JP6882040B2 - 保持装置 - Google Patents
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Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、本実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図2には、図3のII−IIの位置における静電チャック100のXZ断面構成が示されており、図3には、図2のIII−IIIの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
図4は、図2のX1部分を拡大したXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図5は、図2のX2部分を拡大したXZ断面構成を概略的に示す説明図である。熱伝達層60は、グラファイトシート70と、金属膜80と、連結部90とを含む。グラファイトシート70は、例えば円形平面のシート状であり、グラファイトにより形成されている。また、グラファイトシート70は、セラミックス層12の吸着面S1に略直交する上記配列方向(Z軸方向)の熱伝達率より、該上下方向に直交する面方向(XY平面方向)の熱伝達率が高くなるように配置されている。
次に、本実施形態における静電チャック100の製造方法を説明する。図6は、熱伝達層60の製造工程を示す説明図である。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100によれば、グラファイトシート70には、第1の貫通孔72が形成されている。金属膜80は、上カバー部分82と、下カバー部分84とを含む。上カバー部分82は、グラファイトシート70のグラファイト上面70Aを覆い、かつ、グラファイト上面70Aに形成された第1の貫通孔72の開口を塞ぐようにグラファイト上面70Aに被覆されている。下カバー部分84は、グラファイトシート70のグラファイト下面70Bを覆い、かつ、グラファイト下面70Bに形成された第1の貫通孔72の開口を塞ぐようにグラファイト下面70Bに被覆されている。連結部90は、第1の貫通孔72内に位置し、上カバー部分82と下カバー部分84とを連結する。すなわち、上カバー部分82と下カバー部分84とが連結部90を介して連結されることにより、上カバー部分82がグラファイト上面70Aから離間することが抑制されるとともに、下カバー部分84がグラファイト下面70Bから離間することが抑制される。これにより、単に異方性熱伝達体の表面上に被膜が形成された従来の保持装置に比べて、グラファイトシート70から金属膜80が剥離することを抑制することができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (4)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、セラミックスにより形成されたセラミックス層と、
前記セラミックス層の内部、または、前記セラミックス層の前記第2の表面側に配置され、抵抗発熱体を有するヒータ層と、
前記セラミックス層の前記第1の表面と前記ヒータ層との間の位置、および、前記ヒータ層に対して前記セラミックス層の前記第1の表面とは反対側の位置の少なくとも一方に配置された熱伝達層であって、前記第1の方向の熱伝達率よりも前記第1の方向に直交する面方向の熱伝達率が高くなるように配置された異方性熱伝達体を含む熱伝達層と、を備え、前記セラミックス層の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記異方性熱伝達体には、前記異方性熱伝達体の前記第1の方向の一方側の第3の表面から他方側の第4の表面まで貫通する第1の貫通孔が形成されており、
前記熱伝達層は、さらに、被膜と、連結部とを含み、
前記被膜は、
前記異方性熱伝達体の前記第3の表面を覆い、かつ、前記第3の表面に形成された前記第1の貫通孔の開口を塞ぐように前記第3の表面に被覆された第1のカバー部分と、
前記異方性熱伝達体の前記第4の表面を覆い、かつ、前記第4の表面に形成された前記第1の貫通孔の開口を塞ぐように前記第4の表面に被覆された第2のカバー部分と、を含み、
前記連結部は、前記第1の貫通孔内に位置し、前記第1のカバー部分と前記第2のカバー部分とを連結しており、
前記異方性熱伝達体には、さらに、前記第3の表面から前記第4の表面まで貫通し、前記第1の貫通孔より内径が大きい第2の貫通孔が形成されており、
前記第1のカバー部分と前記第2のカバー部分とのそれぞれには、前記第2の貫通孔を介して連通する連通孔が形成されていることを特徴する、保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記異方性熱伝達体には、前記第1の貫通孔が複数形成されており、
前記複数の第1の貫通孔は、前記第1の方向視で互いに略均等間隔に配置されていることを特徴とする、保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
前記連結部は、前記被膜より熱伝達率が低い材料を含むことを特徴とする、保持装置。 - 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、セラミックスにより形成されたセラミックス層と、
前記セラミックス層の内部、または、前記セラミックス層の前記第2の表面側に配置され、抵抗発熱体を有するヒータ層と、
前記セラミックス層の前記第1の表面と前記ヒータ層との間の位置、および、前記ヒータ層に対して前記セラミックス層の前記第1の表面とは反対側の位置の少なくとも一方に配置された熱伝達層であって、前記第1の方向の熱伝達率よりも前記第1の方向に直交する面方向の熱伝達率が高くなるように配置された異方性熱伝達体を含む熱伝達層と、を備え、前記セラミックス層の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記異方性熱伝達体には、前記異方性熱伝達体の前記第1の方向の一方側の第3の表面から他方側の第4の表面まで貫通する第1の貫通孔が形成されており、
前記熱伝達層は、さらに、被膜と、連結部とを含み、
前記被膜は、
前記異方性熱伝達体の前記第3の表面を覆い、かつ、前記第3の表面に形成された前記第1の貫通孔の開口を塞ぐように前記第3の表面に被覆された第1のカバー部分と、
前記異方性熱伝達体の前記第4の表面を覆い、かつ、前記第4の表面に形成された前記第1の貫通孔の開口を塞ぐように前記第4の表面に被覆された第2のカバー部分と、を含み、
前記連結部は、前記第1の貫通孔内に位置し、前記第1のカバー部分と前記第2のカバー部分とを連結しており、
前記連結部と前記被膜とは同一材料により形成されていることを特徴とする、保持装置。
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