JP6919502B2 - Mems発振器 - Google Patents
Mems発振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6919502B2 JP6919502B2 JP2017210307A JP2017210307A JP6919502B2 JP 6919502 B2 JP6919502 B2 JP 6919502B2 JP 2017210307 A JP2017210307 A JP 2017210307A JP 2017210307 A JP2017210307 A JP 2017210307A JP 6919502 B2 JP6919502 B2 JP 6919502B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mems
- center
- base
- integrated circuit
- storage recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るMEMS発振器の断面図であり、図2は、図1のMEMS発振器のリッドを外した状態の平面図である。
図3は、本発明の他の実施形態のMEMS発振器11の断面図であり、図4は、図3のMEMS発振器11のリッド7を外した状態の平面図であり、上述の実施形態に対応する部分には、対応する参照符号を付す。
2 MEMS素子
3,31 ICチップ(集積回路素子)
4 パッケージ
5 収納凹部
6 ベース
7 リッド(蓋体)
Claims (5)
- 収納凹部を有するベースと、
発振回路を含む集積回路素子と、
MEMS共振子を含むMEMS素子と、
前記収納凹部の開口を閉塞する蓋体とを備え、
前記集積回路素子及び前記MEMS素子が収納された前記収納凹部が、前記蓋体によって気密に封止され、
少なくとも前記MEMS素子は、その外周面が前記収納凹部と前記蓋体との接合によって形成される空間内に露出しており、
平面視で、前記集積回路素子の中心が、前記ベースの中心に一致しており、
前記MEMS素子は、前記集積回路素子の一方の面の、平面視で前記MEMS素子の中心が前記集積回路素子の前記中心に対してずれた偏心した位置に、接合されている、
ことを特徴するMEMS発振器。 - 前記MEMS素子の外周面のうち、少なくとも前記集積回路素子との接合面以外の面が、前記収納凹部と前記蓋体との接合によって形成される空間内に露出している、
請求項1に記載のMEMS発振器。 - 前記ベースが、セラミック材料からなる、
請求項1または2に記載のMEMS発振器。 - 前記ベースの前記収納凹部の内周壁には、前記収納凹部の底面よりも高い段部が形成されている、
請求項1ないし3のいずれかに記載のMEMS発振器。 - 平面視で、前記集積回路素子の前記中心が、前記収納凹部の前記開口の中心に一致しており、
前記収納凹部の前記開口は、平面視で略矩形であり、
前記MEMS素子が接合されている前記集積回路素子の前記一方の面は、平面視で矩形であって、該矩形の中心が、前記集積回路素子の前記中心であり、
前記MEMS素子は、前記集積回路素子の前記一方の面において、該一方の面の前記矩形の長手方向の端部寄りの位置に接合されている、
請求項1ないし4のいずれかに記載のMEMS発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017210307A JP6919502B2 (ja) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | Mems発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017210307A JP6919502B2 (ja) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | Mems発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019083440A JP2019083440A (ja) | 2019-05-30 |
JP6919502B2 true JP6919502B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=66671231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017210307A Active JP6919502B2 (ja) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | Mems発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6919502B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4268480B2 (ja) * | 2003-08-27 | 2009-05-27 | 京セラ株式会社 | 電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置 |
JP5771915B2 (ja) * | 2010-08-03 | 2015-09-02 | 大日本印刷株式会社 | Memsデバイス及びその製造方法 |
JP5771916B2 (ja) * | 2010-08-03 | 2015-09-02 | 大日本印刷株式会社 | Memsデバイス及びその製造方法 |
JP6798121B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2020-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器および移動体 |
-
2017
- 2017-10-31 JP JP2017210307A patent/JP6919502B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019083440A (ja) | 2019-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5834098B2 (ja) | 微小電気機械部品の製造方法、および微小電気機械部品とその用途 | |
JP4835058B2 (ja) | センサパッケージ | |
JP2008131549A (ja) | 水晶振動デバイス | |
JP7196934B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP6547825B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2022125097A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP4268480B2 (ja) | 電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置 | |
JP2020120195A (ja) | Mems発振器 | |
JP2005262382A (ja) | 電子装置およびその製造方法 | |
JP2007042786A (ja) | マイクロデバイス及びそのパッケージング方法 | |
JP4761713B2 (ja) | 電子部品封止用基板および多数個取り用電子部品封止用基板ならびに電子装置の製造方法 | |
JP3842751B2 (ja) | 電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置の製造方法 | |
JP6919502B2 (ja) | Mems発振器 | |
JP2019050478A (ja) | Mems発振器 | |
JP6863215B2 (ja) | Mems発振器 | |
JP2020104229A (ja) | Memsデバイス | |
JPH10303690A (ja) | 表面弾性波装置及びその製造方法 | |
JP2019129437A (ja) | Mems発振器 | |
JP2019118013A (ja) | Mems発振器 | |
KR20060115531A (ko) | 기밀특성이 우수한 표면탄성파 소자 패키지 및 그 제조방법 | |
JP2005212016A (ja) | 電子部品封止用基板および多数個取り用電子部品封止用基板ならびに電子装置の製造方法 | |
JP4434870B2 (ja) | 多数個取り電子部品封止用基板および電子装置ならびに電子装置の製造方法 | |
WO2022149541A1 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP5716594B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP4116954B2 (ja) | 電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210622 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210705 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6919502 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |