JP6794215B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
11 載置台
11a 載置面
12 プロービング機構
14 撮像部
15 標識板
18 表示部
19 処理部
21 プローブ
50 生成処理
100 基板
Cg 重心
Dd 表示データ
Mx,My 変位量
G1x,G1y,G2〜G4 画像
Gd 特定用画像
M1 標識
Oa 光軸
St 許容範囲
X,Y 第2方向
W1 第1方向
W2 光軸方向
Claims (5)
- 検査対象の基板が載置される載置面に対して接離する第1方向にプローブを移動させてプロービングを行うプロービング機構と、前記プロービング機構の近傍に配置されると共に光軸の方向を調整可能に構成されて前記基板の画像を撮像する撮像部とを備えた基板検査装置であって、
前記第1方向と前記光軸の方向とのずれ量を特定可能な特定用画像を表示部に表示させる表示データを生成する生成処理を行う処理部と、標識が付されると共に前記プロービング機構に取り付け可能に構成されて当該プロービング機構によって前記第1方向に移動させられる標識部材とを備え、
前記処理部は、前記生成処理において、前記標識部材が前記プロービング機構によって前記第1方向に往復移動させられている最中に前記撮像部によって撮像された当該標識部材の複数の画像内における前記標識の前記載置面に沿った第2方向の位置をそれぞれ特定し、特定した前記標識の各位置に基づき、前記標識部材の前記往復移動に伴って当該標識の位置が前記第2方向に変位した変位量を特定すると共に、特定した前記変位量および当該変位量の許容範囲を示す前記特定用画像のデータを前記表示データとして生成する基板検査装置。 - 前記処理部は、前記生成処理において、前記標識における重心の位置を前記標識の各位置としてそれぞれ特定する請求項1記載の基板検査装置。
- 前記標識は、円形に形成されている請求項1または2記載の基板検査装置。
- 前記標識部材は、前記標識の色が白色および黒色のうちのいずれか一方の色に着色され、前記標識の周囲の色が白色および黒色のうちの他方の色に着色されている請求項1から3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記処理部は、前記変位量が前記許容範囲内であるか否かを判別し、当該判別の結果を報知する請求項1から4のいずれかに記載の基板検査装置。
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JP2016209355A JP6794215B2 (ja) | 2016-10-26 | 2016-10-26 | 基板検査装置 |
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