JP6888151B2 - Surveying device leveling device and leveling table - Google Patents

Description

本発明は、測量装置の整準装置及び整準装置に用いられる整準用テーブルに関するものである。 The present invention relates to a leveling device of a surveying device and a leveling table used in the leveling device .

精密機械、測量装置では装置を高精度の水平姿勢とする為に整準装置を具備している。整準装置は、測量装置本体が設置される載置テーブルを水平２軸で傾動させ、水平としている。 Precision machines and surveying devices are equipped with a leveling device in order to set the device in a highly accurate horizontal posture. The leveling device tilts the mounting table on which the surveying device main body is installed on two horizontal axes to make it horizontal.

この傾動させる為の装置としてネジ送り装置が用いられる。可動部が傾動する機構に対してネジ送り装置が用いられた場合、該ネジ送り装置は可動部に真直変位を与え、可動部は真直変位によって傾動することから、ネジ送り装置と可動部間の連結部には可動部の傾動に伴う相対的な傾斜が発生する。従って、連結部には、相対的な傾斜及び傾斜に伴う位置ずれを吸収する機能が要求される。 A screw feeding device is used as a device for tilting. When a screw feed device is used for a mechanism in which the movable part tilts, the screw feed device gives a straight displacement to the movable part, and the movable part tilts due to the straight displacement. A relative inclination occurs in the connecting portion due to the inclination of the movable portion. Therefore, the connecting portion is required to have a function of absorbing the relative inclination and the displacement due to the inclination.

従来、水平２軸で傾動可能とする構造は、各軸毎に回転軸、軸受が設けられていた。又、傾動部と直進部とを連結する方法としては、ユニバーサルジョイントを用いる等が考えられていたが、小型で簡単な連結方法とはいえなかった。Conventionally, in a structure capable of tilting on two horizontal axes, a rotating shaft and a bearing have been provided for each axis. Further, as a method of connecting the tilting portion and the straight traveling portion, a universal joint or the like has been considered, but it cannot be said that it is a small and easy connecting method.

特開２０００−１４９４６７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-149467

本発明は、簡単な構成の測量装置の整準装置及び整準装置に用いられる整準用テーブルを提供するものである。 The present invention provides a leveling device for a surveying device having a simple configuration and a leveling table used for the leveling device .

本発明は、リング形状の本体フレームと、該本体フレームの内側に同心に設けられ、前記本体フレームに対してＸ軸を中心に傾動自在に設けられたＸ軸フレームと、該Ｘ軸フレームの上に該Ｘ軸フレームと同心に設けられ、前記Ｘ軸に対して同一平面内で直交するＹ軸を中心に傾動自在に設けられたＹ軸フレームとを具備し、前記Ｘ軸フレームには、前記本体フレームとオーバラップする様所要量立上がり、前記Ｘ軸に沿って両外周側に向って延出する第１、第２の軸部が設けられ、前記本体フレームの前記第１、第２の軸部と対峙する部分にはそれぞれ円錐形の第１、第２の球受穴が設けられ、前記第１の軸部の下面には前記第１の球受穴と対峙する第１円錐穴が設けられ、前記第１の球受穴と前記第１円錐穴間には第１の鋼球が介設され、前記第２の軸部の下面には前記Ｘ軸と平行な第１のＶ溝が穿設され、該第１のＶ溝と前記第２の球受穴との間には第２の鋼球が介設され、前記Ｘ軸フレームの周縁部で前記Ｙ軸上に円錐形の第３、第４の球受穴が設けられ、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第３の球受穴に対峙する第２円錐穴が設けられ、前記第３の球受穴と前記第２円錐穴との間には第３の鋼球が介設され、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第４の球受穴に対峙し、前記Ｙ軸と平行な第２のＶ溝が設けられ、前記第４の球受穴と前記第２のＶ溝との間には第４の鋼球が介設され、前記第１、第２の鋼球は前記Ｘ軸上に設けられ、前記第３、第４の鋼球は前記Ｙ軸上に設けられ、前記Ｘ軸フレームは、前記第１、第２の鋼球を中心に傾動自在であり、前記Ｙ軸フレームは、前記第３、第４の鋼球を中心に傾動自在に構成された整準用テーブルに係るものである。 The present invention comprises a ring-shaped main body frame, an X-axis frame concentrically provided inside the main body frame and tiltably provided about the X-axis with respect to the main body frame, and above the X-axis frame. A Y-axis frame provided concentrically with the X-axis frame and tiltably provided about a Y-axis orthogonal to the X-axis in the same plane, and the X-axis frame includes the above-mentioned X-axis frame. The first and second shafts are provided so that the required amount rises so as to overlap with the main body frame and extends toward both outer peripheral sides along the X axis, and the first and second shafts of the main body frame are provided. Conical first and second ball receiving holes are provided in the portions facing the portions, respectively, and first conical holes facing the first ball receiving holes are provided on the lower surface of the first shaft portion. A first steel ball is interposed between the first ball receiving hole and the first conical hole, and a first V groove parallel to the X axis is formed on the lower surface of the second shaft portion. A second steel ball is interposed between the first V-groove and the second ball receiving hole, and a conical first on the Y-axis at the peripheral edge of the X-axis frame. A third and fourth ball receiving holes are provided, and a second conical hole facing the third ball receiving hole is provided on the lower surface of the Y-axis frame, and the third ball receiving hole and the second conical hole are provided. A third steel ball is interposed between them, and a second V-groove is provided on the lower surface of the Y-axis frame so as to face the fourth ball receiving hole and parallel to the Y-axis. A fourth steel ball is interposed between the ball receiving hole and the second V-groove, and the first and second steel balls are provided on the X-axis, and the third and fourth steel balls are provided. The steel balls are provided on the Y-axis, the X-axis frame is tiltable around the first and second steel balls, and the Y-axis frame is the third and fourth steel balls. It relates to a leveling table configured to be tiltable in the center.

又本発明は、前記Ｙ軸フレームの上面に測量装置本体が取付けられる整準用テーブルに係るものである。The present invention also relates to a leveling table in which the surveying apparatus main body is attached to the upper surface of the Y-axis frame.

又本発明は、前記整準用テーブルと、前記本体フレームから下方に延出する第１固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第２固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第１の傾動脚部と、前記Ｙ軸フレームから下方に延出する第２の傾動脚部と、前記第１固定脚部と前記第１の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置と、前記第２固定脚部と前記第２の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置とを具備し、両ネジ送り装置は、それぞれモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、前記傾動脚部の先端部に、前記傾動脚部を中心とした円軌道の変位を与える様構成された測量装置の整準装置に係るものである。Further, in the present invention, the leveling table, the first fixed leg portion extending downward from the main body frame, the second fixed leg portion extending downward from the X-axis frame, and the lower portion from the X-axis frame. It is provided between the first tilting leg portion extending to, the second tilting leg portion extending downward from the Y-axis frame, and the first fixed leg portion and the first tilting leg portion. A screw feeding device and a screw feeding device provided between the second fixed leg portion and the second tilting leg portion are provided, and both screw feeding devices are a screw rod rotated by a motor, respectively. A nut screwing into the screw rod is provided, and a V-groove is formed at the tip of the tilting leg portion toward the center of rotation of the tilting leg portion, and from the tip along the center of the V-groove. A notch is formed, the screw rod inserts the notch in a non-contact manner, the nut has a spherical surface concentric with the axis of the nut, the spherical surface contacts the V-groove, and the tilting leg and the said. A detent that restrains the rotation of the nut is provided between the nuts, and a spring that brings the spherical surface into contact with the V-groove is provided between the tilting leg and the nut, and the tip of the tilting leg is provided. The present invention relates to a leveling device of a surveying device configured to give a displacement of a circular orbit centered on the tilting leg portion.

又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられた測量装置の整準装置に係るものである。 The present invention also relates to a leveling device of a surveying device provided so that the direction of action of the spring force is inclined with respect to the axial center of the screw rod.

又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられた測量装置の整準装置に係るものである。 The present invention also relates to a leveling device of a surveying device provided so that the component force of the spring force generates a rotational force around the axial center of the screw rod in the nut. ..

又本発明は、前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定された測量装置の整準装置に係るものである。 Further, the present invention relates to a leveling device of a surveying device in which two springs are provided by sandwiching the screw rod and the two springs are set so that the spring forces are different.

又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられた測量装置の整準装置に係るものである。 The present invention also relates to a leveling device for a surveying device provided so that the direction of action of the spring force is inclined with respect to a plane including the axis of the screw rod.

又本発明は、前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに形成されたスリット溝とを有し、該スリット溝に前記回止ピンが摺動自在に嵌合した測量装置の整準装置に係るものである。 Further, in the present invention, the turning pin has a turning pin provided at the tip of the tilting leg portion and a slit groove formed in the nut, and the turning pin is slidable in the slit groove. It is related to the leveling device of the surveying device fitted to.

又本発明は、前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させた測量装置の整準装置に係るものである。 Further, in the present invention, the turning stop has a turning pin provided at the tip end portion of the tilting leg portion and a pin projecting from the nut in a direction orthogonal to the axis of the screw rod. The present invention relates to a leveling device of a surveying device in which the turning pin and the pin are brought into contact with each other.

本発明によれば、リング形状の本体フレームと、該本体フレームの内側に同心に設けられ、前記本体フレームに対してＸ軸を中心に傾動自在に設けられたＸ軸フレームと、該Ｘ軸フレームの上に該Ｘ軸フレームと同心に設けられ、前記Ｘ軸に対して同一平面内で直交するＹ軸を中心に傾動自在に設けられたＹ軸フレームとを具備し、前記Ｘ軸フレームには、前記本体フレームとオーバラップする様所要量立上がり、前記Ｘ軸に沿って両外周側に向って延出する第１、第２の軸部が設けられ、前記本体フレームの前記第１、第２の軸部と対峙する部分にはそれぞれ円錐形の第１、第２の球受穴が設けられ、前記第１の軸部の下面には前記第１の球受穴と対峙する第１円錐穴が設けられ、前記第１の球受穴と前記第１円錐穴間には第１の鋼球が介設され、前記第２の軸部の下面には前記Ｘ軸と平行な第１のＶ溝が穿設され、該第１のＶ溝と前記第２の球受穴との間には第２の鋼球が介設され、前記Ｘ軸フレームの周縁部で前記Ｙ軸上に円錐形の第３、第４の球受穴が設けられ、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第３の球受穴に対峙する第２円錐穴が設けられ、前記第３の球受穴と前記第２円錐穴との間には第３の鋼球が介設され、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第４の球受穴に対峙し、前記Ｙ軸と平行な第２のＶ溝が設けられ、前記第４の球受穴と前記第２のＶ溝との間には第４の鋼球が介設され、前記第１、第２の鋼球は前記Ｘ軸上に設けられ、前記第３、第４の鋼球は前記Ｙ軸上に設けられ、前記Ｘ軸フレームは、前記第１、第２の鋼球を中心に傾動自在であり、前記Ｙ軸フレームは、前記第３、第４の鋼球を中心に傾動自在に構成されたので、傾動中心に回転軸を用いなくともよく、構造が簡潔となり、更に前記Ｙ軸フレームはＸ軸を中心、及びＹ軸を中心とした２軸の傾動が可能であり、且つＸ軸、Ｙ軸は同一平面に存在するので、傾斜作動が簡潔となる。更に、本体フレーム、Ｘ軸フレーム、Ｙ軸フレームの組立は順次積上げればよく、軸、軸受を用いた傾動テーブルの様に複雑な組立て、精度出しを必要としない。 According to the present invention, a ring-shaped main body frame, an X-axis frame concentrically provided inside the main body frame and tiltably provided about the X-axis with respect to the main body frame, and the X-axis frame. A Y-axis frame provided concentrically with the X-axis frame and tiltably provided about a Y-axis orthogonal to the X-axis in the same plane is provided on the X-axis frame. The first and second shaft portions are provided so as to rise by a required amount so as to overlap with the main body frame and extend toward both outer peripheral sides along the X axis, and the first and second shaft portions of the main body frame are provided. First and second ball receiving holes having a conical shape are provided in the portion facing the shaft portion of the above, and the first conical hole facing the first ball receiving hole is provided on the lower surface of the first shaft portion. Is provided, a first steel ball is interposed between the first ball receiving hole and the first conical hole, and a first V parallel to the X axis is provided on the lower surface of the second shaft portion. A groove is formed, a second steel ball is interposed between the first V-groove and the second ball receiving hole, and a conical shape is formed on the Y-axis at the peripheral edge of the X-axis frame. The third and fourth ball receiving holes are provided, and a second conical hole facing the third ball receiving hole is provided on the lower surface of the Y-axis frame, and the third ball receiving hole and the second cone are provided. A third steel ball is interposed between the holes, and a second V-groove is provided on the lower surface of the Y-axis frame so as to face the fourth ball receiving hole and parallel to the Y-axis. A fourth steel ball is interposed between the ball receiving hole 4 and the second V-groove, and the first and second steel balls are provided on the X-axis, and the third and third steel balls are provided. The steel ball of No. 4 is provided on the Y-axis, the X-axis frame is tiltable about the first and second steel balls, and the Y-axis frame is the third and fourth steels. Since it is configured to tilt freely around the sphere, it is not necessary to use a rotation axis as the center of tilt, the structure is simplified, and the Y-axis frame tilts around the X-axis and around the Y-axis. And since the X-axis and the Y-axis are in the same plane, the tilting operation becomes simple. Further, the main body frame, the X-axis frame, and the Y-axis frame may be assembled in sequence, and unlike a tilting table using a shaft and a bearing, complicated assembly and accuracy improvement are not required.

又本発明によれば、前記整準用テーブルと、前記本体フレームから下方に延出する第１固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第２固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第１の傾動脚部と、前記Ｙ軸フレームから下方に延出する第２の傾動脚部と、前記第１固定脚部と前記第１の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置と、前記第２固定脚部と前記第２の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置とを具備し、両ネジ送り装置は、それぞれモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、前記傾動脚部の先端部に、前記傾動脚部を中心とした円軌道の変位を与える様構成されたので、前記ネジ送り装置で与えられる変位は前記ナットを介して直接前記傾動脚部に伝達される構成となり、構造は極めて簡略化されるという優れた効果を発揮する。Further, according to the present invention, the leveling table, the first fixed leg portion extending downward from the main body frame, the second fixed leg portion extending downward from the X-axis frame, and the X-axis frame. Between the first tilting leg portion extending downward from, the second tilting leg portion extending downward from the Y-axis frame, and the first fixed leg portion and the first tilting leg portion. A screw feeding device provided and a screw feeding device provided between the second fixed leg portion and the second tilting leg portion are provided, and both screw feeding devices are screws rotated by a motor. A rod and a nut screwed into the screw rod are provided, and a V-groove is formed at the tip of the tilting leg portion toward the rotation center of the tilting leg portion, and from the tip to the center of the V-groove. A notch is formed along the notch, the screw rod inserts the notch in a non-contact manner, the nut has a spherical surface concentric with the axial center of the nut, the spherical surface contacts the V groove, and the tilting leg portion. A detent that restrains the rotation of the nut is provided between the nut and the nut, and a spring that brings the spherical surface into contact with the V-groove is provided between the tilting leg and the nut. Since the tip portion is configured to give a displacement of a circular orbit centered on the tilting leg portion, the displacement given by the screw feeding device is directly transmitted to the tilting leg portion via the nut. It has the excellent effect of being extremely simplified in structure.

本実施例のネジ送り装置を具備した整準装置の斜視図である。It is a perspective view of the leveling apparatus provided with the screw feed apparatus of this Example. （Ａ）は図１のＡ矢視図であり、（Ｂ）は図１のＢ矢視図である。(A) is a view taken along the arrow A in FIG. 1, and (B) is a view taken along the arrow B in FIG. （Ａ）は図１のＣ矢視図であり、（Ｂ）は図１のＤ矢視図である。(A) is a view taken along the arrow C in FIG. 1, and (B) is a view taken along the arrow D in FIG. 図１のＡ−Ｂ矢視図である。It is the AB arrow view of FIG. Ｙ軸フレームを下方から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the Y-axis frame from below. 整準装置の下面図である。It is a bottom view of a leveling device. （Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、Ｙ軸ネジ送り装置によるＹ軸フレームの傾動動作の説明図である。(A), (B), and (C) are explanatory views of the tilting operation of the Y-axis frame by the Y-axis screw feeding device. （Ａ）（Ｂ）は、ナットと下端部間に作用させるバネ作用の一例を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory views showing an example of a spring action acting between a nut and a lower end portion.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。 Hereinafter, examples of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明の実施例に係るネジ送り装置が、整準装置の送り装置として使用された場合を説明する。 The case where the screw feeding device according to the embodiment of the present invention is used as the feeding device of the leveling device will be described.

図１〜図３は、本実施例のネジ送り装置を具備した整準装置１を示しており、図中２は、該整準装置１の固定部位である本体フレームを示し、該本体フレーム２は略リング形状をしており、該本体フレーム２の内側にＸ軸フレーム３が同心に設けられ、該Ｘ軸フレーム３の上にＹ軸フレーム４が同心に設けられている。該Ｙ軸フレーム４の上面には所要箇所、図１中の図示では４箇所にボス５が突設されている。該ボス５に、整準の対象となる装置、例えば測量装置本体を取付ける為の嵌合部及び上ケースが取付けられる。 1 to 3 show a leveling device 1 provided with the screw feeding device of the present embodiment, and FIG. 2 in the figure shows a main body frame which is a fixing portion of the leveling device 1, and the main body frame 2 Has a substantially ring shape, and the X-axis frame 3 is concentrically provided inside the main body frame 2, and the Y-axis frame 4 is concentrically provided on the X-axis frame 3. Bosses 5 are provided at required locations on the upper surface of the Y-axis frame 4, and at four locations in the figure shown in FIG. A device to be leveled, for example, a fitting portion for mounting the main body of the surveying device and an upper case are attached to the boss 5.

前記Ｘ軸フレーム３はＸ軸１２を中心に傾動自在（所定の角度範囲で回転自在）となっており、前記Ｙ軸フレーム４はＹ軸１３を中心に前記Ｘ軸フレーム３に対して傾動自在（所定の角度範囲で回転自在）となっている。Ｘ軸１２、Ｙ軸１３は直交し、且つ同一平面内に存在する様に設定されている。 The X-axis frame 3 is tiltable around the X-axis 12 (rotatable within a predetermined angle range), and the Y-axis frame 4 is tiltable with respect to the X-axis frame 3 around the Y-axis 13. (Rotable within a predetermined angle range). The X-axis 12 and the Y-axis 13 are set so as to be orthogonal to each other and exist in the same plane.

前記本体フレーム２の下面からは第１固定脚部７が下方に延出し、該第１固定脚部７の下端にＸ軸ネジ送り装置８が設けられている。前記Ｘ軸フレーム３の下面からは第２固定脚部９が下方に延出し、該第２固定脚部９の下端にはＹ軸ネジ送り装置１０が設けられている。前記第１固定脚部７は前記本体フレーム２とダイキャスト等により一体成形してもよく、或は別部品として該本体フレーム２に取付けてもよい。又、同様に前記第２固定脚部９はダイキャストにより前記Ｘ軸フレーム３と一体成形してもよく、或は別部品として該Ｘ軸フレーム３に取付けてもよい。 A first fixed leg portion 7 extends downward from the lower surface of the main body frame 2, and an X-axis screw feeding device 8 is provided at the lower end of the first fixed leg portion 7. A second fixed leg portion 9 extends downward from the lower surface of the X-axis frame 3, and a Y-axis screw feeding device 10 is provided at the lower end of the second fixed leg portion 9. The first fixed leg portion 7 may be integrally molded with the main body frame 2 by die casting or the like, or may be attached to the main body frame 2 as a separate part. Similarly, the second fixed leg portion 9 may be integrally molded with the X-axis frame 3 by die casting, or may be attached to the X-axis frame 3 as a separate part.

次に、該Ｘ軸フレーム３、前記Ｙ軸フレーム４を傾動自在に支持する支持機構について説明する。 Next, a support mechanism for tiltably supporting the X-axis frame 3 and the Y-axis frame 4 will be described.

前記Ｘ軸フレーム３には、所要量立上がり、次にＸ軸１２に沿って外周側に向って延出する断面が半円状の軸部１５，１６が設けられている。該軸部１５，１６は、前記本体フレーム２とオーバラップしている。 The X-axis frame 3 is provided with shaft portions 15 and 16 having a semicircular cross section, which rises by a required amount and then extends toward the outer peripheral side along the X-axis 12. The shaft portions 15 and 16 overlap with the main body frame 2.

図２（Ａ）は、図１のＡ矢視図であり、前記本体フレーム２の前記軸部１５と対峙する部位には軸受ボス１７が突設され、該軸受ボス１７には円錐形の第１球受穴１８が穿設される。前記軸部１５の下面で前記第１球受穴１８と対峙する位置に、第１円錐穴１９が穿設され、前記第１球受穴１８と前記第１円錐穴１９間には鋼球２１が介設されている。 FIG. 2A is a view taken along the arrow A of FIG. 1, in which a bearing boss 17 is projected from a portion of the main body frame 2 facing the shaft portion 15, and the bearing boss 17 has a conical third shape. A 1-ball bearing hole 18 is bored. A first conical hole 19 is bored at a position facing the first ball receiving hole 18 on the lower surface of the shaft portion 15, and a steel ball 21 is formed between the first ball receiving hole 18 and the first conical hole 19. Is installed.

図２（Ｂ）は、図１のＢ矢視図であり、前記本体フレーム２の前記軸部１６と対峙する部位には軸受ボス２２が突設され、該軸受ボス２２には円錐形の第１球受穴２３が穿設される。前記軸部１６の下面で前記第１球受穴２３と対峙する位置に、Ｘ軸１２と平行に第１Ｖ溝２４が刻設され、該第１Ｖ溝２４と前記第１球受穴２３との間には鋼球２５が介設されている。 FIG. 2B is a view taken along the arrow B of FIG. 1, in which a bearing boss 22 is projected from a portion of the main body frame 2 facing the shaft portion 16, and the bearing boss 22 has a conical third shape. A 1-ball bearing hole 23 is bored. A first V groove 24 is engraved in parallel with the X axis 12 at a position facing the first ball receiving hole 23 on the lower surface of the shaft portion 16, and the first V groove 24 and the first ball receiving hole 23 are formed. A steel ball 25 is interposed between them.

前記鋼球２１，２５はＸ軸１２上に位置し、前記第１Ｖ溝２４は、前記第１球受穴１８，２３間の加工誤差又は成形部品寸法誤差及び前記第１球受穴２３と前記第１Ｖ溝２４間の加工誤差又は成形部品寸法誤差を吸収する。従って、前記本体フレーム２に対する組立は、前記鋼球２１，２５を介し、前記Ｘ軸フレーム３を前記本体フレーム２に載置するだけでよい。尚、前記Ｘ軸フレーム３と前記本体フレーム２との間にはスプリング（図示せず）が設けられ、前記鋼球２１，２５が所要の面圧で前記Ｘ軸フレーム３と前記本体フレーム２との間に安定に保持される。 The steel balls 21 and 25 are located on the X-axis 12, and the first V groove 24 is a processing error between the first ball receiving holes 18 and 23 or a dimensional error of a molded part and the first ball receiving hole 23 and the said. It absorbs machining errors between the first V-grooves 24 or dimensional errors of molded parts. Therefore, assembling to the main body frame 2 only requires mounting the X-axis frame 3 on the main body frame 2 via the steel balls 21 and 25. A spring (not shown) is provided between the X-axis frame 3 and the main body frame 2, and the steel balls 21 and 25 meet the X-axis frame 3 and the main body frame 2 at a required surface pressure. It is held stable during.

前記Ｙ軸フレーム４の支持機構は、前記Ｘ軸フレーム３の支持機構と同様である。 The support mechanism of the Y-axis frame 4 is the same as the support mechanism of the X-axis frame 3.

図３（Ａ）は図１のＣ矢視図であり、図３（Ｂ）は図１のＤ矢視図である。 FIG. 3 (A) is a view taken along the arrow C of FIG. 1, and FIG. 3 (B) is a view taken along the arrow D of FIG.

前記Ｘ軸フレーム３の周縁部で、Ｙ軸１３上に軸受ボス２６，２７が設けられ、該軸受ボス２６，２７には、それぞれ円錐形の第２球受穴２８，２９が穿設される。前記Ｙ軸フレーム４の前記第２球受穴２８に対峙する位置に第２円錐穴３０が穿設され、前記Ｙ軸フレーム４の前記第２球受穴２９に対峙する位置に、Ｙ軸１３と平行にＶ溝３１が刻設される。 Bearing bosses 26 and 27 are provided on the Y-axis 13 at the peripheral edge of the X-axis frame 3, and conical second ball receiving holes 28 and 29 are bored in the bearing bosses 26 and 27, respectively. .. A second conical hole 30 is formed at a position facing the second ball receiving hole 28 of the Y-axis frame 4, and a Y-axis 13 is formed at a position facing the second ball receiving hole 29 of the Y-axis frame 4. A V-groove 31 is engraved in parallel with the above.

前記第２球受穴２８と前記第２円錐穴３０との間には鋼球３２が介設され、前記第２球受穴２９と前記Ｖ溝３１との間には鋼球３３が介設される。 A steel ball 32 is interposed between the second ball receiving hole 28 and the second conical hole 30, and a steel ball 33 is interposed between the second ball receiving hole 29 and the V groove 31. Will be done.

前記鋼球３２，３３はＹ軸１３上に位置し、前記Ｖ溝３１は、前記第２球受穴２８、第２球受穴２９、前記第２円錐穴３０、前記Ｖ溝３１に関する加工誤差又は成形部品寸法誤差を吸収する。 The steel balls 32 and 33 are located on the Y-axis 13, and the V-groove 31 has a machining error regarding the second ball receiving hole 28, the second ball receiving hole 29, the second conical hole 30, and the V-groove 31. Or absorb the dimensional error of the molded part.

前記Ｙ軸フレーム４の組立は、前記鋼球３２，３３を介し、前記Ｙ軸フレーム４を前記Ｘ軸フレーム３に載置するだけでよい。該Ｘ軸フレーム３と前記Ｙ軸フレーム４との間にはスプリング（図示せず）が設けられ、前記鋼球３２，３３が所要の面圧で前記Ｘ軸フレーム３と前記Ｙ軸フレーム４との間に安定に保持される。 To assemble the Y-axis frame 4, it is only necessary to place the Y-axis frame 4 on the X-axis frame 3 via the steel balls 32 and 33. A spring (not shown) is provided between the X-axis frame 3 and the Y-axis frame 4, and the steel balls 32 and 33 form the X-axis frame 3 and the Y-axis frame 4 at a required surface pressure. It is held stable during.

次に、図４〜図７を参照して、前記Ｘ軸ネジ送り装置８、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０について説明する。 Next, the X-axis screw feeding device 8 and the Y-axis screw feeding device 10 will be described with reference to FIGS. 4 to 7.

尚、前記Ｘ軸ネジ送り装置８と前記Ｙ軸ネジ送り装置１０とは同一の構成となっているので、以下、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０について説明する。 Since the X-axis screw feed device 8 and the Y-axis screw feed device 10 have the same configuration, the Y-axis screw feed device 10 will be described below.

前記Ｙ軸ネジ送り装置１０はフレーム部材として、前記第２固定脚部９に固定される固定金具３５を有する。 The Y-axis screw feeding device 10 has a fixing bracket 35 fixed to the second fixing leg 9 as a frame member.

該固定金具３５の端板３５ａ，３５ｂ間に掛渡りスクリューロッド３７が、回転自在に設けられる。該スクリューロッド３７の前記端板３５ａを貫通する端部には、被動ギア３８が固着されている。 A screw rod 37 is rotatably provided between the end plates 35a and 35b of the fixing bracket 35. A driven gear 38 is fixed to an end portion of the screw rod 37 that penetrates the end plate 35a.

又、前記端板３５ａにはモータ３９が取付けられている。該モータ３９としては、パルスモータ等回転角を制御できるモータが用いられる。 A motor 39 is attached to the end plate 35a. As the motor 39, a motor capable of controlling the rotation angle such as a pulse motor is used.

前記モータ３９の出力軸には駆動ギア４１が固着され、該駆動ギア４１、前記被動ギア３８との間には中間ギア４２が設けられている（図６参照）。該中間ギア４２の大径ギア４２ａが前記駆動ギア４１に噛合し、前記中間ギア４２の小径ギア４２ｂが前記被動ギア３８と噛合している。而して、前記モータ３９の回転は、前記駆動ギア４１、前記中間ギア４２、前記被動ギア３８のギア列によって減速され、前記スクリューロッド３７に伝達される。 A drive gear 41 is fixed to the output shaft of the motor 39, and an intermediate gear 42 is provided between the drive gear 41 and the driven gear 38 (see FIG. 6). The large-diameter gear 42a of the intermediate gear 42 meshes with the drive gear 41, and the small-diameter gear 42b of the intermediate gear 42 meshes with the driven gear 38. Thus, the rotation of the motor 39 is decelerated by the gear trains of the drive gear 41, the intermediate gear 42, and the driven gear 38, and is transmitted to the screw rod 37.

該スクリューロッド３７にナット４３が螺合される。又、前記Ｙ軸フレーム４に一体成形された傾動脚部４４は、前記Ｙ軸フレーム４が水平な状態で鉛直下方に延出し、前記傾動脚部４４の下端部４４ａが前記ナット４３と係合する。 A nut 43 is screwed into the screw rod 37. Further, the tilting leg portion 44 integrally molded with the Y-axis frame 4 extends vertically downward with the Y-axis frame 4 horizontal, and the lower end portion 44a of the tilting leg portion 44 engages with the nut 43. To do.

該ナット４３の前記下端部４４ａと当接する面は、前記ナット４３の軸心と同心の球面となっている。又前記下端部４４ａには前記傾動脚部４４の回転中心に向う方向（本実施例では鉛直方向）に延出するＶ溝４４ｂが形成され、該Ｖ溝４４ｂを形成するテーパ面が前記ナット４３と当接する。又、前記傾動脚部４４の中心には前記下端部４４ａの下端からスリット状の切欠４５が形成される（図５参照）。該切欠４５の幅は、前記スクリューロッド３７の直径より大きく、該スクリューロッド３７が非接触で挿通し、前記傾動脚部４４が傾動した場合でも、前記下端部４４ａと前記スクリューロッド３７とは干渉しない様になっている。 The surface of the nut 43 that comes into contact with the lower end portion 44a is a spherical surface that is concentric with the axial center of the nut 43. Further, a V groove 44b extending in a direction toward the rotation center of the tilting leg portion 44 (vertical direction in this embodiment) is formed in the lower end portion 44a, and the tapered surface forming the V groove 44b is the nut 43. Contact with. Further, a slit-shaped notch 45 is formed from the lower end of the lower end portion 44a at the center of the tilting leg portion 44 (see FIG. 5). The width of the notch 45 is larger than the diameter of the screw rod 37, and even when the screw rod 37 is inserted in a non-contact manner and the tilting leg portion 44 is tilted, the lower end portion 44a and the screw rod 37 interfere with each other. It is designed not to be done.

前記下端部４４ａには、前記Ｙ軸フレーム４が水平な状態で、水平方向に突出する回止ピン４６が設けられている。前記ナット４３には、前記スクリューロッド３７の軸心と平行にスリット溝４７が形成され、該スリット溝４７に前記回止ピン４６が摺動自在に嵌合する。前記回止ピン４６と前記スリット溝４７は、前記傾動脚部４４と前記ナット４３との間の相対回転を拘束する回止を構成する。 The lower end portion 44a is provided with a turning pin 46 that projects in the horizontal direction while the Y-axis frame 4 is horizontal. A slit groove 47 is formed in the nut 43 in parallel with the axis of the screw rod 37, and the turning pin 46 is slidably fitted in the slit groove 47. The turning pin 46 and the slit groove 47 form a turning that restrains the relative rotation between the tilting leg 44 and the nut 43.

該ナット４３には水平方向に突出するバネ掛け４８ａ，４８ｂが設けられ、該バネ掛け４８ａ，４８ｂと前記下端部４４ａとの間にバネ４９ａ，４９ｂが張設される（図６参照）。 The nut 43 is provided with spring hooks 48a and 48b protruding in the horizontal direction, and springs 49a and 49b are stretched between the spring hooks 48a and 48b and the lower end portion 44a (see FIG. 6).

該バネ４９ａ，４９ｂは、前記ナット４３と前記下端部４４ａとを所定の面圧で密着させ、前記ナット４３の変位に対して前記傾動脚部４４が追従する様になっている。 The springs 49a and 49b bring the nut 43 and the lower end portion 44a into close contact with each other with a predetermined surface pressure so that the tilting leg portion 44 follows the displacement of the nut 43.

尚、前記バネ４９ａ，４９ｂの変位は、前記ナット４３に対する前記傾動脚部４４の傾動に起因するものであり、僅かである。従って、前記バネ４９ａ，４９ｂの設計にバネの変位に対するバネ力の増減を考慮する必要がなくなり、前記バネ４９ａ，４９ｂの設計が容易となる。 The displacement of the springs 49a and 49b is due to the tilting of the tilting leg 44 with respect to the nut 43, and is slight. Therefore, it is not necessary to consider the increase / decrease of the spring force with respect to the displacement of the spring in the design of the springs 49a and 49b, and the design of the springs 49a and 49b becomes easy.

次に、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示される様に、前記バネ４９ａが前記バネ掛け４８ａと前記下端部４４ａとの間に付与するバネ作用と、前記バネ４９ｂが前記バネ掛け４８ｂと前記下端部４４ａとの間に付与するバネ作用とは異なる様に、バネ力及びバネ力の作用方向が、或はバネ力及びバネ力の作用方向の少なくとも一方が設定されている。尚、前記バネ４９ａ，４９ｂのバネ作用を異ならせる方法としては、上記した説明の他にも、種々考えられることは言う迄もない。 Next, as shown in FIGS. 8 (A) and 8 (B), the spring action applied by the spring 49a between the spring hook 48a and the lower end portion 44a, and the spring 49b the spring hook. The action direction of the spring force and the spring force is set, or at least one of the action directions of the spring force and the spring force is set so as to be different from the spring action applied between the 48b and the lower end portion 44a. Needless to say, various methods other than the above description can be considered as methods for differentiating the spring action of the springs 49a and 49b.

前記バネ４９ａのバネ作用と前記バネ４９ｂのバネ作用とを異ならせることで、前記バネ掛け４８ａ，４８ｂに対するバネ力が前記スクリューロッド３７に対して非対称となる。この為、前記バネ４９ａ，４９ｂの合力の作用方向が、前記スクリューロッド３７の軸心に対して平行でなくなる（該軸心に対して傾斜する方向となる）。 By making the spring action of the spring 49a different from the spring action of the spring 49b, the spring force with respect to the spring hooks 48a and 48b becomes asymmetric with respect to the screw rod 37. Therefore, the acting direction of the resultant force of the springs 49a and 49b is not parallel to the axial center of the screw rod 37 (the direction is inclined with respect to the axial center).

前記バネ４９ａ，４９ｂの合力は、前記ナット４３の軸心が前記スクリューロッド３７の軸心に対して傾斜する方向に回転力を付与する。この回転力により、前記ナット４３が前記スクリューロッド３７に対して間隙分だけ相対回転し、いわば片当りする様な状態となり、前記ナット４３と前記スクリューロッド３７との間のバックラッシ及びガタツキが抑止される。 The resultant force of the springs 49a and 49b applies a rotational force in a direction in which the axial center of the nut 43 is inclined with respect to the axial center of the screw rod 37. Due to this rotational force, the nut 43 rotates relative to the screw rod 37 by a gap, so to speak, a state in which one side hits the nut 43, and backlash and rattling between the nut 43 and the screw rod 37 are suppressed. To.

即ち、前記バネ４９ａ，４９ｂは、前記ナット４３と前記下端部４４ａとを密着させると共に前記ナット４３と前記スクリューロッド３７間のバックラッシ及びガタツキを抑止する。 That is, the springs 49a and 49b bring the nut 43 and the lower end portion 44a into close contact with each other and suppress backlash and rattling between the nut 43 and the screw rod 37.

前記Ｘ軸ネジ送り装置８により前記Ｘ軸フレーム３がＸ軸１２を中心に傾動し、前記Ｙ軸フレーム４自体が前記Ｙ軸ネジ送り装置１０によりＹ軸１３を中心に傾動することで、前記Ｙ軸フレーム４は、水平２軸方向に傾動する。 The X-axis screw feed device 8 tilts the X-axis frame 3 about the X-axis 12, and the Y-axis frame 4 itself tilts around the Y-axis 13 by the Y-axis screw feed device 10. The Y-axis frame 4 tilts in two horizontal axes.

図５に示される様に、前記Ｙ軸フレーム４の裏面にはセンサ支持部材５１が前記Ｙ軸フレーム４と一体的に設けられ、前記センサ支持部材５１にＸ軸１２と直交する方向にＸ軸チルトセンサ５３が設けられ、Ｙ軸１３と直交する方向にＹ軸チルトセンサ５４が設けられている。 As shown in FIG. 5, a sensor support member 51 is provided integrally with the Y-axis frame 4 on the back surface of the Y-axis frame 4, and the sensor support member 51 has an X-axis in a direction orthogonal to the X-axis 12. A tilt sensor 53 is provided, and a Y-axis tilt sensor 54 is provided in a direction orthogonal to the Y-axis 13.

前記Ｘ軸チルトセンサ５３、前記Ｙ軸チルトセンサ５４が水平を検出する様に、前記Ｘ軸ネジ送り装置８、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０を駆動することで、前記整準装置１による整準が実行される。 By driving the X-axis screw feed device 8 and the Y-axis screw feed device 10 so that the X-axis tilt sensor 53 and the Y-axis tilt sensor 54 detect horizontal, leveling by the leveling device 1 is performed. Is executed.

図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照し、前記Ｘ軸ネジ送り装置８、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０の作動について、更に説明する。尚、図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、前記Ｙ軸フレーム４を傾動させる場合を示しているが、前記Ｘ軸フレーム３を傾動させる場合も同様である。 The operation of the X-axis screw feed device 8 and the Y-axis screw feed device 10 will be further described with reference to FIGS. 7 (A) to 7 (C). 7 (A) to 7 (C) show the case where the Y-axis frame 4 is tilted, but the same applies to the case where the X-axis frame 3 is tilted.

図７（Ａ）は、前記Ｙ軸フレーム４が図中右側に傾斜（右側が下がる）した状態を示している。 FIG. 7A shows a state in which the Y-axis frame 4 is tilted to the right side (the right side is lowered) in the drawing.

前記モータ３９により前記被動ギア３８を介して前記スクリューロッド３７が時計方向に回転される。前記ナット４３の回転は、前記回止ピン４６によって拘束されているので、前記ナット４３が左方に変位する（前記スクリューロッド３７が右ネジの場合）。 The screw rod 37 is rotated clockwise by the motor 39 via the driven gear 38. Since the rotation of the nut 43 is restrained by the turning pin 46, the nut 43 is displaced to the left (when the screw rod 37 is a right-handed screw).

前記ナット４３と前記下端部４４ａとは前記バネ４９ａ，４９ｂによって連結されているので、前記下端部４４ａは前記ナット４３と一体に左方に変位し、前記傾動脚部４４はＹ軸１３を中心に時計方向に回転する。 Since the nut 43 and the lower end portion 44a are connected by the springs 49a and 49b, the lower end portion 44a is displaced to the left integrally with the nut 43, and the tilting leg portion 44 is centered on the Y axis 13. Rotate clockwise.

前記Ｙ軸フレーム４を図７（Ａ）の右傾斜した状態から、図７（Ｂ）に示される水平状態に戻すには、前記スクリューロッド３７を反時計方向に回転させる。前記ナット４３が右方に変位し、前記下端部４４ａが右方に移動され、前記Ｙ軸フレーム４が水平となる。該Ｙ軸フレーム４の水平は前記Ｘ軸チルトセンサ５３によって検出される。 To return the Y-axis frame 4 from the right-tilted state of FIG. 7 (A) to the horizontal state shown in FIG. 7 (B), the screw rod 37 is rotated counterclockwise. The nut 43 is displaced to the right, the lower end 44a is moved to the right, and the Y-axis frame 4 becomes horizontal. The horizontality of the Y-axis frame 4 is detected by the X-axis tilt sensor 53.

更に、図７（Ｃ）に示される左傾斜とするには、更に前記スクリューロッド３７を反時計方向に回転させる。前記ナット４３が更に右方に移動し、前記傾動脚部４４がＹ軸１３を中心に反時計方向に傾斜し、前記Ｙ軸フレーム４が左傾斜する。 Further, in order to make the inclination to the left shown in FIG. 7C, the screw rod 37 is further rotated counterclockwise. The nut 43 further moves to the right, the tilting leg 44 tilts counterclockwise around the Y-axis 13, and the Y-axis frame 4 tilts to the left.

而して、前記ナット４３の直進変位に追従して、前記傾動脚部４４が傾動する。更に、前記ナット４３は球面で前記Ｖ溝４４ｂに接触するので、前記ナット４３の直進変位が円滑に前記傾動脚部４４の回転変位に変換される。 Thus, the tilting leg 44 tilts following the linear displacement of the nut 43. Further, since the nut 43 comes into contact with the V groove 44b on a spherical surface, the linear displacement of the nut 43 is smoothly converted into the rotational displacement of the tilting leg portion 44.

更に、前記ナット４３の球面は、前記Ｖ溝４４ｂに係合するので、該Ｖ溝４４ｂの長手方向に対しては、滑りが許容され、該Ｖ溝４４ｂの幅方向については、変位が拘束される。従って前記傾動脚部４４の回転変位は、前記ナット４３の直進動に規制され、正確な円軌道となる。 Further, since the spherical surface of the nut 43 engages with the V-groove 44b, slippage is allowed in the longitudinal direction of the V-groove 44b, and displacement is constrained in the width direction of the V-groove 44b. To. Therefore, the rotational displacement of the tilting leg 44 is regulated by the linear movement of the nut 43, resulting in an accurate circular orbit.

図８（Ａ）、図８（Ｂ）を参照して、前記バネ４９ａ，４９ｂの作用の一例を説明する。 An example of the action of the springs 49a and 49b will be described with reference to FIGS. 8A and 8B.

先ず、図６に於いて、前記バネ４９ａと前記バネ４９ｂとのバネ力を異ならせる。例えば、前記バネ４９ａのバネ力を前記バネ４９ｂと比較して強くすると、前記ナット４３には、図６の紙面に対して時計方向の回転力が働き、該ナット４３は前記スクリューロッド３７に対して片当りし、該スクリューロッド３７と前記ナット４３間のバックラッシ及びガタツキが抑制される。 First, in FIG. 6, the spring forces of the spring 49a and the spring 49b are made different. For example, when the spring force of the spring 49a is made stronger than that of the spring 49b, a rotational force in the clockwise direction acts on the paper surface of FIG. 6 and the nut 43 acts on the screw rod 37. The backlash and rattling between the screw rod 37 and the nut 43 are suppressed.

次に、前記バネ４９ａ，４９ｂ又はいずれか一方を、図８（Ａ）の様に、前記スクリューロッド３７の軸心を含む平面に対して傾斜させて取付ける。バネ力は、該スクリューロッド３７の軸心に対して傾斜する方向に作用し、軸心と直交するバネ力の分力により、前記ナット４３には前記スクリューロッド３７を中心とした回転力Ｍが作用する（図８（Ｂ））。前記ナット４３の回転を拘束するものは、前記回止ピン４６と前記スリット溝４７との係合であり、前記回止ピン４６は前記スリット溝４７に対して常時一方向から片当りする。 Next, as shown in FIG. 8A, the springs 49a, 49b, or one of the springs 49a and 49b are attached so as to be inclined with respect to the plane including the axial center of the screw rod 37. The spring force acts in a direction in which the screw rod 37 is inclined with respect to the axial center, and the nut 43 has a rotational force M centered on the screw rod 37 due to the component force of the spring force orthogonal to the axial center. It works (Fig. 8 (B)). What restrains the rotation of the nut 43 is the engagement between the turning pin 46 and the slit groove 47, and the turning pin 46 always hits the slit groove 47 in one direction from one direction.

従って、前記回止ピン４６と前記スリット溝４７との間のバックラッシ及びガタツキも、前記バネ４９ａ，４９ｂのバネ作用によって抑止される。尚、上記実施例では、２本のバネを使用しているが、１本のバネとしてもよい。 Therefore, the backlash and rattling between the turning pin 46 and the slit groove 47 are also suppressed by the spring action of the springs 49a and 49b. In the above embodiment, two springs are used, but one spring may be used.

而して、簡潔な構成のネジ送り装置により傾動する部材に対して、バックラッシ及びガタツキなく変位を与えることができる。 Thus, the screw feeding device having a simple structure can give a displacement to the tilting member without backlash and rattling.

更に、前記スクリューロッド３７と前記ナット４３間のバックラッシ及びガタツキ、該ナット４３と前記回止ピン４６間のバックラッシ及びガタツキを１組のバネにより抑止することができ、バックラッシ取り用の部品、構造とする必要がない。この為、部品点数が少なく、而も大幅な小型化が可能となる。 Further, the backlash and rattling between the screw rod 37 and the nut 43, and the backlash and rattling between the nut 43 and the turning pin 46 can be suppressed by a set of springs, and the parts and structure for removing the backlash can be suppressed. You don't have to. Therefore, the number of parts is small, and it is possible to significantly reduce the size.

尚、前記ナット４３に回転力Ｍを作用させる為、別途スプリングを設けてもよいことは言う迄もない。 Needless to say, a separate spring may be provided in order to apply the rotational force M to the nut 43.

又、前記回止ピン４６と前記ナット４３との係合について、該ナット４３に前記スリット溝４７を設ける代りに、前記ナット４３に半径方向（前記スクリューロッド３７の軸心と直交する方向）に突出する係合ピンを設け、該係合ピンを前記回止ピン４６に当接させ、前記ナット４３の回止としてもよい。 Further, regarding the engagement between the turning pin 46 and the nut 43, instead of providing the slit groove 47 in the nut 43, the nut 43 is provided in the radial direction (direction orthogonal to the axial center of the screw rod 37). A protruding engaging pin may be provided, and the engaging pin may be brought into contact with the turning pin 46 to stop the nut 43.

更に、前記回止ピン４６を前記ナット４３に設け、前記傾動脚部４４に鉛直方向に延在する溝を形成し、前記回止ピン４６と溝とを係合させてもよい。要は、前記傾動脚部４４の傾動により、前記ナット４３と前記傾動脚部４４との接触位置が変化した場合に、前記回止ピン４６と前記ナット４３との間で回転変位が生じない係合関係であればよい。 Further, the turning pin 46 may be provided on the nut 43, a groove extending in the vertical direction may be formed in the tilting leg portion 44, and the turning pin 46 and the groove may be engaged with each other. The point is that when the contact position between the nut 43 and the tilting leg 44 changes due to the tilting of the tilting leg 44, rotational displacement does not occur between the turning pin 46 and the nut 43. It suffices if it is a joint relationship.

又、上記実施例では、ネジ送り装置は、被傾動体として示した本体フレーム２、Ｘ軸フレーム３、Ｙ軸フレーム４の下方に設けられたが、被傾動体の上方に設けられても、横側に設けられても同様に実施可能であり、所定の角度範囲で回転変位を与える装置として実施可能である。 Further, in the above embodiment, the screw feeding device is provided below the main body frame 2, the X-axis frame 3, and the Y-axis frame 4 shown as the tilted body, but even if it is provided above the tilted body, it may be provided. It can be implemented in the same manner even if it is provided on the lateral side, and it can be implemented as a device that gives a rotational displacement in a predetermined angle range.

１ 整準装置
２ 本体フレーム
３ Ｘ軸フレーム
４ Ｙ軸フレーム
７ 第１固定脚部
８ Ｘ軸ネジ送り装置
９ 第２固定脚部
１０ Ｙ軸ネジ送り装置
１２ Ｘ軸
１３ Ｙ軸
３５ 固定金具
３７ スクリューロッド
３８ 被動ギア
３９ モータ
４１ 駆動ギア
４３ ナット
４４ 傾動脚部
４４ａ 下端部
４４ｂ Ｖ溝
４５ 切欠
４６ 回止ピン
４７ スリット溝
４８ａ，４８ｂ バネ掛け
４９ａ，４９ｂ バネ
５１ センサ支持部材
５３ Ｘ軸チルトセンサ
５４ Ｙ軸チルトセンサ 1 Leveling device 2 Main body frame 3 X-axis frame 4 Y-axis frame 7 1st fixed leg 8 X-axis screw feed device 9 2nd fixed leg 10 Y-axis screw feed device 12 X-axis 13 Y-axis 35 Fixing bracket 37 Screw Rod 38 Driven gear 39 Motor 41 Drive gear 43 Nut 44 Tilt leg 44a Lower end 44b V groove 45 Notch 46 Stop pin 47 Slit groove 48a, 48b Spring hook 49a, 49b Spring 51 Sensor support member 53 X-axis tilt sensor 54 Y Axis tilt sensor

Claims (9)

リング形状の本体フレームと、該本体フレームの内側に同心に設けられ、前記本体フレームに対してＸ軸を中心に傾動自在に設けられたＸ軸フレームと、該Ｘ軸フレームの上に該Ｘ軸フレームと同心に設けられ、前記Ｘ軸に対して同一平面内で直交するＹ軸を中心に傾動自在に設けられたＹ軸フレームとを具備し、前記Ｘ軸フレームには、前記本体フレームとオーバラップする様所要量立上がり、前記Ｘ軸に沿って両外周側に向って延出する第１、第２の軸部が設けられ、前記本体フレームの前記第１、第２の軸部と対峙する部分にはそれぞれ円錐形の第１、第２の球受穴が設けられ、前記第１の軸部の下面には前記第１の球受穴と対峙する第１円錐穴が設けられ、前記第１の球受穴と前記第１円錐穴間には第１の鋼球が介設され、前記第２の軸部の下面には前記Ｘ軸と平行な第１のＶ溝が穿設され、該第１のＶ溝と前記第２の球受穴との間には第２の鋼球が介設され、前記Ｘ軸フレームの周縁部で前記Ｙ軸上に円錐形の第３、第４の球受穴が設けられ、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第３の球受穴に対峙する第２円錐穴が設けられ、前記第３の球受穴と前記第２円錐穴との間には第３の鋼球が介設され、前記Ｙ軸フレーム下面に前記第４の球受穴に対峙し、前記Ｙ軸と平行な第２のＶ溝が設けられ、前記第４の球受穴と前記第２のＶ溝との間には第４の鋼球が介設され、前記第１、第２の鋼球は前記Ｘ軸上に設けられ、前記第３、第４の鋼球は前記Ｙ軸上に設けられ、前記Ｘ軸フレームは、前記第１、第２の鋼球を中心に傾動自在であり、前記Ｙ軸フレームは、前記第３、第４の鋼球を中心に傾動自在に構成された整準用テーブル。A ring-shaped main body frame, an X-axis frame concentrically provided inside the main body frame and tiltably provided about the X-axis with respect to the main body frame, and the X-axis on the X-axis frame. A Y-axis frame provided concentrically with the frame and tiltably provided about a Y-axis orthogonal to the X-axis in the same plane is provided, and the X-axis frame includes the main body frame and an overcoat. The first and second shaft portions are provided so as to wrap and extend toward both outer peripheral sides along the X axis, and face the first and second shaft portions of the main body frame. First and second ball receiving holes having a conical shape are provided in each portion, and a first conical hole facing the first ball receiving hole is provided on the lower surface of the first shaft portion. A first steel ball is interposed between the ball receiving hole 1 and the first conical hole, and a first V groove parallel to the X axis is formed on the lower surface of the second shaft portion. A second steel ball is interposed between the first V-groove and the second ball receiving hole, and the third and fourth cones on the Y-axis at the peripheral edge of the X-axis frame. A second conical hole facing the third ball receiving hole is provided on the lower surface of the Y-axis frame, and between the third ball receiving hole and the second conical hole. A third steel ball is interposed, and a second V-groove is provided on the lower surface of the Y-axis frame so as to face the fourth ball receiving hole and parallel to the Y-axis. A fourth steel ball is interposed between the second V-groove, the first and second steel balls are provided on the X-axis, and the third and fourth steel balls are said. Provided on the Y-axis, the X-axis frame is tiltable around the first and second steel balls, and the Y-axis frame is tiltable around the third and fourth steel balls. A leveling table configured in. 前記Ｙ軸フレームの上面に測量装置本体が取付けられる請求項１に記載の整準用テーブル。The leveling table according to claim 1, wherein the surveying apparatus main body is attached to the upper surface of the Y-axis frame. 請求項１に記載の整準用テーブルと、前記本体フレームから下方に延出する第１固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第２固定脚部と、前記Ｘ軸フレームから下方に延出する第１の傾動脚部と、前記Ｙ軸フレームから下方に延出する第２の傾動脚部と、前記第１固定脚部と前記第１の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置と、前記第２固定脚部と前記第２の傾動脚部との間に設けられたネジ送り装置とを具備し、両ネジ送り装置は、それぞれモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、前記傾動脚部の先端部に、前記傾動脚部を中心とした円軌道の変位を与える様構成された測量装置の整準装置。The leveling table according to claim 1, a first fixed leg portion extending downward from the main body frame, a second fixed leg portion extending downward from the X-axis frame, and a lower portion from the X-axis frame. It is provided between the first tilting leg portion extending to, the second tilting leg portion extending downward from the Y-axis frame, and the first fixed leg portion and the first tilting leg portion. A screw feeding device and a screw feeding device provided between the second fixed leg portion and the second tilting leg portion are provided, and both screw feeding devices are a screw rod rotated by a motor, respectively. A nut screwing into the screw rod is provided, and a V-groove is formed at the tip of the tilting leg portion toward the center of rotation of the tilting leg portion, and from the tip along the center of the V-groove. A notch is formed, the screw rod inserts the notch in a non-contact manner, the nut has a spherical surface concentric with the axis of the nut, the spherical surface contacts the V-groove, and the tilting leg and the said. A detent that restrains the rotation of the nut is provided between the nuts, and a spring that brings the spherical surface into contact with the V-groove is provided between the tilting leg and the nut, and the tip of the tilting leg is provided. A leveling device for a surveying device configured to give a displacement of a circular orbit centered on the tilting leg portion. 前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられた請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The leveling device for a surveying device according to claim 3 , wherein the spring is provided so that the direction of action of the spring force is inclined with respect to the axial center of the screw rod. 前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられた請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The leveling device for a surveying device according to claim 3 , wherein the spring is provided so that a component force of the spring force generates a rotational force around the axial center of the screw rod in the nut. 前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定された請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The leveling device for a surveying device according to claim 3 , wherein two springs are provided by sandwiching the screw rod, and the two springs are set so that the spring forces are different. 前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられた請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The leveling device for a surveying device according to claim 3 , wherein the spring is provided so that the direction of action of the spring force is inclined with respect to a plane including the axial center of the screw rod. 前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに形成されたスリット溝とを有し、該スリット溝に前記回止ピンが摺動自在に嵌合した請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The rotation preventing includes a rotation prevention pin provided at the distal end portion of the tilting legs, and a slit groove formed in the nut, the rotation prevention pin in the slit groove is fitted slidably claims Item 3. The leveling device for the surveying device according to item 3. 前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させた請求項３に記載の測量装置の整準装置。 The detent has a detent pin provided at the tip of the tilting leg portion and a pin projecting from the nut in a direction orthogonal to the axis of the screw rod, and the detent pin and the detent pin are provided. The leveling device for the surveying device according to claim 3 , wherein the pin is brought into contact with the pin.

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