JP6909804B2 - Tdlasシステム動作の検証のための方法及び装置 - Google Patents
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Description
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Claims (13)
- 光ファイバの入力に光学的に結合された、第1の選択レイジング周波数の出力ビームを生成する少なくとも1つのダイオードレーザと、
ビームスプリッタ又は光スイッチのうちの少なくとも1つを備えるピッチサイドビーム制御器であって、前記ビーム制御器は、前記光ファイバの出力に光学的に結合された少なくとも1つの入力、及び少なくとも2つの出力を有し、
前記少なくとも2つの出力のうちの少なくとも1つが、プロセスチャンバと動作可能に関連付けられ少なくとも1つの前記ダイオードレーザの前記出力ビームを射出し前記プロセスチャンバを通すように方向付けられている、ピッチ光学系に光学的に結合している、ピッチサイドビーム制御器と、
前記ピッチ光学系と光学的に連通した前記プロセスチャンバと動作可能に関連付けられ、射出され前記プロセスチャンバを通った、少なくとも1つの前記ダイオードレーザの前記出力ビームを受光するキャッチ光学系と、
前記キャッチ光学系に光学的に結合した入力サイド、及び出力サイドを有するキャッチサイド光ファイバと、
少なくとも2つの入力及び1つの出力を有する光スイッチを備えるキャッチサイドビーム制御器と、
前記ビーム制御器の出力に光学的に結合し、前記選択レイジング周波数に高い感度を有する検出器と、
入力及び出力を有するFBG光ファイバであって、前記FBG光ファイバは、前記FBG光ファイバのコア内に形成された少なくとも1つのファイバブラッググレーティングを備え、
前記ファイバブラッググレーティングの少なくとも1つは、前記第1の選択レイジング周波数のレーザビームを部分的に反射し、一方で前記レーザビームの少なくとも一部を、前記FBG光ファイバの前記出力に通過させるように構成され、
前記FBG光ファイバの前記入力は前記ピッチサイドビーム制御器の前記少なくとも2つの出力のうちの別の1つに光学的に結合し、
前記FBG光ファイバの前記出力は前記キャッチサイドビーム制御器の入力に光学的に結合している、FBG光ファイバと、
を備える、検知装置。 - 前記ファイバブラッググレーティングの各々を選択温度範囲に維持するための、前記FBG光ファイバの前記ファイバブラッググレーティングの各々と動作可能に関連付けられた温度制御ユニットを更に備え、前記選択温度範囲は前記ファイバブラッググレーティングの各々の光学特性の実質的な変動を防止する、請求項1に記載の検知装置。
- 前記選択温度範囲は、摂氏でプラス又はマイナス0.28度(華氏でプラス又はマイナス0.5度)である、請求項2に記載の検知装置。
- 複数のダイオードレーザであって、前記ダイオードレーザの各々は、別個の選択レイジング周波数の出力ビームを生成し、前記出力ビームの各々は別個の光ファイバの入力に結合している、ダイオードレーザと、
前記別個の光ファイバの出力の各々に光学的に結合して、前記複数のダイオードレーザの各々の前記出力ビームを合成して多重化されたビームとするように構成されたマルチプレクサと、
前記キャッチサイドビーム制御器の前記出力に光学的に結合して、前記出力ビームの各々を、前記出力ビームの別個のレイジング周波数によって分離するように構成されたデマルチプレクサと、
前記複数のダイオードレーザに対応する複数の検出器であって、前記検出器の各々は、対応する前記ダイオードレーザの前記選択レイジング周波数に高い感度を有する、検出器と、を更に備える、請求項1に記載の検知装置。 - 複数のピッチ光学系であって、前記ピッチ光学系の各々は前記ピッチサイドビーム制御器の別個の出力と動作可能に関連付けられている、ピッチ光学系と、対応する複数のキャッチ光学系であって、前記キャッチ光学系の各々は前記キャッチサイドビーム制御器の別個の入力に光学的に結合している、キャッチ光学系と、を備える、請求項1に記載の検知装置。
- 前記FBG光ファイバは複数のファイバブラッググレーティングを直列で備え、前記ファイバブラッググレーティングの各々は、別個の選択レイジング周波数のレーザビームの一部を部分的に反射し、一方で前記レーザビームの少なくとも一部を前記FBG光ファイバの前記出力に通過させるように構成されている、請求項4に記載の検知装置。
- プロセスチャンバ内の気体種の特性を検知する方法であって、前記方法は、
プロセスチャンバを提供することと、
第1の選択レイジング周波数のビームを選択的に射出し前記プロセスチャンバを通すことと、
射出され前記プロセスチャンバを通った前記ビームを前記選択レイジング周波数に高い感度を有する検出器に光学的に結合させて、関心の対象である気体種の特性によって生じる、前記選択レイジング周波数における又はその近傍における吸収ディップを検出することと、
前記第1の選択レイジング周波数の前記ビームを選択的に射出し、光ファイバのコア内に形成されたファイバブラッググレーティングを通すことであって、前記ファイバブラッググレーティングは、前記第1の選択レイジング周波数のビームを部分的に反射し、一方で前記ビームの残部を通過させるように構成されており、前記ビームの前記残部は、関心の対象である気体種の特性によって生じる、前記選択レイジング周波数における前記吸収ディップを模倣している、ことと、
前記ビームの少なくとも一部を前記検出器に光学的に結合させることと、
前記検出器の出力をモニタリングして、前記ファイバブラッググレーティングの吸収ディップの透過パターンを、前記プロセスチャンバ内で生成された透過パターンと比較することと、を含む、方法。 - 前記ファイバブラッググレーティングの各々を選択温度範囲に維持することを更に含み、前記選択温度範囲は前記ファイバブラッググレーティングの各々の光学特性の実質的な変動を防止する、請求項7に記載の方法。
- 前記選択温度範囲は、摂氏でプラス又はマイナス0.28度(華氏でプラス又はマイナス0.5度)である、請求項8に記載の方法。
- 多重化された複数の出力ビームであって、前記複数の出力ビームの各々が選択レイジング周波数を有する、多重化された複数の出力ビームを、選択的に射出し前記プロセスチャンバを通すことと、
前記多重化された複数の出力ビームのビームを選択的に射出し光ファイバのコア内に形成されたファイバブラッググレーティングを通すことであって、前記ファイバブラッググレーティングは、少なくとも第1の選択レイジング周波数のビームを部分的に反射し、一方で前記ビームの残部を通過させるように構成されており、前記ビームの前記残部は、関心の対象である気体種の特性によって生じる、選択レイジング周波数における吸収ディップを模倣している、ことと、
前記多重化された複数の出力ビームを非多重化して、出力ビームの各々を、該出力ビームの各々の別個のレイジング周波数によって分離することと、
非多重化された出力ビームの各々を、対応する前記非多重化された出力ビームの前記選択レイジング周波数に高い感度を有する検出器に光学的に結合することと、
前記検出器の出力をモニタリングして、前記ファイバブラッググレーティングの前記吸収ディップの透過パターンを、同一の選択レイジング周波数において前記プロセスチャンバ内で生成された透過パターンと比較することと、を更に含む、請求項7に記載の方法。 - 複数の直列のファイバブラッググレーティングであって、前記ファイバブラッググレーティングの各々は、別個の選択レイジング周波数のレーザビームの一部を部分的に反射し、一方で前記レーザビームの少なくとも一部を前記FBG光ファイバの前記出力に通過させるように構成されている、ファイバブラッググレーティング、を提供することと、
前記検出器の出力をモニタリングして、前記ファイバブラッググレーティングの前記吸収ディップの各々の前記透過パターンを、同一の前記別個のレイジング周波数において前記プロセスチャンバ内で生成される透過パターンと比較することと、を更に含む、請求項10に記載の方法。 - 前記プロセスチャンバ内の物理パラメータを検知するために、前記検出器の前記出力を処理することを更に含む、請求項7に記載の方法。
- 前記検出器の処理された前記出力に基づいて前記プロセスチャンバ内の選択物理パラメータを制御するために、信号をフィードバックループを通して燃焼制御器に送信することを更に含む、請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662321634P | 2016-04-12 | 2016-04-12 | |
US62/321,634 | 2016-04-12 | ||
PCT/US2017/023392 WO2017180297A1 (en) | 2016-04-12 | 2017-03-21 | Method and apparatus for verification of tdlas system operation |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019513998A JP2019513998A (ja) | 2019-05-30 |
JP2019513998A5 JP2019513998A5 (ja) | 2020-04-16 |
JP6909804B2 true JP6909804B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=60041834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018553189A Active JP6909804B2 (ja) | 2016-04-12 | 2017-03-21 | Tdlasシステム動作の検証のための方法及び装置 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10738997B2 (ja) |
EP (1) | EP3443325B1 (ja) |
JP (1) | JP6909804B2 (ja) |
KR (1) | KR102195472B1 (ja) |
CN (1) | CN109073548B (ja) |
AU (1) | AU2017251622B2 (ja) |
CA (1) | CA3020690A1 (ja) |
ES (1) | ES2853723T3 (ja) |
RU (1) | RU2730447C2 (ja) |
SG (1) | SG11201808029QA (ja) |
WO (1) | WO2017180297A1 (ja) |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19633569A1 (de) * | 1996-08-21 | 1998-02-26 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Wellenlänge monochromatischer Lichtquellen |
US6058131A (en) * | 1997-11-17 | 2000-05-02 | E-Tek Dynamics, Inc. | Wavelength stabilization of laser source using fiber Bragg grating feedback |
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JP5096975B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2012-12-12 | 大阪瓦斯株式会社 | ガス検知器 |
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CN102252704A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 北京派科森科技有限公司 | 高速高精度多通道布拉格光栅解调仪 |
JP5494889B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2014-05-21 | 富士電機株式会社 | 光源装置、分析装置、光生成方法、及び分析方法 |
CN203519492U (zh) * | 2013-09-02 | 2014-04-02 | 刘永宁 | 一种基于二次谐波检测技术的多通道多点位气体检测*** |
CN105136740A (zh) * | 2015-10-26 | 2015-12-09 | 中国人民解放军军事医学科学院卫生装备研究所 | 一种基于tdlas的温湿度监测*** |
-
2017
- 2017-03-21 AU AU2017251622A patent/AU2017251622B2/en active Active
- 2017-03-21 CA CA3020690A patent/CA3020690A1/en active Pending
- 2017-03-21 RU RU2018138564A patent/RU2730447C2/ru active
- 2017-03-21 CN CN201780023121.XA patent/CN109073548B/zh active Active
- 2017-03-21 JP JP2018553189A patent/JP6909804B2/ja active Active
- 2017-03-21 EP EP17782809.2A patent/EP3443325B1/en active Active
- 2017-03-21 US US16/092,992 patent/US10738997B2/en active Active
- 2017-03-21 SG SG11201808029QA patent/SG11201808029QA/en unknown
- 2017-03-21 KR KR1020187028968A patent/KR102195472B1/ko active IP Right Grant
- 2017-03-21 WO PCT/US2017/023392 patent/WO2017180297A1/en active Application Filing
- 2017-03-21 ES ES17782809T patent/ES2853723T3/es active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102195472B1 (ko) | 2020-12-29 |
CN109073548A (zh) | 2018-12-21 |
US20190128520A1 (en) | 2019-05-02 |
EP3443325B1 (en) | 2021-01-20 |
WO2017180297A1 (en) | 2017-10-19 |
EP3443325A4 (en) | 2019-12-04 |
AU2017251622A1 (en) | 2018-10-11 |
RU2730447C2 (ru) | 2020-08-21 |
RU2018138564A (ru) | 2020-05-12 |
CA3020690A1 (en) | 2017-10-19 |
ES2853723T3 (es) | 2021-09-17 |
KR20180134884A (ko) | 2018-12-19 |
JP2019513998A (ja) | 2019-05-30 |
AU2017251622B2 (en) | 2021-08-05 |
EP3443325A1 (en) | 2019-02-20 |
RU2018138564A3 (ja) | 2020-06-03 |
SG11201808029QA (en) | 2018-10-30 |
CN109073548B (zh) | 2021-04-02 |
US10738997B2 (en) | 2020-08-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200303 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200303 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20201026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210603 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210705 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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