JP6887617B2 - センサヘッド - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 41
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 30
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 12
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 7
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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Description
次に、図2から図6を参照しつつ、センサヘッド100の構成の一例について説明する。図2は、センサヘッド100を示す斜視図である。図2は、センサヘッド100の一部を分解して示している。図3は、センサヘッド100を示す上面図である。図4は、図3のIV−IV断面を示す断面図である。図5は、接続部材6及び押さえ部材23を示す斜視図である。図6は、図4のVI部を示す拡大図である。
第1ケース部2は、一端が開放された略円筒形状を呈しており、その中心軸が軸AXと略一致するように配置されている。軸AXは仮想の直線である。図5及び図6に示すように、第1ケース部2の一端の内周面には、雌ねじ部2aが形成されている。
第2ケース部3は、略円筒形状を呈している。第2ケース部3の一端は開放され、他端には開口3bが形成されている。図6に示すように、第2ケース部3の一端の内周面には、雌ねじ部3dが形成されている。開口3bは、第2ケース部3の中心軸に沿って見た場合に、略真円形状を呈している。図2に示すように、第2ケース部3の外周面には、複数の凹部3aが形成されている。凹部3aの底面は平面である。図4に示すように、第2ケース部3は、その内部に対物レンズ群7と、スペーサ31〜33と、押さえ部材34と、を収容している。
図2及び図4に示すように、ファイバケース8は、板ばね81を介して第1ケース部2に対して固定されている。板ばね81は、ねじ27により第1ケース部2の上部に固定されるとともに、ねじ28により第1ケース部2の端部に固定されている。ファイバケース8は、光ファイバ(不図示)を内部に収容している。光ファイバの先端には、フェルール82が接続されている。図4に示すように、フェルール82は、第1ケース部2の連通孔2bに挿通されている。
図2及び図5に示すように、接続部材6は、略円環形状を呈している。接続部材6の外周面には、雄ねじ部6aが形成されている。雄ねじ部6aのピッチは、第1ケース部2の雌ねじ部2aのピッチ、及び、第2ケース部3の雌ねじ部3dのピッチと略同一である。接続部材6の端部には、複数の切欠き6bが形成されている。
光源が発した白色光は、光ファイバによりセンサヘッド100側に導かれ、フェルール82に至る。当該光は、拡散しながら、フェルール82からケース1の内部に進入する。
計測対象物(200)の位置を計測するセンサのセンサヘッド(100)であって、
光源側から入射する光を光軸(AX)に沿うように計測対象物(200)側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズ(5)と、
前記回折レンズ(5)よりも計測対象物(200)側に配置され、前記回折レンズ(5)側から入射する光を集めて計測対象物(200)側に出射させるとともに、前記計測対象物(200)側から入射した光を前記光軸(AX)に沿うように前記回折レンズ(5)側に出射させる対物レンズ(7)と、
内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ(5)及び前記対物レンズ(7)を収容しているケース(1)と、を備え、
前記ケース(1)は、前記光軸(AX)を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第1ケース部(2)及び第2ケース部(3)と、前記光軸(AX)を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材(6)と、を有し、
前記第1ケース部(2)は、その内部に前記回折レンズ(5)が配置され、
前記第2ケース部(3)は、その内部に前記対物レンズ(7)が配置され
前記接続部材(6)は、その外周面に雄ねじ部(6a)が形成され、
前記第1ケース部(2)及び前記第2ケース部(3)は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部(2a,3d)が前記接続部材(6)の雄ねじ部(6a)と螺合することにより互いに接続している、
センサヘッド。
Claims (3)
- 計測対象物の位置を計測するセンサのセンサヘッドであって、
光源側から入射する光を光軸に沿うように計測対象物側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズと、
前記回折レンズよりも計測対象物側に配置され、前記回折レンズ側から入射する光を集めて計測対象物側に出射させるとともに、前記計測対象物側から入射した光を前記光軸に沿うように前記回折レンズ側に出射させる対物レンズと、
内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ及び前記対物レンズを収容しているケースと、を備え、
前記ケースは、前記光軸を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第1ケース部及び第2ケース部と、前記光軸を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材及び押さえ部材と、を有し、
前記第1ケース部は、その内部に前記回折レンズが配置され、
前記第2ケース部は、その内部に前記対物レンズが配置され、
前記接続部材は、前記回折レンズと前記対物レンズとの間に配置され、その外周面に雄ねじ部が形成され、
前記第1ケース部及び前記第2ケース部は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部が前記接続部材の雄ねじ部と螺合することにより互いに接続し、
前記押さえ部材は、前記接続部材と別体で前記接続部材と前記回折レンズとの間に配置され、その外周面に雄ねじ部が形成され、該雄ねじ部が前記第1ケース部の雌ねじ部と螺合することにより前記回折レンズを光源側に押圧して固定しており、
前記光軸に沿う方向において、前記押さえ部材の寸法は、前記接続部材の寸法よりも小さい、
センサヘッド。 - 前記第1ケース部及び前記第2ケース部の少なくとも一方は、その外周面に凹部が形成されており、該凹部の底面は平面である、
請求項1に記載のセンサヘッド。 - 計測対象物の位置を計測するセンサのセンサヘッドであって、
光源側から入射する光を光軸に沿うように計測対象物側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズと、
前記回折レンズよりも計測対象物側に配置され、前記回折レンズ側から入射する光を集めて計測対象物側に出射させるとともに、前記計測対象物側から入射した光を前記光軸に沿うように前記回折レンズ側に出射させる対物レンズと、
内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ及び前記対物レンズを収容しているケースと、を備え、
前記ケースは、前記光軸を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第1ケース部及び第2ケース部と、前記光軸を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材と、を有し、
前記第1ケース部は、その内部に前記回折レンズが配置され、
前記第2ケース部は、その内部に前記対物レンズが配置され、
前記接続部材は、その外周面に雄ねじ部が形成され、
前記第1ケース部及び前記第2ケース部は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部が前記接続部材の雄ねじ部と螺合することにより互いに接続し、
前記第1ケース部及び前記第2ケース部の少なくとも一方は、その外周面に凹部が形成されており、該凹部の底面は平面である、
センサヘッド。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193100A JP6887617B2 (ja) | 2017-10-02 | 2017-10-02 | センサヘッド |
KR1020180107729A KR102061785B1 (ko) | 2017-10-02 | 2018-09-10 | 센서 헤드 |
CN201811053691.6A CN109596050A (zh) | 2017-10-02 | 2018-09-11 | 传感头 |
TW107132328A TWI669486B (zh) | 2017-10-02 | 2018-09-13 | 傳感頭 |
EP18194550.2A EP3462126B1 (en) | 2017-10-02 | 2018-09-14 | Optical sensor head with chromatic aberration lens |
US16/132,488 US10274309B2 (en) | 2017-10-02 | 2018-09-17 | Sensor head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193100A JP6887617B2 (ja) | 2017-10-02 | 2017-10-02 | センサヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019066361A JP2019066361A (ja) | 2019-04-25 |
JP6887617B2 true JP6887617B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=63592612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017193100A Active JP6887617B2 (ja) | 2017-10-02 | 2017-10-02 | センサヘッド |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10274309B2 (ja) |
EP (1) | EP3462126B1 (ja) |
JP (1) | JP6887617B2 (ja) |
KR (1) | KR102061785B1 (ja) |
CN (1) | CN109596050A (ja) |
TW (1) | TWI669486B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6969459B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-11-24 | オムロン株式会社 | センサヘッド |
CN110567423B (zh) * | 2019-08-26 | 2021-02-26 | 中煤科工集团西安研究院有限公司 | 一种大螺距锥形内螺纹检测装置及方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0522891Y2 (ja) * | 1986-06-20 | 1993-06-11 | ||
US5384606A (en) * | 1992-06-22 | 1995-01-24 | Allergan, Inc. | Diffractive/refractive spectacle and intraocular lens system for age-related macular degeneration |
JP2005115152A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | レンズ、および光ヘッド装置 |
US7495838B2 (en) * | 2006-07-19 | 2009-02-24 | Inphase Technologies, Inc. | Collimation lens group adjustment for laser system |
US7626705B2 (en) * | 2007-03-30 | 2009-12-01 | Mitutoyo Corporation | Chromatic sensor lens configuration |
EP2034338A1 (en) * | 2007-08-11 | 2009-03-11 | ETH Zurich | Liquid Lens System |
CN201611252U (zh) * | 2010-01-14 | 2010-10-20 | 宝山钢铁股份有限公司 | 测径仪光学元件调整检测装置 |
JP5499828B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-05-21 | 株式会社リコー | 撮像装置 |
JP5790178B2 (ja) * | 2011-03-14 | 2015-10-07 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置 |
US20130033976A1 (en) * | 2011-08-04 | 2013-02-07 | Advanced Imaging Technologies, Inc. | Structure and method for generating an optical image from an ultrasonic holographic pattern |
JP2014202642A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | オリンパス株式会社 | 光学素子の面間隔測定装置および面間隔測定方法 |
KR101403992B1 (ko) * | 2013-04-22 | 2014-06-10 | 한국기초과학지원연구원 | 근접장 렌즈 고정장치 |
JP6331428B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-05-30 | オムロン株式会社 | 光学計測装置用のセンサヘッド |
CN205307751U (zh) * | 2016-01-08 | 2016-06-15 | 深圳市华科安测信息技术有限公司 | 自行车爱好者的腿部受力监测装置 |
CN206386354U (zh) * | 2016-11-01 | 2017-08-08 | 泉州德玉艺品有限公司 | 一种新型支杆联接结构 |
-
2017
- 2017-10-02 JP JP2017193100A patent/JP6887617B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-10 KR KR1020180107729A patent/KR102061785B1/ko active IP Right Grant
- 2018-09-11 CN CN201811053691.6A patent/CN109596050A/zh active Pending
- 2018-09-13 TW TW107132328A patent/TWI669486B/zh active
- 2018-09-14 EP EP18194550.2A patent/EP3462126B1/en active Active
- 2018-09-17 US US16/132,488 patent/US10274309B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3462126B1 (en) | 2021-12-01 |
TWI669486B (zh) | 2019-08-21 |
KR102061785B1 (ko) | 2020-01-02 |
US10274309B2 (en) | 2019-04-30 |
EP3462126A1 (en) | 2019-04-03 |
TW201915436A (zh) | 2019-04-16 |
US20190101378A1 (en) | 2019-04-04 |
CN109596050A (zh) | 2019-04-09 |
JP2019066361A (ja) | 2019-04-25 |
KR20190038993A (ko) | 2019-04-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6887617 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |