JP6880542B2 - 軸受装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図1は、本実施形態の軸受装置の構成の概要を示した図である。本実施形態の軸受装置は、第1の軸受部1と、第2の軸受部2を備えている。第1の軸受部1は、第1の材料で形成された第1の層3と、第1の材料よりも熱膨張係数が小さい第2の材料で形成された第2の層4とを積層した領域を有する。第2の軸受部2は、第1の軸受部1と空隙を介して対向または嵌合する。第1の軸受部1および第2の軸受部2の少なくとも一方は、回転または摺動の動作手段を有する。また、第2の層4は、第1の軸受部1の第2の軸受部2の側に形成されている。
本発明の第2の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図2および図3は、本実施形態の軸受装置の構成の概要を示したものである。図2は、本実施形態の軸受装置の斜視図である。また、図3は、本実施形態の軸受装置の断面図である。
本発明の第3の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図5および図6は、本実施形態の軸受装置の構成の概要を示したものである。図5は、本実施形態の軸受装置の斜視図である。また、図6は、本実施形態の軸受装置の断面図である。第2の実施形態では、スラスト軸受機構に対応した軸受装置について説明したが、本実施形態の軸受装置は、エアスライドガイド機構に対応していることを特徴とする。
本発明の第4の実施形態について図を参照して詳細に説明する。図7および図8は、本実施形態の軸受装置の構成の概要を示したものである。本実施形態の軸受装置は、スピンドル機構を有していることを特徴とする。
2 第2の軸受部
3 第1の層
4 第2の層
11 下側軸受部
12 上側軸受本体部
13 上側軸受端部
14 給気部
15 エアギャップ
16 排気部
21 ガイド部
22 ステージ本体部
23 ステージ端部
24 給気部
25 エアギャップ
26 排気部
31 主軸部
32 回転体本体部
33 回転体端部
34 給気部
35 エアギャップ
36 排気部
Claims (8)
- 第1の金属材料で形成された第1の層からなる中心付近の領域と、前記第1の層に前記第1の金属材料よりも熱膨張係数が小さい第2の金属材料で形成された第2の層が積層された周辺付近の領域とを有する第1の軸受部と、
前記第1の軸受部と空隙を介して対向または嵌合する第2の軸受部とを備え、
前記第1の軸受部および前記第2の軸受部の少なくとも一方が回転または摺動の動作手段を有し、
前記第1の軸受部は、前記第2の軸受部側とは反対側の略全面および前記第2の軸受部側の中心付近が前記第1の層で形成され、
前記第1の軸受部と前記第2の軸受部の間に形成される前記空隙の間隔が、温度が上昇した際に、前記第1の軸受部の変形によって中心付近よりも周辺付近において狭くなることを特徴とする軸受装置。 - 前記第1の軸受部または前記第2の軸受部に形成され、流体を注入する給気部と、
前記第1の軸受部および前記第2の軸受部の間の前記空隙の前記周辺付近に形成され、前記流体を排出する排気部とをさらに備え、
前記給気部および前記排気部はそれぞれ前記空隙に接続され、前記流体が前記空隙に充てんされていることを特徴とする請求項1に記載の軸受装置。 - 前記第1の軸受部の前記第1の層と前記第2の層とは互いに接合され、前記第1の軸受部は一体の部材として形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の軸受装置。
- 前記第1の軸受部は、前記第1の層と、前記第2の層とが互いに分離可能な部材として形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の軸受装置。
- 前記第2の軸受部は、スラスト軸受機構となるように前記第1の軸受部と前記空隙を介して互いに対向または嵌合していることを特徴とする請求項1から4いずれかに記載の軸受装置。
- 前記第2の軸受部は、前記第1の軸受部の内部に、前記第2の軸受部の長軸方向と、前記第1の軸受部の長軸方向がほぼ平行になるように備えられ、
前記第2の軸受部の外周部と前記第1の軸受部の内周部の間に前記空隙を有することを特徴とする請求項1から4いずれかに記載の軸受装置。 - 前記第1の軸受部および前記第2の軸受部の少なくとも一方が、前記長軸方向に動作することを特徴とする請求項6に記載の軸受装置。
- 前記第1の軸受部および前記第2の軸受部の少なくとも一方が、前記長軸を回転中心として動作することを特徴とする請求項6に記載の軸受装置。
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JP2015150776A JP6880542B2 (ja) | 2015-07-30 | 2015-07-30 | 軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015150776A JP6880542B2 (ja) | 2015-07-30 | 2015-07-30 | 軸受装置 |
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JP2017032028A JP2017032028A (ja) | 2017-02-09 |
JP6880542B2 true JP6880542B2 (ja) | 2021-06-02 |
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Family Applications (1)
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- 2015-07-30 JP JP2015150776A patent/JP6880542B2/ja active Active
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