JP6924488B2 - 旋回流形成体 - Google Patents
旋回流形成体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6924488B2 JP6924488B2 JP2018076810A JP2018076810A JP6924488B2 JP 6924488 B2 JP6924488 B2 JP 6924488B2 JP 2018076810 A JP2018076810 A JP 2018076810A JP 2018076810 A JP2018076810 A JP 2018076810A JP 6924488 B2 JP6924488 B2 JP 6924488B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- main body
- swirling flow
- hole
- flow forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 107
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 35
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 19
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 18
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 18
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
- B23Q7/04—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of grippers
- B23Q7/043—Construction of the grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
- B25J15/0675—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum of the ejector type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- External Artificial Organs (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
本発明の一実施形態に係る旋回流形成体1について説明する。この旋回流形成体1は、ベルヌーイ効果を利用して半導体ウェハや食品等の部材を吸引保持して搬送するための装置である。図1は、旋回流形成体1の上面の一例を示す斜視図である。図2は、旋回流形成体1の下面の一例を示す斜視図である。図3は、図1のI−I線断面図である。図4は、図3のA部の拡大図である。
上記の実施形態は下記のように変形してもよい。なお、下記の2以上の変形例は互いに組み合わせてもよい。
フランジ部110の形状は、上記の実施形態の形状に限られない。図5は、フランジ部113を備える本体101Aの上面の一例を示す斜視図である。図6は、図5のII−II線
断面図である。図7は、図6のB部の拡大図である。これらの図に示すフランジ部113の端部には、平面視で環状の突出部1131が形成される。この突出部1131は、被吸引物から離れる方向に突出するように形成される。言い換えると、本体101Aの中心軸方向上方に向かって突出するように形成される。突出部1131の高さは、図示の例では、フランジ部113の厚みの約2倍の長さに設定される。好ましくは、この高さは低い方がよい。これは、高さが低い方が負圧の発生領域を広く確保できるからである。適切な高さは、貫通孔102の直径や深さ及び流体の流速に応じて決定される。フランジ部113の端部に突出部1131が形成されることで、この突出部1131と内周面105の間に、平面視で環状のU字溝1132が形成される。以上説明したフランジ部113によれば、U字溝1132に到達した流体の水平方向への移動が、突出部1131により阻害される。その結果、当該流体が第1端面103の開口部から流出することが阻害される。
ある。図11は、本体101Bの底面図である。図12は、図10のC部の拡大図である。これらの図に示すフランジ部115は、被吸引物と対向する平坦状の第1端面1151と、第1端面1151と反対側の、平坦状の第2端面1152と、第1端面1151と第2端面1152の両方に開口する8本の貫通孔1153を備える。8本の貫通孔1153は各々、円形の断面形状を有し、本体101Bの中心軸方向に直線状に延びる。また、各貫通孔1153は、平面視でフランジ部115の半径方向中央に、等間隔に配置される。この貫通孔1153を備えるフランジ部115によれば、フランジ部115に沿って流体が旋回する際に、外部流体が貫通孔1153を介して引き込まれる。すなわち、エゼクタ効果によりさらなる吸引力が発生する。
フランジ部110の内周面105における位置は、実施形態における位置に限られない。フランジ部110の上下方向の位置は、噴出口106よりも被吸引物に近い位置であれば、図13に例示する本体101Cのように、内周面105の中腹に配置されてもよい。同図に示すフランジ部110の第1端面1101は、第1端面103と面一となっていない。
旋回流形成体1は、互いに着脱自在な2つの部品により構成されてもよい。図14は、フランジ部110を備えない本体101Dと、本体101Dに着脱自在な環状板116を備える旋回流形成体1Aの一例を示す縦断面図である。同図に示す本体101Dの構成は、フランジ部110を備えていない点以外は、本体101と同様である。環状板116は、環状の板体である。環状板116の外周直径は、本体101Dと略同一に設定され、内周直径は、本体101Dの第1端面103の開口部よりも小さく設定される。この環状板116は、その一方の面が本体101Dの第1端面1101に接するように本体101Dに取り付けられる。その際、本体101Dと同心となるように取り付けられる。取り付け方法は、例えばねじ止めである。本体101Dに取り付けられた環状板116は、その内周直径が本体101Dの第1端面103の開口部よりも小さいため、その内側端部が内周面105から突出し、フランジ部として機能する。
図17は、環状板117の変形例である環状板118が着脱可能に取り付けられた旋回流形成体1Bの一例を示す斜視図である。図18は、図17とは別の方向から見た斜視図である。これらの図に示す環状板118は、支持部材が旋回流形成体1Bの本体側面に固定される点において、環状板117と相違している。以下、この相違点について説明する。
内周面105の形状は、実施形態の形状に限られない。第2端面104の開口部は、角面取り又は丸面取りが施されてもよい(特開2017−217733号公報の図7及び図8参照)。また、内周面105の一部を、非テーパ形状としてもよい(特開2017−217733号公報の図9乃至図11参照)。
流体通路109は、本体101の中心軸に略垂直な方向に対して傾けて形成されてもよい(特開2017−217733号公報の図12参照)。より具体的には、供給口108から噴出口106にかけて第2端面104側に傾いて延びるように形成されてもよい。このように形成することで、流体通路109は、噴出口106から噴出された流体を被吸引物から離れる方向に流して、貫通孔102から排出させる。より具体的には、第2端面104の開口部に向けて流して、貫通孔102から排出させる。なお、流体通路109が傾けて形成される場合には、内周面105はテーパ形状を有しなくてもよい。
旋回流形成体1において、スペーサ112を省略して、その代わりにカバー111の下面に流体を排出するための直線状の溝を形成するようにしてもよい(特開2017−217733号公報の図13及び図14参照)。この溝は、カバー111が本体101に固定されると、第2端面104との間で、貫通孔102と連通する2つの流出口と、旋回流形成体1の外部に臨む2つの排出口と、流出口に流入した流体を排出口から排出するための2本の直線状の流体通路を形成する。加えて、排出口から排出される流体の量を調整するための部材を取り付けてもよい(特開2017−217733号公報の図15及び図16参照)。
4つのスペーサ112はカバー111を固定的に保持せずに揺動可能に保持してもよい(特開2017−217733号公報の図17参照)。
旋回流形成体1は、複数組み合わせて使用されてもよい(特開2017−217733号公報の図1乃至図3、図18乃至図31参照)。
本体101の外周形状は円形に限られない。楕円形や多角形であってもよい。内周面105につけるテーパは線形テーパに限られない。放物線テーパや指数関数テーパであってもよい。別の例として、内周面105は、その断面積が、被吸引物から離れるにつれて拡径するように階段状に形成されてもよい。さらに別の例として、内周面105に、噴出口から噴出された流体を第2端面104の開口に案内するようにらせん状の溝を形成してもよい。
第1端面103に、貫通孔102への被吸引物の進入を阻害する邪魔板(例えば、特許5908136号公報参照)を取り付けてもよい。
第1端面103に、被吸引物に接触して摩擦力により被吸引物の振動及び回転を抑制する摩擦部材(例えば特開2005−142462号公報参照)を取り付けてもよい。
旋回流形成体1は、旋回流形成手段として、2本の流体通路109に代えて、電動ファン(例えば特開2011−138948号公報参照)を備えてもよい。
旋回流形成体1において、貫通孔102から第2端面104に沿って流出する流体の流出方向は、本体101の中心軸に略垂直な方向に限られない。例えば、第2端面104及びカバー111は、貫通孔102から流出した流体が、本体101の中心軸に平行な方向(より具体的には本体101の上方向)に排出されるように形成されてもよい。
第1端面103に、被吸引物を保持するための筒体121を取り付けてもよい。図20は、筒体121が取り付けられた旋回流形成体1の一例の側面図である。同図に示す筒体121は、ゴム等の弾性材料からなる蛇腹状の円筒体であって、旋回流形成体1により吸引された被吸引物を保持するための部材である。この筒体121は、旋回流形成体1が発生させる負圧により吸引される流体を通しつつ、貫通孔102内への被吸引物の進入を阻害するように、その一端が第1端面103に固定される。言い換えると、貫通孔102と同軸に固定される。この筒体121のくびれ部の内径は、貫通孔102の内径と被吸引物の最大径よりも小さく、その他端は、被吸引物に向かって拡径している。この筒体121の高さは、流体供給ポンプから旋回流形成体1に対して供給される流体の流量や、被吸引物の種類に応じて設定される。なお、筒体121の形状は、円筒に限られず、角筒や楕円筒等であってもよい。
Claims (4)
- 本体と、
前記本体に形成され、被吸引物と対向する端面と、
前記端面に開口する孔と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された噴出口と、
前記噴出口から前記孔内に流体を噴出させて旋回流を形成することにより負圧を発生させる流体通路と、
前記内側面から突出するように形成され、前記負圧により吸引される流体を通しつつ、前記噴出口から噴出された流体が前記被吸引物に向かって流出することを阻害するフランジ部と
を備え、
前記内側面は、前記噴出口から噴出された流体を前記被吸引物から離れる方向に案内して前記孔から排出させるように形成されていることを特徴とする旋回流形成体。 - 本体と、
前記本体に形成され、被吸引物と対向する端面と、
前記端面に開口する孔と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された噴出口と、
前記噴出口から前記孔内に流体を噴出させて旋回流を形成することにより負圧を発生させる流体通路と、
前記内側面から突出するように形成され、前記負圧により吸引される流体を通しつつ、前記噴出口から噴出された流体が前記被吸引物に向かって流出することを阻害するフランジ部と
を備え、
前記流体通路は、前記噴出口から噴出させる流体が前記被吸引物から離れる方向に流れて前記孔から排出されるように形成されていることを特徴とする旋回流形成体。 - 前記フランジ部の端部は、前記被吸引物から離れる方向に突出する突出部を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の旋回流形成体。
- 前記フランジ部は、
前記被吸引物と対向する第1の面と、
前記第1の面の反対側の第2の面と、
前記第1の面と前記第2の面の両方に開口する貫通孔と
を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の旋回流形成体。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018076810A JP6924488B2 (ja) | 2018-04-12 | 2018-04-12 | 旋回流形成体 |
US16/769,063 US11339010B2 (en) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | Swirl-flow forming body |
PCT/JP2019/014736 WO2019198582A1 (ja) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | 旋回流形成体 |
SG11202004993WA SG11202004993WA (en) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | Swirl flow forming body |
CN201980006736.0A CN111512427B (zh) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | 旋流形成体 |
EP19784785.8A EP3780078A4 (en) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | BODY FORMING A SWIRLING FLOW |
KR1020207018425A KR102484975B1 (ko) | 2018-04-12 | 2019-04-03 | 선회류 형성체 |
TW108112133A TWI698312B (zh) | 2018-04-12 | 2019-04-08 | 迴旋流形成體 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018076810A JP6924488B2 (ja) | 2018-04-12 | 2018-04-12 | 旋回流形成体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019186419A JP2019186419A (ja) | 2019-10-24 |
JP6924488B2 true JP6924488B2 (ja) | 2021-08-25 |
Family
ID=68163363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018076810A Active JP6924488B2 (ja) | 2018-04-12 | 2018-04-12 | 旋回流形成体 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11339010B2 (ja) |
EP (1) | EP3780078A4 (ja) |
JP (1) | JP6924488B2 (ja) |
KR (1) | KR102484975B1 (ja) |
CN (1) | CN111512427B (ja) |
SG (1) | SG11202004993WA (ja) |
TW (1) | TWI698312B (ja) |
WO (1) | WO2019198582A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7389464B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2023-11-30 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
JP7418924B2 (ja) * | 2020-05-13 | 2024-01-22 | 株式会社ディスコ | 保持機構 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS598136B2 (ja) | 1978-12-06 | 1984-02-23 | 松下電器産業株式会社 | 電動機の冷却装置 |
US6099056A (en) * | 1996-05-31 | 2000-08-08 | Ipec Precision, Inc. | Non-contact holder for wafer-like articles |
JP3554180B2 (ja) * | 1998-03-30 | 2004-08-18 | ダイキン工業株式会社 | 吸気・送風装置 |
WO1999050603A1 (fr) * | 1998-03-30 | 1999-10-07 | Daikin Industries, Ltd. | Entree d'air et soufflante |
EP1233442B1 (en) * | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Non-contacting conveyance equipment |
JP4299104B2 (ja) | 2003-11-10 | 2009-07-22 | 株式会社ディスコ | ウエーハ搬送機構 |
US7938942B2 (en) * | 2004-03-12 | 2011-05-10 | Applied Materials, Inc. | Single side workpiece processing |
USD530352S1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-10-17 | Harmotec Co., Ltd. | Bernoulli effect air nozzle for silicone wafer pickup tool |
WO2009119377A1 (ja) | 2008-03-24 | 2009-10-01 | オイレス工業株式会社 | 非接触搬送装置 |
JP5282734B2 (ja) | 2009-12-28 | 2013-09-04 | 国立大学法人東京工業大学 | 非接触チャック |
CN101740449B (zh) | 2009-12-29 | 2011-08-17 | 浙江大学 | 一种漩涡流硅片夹持器 |
MY181832A (en) * | 2011-08-24 | 2021-01-08 | Harmotec Co Ltd | Non-contacting conveyance equipment |
US8905680B2 (en) * | 2011-10-31 | 2014-12-09 | Masahiro Lee | Ultrathin wafer transport systems |
CN104626174B (zh) * | 2013-11-13 | 2016-06-15 | 浙江大学 | 吸盘 |
CN105792997A (zh) * | 2013-12-03 | 2016-07-20 | 哈莫技术股份有限公司 | 传送设备 |
EP3079167A1 (en) * | 2013-12-03 | 2016-10-12 | Harmotec Co., Ltd. | Holding device |
KR20160093674A (ko) * | 2013-12-03 | 2016-08-08 | 가부시키가이샤 하모테크 | 유지 장치, 유지 시스템, 제어 방법 및 반송 장치 |
JP5908136B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-04-26 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
JP6116629B2 (ja) * | 2015-08-11 | 2017-04-19 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
JP6716136B2 (ja) * | 2016-05-25 | 2020-07-01 | 株式会社ハーモテック | 流体流形成体及び非接触搬送装置 |
JP6326451B2 (ja) | 2016-06-08 | 2018-05-16 | 株式会社ハーモテック | 搬送装置及び吸引装置 |
JP6744630B2 (ja) | 2016-12-16 | 2020-08-19 | 株式会社ハーモテック | 邪魔板 |
-
2018
- 2018-04-12 JP JP2018076810A patent/JP6924488B2/ja active Active
-
2019
- 2019-04-03 CN CN201980006736.0A patent/CN111512427B/zh active Active
- 2019-04-03 EP EP19784785.8A patent/EP3780078A4/en active Pending
- 2019-04-03 KR KR1020207018425A patent/KR102484975B1/ko active IP Right Grant
- 2019-04-03 SG SG11202004993WA patent/SG11202004993WA/en unknown
- 2019-04-03 US US16/769,063 patent/US11339010B2/en active Active
- 2019-04-03 WO PCT/JP2019/014736 patent/WO2019198582A1/ja active Application Filing
- 2019-04-08 TW TW108112133A patent/TWI698312B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI698312B (zh) | 2020-07-11 |
CN111512427A (zh) | 2020-08-07 |
JP2019186419A (ja) | 2019-10-24 |
SG11202004993WA (en) | 2020-10-29 |
KR102484975B1 (ko) | 2023-01-05 |
WO2019198582A1 (ja) | 2019-10-17 |
TW201945146A (zh) | 2019-12-01 |
US20210229935A1 (en) | 2021-07-29 |
EP3780078A1 (en) | 2021-02-17 |
KR20200089318A (ko) | 2020-07-24 |
CN111512427B (zh) | 2023-12-26 |
US11339010B2 (en) | 2022-05-24 |
EP3780078A4 (en) | 2022-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102174534B1 (ko) | 방해판 | |
JP6326451B2 (ja) | 搬送装置及び吸引装置 | |
JP6924488B2 (ja) | 旋回流形成体 | |
JP2015129504A (ja) | 送風装置及び空気調和装置用室外機 | |
CN103547375B (zh) | 回旋气流发生器 | |
KR102345434B1 (ko) | 흡인 장치 | |
TW201919972A (zh) | 吸引裝置 | |
US20160300748A1 (en) | Conveyance equipment | |
JP7389464B2 (ja) | 吸引装置 | |
JP5324491B2 (ja) | 液体ポンプの液中渦防止装置 | |
US20210362169A1 (en) | Nozzle | |
JP7015990B2 (ja) | 送風装置 | |
KR20190054798A (ko) | 건설 기계의 배기 가스 안내 장치 | |
CN219014705U (zh) | 分液器的滤网支架及分液器 | |
KR20230152760A (ko) | 반송 장치, 배출 정류 커버 및 스커트 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210720 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210726 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6924488 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |