JP6926551B2 - Judgment device - Google Patents
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Description
本発明は、装置の異常を判定する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for determining an abnormality of the apparatus.
基体上の所定の位置に部品を設置する搭載装置や搬送装置が、種々の生産現場で用いられている。 Mounting devices and transport devices that install parts at predetermined positions on a substrate are used at various production sites.
例えば、部品を基板の所定位置に搭載する搭載機は、一般的に、搭載ヘッドの先端に取り付けられる吸着部（吸着ノズル）で部品を吸着、搬送する（特許文献１参照）。近年は基板上に搭載される部品の微細化が進んでおり、また、コネクタ部品などの異形部品について、表面実装技術（ＳＭＴ（ｓｕｒｆａｃｅ−ｍｏｕｎｔ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ））により基板上に設置するための搭載が行われることもある。そのため、近年は、吸着の困難度が上がって来ており、吸着の失敗が発生する頻度が高まっている。しかしながら、生産コスト削減のため、失敗の発生に対応する作業者を増員することは難しい。そのため、近年は、失敗の発生から復旧させるまでの時間をいかに短縮するかが重要になっている。 For example, a mounting machine that mounts a component at a predetermined position on a substrate generally sucks and conveys the component by a suction portion (suction nozzle) attached to the tip of the mounting head (see Patent Document 1). In recent years, the miniaturization of parts mounted on a board has progressed, and irregularly shaped parts such as connector parts have been mounted for mounting on a board by surface mounting technology (SMT (surface-mount technology)). It may be said. Therefore, in recent years, the degree of difficulty in adsorption has increased, and the frequency of adsorption failures has increased. However, in order to reduce production costs, it is difficult to increase the number of workers who respond to the occurrence of failures. Therefore, in recent years, it has become important how to shorten the time from the occurrence of a failure to the recovery.
ここで、特許文献２及び３は、作業者に対し、必要に応じた優先度を付けて作業指示をする方法を開示する。
Here,
特許文献２が開示する方法は、工程別記録データベースに生産履歴データを蓄積する。そして、当該方法は、蓄積した生産履歴データから停止見込時間を算出することで、優先度を定める。
The method disclosed in
一方、特許文献３が開示する方法は、作業計画立案装置にて、必要な作業を実行する時間とその作業内容に合わせた準備をする時間を算出、計画する。これにより、当該方法は、必要に応じたタイミングで必要な作業を通知することができるとされている。
On the other hand, in the method disclosed in
ここで、特許文献４は、実装設備を管理する制御装置から、部品を補充する旨の補充通知を取得して表示し、実装作業の品質に関する情報を、補充通知を取得するタイミングで制御装置から取得して表示する携帯端末を開示する。
Here,
また、特許文献５は、部品実装機を構成する機器に取り付けられたＩＣタグから受信した信号により前記機器の位置を特定し、前記機器のＩＣタグから、前記機器のメンテナンス情報を読みだすメンテナンス方法を開示する。 Further, Patent Document 5 is a maintenance method in which the position of the device is specified by a signal received from an IC tag attached to a device constituting the component mounting machine, and maintenance information of the device is read from the IC tag of the device. To disclose.
一般的な搭載機は、前述の吸着の失敗が発生した際には、複数回のリトライ動作（繰り返し動作）を行う。 A general on-board machine performs a plurality of retry operations (repeated operations) when the above-mentioned adsorption failure occurs.
ここで、我々の検討によると搭載機における吸着動作の失敗には次の２種類がある。 Here, according to our study, there are the following two types of failure of the suction operation in the on-board machine.
１種類目（以下、「第一種」という）の失敗は、搬送装置の精度による失敗である。失敗の種類が第一種である場合には、失敗が発生しても、再度吸着を試行すると、問題なく吸着が行われる場合が多い。すなわち、第一種の失敗は、単発的に発生するものであり、失敗の発生による時間的な損失が小さい。そのため、第一種の失敗は、作業者等による故障等対応の必要のない、正常範囲の動作の中で発生する失敗であると考えることができる。 The failure of the first type (hereinafter referred to as "first type") is a failure due to the accuracy of the transfer device. When the type of failure is the first type, even if a failure occurs, if adsorption is tried again, adsorption is often performed without any problem. That is, the first type of failure occurs sporadically, and the time loss due to the occurrence of the failure is small. Therefore, the first-class failure can be considered to be a failure that occurs in the normal range of operation without the need for a failure or the like by an operator or the like.
２種類目（以下、「第二種」という）の失敗は、搬送装置の精度によらない、個別の原因により発生する失敗である。第二種の失敗は、例えば、吸着部の前記部品を吸着する部分への異物の付着等による失敗である。第二種の失敗が発生した場合は、そのまま放置すると、失敗の発生が継続することが多い。すなわち、第二種の失敗の場合は、失敗の発生を通知された作業者等が前述の個別の原因を取り除く対応が必要な失敗である。
The failure of the second type (hereinafter referred to as "
ここで、特許文献２の方法を適用した場合は、停止見込時間の算出により優先度が定められ、停止見込み時間に応じた作業者等への通知が行われる。しかしながら、停止見込み時間は必ず定められるので、前述の第一種の失敗の場合も、必要ない無駄な通知が行われる。
Here, when the method of
また、特許文献３の方法を適用した場合は、計画から逸脱して吸着失敗が発生したタイミングで作業者等に改善指摘がなされる。しかしながら、当該指摘は失敗の種類に関係なく行われるので、前述の第一種の失敗の場合にも行われ、作業者における不要な対応が必要になる。
Further, when the method of
上記のような作業者等の動作の無駄をなくすためには、第二種の失敗が発生したことをいち早く検知し、作業者等に通知等をすることが必要である。 In order to eliminate the waste of operations of the workers and the like as described above, it is necessary to promptly detect the occurrence of the second type of failure and notify the workers and the like.
上述の課題は、前述の吸着動作に限らず、機器が行う一般的な動作について成立する課題である。 The above-mentioned problem is not limited to the above-mentioned suction operation, but is a problem that is established for general operations performed by the device.
本発明は、所定の動作の失敗発生に関する判定結果の出力により発生する作業の無駄を低減し得る判定装置等の提供を目的とする。 An object of the present invention is to provide a determination device or the like that can reduce the waste of work generated by outputting the determination result regarding the occurrence of a failure of a predetermined operation.
本発明の判定装置は、機器が行った所定の種類の動作についての、前記動作の成功に係る成功数と前記動作の失敗に係る失敗数との入力が行われる入力部と、前記成功数と前記失敗数との所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行う判定部と、前記判定による判定結果の出力を行う出力部と、を備える。 The determination device of the present invention includes an input unit for inputting the number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by the device, and the number of successes. It is provided with a determination unit for determining whether the change value representing the time change of the function value of the predetermined function with the number of failures exceeds the predetermined reference value, and an output unit for outputting the determination result by the determination.
本発明の判定装置等は、所定の動作の失敗発生に関する判定結果の出力により発生する作業の無駄を低減し得る。 The determination device or the like of the present invention can reduce the waste of work generated by the output of the determination result regarding the occurrence of failure of a predetermined operation.
＜第一実施形態＞
第一実施形態は、通知を行うか否かの判定対象の動作の種類が一つの場合の判定システムに関する実施形態である。
［構成と動作］
図１は、第一実施形態の判定システムの例である判定システム１００の構成を表す概念図である。
<First Embodiment>
The first embodiment is an embodiment relating to a determination system when there is only one type of operation to be determined whether or not to perform notification.
[Configuration and operation]
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of a
判定システム１００は、搬送装置２０１と判定装置１０１とを備える。
The
搬送装置２０１は、ある部品を所定の位置から他の位置に搬送する装置である。当該部品は、例えば、リールやトレイに格納されている。そして、搬送装置２０１は、当該部品を、所定の位置に設置されたリールやトレイから、基体上に固定されたウエハ上の決められた位置に搬送し、設置する。 The transport device 201 is a device that transports a certain part from a predetermined position to another position. The part is stored in, for example, a reel or a tray. Then, the transport device 201 transports the component from a reel or tray installed at a predetermined position to a predetermined position on the wafer fixed on the substrate and installs the component.
搬送装置２０１は、当該部品を搬送する際に、搬送装置２０１が備える図示しない吸着部において当該部品を真空吸着する。そして、搬送装置２０１は、当該吸着部を図示しない搬送部により所定の地点に移動させる。そして、搬送装置２０１は、前記吸着部に吸着された前記部品を目的地に移動させる。そして、搬送装置２０１が、前記部品の前記吸着部における吸着を停止すると、前記部品が目的地に設置される。 When transporting the component, the transport device 201 vacuum sucks the component at a suction portion (not shown) included in the transport device 201. Then, the transport device 201 moves the suction portion to a predetermined point by a transport unit (not shown). Then, the transport device 201 moves the component sucked by the suction portion to the destination. Then, when the transport device 201 stops the suction of the component at the suction portion, the component is installed at the destination.
上述の動作を行う搬送装置の構成例は、特許文献１をはじめとして多くの文献に開示がある。従い、ここでは、上述の動作を行う搬送装置の構成の詳細の説明を省略する。
A configuration example of a transport device that performs the above operation is disclosed in many documents including
搬送装置２０１は、前記搬送の際に、前記部品の吸着に失敗が生じることがある。そして、吸着の当該失敗には、次の２種類が存在する。 The transport device 201 may fail to attract the parts during the transport. And, there are the following two types of the failure of adsorption.
第一種の失敗は、搬送装置２０１に確率的に存在する失敗である。 The first type of failure is a failure that stochastically exists in the transport device 201.
特に、前記部品の設置の動作が高速で実行される場合には、前記部品の吸着姿勢の乱れや運搬中の部品のずれが生じやすい。第一種の失敗は上記原因により生じるものと考えられる。上記原因は、搬送装置の精度により確率的に発生するものである。そのため、第１種類の失敗は確率的に発生する。そして、失敗の種類が第一種である場合には、失敗が発生しても、再度吸着を試行すると、問題なく吸着が行われる場合が多いことが経験により理解されている。すなわち、第一種の失敗は、単発的に発生するものである。すなわち、第一種の失敗は、失敗の発生による時間的な損失が小さい。 In particular, when the operation of installing the component is executed at high speed, the suction posture of the component is disturbed and the component is likely to be displaced during transportation. The first type of failure is considered to be caused by the above causes. The above-mentioned cause is probabilistically generated depending on the accuracy of the transport device. Therefore, the first type of failure occurs stochastically. Then, it is understood from experience that when the type of failure is the first type, even if a failure occurs, if adsorption is tried again, adsorption is often performed without any problem. That is, the first type of failure occurs sporadically. That is, the first type of failure has a small time loss due to the occurrence of the failure.
従い、第一種の失敗は、作業者等の故障対応の必要のない、正常範囲の動作の中で発生する失敗であると考えることができる。 Therefore, the first-class failure can be considered to be a failure that occurs in a normal range of operation without the need for a worker or the like to deal with a failure.
第二種の失敗は、搬送装置の精度によらない、個別の原因により発生する失敗である。 The second type of failure is a failure caused by an individual cause, not depending on the accuracy of the transport device.
当該個別の原因は、例えば、前記吸着部の前記部品を吸着する部分への異物の付着や前記吸着部の変形である。あるいは、当該原因は、例えば、前記吸着部に吸着される前記部品の被吸着部分の異常や前記吸着部内部を真空にする真空動作の異常である。あるいは、当該原因は、例えば、前記吸着部を移動させる前記搬送部の異常や前記吸着部や前記搬送部の動作を制御する制御系の異常である。 The individual cause is, for example, adhesion of a foreign substance to a portion of the suction portion that sucks the component or deformation of the suction portion. Alternatively, the cause is, for example, an abnormality in the suctioned portion of the component that is sucked by the suction portion or an abnormality in the vacuum operation that evacuates the inside of the suction portion. Alternatively, the cause is, for example, an abnormality in the transport unit that moves the suction unit or an abnormality in the control system that controls the operation of the suction unit or the transport unit.
上記個別の原因による第二種の失敗の場合は、そのまま放置した場合、失敗が継続し続けることが多い。すなわち、第二種の失敗の場合は、失敗の発生を通知された人やロボット等（以下、「人等」という）が、前述の個別の原因を取り除く対応が必要である。 In the case of the second type of failure due to the above individual causes, if left as it is, the failure often continues. That is, in the case of the second type of failure, it is necessary for the person, robot, etc. (hereinafter referred to as "person, etc.") notified of the occurrence of the failure to take measures to eliminate the above-mentioned individual causes.
搬送装置２０１は、所定のタイミングごとに、一つ前のタイミングからそのタイミングまでの期間に行った吸着動作の回数と当該期間に発生した吸着失敗の回数とを、判定装置１０１に送付する。当該タイミングは、例えば、各ウエハへの各部品の設置が完了した後のタイミングである。 The transport device 201 sends to the determination device 101 the number of suction operations performed in the period from the previous timing to that timing and the number of suction failures occurring in the period at predetermined timings. The timing is, for example, the timing after the installation of each component on each wafer is completed.
搬送装置２０１は、一つ前のタイミングからそのタイミングまでに行った吸着動作の回数が定まっている場合は、搬送装置２０１は、当該期間に発生した吸着失敗の回数のみを、判定装置１０１に送付しても構わない。 When the number of suction operations performed by the transfer device 201 from the previous timing to that timing is fixed, the transfer device 201 sends only the number of suction failures that occurred during the period to the determination device 101. It doesn't matter.
判定装置１０１は、搬送装置２０１から送られた吸着動作の回数と失敗の回数とを記録する。 The determination device 101 records the number of suction operations and the number of failures sent from the transfer device 201.
そして、判定装置１０１は、吸着動作の回数と失敗の回数から、人等へ通知を行うかについての判定である通知判定を行う。当該判定は、前述の第二種の失敗が発生している可能性が高いかについての判定である。前述のように第二種の失敗が発生している場合は、人等による失敗原因を取り除く作業が必要な場合が多いので、第二種の失敗が発生している可能性が高い場合は、人等に通知する必要があるためである。当該判定の具体的動作例については、図２及び図３を参照して後述する。 Then, the determination device 101 makes a notification determination, which is a determination as to whether or not to notify a person or the like, based on the number of suction operations and the number of failures. The determination is a determination as to whether or not the above-mentioned second type of failure is likely to occur. As mentioned above, when the second type of failure has occurred, it is often necessary to remove the cause of the failure by humans, etc., so if there is a high possibility that the second type of failure has occurred, This is because it is necessary to notify people and the like. A specific operation example of the determination will be described later with reference to FIGS. 2 and 3.
判定装置１０１は、人等への通知を行うことを判定した場合は、所定の通知を行う。当該通知例については、図２の説明の中で後述する。 When the determination device 101 determines that the notification to a person or the like is to be performed, the determination device 101 performs a predetermined notification. The notification example will be described later in the description of FIG.
図２は、図１に表す判定装置１０１の例である判定装置１０１ａの構成を表す概念図である。 FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of the determination device 101a, which is an example of the determination device 101 shown in FIG.
判定装置１０１ａは、処理部１１１と、記録部１１６と、出力部１２１とを備える。 The determination device 101a includes a processing unit 111, a recording unit 116, and an output unit 121.
処理部１１１には、所定のタイミング（第一タイミング）で、図１に表す搬送装置２０１から失敗数情報が送られる。当該失敗数情報には、一つ前の第一タイミングからその第一タイミングまでの期間に行った吸着動作の回数と当該期間に発生した吸着失敗の回数とが含まれる。 Information on the number of failures is sent to the processing unit 111 from the transfer device 201 shown in FIG. 1 at a predetermined timing (first timing). The failure number information includes the number of suction operations performed in the period from the previous first timing to the first timing and the number of suction failures occurring in the period.
処理部１１１は、送られた吸着動作の回数と当該期間に発生した吸着失敗の回数と当該第一タイミングを表す情報とを組み合わせた情報を、記録部１１６に記録させる。当該吸着動作の回数は、吸着動作を正常に終了した回数（以下、「成功数」という。）である。また、当該吸着失敗の回数は、前述の吸着部が前記部品の吸着に失敗した回数（以下、「失敗数」という。）である。 The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record information that is a combination of the number of times the suction operation is sent, the number of times the suction failure occurs during the period, and the information indicating the first timing. The number of times of the suction operation is the number of times that the suction operation is normally completed (hereinafter, referred to as "successful number"). Further, the number of times of the suction failure is the number of times that the above-mentioned suction part fails to suck the component (hereinafter, referred to as "failure number").
処理部１１１は、搬送装置２０１から送られた前記失敗数情報から、前述の通知判定を行う。前記通知判定に用いられる前記失敗数情報には、過去に搬送装置２０１から送られたものが含まれる。 The processing unit 111 performs the above-mentioned notification determination from the failure number information sent from the transfer device 201. The failure number information used for the notification determination includes information sent from the transfer device 201 in the past.
処理部１１１が行う通知判定の方法は例えば以下の通りである。 The method of notification determination performed by the processing unit 111 is as follows, for example.
困難度Ｐｎは、例えば図示しない演算装置により導出され、記録部１１６に格納される。 The difficulty level Pn is derived by, for example, an arithmetic unit (not shown) and stored in the recording unit 116.
前記演算装置は、過去の累積成功数Ｍｎと累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓとから吸着動作についての困難度Ｐｎを導出する。困難度Ｐｎは、例えば、Ｐｎ＝（Ｍｎ＋Ｍｎ＿ｍｓ）／Ｍｎ（…式１）で表されるものを用いる。 The arithmetic unit derives the difficulty level Pn for the adsorption operation from the past cumulative success number Mn and cumulative failure number Mn_ms. As the difficulty level Pn, for example, one represented by Pn = (Mn + Mn_ms) / Mn (... Equation 1) is used.
式１を用いた場合、仮にＭｎ＝１０００、Ｍｎ＿ｍｓ＝５０とすると、Ｐｎ＝１０５０／１０００＝１．０５になる。
When
処理部１１１が、上記方法により困難度Ｐｎを導出しても構わない。 The processing unit 111 may derive the difficulty level Pn by the above method.
処理部１１１は、最新の失敗変化率αｍを導出する。失敗変化率αｍは、例えば、αｍ＝Ａｍ／Ａｍ−１で表される。ここで、失敗数Ａｍは、最新の失敗数情報に含まれる失敗数である。また、失敗数Ａｍ−１は一つ前の失敗数情報に含まれる失敗数である。処理部１１１は、導出した最新の失敗変化率を記録部１１６に記録させる。 The processing unit 111 derives the latest failure rate of change αm. The failure rate of change αm is represented by, for example, αm = Am / Am-1. Here, the number of failures Am is the number of failures included in the latest information on the number of failures. Further, the number of failures Am-1 is the number of failures included in the previous failure number information. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the latest derived failure rate of change.
次に、処理部１１１は、失敗変化率の平均値αａｖを導出する。平均値αａｖは、各タイミングにおいて導出した失敗変化率の平均値である。 Next, the processing unit 111 derives the average value αav of the failure change rate. The average value αav is the average value of the failure change rate derived at each timing.
そして、処理部１１１は、αｍ＞αａｖ×Ｐｎ（…式２）かについての判定を行う。 Then, the processing unit 111 determines whether αm> αav × Pn (... Equation 2).
処理部１１１は、αｍ＞αａｖ×Ｐｎであることを判定した場合は、出力部１２１に、人等への通知を指示する。 When the processing unit 111 determines that αm> αav × Pn, the processing unit 111 instructs the output unit 121 to notify a person or the like.
式２による判定は、失敗変化率αｍが基準値を超えたかについての判定である。そして、当該基準値として失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値を用いた場合に、主として前述の第二種の失敗の発生が生じたときに通知を行わせられることは、経験により理解された事象である。すなわち、当該基準値として失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値を用いた場合には、前述の一番目の失敗の発生により通知が行われる確率を低減できる。
The determination according to
出力部１２１は、処理部１１１から指示を受けた場合には、所定の通知を行う。 When the output unit 121 receives an instruction from the processing unit 111, the output unit 121 gives a predetermined notification.
当該通知は、例えば、図示しない表示部への表示である。その場合の当該表示は、例えば、図示しないディスプレイへの表示や、図示しない表示ランプの点灯や点滅である。 The notification is, for example, a display on a display unit (not shown). In that case, the display is, for example, a display on a display (not shown) or lighting or blinking of a display lamp (not shown).
前記通知は、あるいは、図示しないスピーカによる、音情報や音声情報の発生でもよい。 The notification may be the generation of sound information or voice information by a speaker (not shown).
前記通知は、あるいは、通信回線を通じての所定の通信装置への通知情報の送付でもよい。その場合の当該通知情報は、例えば、電子メールによる通知情報である。 The notification may also be the transmission of notification information to a predetermined communication device via a communication line. The notification information in that case is, for example, notification information by e-mail.
記録部１１６は、処理部１１１及び出力部１２１が行う上記処理に必要なプログラムや情報を予め保持する。記録部１１６は、また、処理部１１１又は出力部１２１が指示する情報を記録する。記録部１１６は、また、処理部１１１又は出力部１２１が指示する情報を、指示された送付先である処理部１１１又は出力部１２１に送付する。 The recording unit 116 holds in advance programs and information necessary for the above processing performed by the processing unit 111 and the output unit 121. The recording unit 116 also records information instructed by the processing unit 111 or the output unit 121. The recording unit 116 also sends the information instructed by the processing unit 111 or the output unit 121 to the processing unit 111 or the output unit 121 which is the instructed destination.
前述の、式２による判定は、前記通知が必要か否かについての判定である。最新の失敗変化率αｍが、失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値を上回る場合には、最新の失敗変化率が、過去の失敗変化率と比べて、はっきりと増加したことを表す。そして、その失敗変化率の明確な増加は、前述の第二種の失敗の発生を強く推定させる。そのため、処理部１１１及び出力部１２１に人等への通知を行わせるのである。
［処理フロー例］
図３は、図２に表す処理部１１１が行う処理の処理フロー例を表す概念図である。
The above-mentioned determination by the
[Processing flow example]
FIG. 3 is a conceptual diagram showing an example of a processing flow of processing performed by the processing unit 111 shown in FIG.
図３においては、過去の累積成功数Ｍｎと累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓとから吸着動作についての困難度Ｐｎは予め導出され、図２に表す記録部１１６が保持しているものとする。 In FIG. 3, it is assumed that the difficulty level Pn for the adsorption operation is derived in advance from the past cumulative success number Mn and the cumulative failure number Mn_ms, and is held by the recording unit 116 shown in FIG.
処理部１１１は、例えば、外部からの開始情報の入力により、図３に表す処理を開始する。 The processing unit 111 starts the processing shown in FIG. 3, for example, by inputting start information from the outside.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０１の処理として、図１に表す搬送装置２０１から失敗数情報を受けたかについての判定を行う。 Then, the processing unit 111 determines whether or not the failure number information has been received from the transfer device 201 shown in FIG. 1 as the processing of S201.
処理部１１１は、Ｓ２０１の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ２０２の処理を行う。 If the determination result of the processing of S201 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S202.
一方、処理部１１１は、Ｓ２０１の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ２０１の処理を再度行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S201 is no, the processing unit 111 performs the processing of S201 again.
処理部１１１は、Ｓ２０２の処理を行う場合は、同処理として、前記失敗数情報に含まれる成功数及び失敗数を、それまでに失敗数情報を受けた回数と関連付けて、記録部１１６に記録させる。 When the processing unit 111 performs the processing of S202, the processing unit 111 records the number of successes and the number of failures included in the failure number information in the recording unit 116 in association with the number of times the failure number information has been received so far. Let me.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０６の処理として、Ｓ２０２の処理により記録部１１６に記録させた成功数及び失敗数から失敗変化率αｍを導出する。そして、処理部１１１は、同処理として、導出した失敗変化率αｍを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 derives the failure change rate αm from the number of successes and the number of failures recorded in the recording unit 116 by the processing of S202 as the processing of S206. Then, the processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived failure change rate αm as the same processing.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０７の処理として、Ｓ２０２の処理により記録部１１６に記録させた成功数及び失敗数と、過去に受けた失敗数情報に含まれる成功数及び失敗数とから、失敗変化率の平均値αａｖを導出する。そして、処理部１１１は、同処理として、導出した平均値αａｖを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 changes the failure from the number of successes and failures recorded in the recording unit 116 by the processing of S202 as the processing of S207 and the number of successes and failures included in the number of failures information received in the past. The average value αav of the rate is derived. Then, the processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived average value αav as the same processing.
次に、処理部１１１は、Ｓ１２１ａの処理として、最新の失敗変化率αｍを読み込む。 Next, the processing unit 111 reads the latest failure change rate αm as the processing of S121a.
そして、処理部１１１は、Ｓ１２２ａの処理として、最新の、失敗変化率の平均値αａｖを読み込む。 Then, the processing unit 111 reads the latest average value αav of the failure change rate as the processing of S122a.
そして、処理部１１１は、Ｓ１２４ａの処理として、最新の失敗変化率αｍが、最新の、失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値より大きいかについての判定を行う。 Then, as the processing of S124a, the processing unit 111 determines whether the latest failure change rate αm is larger than the latest average value αav of the failure change rate multiplied by the difficulty level Pn.
処理部１１１は、Ｓ１２４の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０４の処理を行う。 If the determination result of the processing of S124 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S104.
一方、処理部１１１は、Ｓ１２４の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ２０８の処理を行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S124 is no, the processing unit 111 performs the processing of S208.
処理部１１１は、Ｓ２０８の処理を行う場合は、同処理として、図３に表す処理を終了するかについての判定を行う。処理部１１１は、当該判定を、外部からの終了情報の入力の有無を判定することにより行う。 When the processing of S208 is performed, the processing unit 111 determines whether to end the processing shown in FIG. 3 as the same processing. The processing unit 111 makes the determination by determining whether or not the end information is input from the outside.
処理部１１１は、Ｓ２０８の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、図３に表す処理を終了する。 When the determination result by the process of S208 is yes, the processing unit 111 ends the process shown in FIG.
一方、処理部１１１は、Ｓ２０８の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ２０１の処理を再度行う。
［具体例］
次に、図２に表す処理部１１１が行う処理の動作の具体例を説明する。
On the other hand, when the determination result by the processing of S208 is no, the processing unit 111 performs the processing of S201 again.
[Concrete example]
Next, a specific example of the operation of the processing performed by the processing unit 111 shown in FIG. 2 will be described.
図４は、図１に表す判定装置１０１が導出する失敗変化率と搬送装置２０１が処理した累積ウエハ処理枚数との関係例を表す図である。 FIG. 4 is a diagram showing an example of the relationship between the failure change rate derived by the determination device 101 shown in FIG. 1 and the cumulative number of wafers processed by the transfer device 201.
図４においては、図１に表す搬送装置２０１は、所定の部品を、決められた場所からウエハ上のある位置に搬送して設置する装置である。当該ウエハ上の位置は複数ある。すなわち、搬送装置２０１は所定の複数回の前記設置が成功すると、設置後のウエハを移動させ、次のウエハについて同様の設置動作を行う。 In FIG. 4, the transport device 201 shown in FIG. 1 is a device for transporting and installing a predetermined component from a predetermined place to a certain position on the wafer. There are multiple positions on the wafer. That is, when the transfer device 201 succeeds in the predetermined plurality of installations, the wafer after installation is moved, and the same installation operation is performed on the next wafer.
そして、搬送装置２０１は、一枚のウエハについての複数の前記部品の設置動作が成功するごとに、前述の失敗数情報を処理部１１１に送ることを前提とする。 Then, it is premised that the transfer device 201 sends the above-mentioned failure number information to the processing unit 111 every time the installation operation of the plurality of the parts on one wafer is successful.
図４に表す例では、累積ウエハ処理枚数がｍ−１までの間は、各累積ウエハ処理枚数における失敗変化率は、失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値以下である。そのため、図３に表すＳ１２４ａの処理による判定結果はｎｏとなり、前述の通知は行われない。 In the example shown in FIG. 4, while the cumulative number of wafers processed is up to m-1, the failure change rate in each cumulative wafer processing number is equal to or less than the value obtained by multiplying the average value αav of the failure change rate by the difficulty level Pn. Therefore, the determination result by the process of S124a shown in FIG. 3 is no, and the above-mentioned notification is not performed.
そして、累積ウエハ処理枚数がｍになると、失敗変化率は、失敗変化率の平均値αａｖに困難度Ｐｎを乗じた値を上回る。そのため、図３に表すＳ１２４ａの処理による判定結果はｙｅｓになる。そして、図３に表すＳ１０４の処理により、処理部１１１は、図２に表す出力部１２１に対し、通知情報の出力を指示する。当該指示を受けた出力部１２１は、通知を行う。 Then, when the cumulative number of wafers processed reaches m, the failure change rate exceeds the value obtained by multiplying the average value αav of the failure change rate by the difficulty level Pn. Therefore, the determination result by the processing of S124a shown in FIG. 3 is yes. Then, by the processing of S104 shown in FIG. 3, the processing unit 111 instructs the output unit 121 shown in FIG. 2 to output the notification information. Upon receiving the instruction, the output unit 121 gives a notification.
図４に表す累積ウエハ処理枚数ｍにおける失敗変化率のように、失敗変化率が失敗変化率の平均値αａｖを顕著に上回ったということは、主として前述の第二種の失敗が発生していることを意味する。そこで、判定装置１０１は人等に通知を行う。通知を受けた人等は、図１に表す搬送装置２０１を調べ、実際に第二種の失敗が発生していた場合には、その原因を取り除く等の措置を取る。
［効果］
第一実施形態の判定システムにおいては、失敗変化率が、過去の累積成功数と累積失敗数とから導出した困難度から導出した基準値を上回ったことを判定したときに、通知を行う。失敗変化率が、失敗変化率の平均値を顕著に上回ることが、主に前述の第二種の失敗が発生していることを意味することは、経験により理解されている。そのため、前記判定装置は、通知の必要のない前述の第一種の失敗の発生による通知を行う確率を低減できる。すなわち、前記判定装置は、所定の処理の失敗発生に関する判定結果の出力により発生する作業の無駄を低減し得る。
＜第二実施形態＞
第二実施形態は、図１に表す搬送装置２０１が行う、通知判定の対象動作に複数の種類がある場合についての実施形態である。以下の説明において、当該複数の種類の各々に対応する場合を「ケース」ということにする。当該ケースは、例えば、吸着対象（搬送対象）の部品の種類が複数存在するときの当該各々の種類に対応するものである。前記ケースは、あるいは、例えば、吸着部の種類が複数存在するときの当該種類の各々に対応するものである。前記ケースは、あるいは、例えば、吸着以外の動作も、通知判定の対象とするときに、吸着以外の当該動作に対応するものである。
［構成と動作］
第二実施形態の判定システムの構成例は図１に表すものである。また、判定装置１０１の構成例は図２に表すものである。
The fact that the failure change rate significantly exceeds the average value αav of the failure change rate, as in the failure change rate in the cumulative number of wafers processed m shown in FIG. 4, mainly causes the above-mentioned second type of failure. Means that. Therefore, the determination device 101 notifies a person or the like. The person or the like who received the notification examines the transport device 201 shown in FIG. 1, and if a failure of the second type actually occurs, takes measures such as removing the cause.
[effect]
In the determination system of the first embodiment, when it is determined that the failure change rate exceeds the reference value derived from the difficulty derived from the cumulative number of successful successes and the cumulative number of failures in the past, a notification is given. It is empirically understood that the fact that the rate of change in failure is significantly higher than the average value of the rate of change in failure mainly means that the above-mentioned
<Second embodiment>
The second embodiment is an embodiment in which the transport device 201 shown in FIG. 1 performs a case where there are a plurality of types of target operations for notification determination. In the following description, the case corresponding to each of the plurality of types will be referred to as a "case". The case corresponds to, for example, each type when there are a plurality of types of parts to be attracted (transported). The case corresponds to, for example, each of the types of adsorption portions when there are a plurality of types. In this case, or, for example, an operation other than adsorption also corresponds to the operation other than adsorption when the notification determination is made.
[Configuration and operation]
A configuration example of the determination system of the second embodiment is shown in FIG. A configuration example of the determination device 101 is shown in FIG.
図１に表す第二実施形態の判定システム１００及び図２に表す判定装置１０１ａの動作例については、処理フロー例の項において説明する。
［処理フロー例］
図５は、図２に表す処理部１１１が行う、通知判定に必要な各情報を導出する処理の処理フロー例を表す概念図である。
An operation example of the
[Processing flow example]
FIG. 5 is a conceptual diagram showing an example of a processing flow of processing for deriving each information necessary for notification determination, which is performed by the processing unit 111 shown in FIG.
図５乃至図７において、図１に表す搬送装置２０１は、前記ケースの各々についての前記成功数及び前記失敗数を、所定のタイミングごとに、失敗数情報に格納して、処理部１１１に送付するものとする。 5 to 7, the transport device 201 shown in FIG. 1 stores the success number and the failure number for each of the cases in the failure number information at predetermined timings, and sends the transfer device 201 to the processing unit 111. It shall be.
また、図５においては、過去の累積成功数Ｍｎと累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓとから吸着動作についての困難度Ｐｎは予め導出され、図２に表す記録部１１６が保持しているものとする。 Further, in FIG. 5, it is assumed that the difficulty level Pn for the adsorption operation is derived in advance from the past cumulative success number Mn and cumulative failure number Mn_ms, and is held by the recording unit 116 shown in FIG.
処理部１１１は、例えば、外部からの開始情報の入力により、図５に表す処理を開始する。 The processing unit 111 starts the processing shown in FIG. 5, for example, by inputting start information from the outside.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０１の処理として、図１に表す搬送装置２０１から失敗数情報を受けたかについての判定を行う。 Then, the processing unit 111 determines whether or not the failure number information has been received from the transfer device 201 shown in FIG. 1 as the processing of S201.
処理部１１１は、Ｓ２０１の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ２０２ａの処理を行う。 If the determination result of the processing of S201 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S202a.
一方、処理部１１１は、Ｓ２０１の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ２０１の処理を再度行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S201 is no, the processing unit 111 performs the processing of S201 again.
処理部１１１は、Ｓ２０２ａの処理を行う場合は、同処理として、前記ケースの各々についての、成功数及び失敗数を、同処理の時点で前記失敗数情報を過去に受けた回数と関連付けて、記録部１１６に記録させる。 When processing S202a, the processing unit 111 associates the number of successes and the number of failures in each of the cases with the number of times the number of failures information has been received in the past at the time of the processing. Have the recording unit 116 record.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０６ａの処理として、前記ケースの各々について、前述の失敗変化率αｍを導出する。そして、処理部１１１は、同処理として、導出した失敗変化率αｍを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 derives the above-mentioned failure change rate αm for each of the cases as the processing of S206a. Then, the processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived failure change rate αm as the same processing.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０７ａの処理として、前記ケースの各々について、前述の、失敗変化率の平均値αａｖを導出する。そして、処理部１１１は、同処理として、導出した平均値αａｖを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 derives the above-mentioned average value αav of the failure change rate for each of the cases as the processing of S207a. Then, the processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived average value αav as the same processing.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０８の処理として、図５に表す処理を終了するかについての判定を行う。処理部１１１は、当該判定を、外部からの終了情報の入力の有無を判定することにより行う。 Then, the processing unit 111 determines whether to end the processing shown in FIG. 5 as the processing of S208. The processing unit 111 makes the determination by determining whether or not the end information is input from the outside.
処理部１１１は、Ｓ２０８の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、図５に表す処理を終了する。 When the determination result by the process of S208 is yes, the processing unit 111 ends the process shown in FIG.
一方、処理部１１１は、Ｓ２０８の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ２０１の処理を再度行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S208 is no, the processing unit 111 performs the processing of S201 again.
図６は、図２に表す処理部１１１が行う通知判定の処理フロー例を表す概念図である。 FIG. 6 is a conceptual diagram showing an example of a processing flow for notification determination performed by the processing unit 111 shown in FIG.
処理部１１１は、例えば、外部からの開始情報の入力の有無により、図６に表す処理を開始する。 The processing unit 111 starts the processing shown in FIG. 6, for example, depending on whether or not the start information is input from the outside.
そして、処理部１１１は、Ｓ１００の処理として、所定のタイミングであるかについての判定を行う。当該タイミングは、例えば、図５に表すＳ２０８の処理が開始されるタイミングである。 Then, the processing unit 111 determines whether or not the timing is predetermined as the processing of S100. The timing is, for example, the timing at which the process of S208 shown in FIG. 5 is started.
処理部１１１は、Ｓ１００の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０１の処理を行う。 When the determination result by the processing of S100 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S101.
一方、処理部１１１は、Ｓ１００の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１００の処理を再度行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S100 is no, the processing unit 111 performs the processing of S100 again.
処理部１１１は、Ｓ１０１の処理を行う場合は、同処理として、ケースリストを初期化する。ここで、ケースリストは、前述のケース（前記通知対象の動作についての複数の種類の各々に対応する場合）についてのリストである。前記ケースリストは、図２に表す記録部１１６が予め保持している。初期状態のケースリストは、すべての前記ケースを格納している。前記初期化は、ケースリストをその初期状態にする処理である。 When the processing unit 111 performs the processing of S101, the processing unit 111 initializes the case list as the same processing. Here, the case list is a list for the above-mentioned cases (cases corresponding to each of a plurality of types of the operation to be notified). The case list is held in advance by the recording unit 116 shown in FIG. The initial case list contains all the cases. The initialization is a process of setting the case list to its initial state.
次に、処理部１１１は、Ｓ１０２の処理として、ケースリストに格納されているケースの一つを選択する。 Next, the processing unit 111 selects one of the cases stored in the case list as the processing of S102.
そして、処理部１１１は、Ｓ１０３の処理として、前述の通知を行うかについての判定を行う。Ｓ１０３の処理の内容は、図７を参照して後述する。 Then, the processing unit 111 determines whether to perform the above-mentioned notification as the processing of S103. The details of the processing of S103 will be described later with reference to FIG. 7.
処理部１１１は、Ｓ１０３の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０４の処理を行う。 If the determination result of the processing of S103 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S104.
一方、処理部１１１は、Ｓ１０３の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１０５の処理を行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S103 is no, the processing unit 111 performs the processing of S105.
処理部１１１は、Ｓ１０４の処理を行う場合は、図２に表す出力部１２１に対し、通知情報の出力指示を行う。処理部１１１は、当該出力指示に、選択しているケースを特定する情報の出力指示を含めても構わない。そして、処理部１１１は、Ｓ１０５の処理を行う。 When processing S104, the processing unit 111 gives an output instruction of notification information to the output unit 121 shown in FIG. The processing unit 111 may include an output instruction of information that identifies the selected case in the output instruction. Then, the processing unit 111 performs the processing of S105.
処理部１１１は、Ｓ１０５の処理を行う場合は、同処理として、ケースリストに格納されたケースから、Ｓ１０２の処理により選択したケースを削除する。 When the processing unit 111 performs the processing of S105, the processing unit 111 deletes the case selected by the processing of S102 from the cases stored in the case list as the same processing.
そして、処理部１１１は、Ｓ１０６の処理として、ケースリストにケースが格納されているかについての判定を行う。 Then, the processing unit 111 determines whether or not the case is stored in the case list as the processing of S106.
処理部１１１は、Ｓ１０６の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０２の処理を再度行う。 If the determination result of the processing of S106 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S102 again.
処理部１１１は、Ｓ１０６の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１０７の処理を行う。 When the determination result by the processing of S106 is no, the processing unit 111 performs the processing of S107.
処理部１１１は、Ｓ１０７の処理を行う場合は、同処理として、図６に表す処理を終了するかについての判定を行う。処理部１１１は、当該判定を、例えば、外部からの終了情報の入力の有無を判定することにより行う。 When the processing of S107 is performed, the processing unit 111 determines whether to end the processing shown in FIG. 6 as the same processing. The processing unit 111 makes the determination, for example, by determining whether or not the end information is input from the outside.
処理部１１１は、Ｓ１０７の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、図６に表す処理を終了する。 When the determination result by the process of S107 is yes, the processing unit 111 ends the process shown in FIG.
一方、処理部１１１は、Ｓ１０７の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１００の処理を再度行う。 On the other hand, when the determination result by the processing of S107 is no, the processing unit 111 performs the processing of S100 again.
図７は、図６に表すＳ１０３の処理を表す概念図である。 FIG. 7 is a conceptual diagram showing the processing of S103 shown in FIG.
処理部１１１は、図６に表すＳ１０２の処理の次に、Ｓ１２１の処理として、直近の図６に表すＳ１０２の処理により選択したケースについての、最新の失敗変化率αｍを読み込む。 The processing unit 111 reads the latest failure change rate αm for the case selected by the latest processing of S102 shown in FIG. 6 as the processing of S121 after the processing of S102 shown in FIG.
そして、処理部１１１は、Ｓ１２２の処理として、当該ケースについての、最新の、失敗変化率の平均値αａｖを読み込む。 Then, the processing unit 111 reads the latest average value αav of the failure change rate for the case as the processing of S122.
次に、処理部１１１は、Ｓ１２３の処理として、選択したケースについての、困難度Ｐｎを読み込む。 Next, the processing unit 111 reads the difficulty level Pn for the selected case as the processing of S123.
そして、処理部１１１は、Ｓ１２４の処理として、最新の失敗変化率αｍが、最新の、失敗変化率の平均値αａｖに最新の、困難度Ｐｎを乗じた値より大きいかについての判定を行う。 Then, as the processing of S124, the processing unit 111 determines whether the latest failure change rate αm is larger than the latest average value αav of the failure change rate multiplied by the latest difficulty level Pn.
処理部１１１は、Ｓ１２４の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、図６に表すＳ１０４の処理を行う。 When the determination result by the processing of S124 is yes, the processing unit 111 performs the processing of S104 shown in FIG.
一方、処理部１１１は、Ｓ１２４の処理による判定結果がｎｏの場合は、図６に表すＳ１０５の処理を行う。
［具体例］
以下に説明する具体例においては、図１に表す搬送装置２０１が、各種電子部品を、はんだ接続するために、電子基板上の所定の位置に搬送する搭載機である場合についての例である。
On the other hand, when the determination result by the processing of S124 is no, the processing unit 111 performs the processing of S105 shown in FIG.
[Concrete example]
In the specific example described below, the transport device 201 shown in FIG. 1 is an example of a mounting machine that transports various electronic components to a predetermined position on an electronic substrate for solder connection.
搭載機が搬送する部品のサイズは１．０×０．５×０．５ｍｍの角チップ部品から３０．０×３０．０ｍｍのＱＦＰ部品まで様々である。ここで、ＱＦＰはＱｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅの略である。 The size of the parts carried by the on-board machine varies from 1.0 x 0.5 x 0.5 mm square chip parts to 30.0 x 30.0 mm QFP parts. Here, QFP is an abbreviation for Quad Flat Package.
定型サイズのチップ系部品や、小さいサイズのパッケージ部品はリール梱包されたものである。搬送装置２０１は、リール梱包されたものについては、周囲の梱包を取り除いたリールから、電子基板上の所定の位置に搬送する。 Standard-sized chip-based parts and small-sized packaged parts are packaged on reels. The transport device 201 transports the reel-packed product to a predetermined position on the electronic board from the reel from which the surrounding packaging has been removed.
コネクタ部品や中型以上のパッケージ部品はトレイ梱包されたものである。搬送装置２０１は、トレイ梱包されたものについては、周囲の梱包を取り除いたトレイから、電子基板上の所定の位置に搬送する。 Connector parts and medium-sized and larger package parts are packed in trays. The transport device 201 transports the tray-packed items to a predetermined position on the electronic board from the tray from which the surrounding packages have been removed.
まず、印刷機が、前記電子基板上に形成されたの対象電極パッドにはんだ印刷を行う。そして、印刷したはんだ量が規格値内であることをはんだ印刷検査機が判定したとする。すると、搭載機は、前述の各種部品を該当箇所に搭載機により搭載する。その後、プロファイル規格値を満足する条件に設定されたリフロー炉に、部品搭載済みの基板が投入される。そして、前記はんだは溶融し、その後の冷却により、前述の各種部品は前記電子基板に半田付けされる。前記電子部品が半田付けされた前記電子基板は、外観検査機により検査される。 First, the printing machine performs solder printing on the target electrode pad formed on the electronic substrate. Then, it is assumed that the solder printing inspection machine determines that the printed solder amount is within the standard value. Then, the mounting machine mounts the above-mentioned various parts at the corresponding locations by the mounting machine. After that, the board on which the parts are mounted is put into the reflow furnace set to the condition satisfying the profile standard value. Then, the solder is melted, and by the subsequent cooling, the above-mentioned various parts are soldered to the electronic substrate. The electronic substrate to which the electronic components are soldered is inspected by a visual inspection machine.
前記搬送動作時において、搭載機は、前記部品をリール又はトレイの収納箇所からピックアップした後、基板まで運搬する。前記ヘッドには部品をピックアップするための吸着ノズルが設置される。当該吸着ノズルとしては、前記部品の種類ごとに異なるものが用いられる。前記吸着ノズルは、前記部品の種類ごとに設定された情報により前記ヘッドに自動的に取り付けられ又は交換される。ノズルは、真空引きにより部品をノズル先端に吸着することができる。 During the transport operation, the mounting machine picks up the component from the storage location of the reel or tray and then transports the component to the substrate. A suction nozzle for picking up parts is installed in the head. As the suction nozzle, a different one is used depending on the type of the component. The suction nozzle is automatically attached to or replaced with the head according to the information set for each type of the component. The nozzle can attract parts to the tip of the nozzle by evacuation.
前記搭載機は、前記吸着後に、吸着した前記部品の正誤判定を行うための認識動作を行う。 After the suction, the mounting machine performs a recognition operation for determining the correctness of the sucked parts.
そして、前記搭載機は、前記ノズルを基板上の部品搭載対象箇所まで移動させ、前記ノズルを設定値高さまで降下させる。そして、前記搭載機は、真空引きをオフにする。これにより、前記部品は対象とする位置に搭載される。 Then, the mounting machine moves the nozzle to a component mounting target location on the substrate, and lowers the nozzle to a set value height. Then, the on-board machine turns off evacuation. As a result, the component is mounted at the target position.
前記搭載機は、これら一連の動作の成功又は失敗の実績を記録する。そして、前記搭載機は、記録した実績を所定のタイミングで、図１に表す判定装置１０１に対して出力する。前記実績は動作名称等の動作識別情報毎に分類されている。 The on-board machine records the success or failure record of these series of operations. Then, the on-board machine outputs the recorded results to the determination device 101 shown in FIG. 1 at a predetermined timing. The above-mentioned achievements are classified for each operation identification information such as an operation name.
図１に表す判定装置１０１は、前記実績に係る情報から、前記部品の種類ごとの困難度Ｐｎを算出する。当該困難度Ｐｎは過去の実績によりロット単位で算出されている。 The determination device 101 shown in FIG. 1 calculates the difficulty level Pn for each type of the component from the information related to the actual results. The difficulty level Pn is calculated on a lot-by-lot basis based on past results.
ここで、ある部品についての、基板１枚あたりの搬送の成功数をＭｎ、搬送の失敗数をＭｎ＿ｍｓとする。すると前述のように、困難度ＰｎはＰｎ＝（Ｍｎ＋Ｍｎ＿ｍｓ）／Ｍｎと表される。 Here, let the number of successful transports per substrate for a certain component be Mn, and the number of failed transports be Mn_ms. Then, as described above, the difficulty level Pn is expressed as Pn = (Mn + Mn_ms) / Mn.
ここで、Ｍｎ＝３６００００、Ｍｎ＿ｍｓ＝５０でありＰｎ＝３６００５０／３６００００＝１．０００１３８８９であったとする。累積ウエハ処理枚数ｍはｍ＝１００でありｍが９９から１００の失敗発生変化率はα１００＝１８／２＝９．０であったとする。また、失敗変化率の平均値αａｖは、αａｖ＝２．１０００４３５３であったとする。すると、αａｖ×Ｐｎ＝２．１０００４３５３×１．０００１３８８９＜９．０となる。これにより、図７に表すＳ１２４の処理により、前述の第二種の動作失敗が発生した旨の判定が行われる。そして、図６に表すＳ１０４の処理により、人等に対する通知が行われる。 Here, it is assumed that Mn = 360000, Mn_ms = 50, and Pn = 36050/3600000 = 1.000138889. It is assumed that the cumulative number of wafers processed m is m = 100 and the rate of change in failure occurrence when m is 99 to 100 is α100 = 18/2 = 9.0. Further, it is assumed that the average value αav of the failure change rate is αav = 2.1004353. Then, αav × Pn = 2.10004353 × 1.000138889 <9.0. As a result, the process of S124 shown in FIG. 7 determines that the above-mentioned second type of operation failure has occurred. Then, by the process of S104 shown in FIG. 6, a notification is given to a person or the like.
以上より、前記搭載機は、前述の第二種の失敗が発生し始めたことを早期に検知し、人等にアラームを通知する。
［効果］
第二実施形態の判定システムは、第一実施形態の判定システムの備える構成を備え、第一実施形態の判定システムが行う処理を含む処理を行うことから、まず、第一実施形態の判定システムと同様の効果を奏する。
Based on the above, the on-board machine detects at an early stage that the above-mentioned second type of failure has begun to occur, and notifies a person or the like of an alarm.
[effect]
The determination system of the second embodiment includes the configuration provided by the determination system of the first embodiment, and performs the processing including the processing performed by the determination system of the first embodiment. It has the same effect.
それに加え、第二実施形態の判定システムは、搬送システムが行う対象とする複数の種類の動作のそれぞれの種類について、第一実施形態と同様の動作を行う。そのため、第二実施形態の判定システムは、搬送システムが行う対象とする複数の種類の動作の各々の種類について、第一実施形態の判定システムと同様の効果を奏する。
＜第三実施形態＞
第三実施形態は、判定装置が困難度Ｐｎを更新する判定システム等に関する実施形態である。
［構成例と動作例］
第三実施形態の判定システムの構成例は図１に表すものである。また、判定装置１０１の構成例は図２に表すものである。
In addition, the determination system of the second embodiment performs the same operations as those of the first embodiment for each type of the plurality of types of operations to be performed by the transport system. Therefore, the determination system of the second embodiment has the same effect as the determination system of the first embodiment for each type of the plurality of types of operations to be performed by the transfer system.
<Third Embodiment>
The third embodiment is an embodiment relating to a determination system or the like in which the determination device updates the difficulty level Pn.
[Configuration example and operation example]
A configuration example of the determination system of the third embodiment is shown in FIG. A configuration example of the determination device 101 is shown in FIG.
また、図１に表す第三実施形態の判定システム１００及び図２に表す判定装置１０１ａの動作例は、以下を除いて、第一実施形態の判定システム１００及び図２に表す判定装置１０１ａの動作例と同じである。ただし、以下の説明と第一実施形態の判定システム１００及び判定装置１０１ａの動作例の説明とが矛盾する場合は、以下の説明を優先とする。
Further, the operation examples of the
処理部１１１は、一つ前の第一タイミングにおいて導出した累積成功数Ｍｎ−１に、最新の第一タイミングにおいて処理部１１１から送られた成功数Ｍｍを加算し、最新の累積成功数Ｍｎを導出する。処理部１１１は、導出した最新の累積成功数Ｍｎを記録部１１６に記録させる。 The processing unit 111 adds the number of successes Mm sent from the processing unit 111 at the latest first timing to the cumulative number of successes Mn-1 derived in the previous first timing, and obtains the latest cumulative number of successes Mn. Derived. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the latest cumulative success number Mn derived.
次に、処理部１１１は、一つ前の第一タイミングにおいて導出した累積失敗数Ｍｎ−１＿ｍｓに、最新の第一タイミングにおいて処理部１１１から送られた失敗数Ｍｍ＿ｍｓを加算し、最新の累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓを導出する。処理部１１１は、導出した最新の累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓを記録部１１６に記録させる。 Next, the processing unit 111 adds the number of failures Mm_ms sent from the processing unit 111 at the latest first timing to the cumulative number of failures Mn-1_ms derived in the previous first timing, and the latest cumulative failure. The number Mn_ms is derived. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the latest cumulative failure number Mn_ms derived.
そして、処理部１１１は、過去における累積成功数Ｍｎと累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓとから、その吸着動作についての困難度Ｐｎを導出する。困難度は、例えば、Ｐｎ＝（Ｍｎ＋Ｍｎ＿ｍｓ）／Ｍｎ（式１）で表されるものを用いる。 Then, the processing unit 111 derives the difficulty level Pn for the adsorption operation from the cumulative success number Mn and the cumulative failure number Mn_ms in the past. As the difficulty level, for example, one represented by Pn = (Mn + Mn_ms) / Mn (Equation 1) is used.
処理部１１１は、最新の困難度Ｐｎを記録部１１６に記録させる。
［処理フロー例］
第三実施形態の処理部１１１が行う処理の処理フロー例は、図５に表すＳ２０２ａの処理とＳ２０６ａの処理の間に図８に表す処理を挿入したものである。第三実施形態の処理部１１１が行う処理の処理フロー例は、また、図７に表すＳ１２３の処理を図９に表す処理で置き換えたものである。
The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the latest difficulty level Pn.
[Processing flow example]
In the processing flow example of the processing performed by the processing unit 111 of the third embodiment, the processing shown in FIG. 8 is inserted between the processing of S202a shown in FIG. 5 and the processing of S206a. The processing flow example of the processing performed by the processing unit 111 of the third embodiment also replaces the processing of S123 shown in FIG. 7 with the processing shown in FIG.
図８は、Ｓ２０２ａの処理とＳ２０６ａの処理の間に挿入する処理を表す概念図である。 FIG. 8 is a conceptual diagram showing a process inserted between the processes of S202a and the process of S206a.
処理部１１１は、図５に表すＳ２０２ａの処理の次にＳ２０３の処理として、前記ケースの各々について、前述の累積成功数Ｍｎを導出する。処理部１１１は、導出した累積成功数Ｍｎを、記録部１１６に記録させる。 The processing unit 111 derives the above-mentioned cumulative success number Mn for each of the cases as the processing of S203 after the processing of S202a shown in FIG. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived cumulative success number Mn.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０４の処理として、前記ケースの各々について、前述の累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓを導出する。処理部１１１は、導出した累積失敗数Ｍｎ＿ｍｓを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 derives the above-mentioned cumulative failure number Mn_ms for each of the cases as the processing of S204. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived cumulative number of failures Mn_ms.
そして、処理部１１１は、Ｓ２０５の処理として、前記ケースの各々について、前述の困難度Ｐｎを導出する。処理部１１１は、導出した困難度Ｐｎを、記録部１１６に記録させる。 Then, the processing unit 111 derives the above-mentioned difficulty level Pn for each of the cases as the processing of S205. The processing unit 111 causes the recording unit 116 to record the derived difficulty level Pn.
そして、処理部１１１は、図５に表すＳ２０６ａの処理を行う。 Then, the processing unit 111 performs the processing of S206a shown in FIG.
処理部１１１は、図８に表す処理に代えて、所定の吸着動作数単位ごとの（例えば処理をした基板ごとの）困難度Ｐｎｋ（ｋ＝１ ｔｏ ｍ）を導出し、過去に導出した困難度Ｐｎｋの平均値を最新の困難度として導出しても構わない。ここで、ｍは、累積の吸着動作数単位の数（累積処理枚数等）である。 Instead of the processing shown in FIG. 8, the processing unit 111 derives the difficulty level Pnk (k = 1 tom) for each predetermined number of suction operation units (for example, for each processed substrate), and the difficulty derived in the past. The average value of degrees Pnk may be derived as the latest difficulty level. Here, m is the number of cumulative suction operation units (cumulative number of processed sheets, etc.).
処理部１１１は、また、予め困難度Ｐｎｉｎｉが導出されている場合において、困難度Ｐｎｉｎｉの導出後の過去に導出した各困難度Ｐｎｋ及び困難度Ｐｉｎｉの平均値を最新の困難度として導出しても構わない。 In the case where the difficulty level Pinini is derived in advance, the processing unit 111 derives the average value of each difficulty level Pnk and the difficulty level Pini derived in the past after the derivation of the difficulty level Pinini as the latest difficulty level. It doesn't matter.
図９は、図７に表すＳ１２２の処理とＳ１２４の処理の間に挿入する処理を表す概念図である。 FIG. 9 is a conceptual diagram showing a process to be inserted between the process of S122 and the process of S124 shown in FIG.
処理部１１１は、図７に表す１２２の処理の次に、Ｓ１２３ａの処理として、選択したケースについての、最新の困難度Ｐｎの読み込みを行う。 The processing unit 111 reads the latest difficulty level Pn for the selected case as the processing of S123a after the processing of 122 shown in FIG. 7.
そして、処理部１１１は、図７に表すＳ１２４の処理を行う。
［効果］
第三実施形態の判定システムは、第二実施形態の判定システムの備える構成を備え、第二実施形態の判定システムが行う処理を含む処理を行うことから、まず、第二実施形態の判定システムと同様の効果を奏する。
Then, the processing unit 111 performs the processing of S124 shown in FIG.
[effect]
The determination system of the third embodiment includes the configuration provided by the determination system of the second embodiment, and performs the processing including the processing performed by the determination system of the second embodiment. It has the same effect.
それに加え、第三実施形態の判定システムは、より新しい累積成功数と累積失敗数とから導出した困難度により困難度の更新を行う。そのため、第三実施形態の判定システムは、より正確な判定結果を、通知を行うかについての判定結果に反映させ得る。 In addition, the determination system of the third embodiment updates the difficulty level according to the difficulty level derived from the newer cumulative success number and cumulative failure number. Therefore, the determination system of the third embodiment can reflect the more accurate determination result in the determination result as to whether or not to perform the notification.
なお、以上の実施形態の説明において、通知判定の対象動作は、主として、物品の吸着又は当該吸着をともなう当該物品の運搬であるが、前記動作は、当該吸着又は当該運搬に限定されない。動作は、人等による対応が不要な第一種の失敗と、人等による対応が必要な第二種の失敗との、２種類の失敗が生じ得る機器による動作であればよい。 In the above description of the embodiment, the target operation of the notification determination is mainly the adsorption of the article or the transportation of the article accompanied by the adsorption, but the operation is not limited to the adsorption or the transportation. The operation may be an operation by a device that can cause two types of failures, a first-class failure that does not require human action and a second-class failure that requires human action.
さらに、以上の実施形態の説明においては、通知判定の対象動作の種類が複数ある場合には、複数の種類の対象動作それぞれについて通知判定を行う例を説明した。しかしながら、それら複数の種類の対象動作の動作失敗数に係る失敗変化率の平均を用いて通知判定を行っても構わない。その例を以下説明する。 Further, in the above description of the embodiment, when there are a plurality of types of target actions for notification determination, an example in which notification determination is performed for each of the plurality of types of target actions has been described. However, the notification determination may be performed using the average of the failure change rates related to the number of operation failures of the plurality of types of target operations. An example will be described below.
図１に表す搬送装置２０１は、部品群のウエハへの搭載動作を完了するごとに、ウエハを、部品群の搭載されていない新しいものに交換し、次の部品群の新しいウエハへの搭載動作を行うものであるとする。そして、搬送装置２０１は、ウエハを交換するごとに、搭載動作についての失敗数情報を判定装置１０１に送付する。 The transfer device 201 shown in FIG. 1 replaces the wafer with a new one in which the component group is not mounted every time the mounting operation of the component group on the wafer is completed, and the mounting operation of the next component group on the new wafer is performed. Is to be performed. Then, each time the wafer is replaced, the transfer device 201 sends the failure number information regarding the mounting operation to the determination device 101.
当該失敗数情報には、あるウエハへの搭載動作に係る三つのケースのそれぞれについての失敗数と成功数とが格納されている。ここで、「ケース」の説明は第二実施形態の冒頭に記述した通りである。 The failure number information stores the failure number and the success number for each of the three cases related to the mounting operation on a certain wafer. Here, the description of the "case" is as described at the beginning of the second embodiment.
当該三つのケースは、一つには、吸着した部品が正しいものであるかを確認する動作に関するものである。また、前記三つのケースは、二つには、吸着動作に関するものである。また、前記三つのケースは、三つには、吸着すべき部品が正しく存在するかを判定する動作に関するものである。 The three cases relate, in part, to the operation of confirming that the adsorbed parts are correct. Further, the above three cases are related to the adsorption operation in two cases. Further, the three cases are related to an operation of determining whether or not a component to be adsorbed is correctly present.
判定装置１０１は、三つのケースの各々について、困難度Ｐｎ、最新の失敗変化率αｍ及び最新の失敗変化率の平均値αａｖを導出する。 The determination device 101 derives the difficulty level Pn, the latest failure change rate αm, and the average value αav of the latest failure change rate for each of the three cases.
そして、判定装置１０１は、困難度Ｐｎ、最新の失敗変化率αｍ及び最新の失敗変化率の平均値αａｖのそれぞれについて、三つのケースの平均値を導出する。 Then, the determination device 101 derives the average values of the three cases for each of the difficulty level Pn, the latest failure change rate αm, and the average value αav of the latest failure change rate.
そして、判定装置１０１は、導出した、困難度Ｐｎの平均値と、最新の失敗変化率αｍの平均値と、最新の失敗変化率の平均値αａｖの平均値と、を用いて、式２による通知判定を行う。 Then, the determination device 101 uses the derived average value of the difficulty Pn, the average value of the latest failure change rate αm, and the average value of the latest average value αav of the failure change rate, according to Equation 2. Make a notification judgment.
判定装置１０１は、異なる種類の処理についての上記のようなまとめた処理を行うことにより、通知を行う回数の低減を図り、作業者による通知対応の工数負担を低減し得る。 The determination device 101 can reduce the number of notifications and reduce the man-hour burden for the operator to respond to the notifications by performing the above-mentioned collective processing for different types of processing.
図１０は、以上説明した各実施形態の最小限の構成である判定装置１０１ｘの構成を表すブロック図である。 FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the determination device 101x, which is the minimum configuration of each of the above-described embodiments.
判定装置１０１ｘは、入力部１１１ａｘと、判定部１１１ｃｘと、出力部１２１ｘとを備える。 The determination device 101x includes an input unit 111ax, a determination unit 111cx, and an output unit 121x.
入力部１１１ａｘには、図示しない機器が行った所定の種類の動作についての、前記動作の成功に係る成功数と前記動作の失敗に係る失敗数との入力が行われる。 The input unit 111ax is input with the number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by a device (not shown).
判定部１１１ｃｘは、前記成功数と前記失敗数との所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行う。 The determination unit 111cx determines whether the change value representing the time change of the function value of the predetermined function between the success number and the failure number exceeds the predetermined reference value.
出力部１２１ｘは、前記判定による判定結果の出力を行う。 The output unit 121x outputs the determination result based on the determination.
判定装置１０１ｘは、前記時間変化が前記基準値を超えたか否かの出力を行う。前記時間変化は、前記失敗の発生の増加の傾向を表す値である。その、前記基準値として適当な値を選択することにより、前記時間変化が前記基準値を超えたことが、主に前述の第二種の失敗の発生を意味することになる。そのため、判定装置１０１ｘは、通知の必要のない前述の第一種の失敗の発生による通知を行う確率を低減できる。すなわち、判定装置１０１ｘは、所定の動作の失敗発生に関する判定結果の出力により発生する作業の無駄を低減し得る。 The determination device 101x outputs whether or not the time change exceeds the reference value. The time change is a value representing an increasing tendency of the occurrence of the failure. By selecting an appropriate value as the reference value, the time change exceeding the reference value mainly means the occurrence of the second type of failure described above. Therefore, the determination device 101x can reduce the probability of giving notification due to the occurrence of the above-mentioned first-class failure that does not require notification. That is, the determination device 101x can reduce the waste of work generated by the output of the determination result regarding the occurrence of the failure of the predetermined operation.
そのため、判定装置１０１ｘは、前記構成により、［発明の効果］の項に記載した効果を奏する。 Therefore, the determination device 101x exhibits the effects described in the section [Effects of the Invention] according to the above configuration.
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の基本的技術的思想を逸脱しない範囲で更なる変形、置換、調整を加えることができる。例えば、各図面に示した要素の構成は、本発明の理解を助けるための一例であり、これらの図面に示した構成に限定されるものではない。 Although each embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and further modifications, substitutions, and adjustments can be made without departing from the basic technical idea of the present invention. Can be added. For example, the composition of the elements shown in each drawing is an example for facilitating the understanding of the present invention, and is not limited to the composition shown in these drawings.
また、前記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記述され得るが、以下には限られない。 Further, a part or all of the above-described embodiment may be described as in the following appendix, but is not limited to the following.
（付記Ａ１）
機器が行った所定の種類の動作についての、前記動作の成功に係る成功数と前記動作の失敗に係る失敗数との入力が行われる入力部と、
前記成功数と前記失敗数との所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行う判定部と、
前記判定による判定結果の出力を行う出力部と、
を備える、判定装置。
(Appendix A1)
An input unit for inputting the number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by the device.
A determination unit that determines whether the change value representing the time change of the function value of the predetermined function between the number of successes and the number of failures exceeds a predetermined reference value.
An output unit that outputs the judgment result based on the above judgment
A judgment device.
（付記Ａ２）
前記判定部が、前記変化値を、第一の動作数の連続した前記動作からなる第一の動作群についての前記関数値である第一の値と、第二の動作数の、前記第一の動作群の各前記動作よりも前に行われた前記動作を含む連続した前記動作からなる第二の動作群について導出された前記関数値である第二の値と、から導出する、付記Ａ１に記載された判定装置。
(Appendix A2)
The determination unit sets the change value as the first value, which is the function value for the first operation group consisting of the continuous first operation number, and the first value, which is the second operation number. A1 derived from the second value, which is the function value derived for the second operation group consisting of the continuous operation including the operation performed before each operation of the operation group of. Judgment device described in.
（付記Ａ３）
前記第一の動作数と前記第二の動作数とが等しい、付記Ａ２に記載された判定装置。
(Appendix A3)
The determination device according to Appendix A2, wherein the first operation number and the second operation number are equal to each other.
（付記Ａ４）
前記第一の動作群と前記第二の動作群とが重ならない、付記Ａ２又は付記Ａ３に記載された判定装置。
(Appendix A4)
The determination device according to Appendix A2 or Appendix A3, wherein the first operation group and the second operation group do not overlap.
（付記Ａ５）
前記第一の値が前記第一の動作群における前記失敗数であり、前記第二の値が前記第二の動作群における前記失敗数である、付記Ａ２乃至付記Ａ４のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A5)
The first value is the number of failures in the first operation group, and the second value is the number of failures in the second operation group. The described determination device.
（付記Ａ６）
前記変化値が、前記第一の値を前記第二の値により除したものである、付記Ａ２乃至付記Ａ５のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A6)
The determination device according to any one of Supplementary A2 to Supplementary A5, wherein the change value is obtained by dividing the first value by the second value.
（付記Ａ７）
前記入力が前記機器から行われる、付記Ａ１乃至付記Ａ６のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A7)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A6, wherein the input is performed from the device.
（付記Ａ８）
前記入力が、所定の動作単位ごとに行われる。付記Ａ１乃至付記Ａ７のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A8)
The input is performed for each predetermined operation unit. The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A7.
（付記Ａ９）
前記動作が基板に対して行われるものであり、前記動作単位が、前記動作を行った基板である、付記Ａ８に記載された判定装置。
(Appendix A9)
The determination device according to Appendix A8, wherein the operation is performed on a substrate, and the operation unit is the substrate on which the operation is performed.
（付記Ａ１０）
前記基準値が、第一の期間について導出された複数の前記変化値の平均値から導出される、付記Ａ１乃至付記Ａ９のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A10)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A9, wherein the reference value is derived from the average value of a plurality of the change values derived for the first period.
（付記Ａ１１）
前記基準値が、第二の期間について導出された、前記動作の困難さを表す値から導出される、付記Ａ１乃至付記Ａ１０のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A11)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A10, wherein the reference value is derived from a value indicating the difficulty of operation, which is derived for the second period.
（付記Ａ１２）
前記基準値が、第三の期間についての、前記成功数と前記失敗数とから導出される、付記Ａ１乃至付記Ａ１１のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A12)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A11, wherein the reference value is derived from the number of successes and the number of failures for the third period.
（付記Ａ１３）
前記基準値が、前記第三の期間についての、前記成功数と前記失敗数との和を前記成功数で除した値を前記平均値に乗じた値である、付記Ａ１２に記載された判定装置。
(Appendix A13)
The determination device according to Appendix A12, wherein the reference value is a value obtained by multiplying the average value by dividing the sum of the number of successes and the number of failures for the third period by the number of successes. ..
（付記Ａ１４）
前記導出部が、前記基準値を導出する、付記Ａ１乃至付記Ａ１３うちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A14)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A13, wherein the derivation unit derives the reference value.
（付記Ａ１５）
前記導出部が、直近の前記平均値から前記基準値を導出する、付記Ａ１４に記載された判定装置。
(Appendix A15)
The determination device according to Appendix A14, wherein the derivation unit derives the reference value from the latest average value.
（付記Ａ１６）
前記導出部が、直近の累積の前記成功数と、直近の累積の前記失敗数とから前記基準値を導出する、付記Ａ１４又は付記Ａ１５に記載された判定装置。
(Appendix A16)
The determination device according to Appendix A14 or Appendix A15, wherein the derivation unit derives the reference value from the most recent cumulative number of successes and the most recent cumulative number of failures.
（付記Ａ１７）
前記基準値が、直近の累積の前記成功数と直近の累積の前記失敗数前記成功数との和を、直近の累積の前記成功数で除したものに、直近の前記平均値に乗じたものである、付記Ａ１６に記載された判定装置。
(Appendix A17)
The reference value is the sum of the most recent cumulative number of successes and the most recent cumulative number of failures divided by the most recent cumulative number of successes multiplied by the most recent average value. The determination device according to Appendix A16.
（付記Ａ１８）
前記動作が搬送である、付記Ａ１乃至付記Ａ１７のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A18)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A17, wherein the operation is transport.
（付記Ａ１９）
前記動作が物品の吸着である、付記Ａ１乃至付記Ａ１８のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A19)
The determination device according to any one of Supplementary A1 to Supplementary A18, wherein the operation is suction of an article.
（付記Ａ２０）
前記種類が複数存在し、前記導出部は前記値の導出を前記種類ごとに行い、前記判定部は前記判定を前記種類ごとに行う、付記Ａ１乃至付記Ａ１９のうちのいずれか一に記載された判定装置。
(Appendix A20)
Described in any one of Supplementary A1 to Supplementary A19, wherein there are a plurality of the types, the derivation unit derives the value for each type, and the determination unit performs the determination for each type. Judgment device.
（付記Ｂ１）
付記Ａ１乃至付記Ａ１８のうちのいずれか一つの判定装置と、前記機器とを備える、判定システム。
(Appendix B1)
A determination system including the determination device of any one of the appendices A1 to A18 and the apparatus.
（付記Ｂ２）
前記機器が搬送装置である、付記Ｂ１に記載された判定システム。
(Appendix B2)
The determination system according to Appendix B1, wherein the device is a transport device.
（付記Ｂ３）
前記機器が半田付け装置である、付記Ｂ１又は付記Ｂ２に記載された判定システム。
(Appendix B3)
The determination system according to Appendix B1 or Appendix B2, wherein the device is a soldering device.
（付記Ｃ１）
入力された、機器が行った所定の種類の動作についての、前記動作の成功に係る成功数と、前記動作の失敗に係る失敗数と、の所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行い、
前記判定による判定結果の出力を行う、
判定方法。
(Appendix C1)
A change value representing a time change of the function value of a predetermined function of the input number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by the device. However, it is determined whether or not it exceeds the predetermined standard value.
Outputs the judgment result based on the above judgment.
Judgment method.
（付記Ｄ１）
入力された、機器が行った所定の種類の動作についての、前記動作の成功に係る成功数と、前記動作の失敗に係る失敗数と、の所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行う処理と、
前記判定による判定結果の出力を行う処理と、
をコンピュータに実行させる、判定プログラム。
(Appendix D1)
A change value representing a time change of the function value of a predetermined function of the input number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by the device. However, the process of determining whether or not the value exceeds a predetermined reference value,
Processing to output the judgment result by the judgment and
A judgment program that causes a computer to execute.
１００ 判定システム
１０１、１０１ａ、１０１ｘ 判定装置
１１１ 処理部
１１１ａｘ 入力部
１１１ｃｘ 判定部
１２１ｘ 出力部
１１６ 記録部
１２１ 出力部
２０１ 搬送装置
100 Judgment system 101, 101a, 101x Judgment device 111 Processing unit 111ax Input unit 111cx Judgment unit 121x Output unit 116 Recording unit 121 Output unit 201 Conveyor device
Claims (6)
前記成功数と前記失敗数との所定の関数の関数値の時間変化を表す変化値が、所定の基準値を超えたかの判定を行う判定部と、
前記判定による判定結果の出力を行う出力部と、
前記基準値を、第一の期間について直近に導出した複数の前記変化値の平均値、及び、第三の期間について直近に取得した累積の前記成功数と累積の前記失敗数、のうちの少なくとも一方から導出する、処理部と、
を備える、判定装置。 An input unit for inputting the number of successes related to the success of the operation and the number of failures related to the failure of the operation for a predetermined type of operation performed by the device.
A determination unit that determines whether the change value representing the time change of the function value of the predetermined function between the number of successes and the number of failures exceeds a predetermined reference value.
An output unit that outputs the judgment result based on the above judgment
At least of the average value of the plurality of the change values obtained by deriving the reference value most recently for the first period, and the cumulative number of successes and the cumulative number of failures obtained most recently for the third period. The processing unit, which is derived from one side,
A judgment device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017050124A JP6926551B2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Judgment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017050124A JP6926551B2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Judgment device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018156979A JP2018156979A (en) | 2018-10-04 |
| JP6926551B2 true JP6926551B2 (en) | 2021-08-25 |
Family
ID=63716894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017050124A Active JP6926551B2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Judgment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6926551B2 (en) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4340607B2 (en) * | 2004-09-01 | 2009-10-07 | パナソニック株式会社 | Control device used for mounting maintenance |
| JP4724402B2 (en) * | 2004-10-04 | 2011-07-13 | パナソニック株式会社 | Maintenance method and component mounting machine |
| JP6166120B2 (en) * | 2013-08-01 | 2017-07-19 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | Data processing apparatus, measuring apparatus, sorting apparatus, data processing method and program |
| US10260996B2 (en) * | 2014-02-03 | 2019-04-16 | Fuji Corporation | Board production monitoring device and board production monitoring method |
| JP6448337B2 (en) * | 2014-12-04 | 2019-01-09 | 株式会社Ｆｕｊｉ | Component mounting equipment |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2018156979A (en) | 2018-10-04 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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