JP6874303B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記装置開口における少なくともいずれか1つの辺に沿って設けられており、前記壁部の前記内側面から突出し、前記装置開口に近い開口側と前記装置開口から遠い外部側とに前記内側面を仕切るカバー部材と、
前記カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板と、を有し、
前記カバー付属可動板は、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とする。
前記カバー付属可動板は、前記庇部に対して相対移動可能に接続されてもよい。
前記カバー付属可動板は、前記庇上面に沿って、前記庇部に対して相対移動してもよい。
前記ドアに対して相対移動可能に接続されており、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重ならない退避位置と、の間で移動されるドア付属可動板をさらに有してもよい。
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されるドア付属可動板と、を有し、
前記ドア付属可動板は、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10及びロードポート装置10を含むEFEM50の概略図である。EFEM(イーフェム、Equipment front end module)50は、ロードポート装置10の他に、ミニエンバイロメント装置51を有する。
図5は、第2実施形態に係るロードポート装置110を表す概略断面図であり、図5(a)は、カバー付属可動板130が退避位置にある状態を表す断面図であり、図5(b)は、カバー付属可動板30が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第2実施形態に係るロードポート装置110は、カバー付属可動板130が、庇上面22bではなく、庇折り返し部22aに沿って移動する点が異なるが、その他の点は第1実施形態に係るロードポート装置10と同様である。したがって、ロードポート装置110の説明では、ロードポート装置10との相違点のみ説明し、共通点については説明を省略する。
図6は、第3実施形態に係るロードポート装置210を表す概略断面図であり、図6(a)は、ドア付属可動板230が退避位置にある状態を表す断面図であり、図6(b)は、ドア付属可動板230が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第3実施形態に係るロードポート装置210は、図3に示すカバー付属可動板30の代わりに、ドア付属可動板230を有する点で異なるが、その他の点は第1実施形態に係るロードポート装置10と同様である。したがって、ロードポート装置210の説明では、ロードポート装置10との相違点のみ説明し、共通点については説明を省略する。
図8は、第4実施形態に係るロードポート装置310を表す概略断面図であり、図8(a)は、カバー付属可動板30及びドア付属可動板230が退避位置にある状態を表す断面図であり、図8(b)は、カバー付属可動板30及びドア付属可動板230が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第4実施形態に係るロードポート装置10は、第1実施形態に係るカバー付属可動板30と第3実施形態に係るドア付属可動板230の両方を有する点で、第1又は第3実施形態に係るロードポート装置10、210とは異なるが、カバー付属可動板30及びドア付属可動板230自体は、第1又は第3実施形態で説明したものと同様である。
2… フープ
4… 蓋
5、6…底孔
10、110、210、310…ロードポート装置
11…壁部
11a…内側面
11b…外側面
13…装置開口
13a…上辺
13b…側辺
14…載置台
16…ボトムガス導入部
17…フロントガス導入部
18…開閉部
18a…ドア
18b…ドア駆動部
20…カバー部材
22…庇部
22a…庇折り返し部
22b…庇上面
24…側方庇部
24a…側方庇折り返し部
30、130…カバー付属可動板
230…ドア付属可動板
50…EFEM
51…ミニエンバイロメント装置
52…ウエハ搬送室
54…ウエハ搬送機
54a…アーム
56…ファンフィルタユニット
56a…ファン
56b…フィルタ
Claims (7)
- ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記装置開口における少なくともいずれか1つの辺に沿って設けられており、前記壁部の前記内側面から突出し、前記装置開口に近い開口側と前記装置開口から遠い外部側とに前記内側面を仕切るカバー部材と、
前記カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板と、を有し、
前記カバー付属可動板は、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とするロードポート装置。 - 前記カバー部材は、前記装置開口における前記辺の一つである上辺に沿って設けられる庇部を有しており、
前記カバー付属可動板は、前記庇部に対して相対移動可能に接続されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記庇部は、前記内側面から斜め下方に延出する庇上面を有しており、
前記カバー付属可動板は、前記庇上面に沿って、前記庇部に対して相対移動することを特徴とする請求項2に記載のロードポート装置。 - 前記開閉部は、前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されており、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されるドア付属可動板をさらに有する請求項1から請求項3までのいずれかに記載のロードポート装置。 - 前記カバー付属可動板は、前記遮蔽位置であって前記装置開口に重なる面積が互いに異なる第1遮蔽位置と第2遮蔽位置とで停止することが可能であり、前記ウエハを搬送するウエハ搬送アームの動きに応じて、停止する位置が変化することを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記カバー部材に対して前記開口側に設けられており、前記装置開口及び前記主開口を介して前記容器の内部に清浄化ガスを導入するフロントガス導入部をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかに記載のロードポート装置。
- ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されるドア付属可動板と、を有し、
前記ドア付属可動板は、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とするロードポート装置。
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JP2016170011A JP6874303B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | ロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016170011A JP6874303B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | ロードポート装置 |
Publications (2)
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---|---|
JP2018037543A JP2018037543A (ja) | 2018-03-08 |
JP6874303B2 true JP6874303B2 (ja) | 2021-05-19 |
Family
ID=61566003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016170011A Active JP6874303B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | ロードポート装置 |
Country Status (1)
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- 2016-08-31 JP JP2016170011A patent/JP6874303B2/ja active Active
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