JP6565499B2 - シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 - Google Patents
シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 Download PDFInfo
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Description
前記圧力の異なる2つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、前記ハウジングに挿入されるシャフトと、前記シャフトの外径面で固定されて、前記シャフトとともに回転または、軸方向に所定の距離間を移動し、前記ハウジングに接して、前記ハウジングと前記シャフトとの間に設けられた隙間を密封する環状の第1シール部材と、前記シャフトの外径面で前記第1シール部材と一定の間隔を有し、前記第1シール部材よりも高圧側空間寄りの位置に固定されて、前記シャフトとともに回転または軸方向に所定の距離間を移動し、前記ハウジングに接して、前記隙間を密封する環状の第2シール部材と、を有し、前記ハウジングは、前記隙間の内、前記第1シール部材と前記第2シール部材とで囲まれる空間に冷却用の流体を通過させるための複数の貫通孔を備えることを特徴とする。
また、シャフトが回転または軸方向に移動するときに生じる、第1シール部材及び第2シール部材とハウジングとの間の摩擦熱や、ワークの加熱やプロセス室内の環境によってシャフトに伝わる熱を外部に逃がすことで、シャフト,第1シール部材及び第2シール部材の温度上昇を抑制できる。よって、本発明に係るシール構造は、接触式シールである第1シール部材及び第2シール部材の交換頻度を低減することができる。
前記複数の貫通孔の前記空間側の開口部は、前記第1シール部材の前記高圧側の空間側への軸方向移動端と、前記第2シール部材の前記低圧側の空間側への軸方向移動端と、の間に形成されることが好ましい。
図1は、実施形態1に係るシール構造を備えた半導体製造装置を模式的に示す断面図である。図2は、実施形態1に係るシール構造を模式的に示す断面図である。図1および図2は、回転部材3の回転中心軸Zrを含み、かつ回転中心軸Zrと平行な平面でシール構造1を切った断面を示している。なお、実施形態1において、軸方向とは、回転中心軸Zrと平行な方向であり、径方向とは、回転中心軸Zrに対して直交する方向である。図3は、実施形態1に係る第1シール部材の周辺部分の拡大図である。シール構造1は、例えば、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境等の特殊環境下におかれる内部空間Vの密閉を保ちながら回転を伝達する機械要素である。内部空間Vと隔てられた外部空間Eは、内部空間Vに対して高圧である空間または大気雰囲気の空間である。シール構造1は、半導体製造または工作機械製造等の製造装置、搬送装置、回転駆動装置に適用される。ここでは、一例として、半導体製造のための製造装置において、スピンドルを回転軸として備える回転駆動装置(スピンドルユニット)にシール構造1を適用する場合を説明するが、シール構造1の適用対象はこれに限定されるものではない。
よって、シール構造1は、接触式シールである第1シール部材5A及び第2シール部材5Bの交換頻度を低減することができる。
例えば、上述の実施形態1では、第2シール部材5Bは、第1シール部材5Aと同一のものを用いているが、同様の構成であれば、形状や大きさは異なっていても良い。例えば、シャフト81に対して、回転部材3の外径を大きく、又は小さく形成し、それに合わせて第1シール部材5Aに対して大きい、又は小さい第2シール部材5Bを使用しても良い。
10 筐体
11 Oリング
15 第1隙間
2 ハウジング
21A 筒状部
21Bフランジ部
22 貫通孔
22a 環状溝
23 貫通孔
3 回転部材
32 シール固定部
32b シール固定凹部
33 可動部材(搬送テーブル、シール押え部材)
331 胴部
332 載置部
35 シール固定部材
36 シール固定部
36b シール固定凹部
5A 第1シール部材
5B 第2シール部材
51A,51B リップ部
52A,52B 固定部
53A,53B 環状連結部
54A,54B シールフランジ部
56A,56B 付勢部材
6 回転−直動駆動装置
7 直動機構
8 電動機
91 制御装置
100 半導体製造装置
E 外部空間
V 内部空間
M 冷却用空間
Claims (11)
- 圧力の異なる2つの空間を隔てるシール構造であって、前記圧力の異なる2つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、前記ハウジングに挿入されるシャフトと、前記シャフトに固定されて前記シャフトとともに回転または、軸方向に移動し、前記ハウジングに接して、前記ハウジングと前記シャフトとの間に設けられた隙間を密封する環状の第1シール部材と、前記シャフトの外径面で前記第1シール部材と所定の間隔を有し、前記第1シール部材よりも高圧側空間寄りの位置に固定されて、前記シャフトとともに回転または軸方向に所定の距離間を移動し、前記ハウジングに接して、前記隙間を密封する環状の第2シール部材と、を有し、前記ハウジングは、前記隙間の内、前記第1シール部材と前記第2シール部材とで囲まれる空間に冷却用流体を通過させるための複数の貫通穴を備えることを特徴とするシール構造。
- 前記第1シール部材及び前記第2シール部材は、前記シャフトの径方向内側に向かって突出し、前記シャフトおよび前記シャフトの一端部に固定されて、前記シャフトとともに回転する回転部材に挟まれて固定されるシールフランジ部を備えることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 前記第1シール部材及び前記第2シール部材は、前記シャフトに接する固定部と、前記ハウジングに接するリップ部と、前記固定部と前記リップ部とを連結する環状連結部と、を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のシール構造。
- 前記第1シール部材及び前記第2シール部材は、前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間に設けられて、前記リップ部を前記ハウジングに押し付ける付勢部材を備えることを特徴とする請求項3に記載のシール構造。
- 前記第1シール部材及び前記第2シール部材の、前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間は、前記圧力の異なる2つの空間のうち、高圧側の空間に向かって開口していることを特徴とする請求項3または4に記載のシール構造。
- 前記第1シール部材と、前記第2シール部材との軸方向間隔は、前記シャフト,前記第1シール部材及び前記第2シール部材が軸方向に移動可能な距離よりも大きく設定されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のシール構造。
- 前記貫通穴は、前記空間側の軸方向開口位置が、前記第1シール部材と前記第2シール部材との間にあることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造を備える、工作機械。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造を備える、半導体製造装置。
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JP2015170850A JP6565499B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 |
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JP2015170850A JP6565499B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 |
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JP2017048818A JP2017048818A (ja) | 2017-03-09 |
JP2017048818A5 JP2017048818A5 (ja) | 2018-10-18 |
JP6565499B2 true JP6565499B2 (ja) | 2019-08-28 |
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JP2015170850A Active JP6565499B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 |
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