JP6890886B2 - プラズマエッチング装置 - Google Patents
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Description
4 処理空間
6 真空チャンバー
6a 側壁
6b 底壁
6c 上壁
8 開口
10 ゲート
12 開閉機構
14 排気口
16 排気ユニット
18 下部電極
20 上部電極
22 保持部
24 支持部
26 開口
28 軸受け
30 高周波電源
32 テーブル(静電チャックテーブル)
32a 吸引孔
32b 電極
34 流路
36 吸引源
38 冷却流路
40 冷媒導入路
42 循環ユニット
44 冷媒排出路
46 ガス供給部
48 支持部
50 開口
52 軸受け
56 昇降機構
58 支持アーム
60 ガス噴出口
62 流路
64 ガス供給源
66 排気ユニット(排気手段)
68 排気ボックス
70 空間
72 搬出入口
74 ゲート
76 開閉機構
78 排気口
80 排気風量調整ユニット
11 被加工物
Claims (3)
- プラズマエッチング装置であって、
被加工物を搬出入するための搬出入口を有する真空チャンバーと、
該真空チャンバー内で被加工物を保持する静電チャックテーブルと、
該真空チャンバー内にプラズマエッチング用の反応性ガスを供給するガス供給部と、
被加工物を該真空チャンバーに搬入し、又は、被加工物を該真空チャンバーから搬出する際に、該搬出入口から流出するガスを排出する排気手段と、を備え、
該排気手段は、該搬出入口を含む該真空チャンバーの一部分のみを囲み該真空チャンバーの内部の処理空間の体積よりも小さい空間を内部に持つ排気ボックスを有することを特徴とするプラズマエッチング装置。 - 前記排気手段は、前記搬出入口から流出するガスを排気するための排気風量を調整する排気風量調整ユニットを更に有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング装置。
- 前記真空チャンバーの前記搬出入口から流出するガスを検出するガス検知ユニットを更に備える請求項1又は請求項2に記載のプラズマエッチング装置。
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