JP6869123B2 - プローブ装置及び針跡転写方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係るプローブ装置について説明する。図1は、本発明の実施形態に係るプローブ装置の概略図である。図2は、図1のプローブ装置の要部を示す概略断面図である。
前述したプローブ装置1を用いた針跡転写方法について説明する。図3は、本発明の実施形態に係る針跡転写方法の一例を説明するための図である。
前述したプローブ装置1を用いたときの効果について説明する。
10 ローダ室
20 プローバ室
21 載置台
22 昇降機構
22a 軸部
22b ガイド部
23 XYステージ
23a 第1ベース部
23b 第2ベース部
24 プローブカード
24a プローブ
24b ヘッドプレート
25 アライメント機構
25a 第1撮像手段
25b 第2撮像手段
25c アライメントブリッジ
26 固定支持部
27 支持台
27a 固定部
27b 可動部
27c 昇降機構
27d 針跡転写部材
28 可動支持部
28a アクチュエータ
28b 第3ベース部
28c 第1ロック機構
28d 第2ロック機構
28e 第4ベース部
281a 軸
282a ナット
Claims (8)
- 載置台に載置される被検査体とプローブとを電気的に接触させて前記被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置であって、
前記プローブの針跡を転写する針跡転写部材を上面に有する支持台と、
前記載置台の側方から延伸して形成され、前記支持台を下方から固定支持する固定支持部と、
前記支持台の下方に配設され、前記支持台と接触可能に上下動し、前記支持台を可動支持する可動支持部と、
を有する、プローブ装置。 - 前記可動支持部は、前記支持台の下面に接触可能な第1ロック機構と、前記第1ロック機構を上下動させるアクチュエータと、を有する、
請求項1に記載のプローブ装置。 - 前記第1ロック機構は、エアロック式のロック機構である、
請求項2に記載のプローブ装置。 - 前記載置台を第1の水平方向に移動させる第1ベース部と、
前記第1ベース部の上に設けられ、前記載置台を前記第1の水平方向と直交する第2の水平方向に移動させる第2ベース部と、
を有し、
前記アクチュエータの一端は、前記第2ベース部に固定されている、
請求項2又は3のいずれか一項に記載のプローブ装置。 - 前記第2ベース部に対して前記載置台を昇降させる昇降機構を有し、
前記針跡転写部材に前記プローブの針跡を転写する際、前記昇降機構と前記アクチュエータとが同期して前記載置台及び前記可動支持部を上昇させる、
請求項4に記載のプローブ装置。 - 載置台に載置される被検査体とプローブとを電気的に接触させて前記被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置において、前記プローブと前記被検査体の電極との位置合せのために、前記プローブの針跡を針跡転写部材に転写する針跡転写方法であって、
前記載置台の側方から延伸して形成された固定支持部に固定支持され、上面に前記針跡転写部材を有する支持台の下面に、前記支持台の下方から上下動する可動支持部を接触させる工程と、
前記載置台と前記可動支持部とを同期して上昇させることにより、前記プローブと前記針跡転写部材とを接触させる工程と、
を有する、針跡転写方法。 - 前記支持台の下面に前記可動支持部を接触させる前に、前記プローブと前記針跡転写部材の上面との間隔が所定の間隔となるように前記載置台を上昇させる工程を有する、
請求項6に記載の針跡転写方法。 - 前記支持台の下面に前記可動支持部を接触させた後に、前記載置台を固定した状態で前記可動支持部を所定距離だけ上昇させる工程を有する、
請求項6又は7に記載の針跡転写方法。
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