JP6941424B2 - モノメチルヒドラジンガスの精製方法 - Google Patents
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[比較例1]
Claims (4)
- モノメチルヒドラジンガスを、アルミナを主成分とする吸着剤に接触させる精製処理を行うことにより、前記モノメチルヒドラジンガスに含まれる不純物を除去するモノメチルヒドラジンガスの精製方法において、精製対象ガスであるモノメチルヒドラジンガスを前記吸着剤に接触させて精製処理を行う前に、含有する不純物が100容量ppm未満の高純度モノメチルヒドラジンガスを前記吸着剤に接触させる前処理を行うことを特徴とするモノメチルヒドラジンガスの精製方法。
- 前記吸着剤は、合成ゼオライトを含まないことを特徴とする請求項1記載のモノメチルヒドラジンガスの精製方法。
- 前記モノメチルヒドラジンガスと吸着剤とを接触させるときの温度を、前記モノメチルヒドラジンガスの液化温度以上で、120℃以下の範囲に設定することを特徴とする請求項1又は2記載のモノメチルヒドラジンガスの精製方法。
- 前記不純物は、水分及び/又はモノメチルアミンであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のモノメチルヒドラジンガスの精製方法。
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