JP6890797B2 - 測定装置、光学式センサ、測定方法及びプログラム - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2004−170437号公報
10 光学式センサ
20 2次元イメージセンサ
60 受光系
90 投光系
100 光素子
101 第1プリズム
102 第2プリズム
110 駆動装置
120 レンズ
130 受光部
140 制御部
150 測定部
170 レンズ
180 発光部
200 プリズム系
910 光学式センサ
930 受光部
960 受光系
970 レンズ
980 発光部
990 投光系
1001 グラフ
1002 グラフ
1110 光学式センサ
1120 測定装置
1130 受光部
1142 切換部
1160 受光系
1200 強度分布
1201 行
1202 行
1400 平板
1410 光学式センサ
1460 受光系
1500 平板ミラー
1510 光学式センサ
1560 受光系
1600 音響光学偏向器
1601 第1音響光学偏向器
1602 第2音響光学偏向器
1610 光学式センサ
1660 受光系
1700 光素子
1710 光学式センサ
1760 受光系
1790 投光系
1810 光学式センサ
1860 受光系
2000 コンピュータ
2001 DVD‐ROM
2003 メモリカード
2010 ホストコントローラ
2012 CPU
2014 RAM
2016 グラフィックコントローラ
2018 表示デバイス
2020 入力/出力コントローラ
2022 通信インタフェース
2024 ハードディスクドライブ
2026 DVD−ROMドライブ
2028 メモリカードドライブ
2030 ROM
2040 入力/出力チップ
2042 キーボード
Claims (13)
- 対象物の形状を光により測定する測定装置であって、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する測定部と
を備え、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記制御部は、
前記対象物からの光の光路を第1の光路にして、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第1の領域に入射させ、
前記対象物からの光の光路を前記第1の光路から第2の光路に変化させて、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第2の領域に入射させ、
前記測定部は、前記エリアセンサの前記第1の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果と、前記エリアセンサの前記第2の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果とに基づいて、前記対象物の形状を測定する測定装置。 - 対象物の形状を光により測定する測定装置であって、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する測定部と
を備え、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記測定装置は、
第1の測定モードにおいて、前記制御部は、前記エリアセンサに対して前記光路を変化させ、前記測定部は、前記エリアセンサ上の予め定められた位置で前記対象物からの光が検出された場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定し、
第2の測定モードにおいて、前記制御部は、前記エリアセンサに対して前記光路が固定された状態で前記エリアセンサに前記対象物からの光を受光させ、前記測定部は、前記エリアセンサ上における、前記対象物からの光が検出された位置に基づいて、前記対象物の形状を測定し、
前記測定装置は、
前記第1の測定モードと前記第2の測定モードとを切り換える切替部
をさらに備える測定装置。 - 前記光路を変更する光素子
をさらに備え、
前記制御部は、前記光素子の状態を変化させることにより、前記受光部に対して前記光路を変化させる
請求項1又は2に記載の測定装置。 - 前記光素子は、屈折又は回折により前記光路を変更し、
前記制御部は、前記光素子の向きを変化させることにより、前記受光部に対して前記光路を変化させ、
前記測定部は、前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光素子の向きに基づいて、前記対象物の形状を測定する
請求項3に記載の測定装置。 - 前記光素子は、1つ以上のプリズムを有し、
前記制御部は、前記プリズムの向きを変化させることにより、前記受光部に対して前記光路を変化させ、
前記測定部は、前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記プリズムの向きに基づいて、前記対象物の形状を測定する
請求項3又は4に記載の測定装置。 - 前記光素子は、反射により前記光路を変更し、
前記制御部は、前記光素子の向きを変化させることにより、前記受光部に対して前記光路を変化させ、
前記測定部は、前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光素子の向きに基づいて、前記対象物の形状を測定する
請求項3に記載の測定装置。 - 前記制御部は、前記受光部によって前記対象物からの光が検出されるまで、前記受光部に対して前記光路を変化させる
請求項3から6のいずれか一項に記載の測定装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の測定装置と、
前記受光部と
を備える光学式センサ。 - 前記対象物に入射する光を出射する発光部
をさらに備える請求項8に記載の光学式センサ。 - 対象物の形状を光により測定する測定方法であって、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる段階と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する段階と
を備え、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記光路を変化させる段階は、
前記対象物からの光の光路を第1の光路にして、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第1の領域に入射させる段階と、
前記対象物からの光の光路を前記第1の光路から第2の光路に変化させて、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第2の領域に入射させる段階と
を備え、
前記対象物の形状を測定する段階は、前記エリアセンサの前記第1の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果と、前記エリアセンサの前記第2の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果とに基づいて、前記対象物の形状を測定する段階を備える測定方法。 - 対象物の形状を光により測定するためのプログラムであって、コンピュータに、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる手順と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する手順と
を実行させ、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記光路を変化させる手順は、
前記対象物からの光の光路を第1の光路にして、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第1の領域に入射させる手順と、
前記対象物からの光の光路を前記第1の光路から第2の光路に変化させて、前記対象物からの光を前記エリアセンサの第2の領域に入射させる手順と
を備え、
前記対象物の形状を測定する手順は、前記エリアセンサの前記第1の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果と、前記エリアセンサの前記第2の領域に設けられた複数の受光素子による前記対象物からの光の検出結果とに基づいて、前記対象物の形状を測定する手順を備えるプログラム。 - 対象物の形状を光により測定する測定方法であって、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる段階と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する段階と
を備え、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記光路を変化させる段階は、第1の測定モードにおいて、前記エリアセンサに対して前記光路を変化させる段階を備え、前記対象物の形状を測定する段階は、前記第1の測定モードにおいて、前記エリアセンサ上の予め定められた位置で前記対象物からの光が検出された場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する段階を備え、
前記光路を変化させる段階は、第2の測定モードにおいて、前記エリアセンサに対して前記光路が固定された状態で前記エリアセンサに前記対象物からの光を受光させる段階を備え、前記対象物の形状を測定する段階は、前記第2の測定モードにおいて、前記エリアセンサ上における、前記対象物からの光が検出された位置に基づいて、前記対象物の形状を測定する段階を備え、
前記測定方法は、
前記第1の測定モードと前記第2の測定モードとを切り換える段階
をさらに備える測定方法。 - 対象物の形状を光により測定するためのプログラムであって、コンピュータに、
前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる手順と、
前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する手順と
を実行させ、
前記受光部は、エリアセンサであり、
前記光路を変化させる手順は、第1の測定モードにおいて、前記エリアセンサに対して前記光路を変化させる手順を備え、前記対象物の形状を測定する手順は、前記第1の測定モードにおいて、前記エリアセンサ上の予め定められた位置で前記対象物からの光が検出された場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する手順を備え、
前記光路を変化させる手順は、第2の測定モードにおいて、前記エリアセンサに対して前記光路が固定された状態で前記エリアセンサに前記対象物からの光を受光させる手順を備え、前記対象物の形状を測定する手順は、前記第2の測定モードにおいて、前記エリアセンサ上における、前記対象物からの光が検出された位置に基づいて、前記対象物の形状を測定する手順を備え、
前記プログラムは、コンピュータに、
前記第1の測定モードと前記第2の測定モードとを切り換える手順
をさらに実行させるプログラム。
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