JP6877821B2 - Cutting equipment and air blocking member - Google Patents

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本発明は、ウェーハ等の被加工物を切削加工する際に用いられる切削装置、及び切削装置の切削ユニットに装着されるエアー遮断部材に関する。 The present invention relates to a cutting device used when cutting a workpiece such as a wafer, and an air blocking member mounted on a cutting unit of the cutting device.

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の切断予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この切断予定ラインに沿ってウェーハを切断することにより得られる。 In electronic devices such as mobile phones and personal computers, a device chip including a device such as an electronic circuit is an indispensable component. In the device chip, for example, the surface of a wafer made of a semiconductor material such as silicon is partitioned by a plurality of scheduled cutting lines (streets), devices are formed in each region, and then the wafer is cut along the planned cutting lines. Obtained by

上述したウェーハのような被加工物を切断する際には、例えば、ダイシングソー等と呼ばれる切削装置が使用される。切削装置は、一般に、被加工物を保持するためのチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工するための切削ユニットと、を備えており、これらを相対的に移動させることで被加工物を切削加工する。 When cutting a workpiece such as the wafer described above, for example, a cutting device called a dicing saw or the like is used. A cutting device generally includes a chuck table for holding a work piece and a cutting unit for cutting a work piece held on the chuck table, and these are relatively moved. Cut the work piece with.

切削ユニットは、回転軸となるスピンドルを有している。スピンドルは、筒状に構成されたスピンドルハウジングの内側の空間に収容されており、エアーベアリングによってスピンドルハウジングから浮揚した状態に保たれる。スピンドルハウジングの一端（先端）側には、開口部が設けられている。スピンドルは、その一端部（先端部）がスピンドルハウジングの外部で露出するように、開口部に挿入される。 The cutting unit has a spindle that serves as a rotation axis. The spindle is housed in the space inside the tubular spindle housing and is kept floating from the spindle housing by air bearings. An opening is provided on one end (tip) side of the spindle housing. The spindle is inserted into the opening so that one end (tip) thereof is exposed outside the spindle housing.

スピンドルの一端部には、装着フランジ等の治具を介して環状の切削ブレードが装着される。スピンドルハウジングの開口部とスピンドルとの隙間は、切削加工の際に発生する加工屑（切削屑）等が侵入しないように、エアーベアリングからのエアーを用いるエアーシールによってシールされる（例えば、特許文献１参照）。 An annular cutting blade is mounted on one end of the spindle via a jig such as a mounting flange. The gap between the opening of the spindle housing and the spindle is sealed by an air seal that uses air from an air bearing to prevent machining debris (cutting debris) generated during cutting from entering (for example, Patent Documents). 1).

特開平１１−１１７９３９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-117939

ところが、上述のような切削装置では、切削ブレードの装着時等に、スピンドルハウジングの開口部とスピンドルとの隙間から流れ出るエアーシール用のエアーによって切削ブレードが装着フランジから脱落し易く、切削ブレードの破損や作業性の低下が問題になっていた。 However, in the cutting device as described above, when the cutting blade is mounted, the cutting blade is easily dropped from the mounting flange due to the air for air sealing flowing from the gap between the opening of the spindle housing and the spindle, and the cutting blade is damaged. And the deterioration of workability has become a problem.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードが装着フランジから脱落するのを防止できる切削装置及びエアー遮断部材を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cutting device and an air blocking member capable of preventing a cutting blade from falling off from a mounting flange.

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削ユニットと、該切削ユニットに装着されるエアー遮断部材と、を備え、該切削ユニットは、切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を有し、該エアー遮断部材は、該スピンドルの該先端部へと掛止するために上端部が開かれたＵ字状の掛止溝を上端側に有する板状に形成され、該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さく、該エアー遮断部材は、該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間に設けられる切削装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, a chuck table for holding a work piece, a cutting unit for cutting a work piece held on the chuck table, and an air blocking member mounted on the cutting unit are provided. The cutting unit includes a spindle in which a mounting flange for mounting a cutting blade is fixed to the tip, and an air bearing of the spindle with the tip of the spindle protruding outward from an opening on the tip side. It has a spindle housing rotatably supported by the spindle housing and an air seal portion including a gap between the opening of the spindle housing and the spindle, and the air blocking member is hooked to the tip portion of the spindle. A U-shaped hook groove having an open upper end is formed on the upper end side, and the length of the upper end of the hook groove is larger than the diameter of the tip of the spindle. small, the air blocking member, air for air sealing ejected from the air sealing portion so as not to reach said mounting flange, eclipsed set between the opening of said mounting flange and the spindle housing cutting Equipment is provided.

本発明の別の一態様によれば、切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を備える切削ユニットに装着されるエアー遮断部材であって、該スピンドルの該先端部へと掛止するために上端部が開かれたＵ字状の掛止溝を上端側に有する板状に形成され、該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さく、該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間に設けられるエアー遮断部材が提供される。 According to another aspect of the present invention, the spindle in which the mounting flange for mounting the cutting blade is fixed to the tip portion, and the tip portion of the spindle projecting outward from the opening on the tip end side. a spindle housing rotatably supporting the spindle air bearing, comprising an air blocking member mounted on the cutting unit including an air seal portion, a containing gap between the opening and the spindle of the spindle housing, the A plate-like shape having a U-shaped hook groove whose upper end is opened to hook to the tip of the spindle is formed on the upper end side, and the length of the upper end of the hook groove is the said. It is provided between the mounting flange and the opening of the spindle housing so that the air for the air seal ejected from the air sealing portion , which is smaller than the diameter of the tip portion of the spindle, does not reach the mounting flange. An air blocking member is provided.

本発明によれば、スピンドルハウジングの開口部とスピンドルとの隙間を含むエアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが装着フランジに到達しないように、装着フランジとスピンドルハウジングの開口部との間にエアー遮断部材が設けられるので、エアーシール部から噴出されるエアーはエアー遮断部材で遮断され、装着フランジに到達しない。よって、エアーシール部から噴出されるエアーにより切削ブレードが装着フランジから脱落するのを防止できる。 According to the present invention, between the mounting flange and the opening of the spindle housing so that the air for the air seal ejected from the air sealing portion including the gap between the opening of the spindle housing and the spindle does not reach the mounting flange. Since the air blocking member is provided in the housing, the air ejected from the air seal portion is blocked by the air blocking member and does not reach the mounting flange. Therefore, it is possible to prevent the cutting blade from falling off from the mounting flange due to the air ejected from the air seal portion.

切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of a cutting apparatus schematically. 切削ユニットの構成例を模式的に示す一部断面側面図である。It is a partial cross-sectional side view which shows the structural example of a cutting unit schematically. 図３（Ａ）は、エアー遮断部材の構成例を模式的に示す正面図であり、図３（Ｂ）は、エアー遮断部材の構成例を模式的に示す側面図であり、図３（Ｃ）は、エアー遮断部材の構成例を模式的に示す平面図である。FIG. 3 (A) is a front view schematically showing a configuration example of an air blocking member, and FIG. 3 (B) is a side view schematically showing a configuration example of an air blocking member, and FIG. 3 (C). ) Is a plan view schematically showing a configuration example of the air blocking member.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構成要素が搭載される基台４を備えている。基台４の上部には、基台４の上面側を覆うカバー６が取り付けられている。 An embodiment according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of the cutting device 2 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a base 4 on which each component is mounted. A cover 6 that covers the upper surface side of the base 4 is attached to the upper portion of the base 4.

カバー６の内部には、ウェーハ等の被加工物１１を切削加工するための切削ユニット（切削手段）８が収容されている。この切削ユニット８は、例えば、切削ユニット移動機構（不図示）によって前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）に移動する。なお、切削ユニット８の詳細については、後述する。 Inside the cover 6, a cutting unit (cutting means) 8 for cutting a workpiece 11 such as a wafer is housed. The cutting unit 8 moves in the front-rear direction (Y-axis direction, indexing feed direction) by, for example, a cutting unit moving mechanism (not shown). The details of the cutting unit 8 will be described later.

切削ユニット８の下方には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル（保持手段）１０が設けられている。チャックテーブル１０は、例えば、チャックテーブル移動機構（不図示）によって左右方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に移動し、回転機構（不図示）によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。 Below the cutting unit 8, a chuck table (holding means) 10 for holding the workpiece 11 is provided. For example, the chuck table 10 moves in the left-right direction (X-axis direction, machining feed direction) by the chuck table moving mechanism (not shown), and rotates substantially parallel to the vertical direction (Z-axis direction) by the rotation mechanism (not shown). Rotate around the axis.

基台４の前方の角部には、カセットテーブル１２が設置されている。カセットテーブル１２の上面には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット１４が載せられる。このカセットテーブル１２は、例えば、カセットテーブル移動機構（不図示）によって鉛直方向に移動し、被加工物１１を適切に搬出、搬入できるようにカセット１４の高さを調整する。 A cassette table 12 is installed at the front corner of the base 4. On the upper surface of the cassette table 12, a cassette 14 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 is placed. The cassette table 12 is moved in the vertical direction by, for example, a cassette table moving mechanism (not shown), and the height of the cassette 14 is adjusted so that the workpiece 11 can be appropriately carried out and carried in.

カバー６の前面６ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニター１６が設けられている。このモニター１６は、切削装置２の各部を制御する制御ユニット（不図示）等に接続されている。 A touch panel type monitor 16 serving as a user interface is provided on the front surface 6a of the cover 6. The monitor 16 is connected to a control unit (not shown) or the like that controls each part of the cutting device 2.

図２は、切削ユニット８の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図２に示すように、切削ユニット８は、回転軸となるスピンドル１８を備えている。このスピンドル１８は、筒状に構成されたスピンドルハウジング２０の内側の空間に収容されている。スピンドルハウジング２０の内部（壁材の内部）には、スピンドル１８の軸心に対して概ね平行なエアー供給路２０ａが設けられている。 FIG. 2 is a partial cross-sectional side view schematically showing a configuration example of the cutting unit 8. As shown in FIG. 2, the cutting unit 8 includes a spindle 18 as a rotation axis. The spindle 18 is housed in a space inside the spindle housing 20 which is formed in a tubular shape. Inside the spindle housing 20 (inside the wall material), an air supply path 20a substantially parallel to the axis of the spindle 18 is provided.

エアー供給路２０ａは、エアー供給口２０ｂを介して外部のエアー供給源（不図示）に接続されている。また、エアー供給路２０ａは、第１供給路２０ｃを介してラジアルエアーベアリング部（ラジアルエアーベアリング）２２に接続されており、第２供給路２０ｄを介してスラストエアーベアリング部（スラストエアーベアリング）２４に接続されている。 The air supply path 20a is connected to an external air supply source (not shown) via the air supply port 20b. Further, the air supply path 20a is connected to the radial air bearing portion (radial air bearing) 22 via the first supply path 20c, and the thrust air bearing portion (thrust air bearing) 24 is connected via the second supply path 20d. It is connected to the.

エアー供給源からラジアルエアーベアリング部２２及びスラストエアーベアリング部２４に高圧のエアーを供給することで、スピンドル１８は、スピンドルハウジング２０の内側の空間内で浮揚した状態に保たれる。例えば、ラジアルエアーベアリング部２２は、スピンドル１８に対して、軸心に垂直な向きのエアーを吹き付けることで、スピンドル１８の位置を軸心に垂直な方向で一定に保つ。 By supplying high-pressure air from the air supply source to the radial air bearing portion 22 and the thrust air bearing portion 24, the spindle 18 is kept in a floating state in the space inside the spindle housing 20. For example, the radial air bearing portion 22 keeps the position of the spindle 18 constant in the direction perpendicular to the axis by blowing air in the direction perpendicular to the axis to the spindle 18.

一方、スラストエアーベアリング部２４は、スピンドル１８に設けられた円盤状のスラストプレート１８ａに対して、スピンドル１８の軸心に平行な向きのエアーを吹き付けることで、スピンドル１８の位置を軸心に平行な方向で一定に保つ。ラジアルエアーベアリング部２２及びスラストエアーベアリング部２４により、高速に回転するスピンドル１８が安定に支持される。 On the other hand, the thrust air bearing portion 24 blows air in a direction parallel to the axis of the spindle 18 to the disk-shaped thrust plate 18a provided on the spindle 18, so that the position of the spindle 18 is parallel to the axis. Keep it constant in the right direction. The radial air bearing portion 22 and the thrust air bearing portion 24 stably support the spindle 18 rotating at high speed.

スピンドルハウジング２０の一端（先端）側には、開口部２０ｅが設けられている。スピンドル１８は、その一端部（先端部）１８ｂがスピンドルハウジング２０の外部で露出するように、開口部２０ｅに挿入されている。すなわち、スピンドル１８の一端部１８ｂは、スピンドルハウジング２０の開口部２０ｅから外側に突出している。 An opening 20e is provided on one end (tip) side of the spindle housing 20. The spindle 18 is inserted into the opening 20e so that one end (tip) 18b thereof is exposed outside the spindle housing 20. That is, one end 18b of the spindle 18 projects outward from the opening 20e of the spindle housing 20.

スピンドルハウジング２０から突出するスピンドル１８の一端部１８ｂには、装着フランジ２６が固定されている。この装着フランジ２６に環状の切削ブレード２８を嵌合させて固定ナット３０を締め込むことで、切削ブレード２８はスピンドル１８の一端部１８ｂに装着される。この切削ブレード２８は、例えば、樹脂や金属等の結合材にダイヤモンド等の砥粒を分散させることで形成される。 A mounting flange 26 is fixed to one end 18b of the spindle 18 protruding from the spindle housing 20. The cutting blade 28 is mounted on one end 18b of the spindle 18 by fitting the annular cutting blade 28 to the mounting flange 26 and tightening the fixing nut 30. The cutting blade 28 is formed by, for example, dispersing abrasive grains such as diamond in a binder such as resin or metal.

スピンドル１８の他端側には、スピンドル１８を回転させるための力を付与するモーター３２が連結されている。モーター３２は、スピンドルハウジング２０の内側に固定されたステーター３４と、スピンドル１８と一体のローター３６と、で構成されており、ステーター３４とローター３６との間に作用する磁力によってスピンドル１８を回転させる。なお、本実施の形態では、スピンドル１８とローター３６とが一体に形成されているが、別々に形成されたスピンドル１８とローター３６とを連結して用いても良い。 A motor 32 that applies a force for rotating the spindle 18 is connected to the other end side of the spindle 18. The motor 32 is composed of a stator 34 fixed to the inside of the spindle housing 20 and a rotor 36 integrated with the spindle 18, and rotates the spindle 18 by a magnetic force acting between the stator 34 and the rotor 36. .. In the present embodiment, the spindle 18 and the rotor 36 are integrally formed, but the separately formed spindle 18 and the rotor 36 may be connected and used.

ラジアルエアーベアリング部２２及びスラストエアーベアリング部２４に供給されたエアーの一部は、スピンドル１８の一端部１８ｂとスピンドルハウジング２０の開口部２０ｅとの隙間に相当するエアーシール部（エアーシール）３８を通じて、スピンドルハウジング２０の外部へと排出（噴出）される。このエアーの流れにより、スピンドル１８の一端部１８ｂとスピンドルハウジング２０の開口部２０ｅとの隙間がシール（エアーシール）される。 A part of the air supplied to the radial air bearing portion 22 and the thrust air bearing portion 24 is passed through an air seal portion (air seal) 38 corresponding to a gap between one end portion 18b of the spindle 18 and the opening 20e of the spindle housing 20. , Is discharged (spouted) to the outside of the spindle housing 20. This air flow seals (air seals) the gap between one end 18b of the spindle 18 and the opening 20e of the spindle housing 20.

ところで、上述のような切削ユニット８では、切削ブレード２８の装着時等に、エアーシール部３８から流れ出るエアーシール用のエアーによって切削ブレード２８が装着フランジ２６から脱落し易い。そのため、切削ブレード２８の破損や作業性の低下が問題になっていた。 By the way, in the cutting unit 8 as described above, when the cutting blade 28 is mounted or the like, the cutting blade 28 is likely to fall off from the mounting flange 26 due to the air for air sealing flowing from the air seal portion 38. Therefore, damage to the cutting blade 28 and deterioration of workability have been problems.

そこで、本実施形態に係る切削装置２では、エアーシール部３８から排出されるエアーシール用のエアーが装着フランジ２６に到達しないように、装着フランジ２６とスピンドルハウジング２０の開口部２０ｅとの間にエアー遮断部材（エアー遮断手段）４０が設けられる。具体的には、スピンドル１８の一端部１８ｂにエアー遮断部材４０が取り付けられる。 Therefore, in the cutting device 2 according to the present embodiment, between the mounting flange 26 and the opening 20e of the spindle housing 20 so that the air for air sealing discharged from the air sealing portion 38 does not reach the mounting flange 26. An air blocking member (air blocking means) 40 is provided. Specifically, the air blocking member 40 is attached to one end 18b of the spindle 18.

図３（Ａ）は、エアー遮断部材４０の構成例を模式的に示す正面図であり、図３（Ｂ）は、エアー遮断部材４０の構成例を模式的に示す側面図であり、図３（Ｃ）は、エアー遮断部材４０の構成例を模式的に示す平面図である。図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）に示すように、エアー遮断部材４０は、樹脂や金属等の材料を用いて板状に形成されている。 FIG. 3A is a front view schematically showing a configuration example of the air blocking member 40, and FIG. 3B is a side view schematically showing a configuration example of the air blocking member 40. FIG. (C) is a plan view schematically showing a configuration example of the air blocking member 40. As shown in FIGS. 3 (A), 3 (B) and 3 (C), the air blocking member 40 is formed in a plate shape using a material such as resin or metal.

このエアー遮断部材４０は、正面視で矩形状の上半部４２と、正面視で半円形状の下半部４４とを含む。上半部４２の上端側には、スピンドル１８の先端部１８ｂに対応する形状の装着溝（掛止溝）４２ａが形成されている。装着溝４２ａは、正面視で概ね半円形状（Ｕ字状）に形成されており、その上端部４２ｂが開いている。 The air blocking member 40 includes a rectangular upper half portion 42 when viewed from the front and a semicircular lower half portion 44 when viewed from the front. A mounting groove (hanging groove) 42a having a shape corresponding to the tip end portion 18b of the spindle 18 is formed on the upper end side of the upper half portion 42. The mounting groove 42a is formed in a substantially semicircular shape (U-shape) when viewed from the front, and the upper end portion 42b thereof is open.

この装着溝４２ａの半径Ｒは、スピンドル１８の先端部１８ｂの半径に対応している。また、開かれた上端部４２ｂの左右方向の長さＬは、スピンドル１８の先端部１８ｂの直径よりも僅かに小さくなっている。そのため、この上端部４２ｂ側から装着溝４２ａにスピンドル１８の先端部１８ｂを挿入させることで、図２に示すように、エアー遮断部材４０をスピンドル１８に装着（掛止）できる。 The radius R of the mounting groove 42a corresponds to the radius of the tip portion 18b of the spindle 18. Further, the length L of the opened upper end portion 42b in the left-right direction is slightly smaller than the diameter of the tip portion 18b of the spindle 18. Therefore, by inserting the tip portion 18b of the spindle 18 into the mounting groove 42a from the upper end portion 42b side, the air blocking member 40 can be mounted (hooked) on the spindle 18 as shown in FIG.

図３（Ｂ）に示すように、エアー遮断部材４０の下半部４４は、上半部４２に対して角度θで傾斜している。具体的には、下半部４４は、エアー遮断部材４０をスピンドル１８に装着した状態で後方（スピンドルハウジング２０側）へと向かって傾斜している。これにより、エアーシール部３８から排出されるエアーを後方に流して、装着フランジ２６へのエアーの到達をより確実に防止できる。角度θは、エアーシール部３８から排出されるエアーを後方に流せる範囲内で調整される。 As shown in FIG. 3B, the lower half portion 44 of the air blocking member 40 is inclined at an angle θ with respect to the upper half portion 42. Specifically, the lower half portion 44 is inclined toward the rear (spindle housing 20 side) with the air blocking member 40 mounted on the spindle 18. As a result, the air discharged from the air seal portion 38 can flow backward, and the air can be more reliably prevented from reaching the mounting flange 26. The angle θ is adjusted within a range in which the air discharged from the air seal portion 38 can flow backward.

なお、本実施形態のエアー遮断部材４０では、エアーシール部３８の上方側から排出されるエアーを遮断できないが、このエアーは、スピンドルハウジング２０の前方に配置され切削ブレード２８の上部を覆うブレードカバー４６（図１）によって遮断されるので、問題にならない。また、エアー遮断部材４０は、必要に応じてスピンドル１８に装着されれば良く、例えば、被加工物１１を切削加工する際には、スピンドル１８から取り外されることが望ましい。 The air blocking member 40 of the present embodiment cannot block the air discharged from the upper side of the air seal portion 38, but this air is arranged in front of the spindle housing 20 and covers the upper part of the cutting blade 28. It does not matter because it is blocked by 46 (Fig. 1). Further, the air blocking member 40 may be mounted on the spindle 18 as needed, and for example, it is desirable that the air blocking member 40 be removed from the spindle 18 when cutting the workpiece 11.

以上のように、本実施形態では、スピンドルハウジング２０の開口部２０ｅとスピンドル１８との隙間を含むエアーシール部３８から噴出されるエアーシール用のエアーが装着フランジ２６に到達しないように、装着フランジ２６とスピンドルハウジング２０の開口部２０ｅとの間にエアー遮断部材４０が設けられるので、エアーシール部３８から噴出されるエアーはエアー遮断部材４０で遮断され、装着フランジ２６に到達しない。よって、エアーシール部３８から噴出されるエアーにより切削ブレード２８が装着フランジから脱落するのを防止できる。 As described above, in the present embodiment, the mounting flange is prevented so that the air for air sealing ejected from the air sealing portion 38 including the gap between the opening 20e of the spindle housing 20 and the spindle 18 does not reach the mounting flange 26. Since the air blocking member 40 is provided between the 26 and the opening 20e of the spindle housing 20, the air ejected from the air sealing portion 38 is blocked by the air blocking member 40 and does not reach the mounting flange 26. Therefore, it is possible to prevent the cutting blade 28 from falling off from the mounting flange due to the air ejected from the air seal portion 38.

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、エアー遮断部材４０の形状、大きさ等は、エアーシール部３８から排出されるエアーを遮断できる範囲内で任意に変更できる。 The present invention is not limited to the description of the above embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, the shape, size, and the like of the air blocking member 40 can be arbitrarily changed within a range in which the air discharged from the air seal portion 38 can be blocked.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, etc. according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

２ 切削装置
４ 基台
６ カバー
６ａ 前面
８ 切削ユニット（切削手段）
１０ チャックテーブル（保持手段）
１２ カセットテーブル
１４ カセット
１６ モニター
１８ スピンドル
１８ａ スラストプレート
１８ａ 一端部（先端部）
２０ スピンドルハウジング
２０ａ エアー供給路
２０ｂ エアー供給口
２０ｃ 第１供給路
２０ｄ 第２供給路
２０ｅ 開口部
２２ ラジアルエアーベアリング部（ラジアルエアーベアリング）
２４ スラストエアーベアリング部（スラストエアーベアリング）
２６ 装着フランジ
２８ 切削ブレード
３０ 固定ナット
３２ モーター
３４ ステーター
３６ ローター
３８ エアーシール部（エアーシール）
４０ エアー遮断部材（エアー遮断手段）
４２ 上半部
４２ａ 装着溝（掛止溝）
４２ｂ 上端部
４４ 下半部
１１ 被加工物 2 Cutting device 4 Base 6 Cover 6a Front surface 8 Cutting unit (cutting means)
10 Chuck table (holding means)
12 Cassette table 14 Cassette 16 Monitor 18 Spindle 18a Thrust plate 18a One end (tip)
20 Spindle housing 20a Air supply path 20b Air supply port 20c 1st supply path 20d 2nd supply path 20e Opening 22 Radial air bearing (radial air bearing)
24 Thrust air bearing (Thrust air bearing)
26 Mounting flange 28 Cutting blade 30 Fixing nut 32 Motor 34 Stator 36 Rotor 38 Air seal part (air seal)
40 Air blocking member (air blocking means)
42 Upper half 42a Mounting groove (hanging groove)
42b Upper end 44 Lower half 11 Work piece

Claims (2)

被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削ユニットと、
該切削ユニットに装着されるエアー遮断部材と、を備え、
該切削ユニットは、
切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、
先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を有し、
該エアー遮断部材は、該スピンドルの該先端部へと掛止するために上端部が開かれたＵ字状の掛止溝を上端側に有する板状に形成され、該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さく、
該エアー遮断部材は、該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間に設けられることを特徴とする切削装置。 A chuck table that holds the work piece and
A cutting unit that cuts the workpiece held on the chuck table, and
An air blocking member mounted on the cutting unit is provided.
The cutting unit is
A spindle in which a mounting flange for mounting a cutting blade is fixed to the tip,
A spindle housing that rotatably supports the spindle with an air bearing with the tip of the spindle protruding outward from the opening on the tip side.
It has an opening of the spindle housing and an air seal portion including a gap between the spindles.
The air blocking member is formed in a plate shape having a U-shaped hook groove whose upper end is opened to hook to the tip of the spindle on the upper end side, and the upper end of the hook groove. The length of the portion is smaller than the diameter of the tip portion of the spindle.
The air blocking member, as air for air sealing ejected from the air seal portion does not reach the said mounting flange, characterized in that eclipsed set between the opening of said mounting flange and the spindle housing Cutting equipment. 切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を備える切削ユニットに装着されるエアー遮断部材であって、
該スピンドルの該先端部へと掛止するために上端部が開かれたＵ字状の掛止溝を上端側に有する板状に形成され、該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さく、
該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間に設けられることを特徴とするエアー遮断部材。 A spindle in which a mounting flange for mounting a cutting blade is fixed to the tip, and a spindle that rotatably supports the spindle with an air bearing with the tip of the spindle protruding outward from an opening on the tip side. An air blocking member mounted on a cutting unit including a housing and an air seal portion including a gap between the opening of the spindle housing and the spindle.
The spindle is formed in a plate shape having a U-shaped hooking groove whose upper end is opened to hook to the tip of the spindle on the upper end side, and the length of the upper end of the hooking groove is defined as. Smaller than the diameter of the tip of the spindle,
An air blocking member provided between the mounting flange and the opening of the spindle housing so that air for an air seal ejected from the air sealing portion does not reach the mounting flange.
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