JP6923220B2 - バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法 - Google Patents
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Description
通常、上記のガスボックスから出力される処理ガスを処理チャンバに直接供給するが、原子層堆積法(ALD:Atomic Layer Deposition 法)により基板に膜を堆積させる処理プロセスにおいては、処理ガスを安定的に供給するためにガスボックスから供給される処理ガスをバッファとしてのタンクに一時的に貯留し、処理チャンバの直近に設けられたバルブを高頻度で開閉させてタンクからの処理ガスを真空雰囲気の処理チャンバへ供給することが行われている。なお、処理チャンバの直近に設けられるバルブとしては、例えば、特許文献1,2を参照。
ALD法は、化学気相成長法の1つであり、温度や時間等の成膜条件の下で、2種類以上の処理ガスを1種類ずつ基板表面上に交互に流し、基板表面上原子と反応させて単層ずつ膜を堆積させる方法であり、単原子層ずつ制御が可能である為、均一な膜厚を形成させることができ、膜質としても非常に緻密に膜を成長させることができる。
ALD法による半導体製造プロセスでは、処理ガスの流量をより高精密に調節する必要があるとともに、基板の大口径化等により、処理ガスの流量をある程度確保する必要もある。
本発明の他の目的は、流量調節精度を維持しつつ流量調節可能な範囲が拡大されたバルブ装置を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、流体制御を実行中に、バルブ開度を変更可能な開閉式のバルブ装置を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、流量制御範囲が広がり、汎用性が向上したバルブ装置を提供することにある。
前記流路を開閉可能に設けられた弁体と、
前記弁体を開閉方向へ移動可能に設けられた操作部材と、
与えられた操作圧に応じた駆動力を前記操作部材に付与する主アクチュエータと、
前記流路の開度を規定する前記操作部材の位置を、互いに異なる第1の開位置又は第2の開位置に前記操作圧の大きさに応じて選択的に切り換え可能な切換機構と、
前記第1の開位置および第2の開位置をそれぞれ独立に調節可能な調節機構と、
前記第1の開位置または第2の開位置に位置付けられた前記操作部材の位置を調整するための調整用アクチュエータと、を有し、
前記調整用アクチュエータは、圧電素子の伸縮を利用したアクチュエータである、ことを特徴とする。
前記操作部材は、前記第1の開位置および第2の開位置において、前記ダイヤフラムが弾性変形した状態にそれぞれ維持する、構成を採用できる。
前記流体機器に上記構成のバルブ装置が含まれる。
本発明によれば、操作圧を変更することで、第1の開位置と第2の開位置のいずれかを選択できるので、流体制御の実行途中の流量変更が容易に可能となる。
図1は、本発明の一実施形態に係るバルブ装置の構成を示す図であって、バルブが全閉時の状態を示しており、図2は図1の上側要部の拡大断面図、図3は図1の下側要部の拡大断面図、図4は調節用アクチュエータとしての圧電アクチュエータの動作を説明するための図である。なお、以下の説明において上方向を開方向A1、下方向を閉方向A2とする。
図1において、1はバルブ装置、10はバルブボディ、15は弁座、20は弁体としてのダイヤフラム、38はダイヤフラム押え、30はボンネット、40は操作部材、50はケーシング、60は主アクチュエータ、70は調節キャップ、78はロックナット、80は調節ロッド、90はコイルばね、100は圧電アクチュエータ、110はアクチュエータ受け、120,130は皿ばね、140はアクチュエータ押え、145は皿ばね受け、75は調節ボディ、150は管継手、ORはシール部材としてのOリング、MGは操作ガスを示している。
ダイヤフラム20は、その周縁部が弁室14の内周面の突出部上に載置され、弁室14内へ挿入したボンネット30の下端部をバルブボディ10のねじ部16へねじ込むことにより、ステンレス合金製の押えアダプタ25を介してバルブボディ10の前記突出部側へ押圧され、気密状態で挾持固定されている。なお、ニッケル・コバルト合金薄膜は、接ガス側に配置されている。
なお、弁体としては、他の構成のものも使用可能である。
操作部材40の外周面に固定された円環状のばね受けプレート45の上面と、ケーシング50との間には、コイルばね90が設けられ、操作部材40はコイルばね90により閉方向A2に向けて常時付勢されている。このため、図2に示すように、主アクチュエータ60が作動していない状態では、ダイヤフラム20は弁座15に押し付けられ、流路12,13の間は閉じられた状態となっている。なお、ばね受けプレート45は、操作部材40と一体であっても、別体であっても良い。
皿ばね受け48の下端面にはダイヤフラム20の中央部上面に当接するポリイミド等の合成樹脂製のダイヤフラム押え38が装着されている。なお、ダイヤフラム押え38はSUSやアルミ合金等の金属を用いても良いし、皿ばね受け48と一体になっていても良い。ダイヤフラム押えに金属を用いた場合、温度変化によるダイヤフラム押えの寸法変化、及びダイヤフラム押えが応力を受けることによる寸法変化を緩和し、より高精度な開度調節が可能になる。
操作部材40の外周面と、ケーシング50およびボンネット30との間には、バルクヘッド63によって上下に区画されたシリンダ室C1,C2が形成されている。
調節キャップ70には、図1に示すように、開閉方向A1,A2に2つのねじ孔72が調節キャップ70の中心軸線に対して対称な位置に形成されている。ねじ孔72には、調節ロッド80が挿入され、この調節ロッド80の上端側に形成されたねじ部81が螺合している。調節ロッド80の上端部(頭部)には、工具を受け入れる、例えば六角形の凹部(図示せず)が形成され、バルブ装置1の外部から回転させることができるように形成されている。これにより、後述する規制面80bの位置を調節できる。調節キャップ70の上部も工具が嵌る形状に加工されており、バルブ装置1の外部から当該工具を用いて回転させることができるようになっている。
なお、調節キャップ70、調節ボディ75および調節ロッド80は本発明の調節機構を構成するが、詳細は後述する。
図1に示すように、圧電アクチュエータ100への給電は、配線105により行われる。配線105は、皿ばね受け145の貫通孔145h、調節キャップ70の貫通孔71および管継手150を通じて外部に導き出されている。
圧電アクチュエータ100の基端部103は、図1に示すように、アクチュエータ押え140に当接し、アクチュエータ押え140は皿ばね受け145の下端面に当接している。皿ばね受け145は、図2に示すように、調節ボディ75に挿通されている。皿ばね受け145は、いずれの部材にも連結されておらず、開閉方向A1,A2に移動可能になっている。
皿ばね受け145は、その上端側に形成された突出部145aの下面側の当接面145bが、皿ばね130の閉方向A2に向かう復元力により調節ボディ75の規制面75tに当接して移動が規制されることにより開閉方向A1,A2において位置決めされている。
図3において、P0は操作部材40の閉位置、P1は第1の開位置P2は第2の開位置を示している。Lf1は閉位置P0と第1の開位置P1との間のリフト量、Lf2は第1の開位置P1と第2の開位置P2との間のリフト量を示している。なお、操作部材40の位置とは、バルブボディ10に対する皿ばね受け48の当接面48tの開閉方向A1,A2の位置である。リフト量Lf1は、図3に示すアクチュエータ受け110の規制面110bと皿ばね受け48の当接面48tとの距離で規定される。リフト量Lf2は、図2に示す、調節ロッド80の規制面80bと皿ばね受け145の当接面145tとの距離で規定される。
ダイヤフラム押え38には、閉方向A2に向けて、コイルバネ90および皿ばね120の復元力が作用し、これにより、ダイヤフラム20がダイヤフラム押え38により押圧されることで弾性変形して弁座15に押し付けられ、バルブが閉じた状態となっている。コイルバネ90および皿ばね120の復元力は、例えば、合計すると約650Nである。すなわち、主アクチュエータ60のピストン駆動力がコイルバネ90および皿ばね120の復元力よりも小さい状態では、操作部材40が閉位置P0に位置付けられ、流路12,13は閉じられた状態となる。
主アクチュエータ60の発生するピストン駆動力が、例えば、650Nを超過して、コイルバネ90および皿ばね120の復元力を超えると、操作部材40は図5に示す第1の開位置P1に移動する。本実施形態では、操作ガスMGの操作圧が0.45MPaの場合に、主アクチュエータ60は約700Nの駆動力を発生し、操作ガスMGの操作圧が0.7MPaの場合に、主アクチュエータ60は約1000Nの駆動力を発生するようになっている。
図5に示すように、ピストン駆動力が約700N〜950Nの範囲にある場合には、操作部材40は第1の開位置P1に位置する。
操作部材40が第1の開位置P1に移動した状態では、図6に示すように、皿ばね120がさらに圧縮され、皿ばね受け48の当接面48tがアクチュエータ受け110の規制面110bに当接して、操作部材40の開方向A1への移動が規制され、操作部材40は第1の開位置P1に位置付けられる。図6からわかるように、ダイヤフラム20は、弁座15からリフト量Lf1だけ離れて流路が開く。
操作部材40が第2の開位置P2に移動した状態では、図7に示すように、皿ばね受け145が開方向A1に押し上げられて、皿ばね130がさらに圧縮され、皿ばね受け145の当接面145tが調節ロッド80の規制面80bに当接し、皿ばね受け145は開方向A1への移動が規制される。これにより、
図8に示すように、皿ばね受け48の当接面48tが第2の開位置P2に位置付けられ、ダイヤフラム20は、弁座15からリフト量Lf1+Lf2だけ離れて流路がさらに開く。
図5に示した、第1の開位置P1および第2の開位置P2は、上記したように機械的に規定されているが、製造プロセスの初期段階等においてはバルブ装置1の開度(流量)を調節する必要がある。
バルブ装置1では、調節キャップ70の開閉方向A1,A2の位置を調節することで、図5に示すように、上限値P1maxおよび下限値P1minの調節可能範囲R1で第1の開位置P1の位置を調節可能である。また、2本の調節ロッド80の規制面80bの開閉方向A1,A2の位置を調節することで上限値P2maxおよび下限値P2minの調節可能範囲R2で第2の開位置P2の位置を調節可能である。
ここで、調節可能範囲R1と調節可能範囲R2とが図5に示すように一部が重複していることで、調節可能範囲R1と調節可能範囲R2を合わせた全調節範囲R0で、連続的な操作部材40の開位置の調節が可能となる。なお、調節可能範囲R1と調節可能範囲R2とは分離されていてもよい。
また、本実施形態では、図6および図8に示したように、ダイヤフラム20が弾性変形した状態を維持しつつ第1の開位置P1および第2の開位置P2を調節できるので、より高精度な開度調節が可能になるとともに、適切な開度(ダイヤフラム20の変位量)調節が可能になりダイヤフラム20の寿命を延ばすことができる。また、調節キャップ70と調節ロッド80の2つで調節できるので、ダイヤフラム20の経時変化にも対応可能となる。
調節キャップ70と調節ロッド80に加えて、圧電アクチュエータ100を用いることで、さらに高精度な流量調節が可能となり、バルブ装置1の動作中に流量調節が可能となる。
図9A〜図10Bの中心線Ctの左側は、図6および図8に示したように、第1の開位置P1又は第2の開位置P2に操作部材40が位置付けられた状態を示しており、中心線Ctの右側は操作部材40の開閉方向A1,A2の位置を微調節した後の状態を示している。
流体の流量を増加させる方向に調節する場合には、図9B又は図10Bに示すように、圧電アクチュエータ100を短縮させて、操作部材40を開方向A1に移動させる。これにより、操作部材40の第1の開位置P1又は第2の開位置P2は、それぞれP1+,P2+に補正される。
すなわち、調節キャップ70と調節ロッド80を用いてダイヤフラム20のリフト量の全範囲での調節を実施し、圧電アクチュエータ100の伸縮によりさらなる微調節を実施する。
本実施形態によれば、圧電アクチュエータ100に印可する電圧を変化させるだけで精密な流量調節が可能であるので、流量調節を即座に実行できるとともに、リアルタイムに流量制御をすることも可能となる。
図11に示すシステムは、ALD法による半導体製造プロセスを実行するための半導体製造装置1000であり、300はプロセスガス供給源、400はガスボックス、500はタンク、600は制御部、700は処理チャンバ、800は排気ポンプを示している。
ALD法による半導体製造プロセスでは、処理ガスの流量を精密に調節する必要があるとともに、基板の大口径化により、処理ガスの流量をある程度確保する必要もある。
ガスボックス400は、正確に計量したプロセスガスを処理チャンバ700に供給するために、開閉バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラ等の各種の流体制御機器を集積化してボックスに収容した集積化ガスシステム(流体制御装置)である。
タンク500は、ガスボックス400から供給される処理ガスを一時的に貯留するバッファとして機能する。
制御部600は、バルブ装置1への操作ガスMGの供給制御や圧電アクチュエータ100による流量調節制御を実行する。
処理チャンバ700は、ALD法による基板への膜形成のための密閉処理空間を提供する。
排気ポンプ800は、処理チャンバ700内を真空引きする。
また、成膜プロセスを実行途中であっても、処理ガスの流量を大きく変更する必要がある場合等には、バルブ装置1に供給する操作ガスMGの操作圧を変更することで容易に対応可能である。
10 バルブボディ
15 弁座
20 ダイヤフラム
25 押えアダプタ
30 ボンネット
38 ダイヤフラム押え
40 操作部材
45 ばね受けプレート
48 皿ばね受け
50 ケーシング
60 主アクチュエータ
61,62 ピストン
63 バルクヘッド
70 調節キャップ(調節機構)
70a ねじ部
71 貫通孔
72 ねじ孔
75 調節ボディ(調節機構)
78 ロックナット
80 調節ロッド(調節機構)
80b 規制面
81 ねじ部
90 コイルばね
100 圧電アクチュエータ
101 ケース本体
102 先端部
103 基端部
105 配線
110 アクチュエータ受け
110b 規制面
120,130 皿ばね(切換機構)
140 アクチュエータ押え
141 流通路
145 皿ばね受け
150 管継手
300 プロセスガス供給源
400 ガスボックス
500 タンク
600 制御部
700 処理チャンバ
800 排気ポンプ
1000 半導体製造装置
A1 開方向
A2 閉方向
C1,C2 シリンダ室
Ch 流通路
SP 空間
P0 閉位置
P1 第1の開位置
P2 第2の開位置
R1,R2 調節可能範囲
R0 全調節可能範囲
OR Oリング
MG 操作ガス
Lf1,Lf2 リフト量
Claims (8)
- 流路を画定するバルブボディと、
前記流路を開閉可能に設けられた弁体と、
前記弁体を開閉方向へ移動可能に設けられた操作部材と、
与えられた操作圧に応じた駆動力を前記操作部材に付与する主アクチュエータと、
前記流路の開度を規定する前記操作部材の位置を、互いに異なる第1の開位置又は第2の開位置に前記操作圧の大きさに応じて選択的に切り換え可能な切換機構と、
前記第1の開位置および第2の開位置をそれぞれ独立に調節可能な調節機構と、
前記第1の開位置または第2の開位置に位置付けられた前記操作部材の位置を調整するための調整用アクチュエータと、を有し、
前記調整用アクチュエータは、圧電素子の伸縮を利用したアクチュエータである、バルブ装置。 - 前記調節機構の前記第1の開位置の調節可能な範囲と前記第2の開位置の調節可能な範囲とは一部が重複していることを特徴とする請求項1に記載のバルブ装置。
- 前記調節機構は、前記流路に流体を流通可能な状態で操作可能に設けられている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のバルブ装置。
- 前記弁体は、ダイヤフラムを含み、
前記操作部材は、前記第1の開位置および第2の開位置において、前記ダイヤフラムが弾性変形した状態にそれぞれ維持する、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のバルブ装置。 - 請求項1ないし4に記載のバルブ装置を用いて、流体の流量を制御する流量制御方法。
- 密閉されたチャンバ内においてプロセスガスによる処理工程を要する半導体装置の製造プロセスにおいて、前記プロセスガスの流量制御に請求項1ないし4のいずれかに記載のバルブ装置を用いた半導体製造方法。
- 複数の流体機器を有する流体制御装置であって、
前記流体機器に請求項1ないし4のいずれかに記載のバルブ装置が含まれる流体制御装置。 - 密閉されたチャンバ内においてプロセスガスによる処理工程を要する半導体装置の製造プロセスにおいて、前記プロセスガスの制御のために請求項1〜4のいずれかに記載のバルブ装置を含む半導体製造装置。
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