力用並びに出力用チャネル光導波路と、これ等入出力用チャネル光導波路間に設けられかつマッハツェンダー型干渉計を構成する光導波路とを備える光導波路素子の位相差調整方法を前提とし、
上記マッハツェンダー型干渉計における少なくとも一方のアームを構成する光導波路の直上を含む領域に、この光導波路を形成する物質よりその屈折率が低い液状の透明樹脂にて構成されかつ塗布後の形態が10マイクロメーターから200マイクロメーターの直径を有する円形状若しくはドーム状の液滴を一個ずつ分割して光導波路に沿って塗布し、これにより上記光導波路の実効屈折率が異なる領域を生じさせてマッハツェンダー型干渉計の位相差を調整することを特徴とする。
請求項1記載の発明に係る光導波路素子の位相差調整方法を前提とし、
屈折率が1以上2.2以下、25℃における粘性が50mPa・s以上1000mPa・s以下である液状の樹脂材料により上記透明樹脂が構成されていることを特徴とし、
請求項3に係る発明は、
請求項1記載の発明に係る光導波路素子の位相差調整方法を前提とし、
ニオブ酸リチウム若しくはタンタル酸リチウムにより上記結晶質基板が構成されていることを特徴とするものである。
用した。
12 入力ポート
13 下部アーム
14 上部アーム
15 正電極
16 負電極
17 出力ポート
18 上部アームの出力側テーパー部分
19 下部アームの出力側テーパー部分
Claims (3)
- 結晶質基板と、この基板上に設けられた入力用並びに出力用チャネル光導波路と、これ等入出力用チャネル光導波路間に設けられかつマッハツェンダー型干渉計を構成する光導波路とを備える光導波路素子の位相差調整方法において、
上記マッハツェンダー型干渉計における少なくとも一方のアームを構成する光導波路の直上を含む領域に、この光導波路を形成する物質よりその屈折率が低い液状の透明樹脂にて構成されかつ塗布後の形態が10マイクロメーターから200マイクロメーターの直径を有する円形状若しくはドーム状の液滴を一個ずつ分割して光導波路に沿って塗布し、これにより上記光導波路の実効屈折率が異なる領域を生じさせてマッハツェンダー型干渉計の位相差を調整することを特徴とする光導波路素子の位相差調整方法。 - 屈折率が1以上2.2以下、25℃における粘性が50mPa・s以上1000mPa・s以下である液状の樹脂材料により上記透明樹脂が構成されていることを特徴とする請求項1記載の光導波路素子の位相差調整方法。
- ニオブ酸リチウム若しくはタンタル酸リチウムにより上記結晶質基板が構成されていることを特徴とする請求項1記載の光導波路素子の位相差調整方法。
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