JP6876499B2 - 半導体デバイス用粘着剤組成物及び半導体デバイス用粘着テープ - Google Patents
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Description
高接着易剥離を実現した接着剤組成物として特許文献1には、アゾ化合物等の刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着層を有する両面接着テープを用いたウエハの処理方法が記載されている。特許文献1に記載されたウエハの処理方法では、まず、両面接着テープを介してウエハを支持板に固定する。その状態で研削工程等を行った後に刺激を与えると、気体発生剤から発生した気体がテープの表面とウエハとの界面に放出され、その圧力によって少なくとも一部が剥離される。特許文献1の両面接着テープを用いれば、ウエハを損傷することなく、かつ、糊残りもすることなく剥離できる。
以下に本発明を詳述する。
上記粘着剤は特に限定されず硬化型であっても非硬化型であってもよいが、加熱処理又は発熱を伴う処理の前に硬化させることによって熱による接着昂進を抑え、処理終了後にはウエハから糊残りなく容易に剥離することができることから硬化型粘着剤であることが好ましい。
上記光硬化型粘着剤としては、例えば、重合性ポリマーを主成分とし、重合開始剤として光重合開始剤を含有する光硬化型粘着剤が挙げられる。
上記熱硬化型粘着剤としては、例えば、重合性ポリマーを主成分とし、重合開始剤として熱重合開始剤を含有する熱硬化型粘着剤が挙げられる。
ただし、上記硬化型粘着剤が高い耐熱性を発揮するためには、上記熱重合開始剤は、熱分解温度が200℃以上である熱重合開始剤を用いることが好ましい。このような熱分解温度が高い熱重合開始剤は、クメンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド等が挙げられる。
これらの熱重合開始剤のうち市販されているものとしては特に限定されないが、例えば、パーブチルD、パーブチルH、パーブチルP、パーペンタH(以上いずれも日油社製)等が好適である。これら熱重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記多官能オリゴマー又はモノマーは、分子量が1万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による硬化型粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が5000以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が2〜20個のものである。
本発明の粘着テープが下記一般式(1)、(2)で表される光塩基発生剤を含有することで、ウエハから粘着テープを剥離する際に、刺激を与えて上記光塩基発生剤から二酸化炭素を発生させることにより、糊残りすることなく容易に粘着テープを剥離することができる。また、下記一般式(1)、(2)で表される光塩基発生剤は、高温処理や発熱を伴う処理の際の熱によって分解しない高い耐熱性を有するため、熱処理の際の意図せぬガスの放出を防止することができる。ここで光塩基発生剤とは、紫外線を照射することで分解してアミンなどの有機塩基と二酸化炭素を発生する化合物のことを意味する。また、光塩基発生剤は、イオン型、非イオン型のどちらであってもよい。
なお、光酸発生剤も高い耐熱性を有するが、ガス発生の際に金属イオンが生成し、残渣となってウエハを汚染するため、デバイス材料を保護する粘着テープに用いるには不適である。
上記一級アミンとしては、例えば、メチルアミン、エチルアミン、n−プロピルアミン、n−ブチルアミン、アミルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、n−トリデシルアミン、n−テトラデシルアミン、n−ペンタデシルアミン、n−ヘキサデシルアミン、n−オクタデシルアミン、イソプロピルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、1−メチルブチルアミン、1−エチルプロピルアミン、イソアミルアミン、1,2−ジメチルプロピルアミン、tert−アミルアミン、1,3−ジメチルブチルアミン、3,3−ジメチルブチルアミン、2−アミノヘプタン、3−アミノヘプタン、1−メチルヘプチルアミン、2−エチルヘキシルアミン、1,5―ジメチルヘキシルアミン、tert−オクチルアミン、エチレジアミン、1,3−ジアミノプロパン、1,2−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,2−ジアミノ−2−メチルプロパン、1,5−ジアミノペンタン、1,3−ジアミノペンタン、1,5−ジアミノ−2−メチルペンタン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、2−ブチル−2−エチル−1,5−ペンタンジアミン、シクロプロピルアミン、(アミノメチル)シクロプロパン、シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、5−アミノ−2,2,4−トリメチル−1−シクロペンタンメチルアミン、シクロヘキシルアミン、2−メチルヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、2,3−ジメチルシクロヘキシルアミン、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,2−ジアミノシクロヘキサン、シクロヘキサンメチルアミン、1,8−ジアミノ−p−メンタン、5−アミノ−1,3,3−トリメチルシクロヘキサンメチルアミン、シクロヘプチルアミン、シクロオクチルアミン、シクロドデシルアミン、2−アミノノルボルネン、ボルニルアミン、ミルタニルアミン、1−アダマンタンアミン、1−アダマンタンメチルアミン、アリルアミン、オレイルアミン、ゼラニルアミン、2,2,2−トリフルオロメチルアミン、2−メトキシエチルアミン、3−メトキシプロピルアミン、3−エトキシプロピルアミン、3−ブトキシプロピルアミン、2−アミノ−1−メトキシプロパン、3−イソプロポキシプロピルアミン、2,2’−オキシビス(エチレンアミン)、2,2’−(エチレンジオキシ)ビス(エチルアミン)、4,9−ジオキサ−1,12−ドデカンジアミン、4,7,10−トリオキサ−1,13−トリデカンジアミン、3−アミノ−1−プロパノールビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルアミン、2,5−ジヒドロ−2,5−ジメトキシフルフリルアミン、アミノアセトアルデヒドジメチルアセタール、4−アミノブチルアルデヒドジエチルアセタール、エタノールアミン、3−アミノ−1−プロパノール、2−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、2−アミノ−1−ブタノール、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、2−アミノ−1−ペンタノール、2−アミノ−3−メチル−1−ブタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、2−アミノ−1−ヘキサノール、1−アミノ−1−シクロペンタンメタノール、2−アミノシクロヘキサノール、4−アミノシクロヘキサノール、1−アミノメチル−1−シクロヘキサノール、3−アミノメチル−3,5,5−トリメチルシクロヘキサン、2−(2−アミノエトキシ)エタノール、2−(メチルアミノ)エタノール、2−(エチルアミノ)エタノール、2−(プロピルアミノ)エタノール、2−(tert−ブチルアミノ)エタノール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、SERINOL、2−アミノ−2−エチル−1,3−プロパンジオール、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール、トリス(ヒドロキシメチル)アミノメタン、BIS−HOMOTORIS、1,3−ジアミノ−2−ヒドロキシプロパン、1−アミノ−デオキシソルビトール、2−アミノメチル−15−クラウン−5、2−アミノメチル−18−クラウン−6、アニリン、オルトトルイジン、メタトルイジン、パラトルイジン、2−エチルアニリン、3−エチルアニリン、4−エチルアニリン、2−プロピルアニリン、3−プロピルアニリン、4−プロピルアニリン、2−イソプロピルアニリン、3−イソプロピルアニリン、4−イソプロピルアニリン、2−ブチルアニリン、3−ブチルアニリン、4−ブチルアニリン、2−sec−ブチルアニリン、3−sec−ブチルアニリン、4−sec−ブチルアニリン、2−tert−ブチルアニリン、3−tert−ブチルアニリン、4−tert−ブチルアニリン、4−ペンチルアニリン、4−ヘキシルルアニリン、4−ヘプチルアニリン、4−オクチルアニリン、4−デシルアニリン、4−ドデシルアニリン、4−テトラデシルアニリン、4−ヘキサデシルアニリン、4−シクロへキシルアニリン、2,2’−エチレンジアニリン、オルトアニシジン、メタアニシジン、パラアニシジン、オルトフェネチジン、メタフェネチジン、パラフェネチジン、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノール、2−アミノベンジルアルコール、2−アミノフェニルエチルアルコール、3−アミノフェニルエチルアルコール、4−アミノフェニルエチルアルコール、3−(1−ヒドロキシエチル)アニリン、2−(メチルメルカプト)アニリン、3−(メチルメルカプト)アニリン、4−(メチルメルカプト)アニリン、2−アミノフェニルジスルフィド、2−イソプロペニルアニリン、4,4’−エチレンジアニリン、3,3’−メチレンジアニリン、4,4’−メチレンジアニリン、4,4’−メチレンビス(3−クロロ−2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−ジアミノスチルベン、4−ブトキシアニリン、4−ペンチルオキシアニリン、4−ヘキシルオキシアニリン、4,4’−オキシジアニリン、4,4’−チオジアニリン、4’’,4’’’’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)−ビス−(4−フェニルアニリン)、オキシジアニリン、4−アミノフェニルスルフィド、2,3−ジメチルアニリン、2,4−ジメチルアニリン、2,5−ジメチルアニリン、2,6−ジメチルアニリン、3,4−ジメチルアニリン、3,5−ジメチルアニリン、6−エチルオルトトルイジン、2,6−ジエチルアニリン、2−イソプロピル−6−メチルアニリン、2,6−ジイソプロピルアニリン、1−アミノ−5,6,7,8−テトラヒドロナフタレン、5−アミノインダン、2−フルオロアニリン、3−フルオロアニリン、4−フルオロアニリン、2−クロロアニリン、3−クロロアニリン、4−クロロアニリン、2−ブロモアニリン、3−ブロモアニリン、4−ブロモアニリン、2−ヨードアニリン、3−ヨードアニリン、4−ヨードアニリン、2−(トリフルオロメチル)アニリン、3−(トリフルオロメチル)アニリン、4−(トリフルオロメチル)アニリン、3−(トリフルオロメトキシ)アニリン、4−(トリフルオロメトキシ)アニリン、3−(1,1,2,2−テトラフルオロエチル)アニリン、3−フルオロ−2−メチルアニリン、3−クロロ−2−メチルアニリン、2−クロロ−6−メチルアニリン、2,6−ジフルオロアニリン、2,3−ジフルオロアニリン、2,6−ジクロロアニリン、2,3−ジクロロアニリン、2,6−ジブロモアニリン、2−メトキシ−6−メチルアニリン、3−フルオロオルトアニシジン、3−アミノ−2−メチルベンジルアルコール、2−アミノ−3−メチルベンジルアルコール、2−アミノメタクレゾール、2,3−ジアミノフェノール、オルトトルイジン、4,4’−エチレンジメタトルイジン、2,5−ジ−tert−ブチルアニリン、3−フルオロ−4−メチルアニリン、2−フルオロ−4−メチルアニリン、5−フルオロ−2−メチルアニリン、2−フルオロ−5−メチルアニリン、4−フルオロ−2−メチルアニリン、2−フルオロ−6−メチルアニリン、2,5−ビス(トリフルオロメチル)アニリン、2−フルオロ−6−(トリフルオロメチル)アニリン、2−フルオロ−3−(トリフルオロメチル)アニリン、2,4−ジフルオロアニリン、3,4−ジフルオロアニリン、2,5−ジフルオロアニリン、3−クロロ−4−フルオロアニリン、2−クロロ−4−フルオロアニリン、2−ブロモ−4−フルオロアニリン、4−ブロモ−2−フルオロアニリン、2−ブロモ−4−ヨードアニリン、2−クロロ−4−アミノトルエン、2−クロロ−4−メチルアニリン、2−クロロ−5−メチルアニリン、5−クロロ−2−メチルアニリン、4−クロロ−2−メチルアニリン、3,4−ジクロロアニリン、2,4−ジクロロアニリン、2,5−ジクロロアニリン、4−ブロモ−2−メチルアニリン、4−ブロモ−3−メチルアニリン、3−ブロモ−4−メチルアニリン、2−ブロモ−4−メチルアニリン、4−ブロモ−2−クロロアニリン、2,4−ジブロモアニリン、2,5−ジブロモアニリン、4−フルオロ−2−(トリフルオロメチル)アニリン、4−フルオロ−3−(トリフルオロメチル)アニリン、2−フルオロ−5−(トリフルオロメチル)アニリン、4−クロロ−3−(トリフルオロメチル)アニリン、4−クロロ−2−(トリフルオロメチル)アニリン、4−ブロモ−2−(トリフルオロメチル)アニリン、4−ブロモ−3−(トリフルオロメチル)アニリン、2−ブロモ−5−(トリフルオロメチル)アニリン、2−クロロ−5−(トリフルオロメチル)アニリン、5,5’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジオルトトルイジン、4−メトキシ−2−メチルアニリン、2−メトキシ−5−メチルアニリン、5−メトキシ−2−メチルアニリン、5−tert−ブチルオルトアニシジン、2−メトキシ−5−(トリフルオロメチル)アニリン、6−クロロメタアニシジン、4−アミノヴェラトロール、3,4−(メチレンジオキシ)アニリン、1,4−ベンゾジオキサン−6−アミン、4’−アミノベンゾ−15−クラウン−5、2,4−ジメトキシアニリン、4−アミノクレゾール、2,5−ジメトキシアニリン、5−アミノ−2−メトキシフェノール、3−アミノオルトクレゾール、2−アミノオルトクレゾール、2−アミノ−tert−ブチルフェノール、2−アミノ−tert−アミルフェノール、6−アミノメタクレゾール、4−アミノメタクレゾール、2−アミノ−5−メチルベンジルアルコール、3−アミノ−4−メチルベンジルアルコール、2−アミノ−4−クロロフェノール、4−アミノ−3−クロロフェノール、2−アミノ−5−クロロベンジルアルコール、5−クロロオルトアニシジン、3−フルオロロパラアニシジン、3−クロロパラアニシジン、2−アミノ−4−(トリフルオロメチル)ベンゼンチオール、3,5−ジメチルアニリン、3,5−ジtert−ブチルアニリン、3,5−ビス(トリフルオロメチル)アニリン、3,5−ジフルオロロアニリン、3,5−ジクロロアニリン、3,5−ジメトキシアニリン、3−メトキシ−5−(トリフルオロメチル)アニリン、2,4,6−トリメチルアニリン、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、
4,4’−メチレンビス(2,6−ジイソプロピルアニリン)、2,4,6−トリ−tert−ブチルアニリン、2−クロロ−4,6−ジメチルアニリン、2,6−ジクロロ−3−メチルアニリン、3−クロロ−2,4−ジフルオロアニリン、2,3,4−トリクロロアニリン、2,3,4−トリフルオロアニリン、2,3,6−トリフルオロアニリン、2,4,6−トリフルオロアニリン、2,6−ジブロモ−4−メチルアニリン、3−クロロ−2,6−ジエチルアニリン、4−ブロモ−2,6−ジメチルアニリン、2−クロロ−3,5−ジフルオロアニリン、4−ブロモ−2,6−ジフルオロアニリン、2−ブロモ−4−クロロ−6−フルオロアニリン、2,4−ジブロモ−6−フルオロアニリン、2,6−ジブロモ−4−フルオロアニリン、2,6−ジクロロ−4−(トリフルオロメチル)アニリン、4−クロロ−2,6−ジブロモアニリン、4−アミノ−2,6−ジクロロフェノール、3,4,5−トリクロロアニリン、3,4,5−トリメトキシアニリン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、2−ブロモ−4,6−ジフルオロアニリン、2,4,6−トリクロロアニリン、2,6−ジクロロ−4−(トリフルオロメトキシ)アニリン、2−ブロモ−3,5−ビス(トリフルオロメチル)アニリン、2,4,6−トリブロモアニリン、2−クロロ−4−フルオロ−5−メチルアニリン、2,4,5−トリフルオロアニリン、2,4,5−トリクロロアニリン、4−クロロ−2−メトキシ−5−メチルアニリン、4−アミノ−2,5−ジメチルフェノール、4−アミノ−2,6−ジブロモフェノール、3,5−ジクロロ−2,6−ジエチルアニリン、2,3,5,6−テトラクロロアニリン、2,3,5,6−テトラフルオロアニリン、2,3,4,5−テトラフルオロアニリン、2,3,4,6−テトラフルオロアニリン、2−ブロモ−3,4,6−トリフルオロアニリン、2−ブロモ−4,5,6−トリフルオロアニリン、2−アミノ−2,4−ジクロロ−3−メチルフェノール、2,3,5,6−テトラフルオロ−4−トリフルオロメチルアニリン、2,3,4,5,6−ペンタフルオロアニリン、4,4’−ジアミノオクタフルオロビフェニル、4−メトキシ−3−ビフェニルアミン、4−ブロモ−2,3,5,6−テトラフルオロアニリン、1,2−フェニレンジアミン、2,3−ジアミノトルエン、3,4−ジアミノトルエン、3,3’−ジアミノベンジジン、4−クロロ−1,2−フェニレンジアミン、4−メトキシ−1,2−フェニレンジアミン、4,5−ジメチル−1,2−フェニレンジアミン、1,2,4,5−ベンゼンテトラミン、4,5−ジクロロ−1,2−フェニレンジアミン、1,3−フェニレンジアミン、2,6−ジアミノトルエン、2,4−ジアミノトルエン、2,4,6−トリメチル−1,3−フェニレンジアミン、4−メトキシ−1,3−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノフェノール、4−(2−ヒドロキシエチルチオ)−1,3−フェニレンジアミン、1,4−フェニレンジアミン、2,5−ジアミノトルエン、2,5−ジメチル−1,4−フェニレンジアミン、2−クロロ−1,4−フェニレンジアミン、2,5−ジクロロ−1,4−フェニレンジアミン、2−メトキシ−1,4−フェニレンジアミン、2,3,5,6−テトラメチル−1,4−フェニレンジアミン、2−アミノビフェニル、4−アミノビフェニル、2,4,6−トリフェニルアニリン、2−アミノ−4−フェニルフェノール、5−フェニルオルトアニシジン、ベンジルアミン、α−メチルベンジルアミン、アミノジフェニルメタン、トリチルアミン、1,2−ジフェニルエチルアミン、2,2−ジフェニルエチレンアミン、2−アミノ−1,2−ジフェニルエタノール、フェネチルアミン、2−アミノ−3−フェニル−1−プロパノール、2−フェニルシクロプロピルアミン、3−フェニル−1−プロピルアミン、3,3−ジフェニルプロピルアミン、1−メチル−3−フェニルプロピルアミン、4−フェニルブチルアミン、1,2−ジフェニルエチレンジアミン、1,2−ビス(4−メトキシフェニル)エチレンジアミン、4−(2,4−ジ−tert−アミルフェノキシ)ブチルアミン、2−アミノ−1−フェニルエタノール、2−フェニルグリシノール、2−アミノ−3−フェニル−1−プロパノール、NOREPHEDRINE、2−メチルベンジルアミン、1−アミノインダン、2−アミノインダン、1,2,3,4−テトラヒドロ−1−ナフチルアミン、2−(トリフルオロメチル)ベンジルアミン、2−フルオロベンジルアミン、2−フルオロフェネチルアミン、2−クロロベンジルアミン、2−クロロフェネチルアミン、2−ブロモベンジルアミン、2−メトキシベンジルアミン、2−メトキシフェネチルアミン、2−エトキシベンジルアミン、2−[2−(アミノメチル)フェニルチオ]ベンジルアルコール、2−アミノベンジルアミン、3−メチルベンジルアミン、3−(トリフルオロメチル)ベンジルアミン、メタキシレンジアミン、3−フルオロベンジルアミン、3−フルオロフェネチルアミン、3−クロロベンジルアミン、3−クロロフェネチルアミン、3−ブロモベンジルアミン、3−ヨードベンジルアミン、3−メトキシフェネチルアミン、4−メチルベンジルアミン、パラキシレンジアミン、4−(トリフルオロメチル)ベンジルアミン、α,4−ジメチルベンジルアミン、2−(パラトルイル)エチルアミン、4−フルオロベンジルアミン、4−フルオロフェネチルアミン、4−クロロベンジルアミン、4−ブロモベンジルアミン、4−ブロモフェネチルアミン、4−フルオロ−α−メチルベンジルアミン、4−フルオロフェネチルアミン、4−クロロフェネチルアミン、4−メトキシベンジルアミン、4−メトキシフェネチルアミン、4−(トリフルオロメトキシ)ベンジルアミン、4−アミノベンジルアミン、2−(4−アミノフェニル)エチルアミン、TYRAMINE、3,5−ビス(トリフルオロメチル)ベンジルアミン、3−フルオロ−5−(トリフルオロメチル)ベンジルアミン、2,6−ジフルオロベンジルアミン、2,4−ジフルオロベンジルアミン、2,5−ジフルオロベンジルアミン、3,4−ジフルオロベンジルアミン、2,4−ジクロロベンジルアミン、3,4−ジクロロベンジルアミン、2,4−ジクロロフェネチルアミン、2,3−ジメトキシベンジルアミン、3,5−ジメトキシベンジルアミン、2,4−ジメトキシベンジルアミン、3,4−ジメトキシベンジルアミン、2,5−ジメトキシフェネチルアミン、3,4−ジメトキシフェネチルアミン、ピペロニルアミン、3,4,5−トリメトキシベンジルアミン、2,4,6−トリメトキシベンジルアミン、1−アミノインダノール、1−ナフタレンメチルアミン、1−(1−ナフチル)エチルアミン、9−アミノフルオレン、1−ピレンメチルアミン、α,ω−ジアミノポリエチレングリコール、α,ω−ジアミノポリプロピレングリコール、α,ω−ジアミノポリジメチルシロキサン又はポリアリルアミン等が挙げられる。
従来の気体発生剤は、光の吸収帯が短波長側に存在していたことから、ガスを発生させるために高エネルギーの光を長時間照射する必要があり、その結果、光源に負荷がかかったり、ウエハを損傷したりすることがあるという問題があった。しかし、本発明に用いられる光塩基発生剤は、従来の気体発生剤よりも高波長側に吸収帯を持つため光源の負荷を低減し、ウエハの損傷を抑えることができる。特に紫外線吸収波長域の長波長側上限が300nm以上、つまり、300nm以上の波長に吸収帯を持つ場合、優れた光源負荷の低減性能やウエハ損傷の抑制性能を発揮することができる。上記紫外線吸収波長域の長波長側上限は、320nm以上であることがより好ましい。上記光塩基発生剤の吸収波長域の上限は特に限定されないが、実質450nm程度である。
上記光増感剤は、上記光塩基発生剤への光による刺激を増幅する効果を有することから、より少ない光の照射により気体を放出させることができる。また、より広い波長領域の光により気体を放出させることができる。
耐熱性に優れた光増感剤としては、例えば、アルコキシ基を少なくとも1つ以上有する多環芳香族化合物が挙げられる。なかでも、一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物が好適である。これらの光増感剤は、耐昇華性が高く、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基や水酸基で置換されることにより、上記接着剤成分への溶解性が高まり、ブリードアウトを防止することができる。
本発明の半導体デバイス用粘着剤組成物は、ヒュームドシリカ等の無機フィラー、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を含有してもよい。
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、(メタ)アクリル酸アルキルエステルとして2−エチルヘキシルアクリレート94重量部、官能基含有モノマーとしてメタクリル酸ヒドロキシエチル6重量部、ラウリルメルカプタン0.01重量部と、酢酸エチル80重量部を加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤として1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン0.01重量部を添加し、還流下で重合を開始させた。次に、重合開始から1時間後及び2時間後にも、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサンを0.01重量部ずつ添加し、更に、重合開始から4時間後にt−ヘキシルパーオキシピバレートを0.05重量部添加して重合反応を継続させた。そして、重合開始から8時間後に、固形分55重量%、重量平均分子量60万の官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの酢酸エチル溶液を得た。
得られた官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、官能基含有不飽和化合物として2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させて重合性ポリマーの酢酸エチル溶液を得た。その後、得られた重合性ポリマーの酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、シリコーンアクリレート(EBECRYL 350、ダイセル・オルネクス社製)20重量部、シリカフィラー(レオロシール MT−10、トクヤマ製)20重量部、化学架橋剤(コロネートL−45、積水フーラー社製)0.5重量部、光重合開始剤(エサキュアワン、日本シイベルヘグナー社製)1重量部を混合した。
光塩基発生剤の種類や配合量を表1の通りとした以外は実施例1と同様にして半導体デバイス用粘着テープを製造した。
実施例、比較例で得られた半導体デバイス用粘着テープ(以下、単に粘着テープともいう)について、以下の評価を行った。結果を表2に示した。
直径20cmの円形に切断した半導体デバイス用粘着テープを、直径20cm、厚さ約750μmのシリコンウエハに貼り付けて積層体を得た。この状態で粘着テープの端部をめくり、全く剥離できなかった場合を「○」、比較軽く剥離できた場合を「△」、ほとんど抵抗なく剥離できた場合を「×」として粘着性を評価した。
超高圧水銀灯を用いて、上記積層体の粘着テープ側に、365nmの紫外線を粘着テープの基材表面での照射強度が40mW/cm2となるよう照度を調節して5分間照射した。紫外線照射後の積層体を目視にて観察し、接着界面の90%以上の面積で粘着テープからシリコンウエハが剥離していた場合を「◎」、70%以上の面積で粘着テープからシリコンウエハが剥離していた場合を「○」、70%未満の面積で粘着テープからシリコンウエハが剥離していた場合を「×」としてガス発生性を評価した。
ガス発生性評価後の積層体から粘着テープを25mm幅あたり0.1Nの力で剥離した際に、自然に剥がれてしまっていた場合を「◎」、全く抵抗なく剥離できた場合を「○」、抵抗はあったものの剥離できた場合を「△」、全く剥離できなかった場合を「×」として剥離性を評価した。
直径20cmの円形に切断した半導体デバイス用粘着テープを、直径20cm、厚さ約750μmのシリコンウエハに貼り付けて積層体を得た。次いで、350nm以下の波長をカットするフィルターを装備した超高圧水銀灯を用いて、積層体の半導体デバイス用粘着テープ側から、365nmの波長の紫外線を、半導体デバイス用粘着テープの基材表面での照射強度が40mW/cm2となるように調節し、2分間照射した。紫外線照射後、積層体に180℃、1時間の加熱処理を行い、室温に戻した。加熱処理後の積層体について、上記のガス発生性評価及び剥離性評価を行った。なお、比較例3では、加熱処理中にガスが発生して半導体デバイス用粘着テープが剥がれてしまったため、評価を行わなかった。
Claims (5)
- 粘着剤と、下記一般式(1)又は(2)で表される光塩基発生剤を含有し、
前記粘着剤は分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有する(メタ)アクリル系ポリマーを含有することを特徴とする半導体デバイス用粘着剤組成物。
- 光塩基発生剤は紫外線吸収波長域の長波長側上限が300nm以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体デバイス用粘着剤組成物。
- 前記光塩基発生剤の含有量が、前記粘着剤100重量部に対して、5重量部以上50重量部以下である、請求項1又は2記載の半導体デバイス用粘着剤組成物。
- 前記粘着剤は光増感剤を含有する、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体デバイス用粘着剤組成物。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の半導体デバイス用粘着剤組成物からなる粘着剤層を有することを特徴とする半導体デバイス用粘着テープ。
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