JP6868745B2 - ロボット用の油圧駆動関節 - Google Patents

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Description

本発明は、ロボット関節の技術分野に関し、具体的にはロボット用の油圧駆動関節に関する。
関節はロボットの基本的なコンポーネントであり、その性能はロボットの全体性能に直接影響する。サーボ駆動、制御および検知技術などの電気機械技術の発展に従って、ロボット関節は、ロボット技術の発展に適応するために、高トルク、高精度、高応答性、小型化、メカトロニクス、標準化及びモジュール化などの新しい機能と発展的な展望を呈している。現在、既存のロボット関節は一般的にサーボモータに加えて波動減速機またはRV減速機を使用し、このような構造はロボット分野で広く使用されているが、トルク密度比が比較的低く、反応が十分に敏感ではないことは否定できない。油圧駆動は、高い出力密度とバルブ制御サーボシステムの周波数帯域幅の特性を備えているため、世界中の各国がより要求の厳しいロボットアプリケーションでの油圧バルブ制御サーボシステムの使用を精力的に模索している。
上記の問題に鑑み、本発明は、ロボット用の油圧駆動関節を提供し、それは油圧挿入式ロータリー直接駆動弁とブレードスイングシリンダーと統合されたロボット用の関節に基づいて、油圧アクチュエータ、電気油圧サーボバルブ、位置センサー及び圧力センサーの検出要素をモジュール化に統合してその設計をロボット関節に応用することによって、現在のロボットの発展ニーズを満たすだけでなく、ロボットの応用を拡大することもできる。
ねじ挿入式ロータリーダイレクトドライブ電気油圧サーボバルブと、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーとを備え、ねじ挿入式ロータリーダイレクトドライブ電気油圧サーボバルブは以下油圧挿入式ロータリー直接駆動弁と呼ばれ、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーは以下ブレードスイングシリンダーと呼ばれ、前記ブレードスイングシリンダーの中心回転軸の中心の一端には、バルブ本体取付キャビティが事前に作られ、前記バルブ本体取付キャビティは前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の挿入部分の形状に従う形状を有し、前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁は、前記バルブ本体取付キャビティ内に挿入され、前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の駆動モータが前記中心回転軸に露出し、
前記ブレードスイングシリンダーは、上部カバー、シリンダーブロック、固定片、下部カバー、および側面凸状ブレードをさらに含み、前記中心回転軸は側面凸状リングを介して前記側面凸状ブレードに接続され、前記側面凸状ブレードがゼロ位置の状態で側面凸状リングに対してラジアルの他端に固定片が配置され、前記固定片の内壁と前記側面凸状リングの対応の外壁との間に隙間を持つように配置され、前記固定片は前記側面凸状リングから離れ、且つラジアルの位置が固定になり、前記シリンダーブロック、側面凸状リング、上部カバー、下部カバーによって形成される領域は、側面凸状ブレードおよび固定片によって第1の作業キャビティ、第2の作業キャビティに分割され、前記バルブ本体取付キャビティの内壁上に第1のオイルポートおよび第2のオイルポートが設けられ、前記第1のオイルポートは第1の内部配管を介して前記第1の作業キャビティに接続され、前記第2のオイルポートは第2の内部配管を介して前記第2の作業キャビティと連通し、前記中心回転軸の内部には、P通路およびT通路がさらに設けられ、前記中心回転軸の上端面にPポートおよびTポートが配置され、
前記中心回転軸の他端に角度センサーが固定的に配置され、前記下部カバーの底部にシーリングカバーが付けられ、前記シーリングカバーと前記角度センサーの中心穴は、ボルトで角度センサーのベースに接続され、圧力センサーは前記シーリングカバーと中心回転軸によって形成されたキャビティ内に固定され、前記圧力センサーは前記中心回転軸に固定され、前記圧力センサーのセンシングジョイントは前記第1のオイルポートと第2のオイルポートに接続され、
前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のPポート、Tポート、Aポート、およびBポートは、前記ブレードスイングシリンダーの対応のポートに対応して配置され、正常の作動状態で、前記ブレードスイングシリンダーのPポートの作動油は前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の内部配管を介して前記第1のオイルポートまたは第2のオイルポートの一方のオイルポートと連通し、前記第1のオイルポートまたは第2のオイルポート中の他方のオイルポートは前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の内部配管を介してブレードスイングシリンダーのTポートと連通することを特徴とするロボット用の油圧駆動関節である。
さらに、以下の特徴を有する。
前記中心回転軸の上端面のPポート、Tポートには、それぞれフレア管ジョイントが挿入され、
前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁は、駆動モータ、上端カバー、バルブコア、バルブスリーブ、下端カバーを備え、前記駆動モータは前記バルブコアに接続され、前記バルブコアの外周に前記バルブスリーブが嵌設され、前記上端カバーおよび下端カバーは前記バルブスリーブのアキレアルの両端にそれぞれ配置され、前記バルブコアに互いと連通しないP通路、T通路、A通路、B通路が内蔵され、前記バルブ本体取付キャビティ上に第1のオイルポートおよび第2のオイルポートが事前に作られ、前記側面凸状ブレードの両側に前記第1の作業キャビティ、第2の作業キャビティに対応してそれぞれ対応の第3のオイルポートおよび第4のオイルポートが設けられ、前記第3のオイルポートは前記第1の作業キャビティと連通し、前記第4のオイルポートは前記第2の作業キャビティと連通し、前記第3のオイルポートは第1の内部配管を介して前記第1のオイルポートに接続され、前記第4のオイルポートは第2の内部配管を介して前記第2のオイルポートに接続され、前記上端カバーの下面、下端カバーの上面には凹状の作動油溝が設けられ、前記凹状の作動油溝の作動辺は前記バルブコアのA通路、B通路の投影作動辺と合わせて作動し、前記バルブコアの前記P通路、A通路、B通路に対応する外周面には、それぞれ対応の第1の油穴が開設され、前記バルブスリーブの外周上に対応の第2の油穴が開設され、サーボバルブが作動状態で正常に機能するように前記第1の油穴、第2の油穴の位置の寸法を設定し、
前記バルブスリーブは前記バルブコアの外周面に嵌設され、前記バルブコアの外周面と前記バルブスリーブの内周面との間にラジアルの隙間を持ち配合され、前記バルブコアは中心軸を有し、前記中心軸の上端と下端はそれぞれ前記バルブスリーブの対応の端面から突出し、前記上端カバーが前記バルブスリーブの上端面に取り付けられ、同時に前記中心軸の上部凸部との間にラジアルの隙間を持ち配合され、中心軸の上部凸部が中心貫通穴を貫通してから前記DCブラシレスサーボモータの出力端に接続され、前記下端カバーが前記バルブスリーブの下端面に取り付けられ、同時に前記下端カバーの中心止まり穴と前記中心軸の底部の下部凸部との間にラジアルの隙間を持ち配合され、前記バルブスリーブの両端面はそれぞれ前記上端カバー、下端カバーに固定的に接続され、前記上端カバーの下面、下端カバーの上面に凹状の作動油溝が設けられ、
前記上端カバーのアキレアル外輪の周面に、バルブ本体取付キャビティの雌ねじに接続される雄ねじが設けられ、
前記上端カバーの中心貫通穴内に環状溝が設けられ、前記環状溝内にガースリングが嵌設され、前記中心軸の上部凸起端に第1の段付き軸が設けられ、前記第1の段付き軸と前記中心貫通穴との間にラジアルの隙間を持ち配合され、前記ガースリングの内壁が前記中心軸の上端の対応の領域に密着し、前記中心軸の下部凸起端に第2の段付き軸が設けられ、前記第2の段付き軸と前記下端カバーの中心止まり穴との間にラジアルの隙間を持つように配置され、
前記バルブスリーブの両端面はそれぞれアキレアルのねじを介して前記上端カバー、下端カバーに固定され、
前記バルブコアのA通路、B通路の投影作動辺の輪郭は扇形の環状構造であり、前記上端カバー、下端カバーの対応の凹状の作動油溝の作動辺は扇形の環状構造であり、ゼロ位置状態での前記バルブコアの作動辺と上端カバー、下端カバーの対応の作動辺とそれぞれ配合してゼロ開口を形成し、且つP通路、T通路、A通路、B通路を互いに離間させ、且つ扇形の環状構造によって、DCブラシレスサーボモータを駆動する時の回転角度の大きさと流量は線形比例関係を有するので、制御しやすく、
前記上端カバーの雄ねじの下部、バルブスリーブのアキレアル外輪の周面にすべて環状溝が設けられ、それぞれの前記環状溝内に対応の寸法を有するOリングが取り付けられ、それぞれのOリングは中心軸に垂直になり、且つ隣接のOリングは平行に配置され、前記バルブ本体はOリングを介して前記バルブ本***置決めキャビティに挿入され、バルブスリーブ、上端カバーと中心回転軸の内壁の密閉接続を確保し、
前記駆動モータに高精度のアブソリュート光電エンコーダーが組み込まれ、前記駆動モータの出力軸はバルブコアの第1の段付き軸とフレキシブルカップリングを介して接続され、前記駆動モータはねじを介して上端カバーの上端面に接続され、
バルブ本体全体とバルブ本体取付キャビティのラジアルの位置決めのために、前記下端カバーの底部に取付位置決め切欠が設けられ、
前記上部カバーは前記中心回転軸に嵌設され且つ前記側面凸状リングの上部に位置し、前記下部カバーは前記中心回転軸に嵌設され且つ前記側面凸状リングの下部に位置し、前記側面凸状ブレード、固定片の対応の等価外輪面全体にシリンダーブロックが嵌設され、前記上部カバー、下部カバーのアキレアルの内端の内側溝にそれぞれアンギュラ玉軸受が取り付けられ、前記上部カバー、下部カバーのアキレアル外端の内側溝に第2のガースリングが取り付けられ、対応の位置の前記アンギュラ玉軸受の内輪が前記中心回転軸の対応位置に嵌設され、対応の位置の前記第2のガースリングの内輪が前記中心回転軸の対応位置に嵌設され、前記上部カバーおよび下部カバーはそれぞれねじを介して前記シリンダーブロックの対応位置に固定され、
前記固定片はピンを介して下部カバーに固定的に接続され、前記固定片の下端面と前記下部カバーの対応端面とが密着し、前記固定片の外周面と前記シリンダーブロックの対応内面が密着し、前記固定片の内面と前記側面凸状リングの対応外面との間に隙間を持つように配置され、
前記側面凸状ブレードの厚さは前記側面凸状リングの厚さよりも大きく、前記側面凸状リングと前記側面凸状ブレードの位置が段差面を形成し、前記固定片の厚さは前記側面凸状ブレードの厚さと同じであり、前記上部カバー、下部カバーにそれぞれ対応の内端凸状リングが設けられ、前記内端凸状リングの外側壁が対応位置の固定片に密着し、且つ側面凸状ブレードの対応位置との間に隙間を持つように配置され、容易に取付けることができ、位置決め信頼性が高く、
前記側面凸状ブレードの外面と前記シリンダーブロックの対応領域の内面との間に隙間を持つように配置され、前記側面凸状ブレードの上下端面はそれぞれ前記上部カバー、下部カバーの対応表面との間に隙間を持つように配置され、
前記シリンダーブロックの上端面、下端面の前記上部カバー、下部カバーに対応する表面内側にそれぞれ端面環溝が設けられ、対応の前記端面環溝内にそれぞれ第2のOリングが装着され、
前記上部カバーの頂部内端は第1のシール突起によって前記中心回転軸の対応の上部の第1のシール溝内に係合され、前記下部カバーの底部内端は第2のシール突起によって前記中心回転軸の対応の下部の第2のシール溝内に係合される。
本発明によれば、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁とブレードスイングシリンダーとが統合されたロボット用動関節であるため、油圧システムは定圧油源を入力し、フレア管ジョイントで接続され、中心回転軸用のねじを固定し、固定片は作動油の作用でシリンダーブロックおよび上部カバー、下部カバーを回転させるように駆動され、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に電流入力がない場合、オイルがPポートで流れなくなり、この時点で圧力センサーと角度センサーは信号を出力しなく、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に正の電流信号が入力された時、バルブコアが特定の角度で下方向回転し、オイルがPポートから油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のAポート、A通路の作動配管へ流れてから、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーの第1の作業キャビティに到達し、作動油の作用で固定片はシリンダーブロックおよび上部カバー、下部カバーを回転させ、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーの第2の作業キャビティのオイルが油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のバルブコアのBポートからながらTポートを介してタンクに戻り、この時点で圧力センサーと角度センサーはすべて対応の検出信号を油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に出力し、差がゼロになるまでその入力信号と比較し、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーを所定の角度まで回転させて、第1の作業キャビティ及び第2の作業キャビティには所定の圧力を維持することによって、精度よく位置制御やトルク制御を実現する。逆に、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に負の電流信号が入力された時、オイルが第1の作業キャビティから流出し、第2の作業キャビティへ流入し、その制御方式は同じである.油圧挿入式ロータリー直接駆動弁とブレードスイングシリンダーとが統合されたロボット用の関節に基づいて、油圧アクチュエータ、電気油圧サーボバルブ、位置センサー及び圧力センサーの検出要素をモジュール化に統合する設計をロボット関節に応用することによって、現在のロボットの発展ニーズを満たすだけでなく、ロボットの応用領域を拡大することもできる。
本発明の正面図(部分断面)の構造模式図である。 本発明の側視図の断面構造模式図(角度センサー、シーリングカバー、圧力センサーを取り外し)である。 図2のA-A断面の構造模式図(油圧挿入式ロータリー直接駆動弁を取り外し)である。 本発明の油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の正面図の断面構造模式図である。 図3のバルブコアの斜視図構造模式図である。 図4のバルブコアの平面図構造模式図である。 図3のバルブスリーブの斜視図構造模式図である。 図4の上端カバーの斜視図構造模式図である。 図4の下端カバーの斜視図構造模式図である。
図1〜図9に示すように、ロボット用の油圧駆動関節は、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1、ブレードスイングシリンダー2を備え、ブレードスイングシリンダー2の中心回転軸21の中心の一端にバルブ本体取付キャビティ22が事前に油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1の挿入部分の形状によって作られ、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1はバルブ本体取付キャビティ22内に挿入され、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1の駆動モータ11は中心回転軸21に露出する。
ブレードスイングシリンダー2は、上部カバー23、シリンダーブロック24、固定片25、下部カバー26、および側面凸状ブレード27をさらに含み、中心回転軸21は側面凸状リング28を介して側面凸状ブレード27に接続され、側面凸状ブレード27はゼロ位置の状態で側面凸状リング28に対してラジアルの他端に固定片25が配置され、固定片25の内壁と前記側面凸状リング28の対応の外壁との間に隙間を持ち配合され、固定片25は側面凸状リング28から離れ、且つラジアルの位置が固定になり、シリンダーブロック24、側面凸状リング28、上部カバー23、下部カバー26によって形成される領域は、側面凸状ブレード27、固定片25によって第1の作業キャビティ29、第2の作業キャビティ30に分割され、バルブ本体取付キャビティ22の内壁上に第1のオイルポート31、第2のオイルポート32が設けられ、第1のオイルポート31は第1の内部配管33を介して第1の作業キャビティ29に接続され、第2のオイルポート32は第2の内部配管34を介して第2の作業キャビティ30と連通し、中心回転軸21の内部にP通路35、T通路36がさらに設けられ、中心回転軸21の上端面にPポート、Tポートが配置される。
中心回転軸21の他端に角度センサー3が固定され、下部カバー26の底部にシーリングカバー4が取り付けられ、シーリングカバー4と前記角度センサーの中心穴はボルトで角度センサー3のベースに接続され、圧力センサー5はシーリングカバー4と中心回転軸21によって形成されたキャビティ内に固定され、圧力センサー5は中心回転軸21に固定され、圧力センサー5のセンシングジョイントは第1のオイルポート31、第2のオイルポート32に接続される。
油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1のPポート、Tポート、Aポート、およびBポートは、ブレードスイングシリンダー2の対応のポートに対応して配置され、正常の作動状態で、ブレードスイングシリンダー2のPポートの作動油は油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1の内部配管を介して第1のオイルポート31または第2のオイルポート32中の一方のオイルポートと連通し、第1のオイルポート31または第2のオイルポート32中の他方のオイルポートは油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1の内部配管を介してブレードスイングシリンダー2のTポートと連通する。
中心回転軸21上端面のPポート、Tポートには、それぞれフレア管ジョイント6が挿入される。
油圧挿入式ロータリー直接駆動弁1は駆動モータ11、上端カバー12、バルブコア13、バルブスリーブ14、および下端カバー15を含み、駆動モータ11はバルブコア13に接続され、バルブコア13の外周にバルブスリーブ14が嵌設され、上端カバー12、下端カバー15はバルブスリーブ14のアキレアルの両端にそれぞれ配置され、バルブコア13に互いと連通しないP通路、T通路、A通路、B通路が内蔵され、バルブ本体取付キャビティ22上に第1のオイルポート31、第2のオイルポート32が事前に作られ、側面凸状ブレード27の両側には第1の作業キャビティ29、第2の作業キャビティ30に対応してそれぞれ対応の第3のオイルポート37、第4のオイルポート38が設けられ、第3のオイルポート37は第1の作業キャビティ29と連通し、第4のオイルポート38は第2の作業キャビティ30と連通し、第3のオイルポート37は第1の内部配管33を介して第1のオイルポートに接続され、第4のオイルポート38は第2の内部配管34を介して第2のオイルポート32が接続され、上端カバー12の下面、下端カバー15の上面に凹状の作動油溝16が設けられ、凹状の作動油溝16の作動辺はバルブコア13のA通路、B通路の投影作動辺と協力して作動し、バルブコア13のP通路、、A通路、B通路に対応する外周面上にそれぞれ対応の第1の油穴18が開設され、バルブスリーブ14の外周上に対応の第2の油穴19が設けられ、サーボバルブが作動状態で正常に機能するように第1の油穴18、第2の油穴19の位置の寸法を設定する。
具体的に実施する場合の作動状態で、バルブコアが回転すると、バルブスリーブ上の対応位置の第2の油穴Pポートがバルブコアの第1の油穴Pポートと連通し、P通路は端カバーの作動辺を介してA通路またはB通路中のいずれかの通路と連通し、そして対応の第1の油穴、第2の油穴を介して第1のオイルポートに接続され、A通路またはB通路中の他方の通路は対応の第1の油穴、第2の油穴を介して第2のオイルポートに接続され、第2のオイルポートはバルブ本体の内部通路を介してバルブ本体のTポートに接続され、バルブ本体のTポートは対応してブレードスイングシリンダーのT通路に接続され、Tポートから作動油を排出させる。
バルブスリーブ14はバルブコア13の外周面に嵌設され、バルブコア13の外周面とバルブスリーブの内周面との間にラジアルの隙間を持ち配合され、バルブコア13は中心軸131を有し、中心軸131の上端と下端はそれぞれバルブスリーブ14の対応の端面から突起し、上端カバー12がバルブスリーブ14の上端面に取り付けられ、同時に中心軸131の上部凸部との間にラジアルの隙間を持ち配合され、中心軸131の上部凸部が中心貫通穴を貫通してから駆動モータ11の出力端に接続され、下端カバー15がバルブスリーブ14の下端面に取り付けられ、下端カバー15の中心止まり穴と中心軸131の底部の下部凸部との間にラジアルの隙間を持ち配合され、バルブスリーブ14の両端面はそれぞれ上端カバー12、下端カバー15に固定的に接続され、上端カバー12の下面、下端カバー15の上面に凹状の作動油溝16が設けられる。
上端カバー12アキレアル外輪周面に、バルブ本体取付キャビティ22の雌ねじに接続される雄ねじ17が設けられる。
上端カバー12の中心貫通穴内に環状溝が設けられ、環状溝内にガースリング20が嵌装され、中心軸131の上部凸起端に第1の段付き軸が設けられ、第1の段付き軸と中心貫通穴との間にラジアルの隙間を持ち配合され、ガースリング20の内壁が中心軸の上端の対応の領域に密着し、中心軸131の下部凸起端に第2の段付き軸が設けられ、第2の段付き軸と中心止まり穴との間にラジアルの隙間を持ち配合される
バルブスリーブ14の両端面はそれぞれアキレアルのねじを介して上端カバー12、下端カバー15に固定的に接続される。
バルブコア13のA通路、B通路の投影作動辺輪郭は扇形の環状構造であり、上端カバー12、下端カバー15の対応の凹状の作動油溝16の作動辺は扇形の環状構造であり、ゼロ位置状態でのバルブコア13の作動辺と上端カバー12、下端カバー15の対応の作動辺とそれぞれ配合してゼロ開口を形成し、且つP通路、T通路、A通路、B通路を互いに離間させ、且つ扇形の環状構造によって、DCブラシレスサーボモータを駆動する時の回転角度の大きさと流量が線形比例関係を有し、制御しやすい。
上端カバー12の雄ねじ下部、バルブスリーブ14のアキレアルの外輪周面にすべて環状溝が設けられ、それぞれの環状溝内に対応の寸法のOリング7が取付けられ、それぞれのOリング7はそれぞれ中心軸に垂直し、且つ隣接のOリング7は平行に配置され、バルブ本体はOリング7を介してバルブ本***置決めキャビティ22に挿入され、バルブスリーブ14、上端カバー12と中心回転軸21の内壁の密閉接続を確保する。
駆動モータ11に高精度のアブソリュート光電エンコーダーが組み込まれ、駆動モータ11の出力軸はバルブコアの第1の段付き軸とフレキシブルカップリングを介して接続され、駆動モータ11はねじを介して上端カバー12の上端面に接続される。
バルブ本体全体とバルブ本体取付キャビティのラジアルの位置決めのために、下端カバー15の底部に、取付位置決め切欠8がさらに設けられる。
上部カバー23は中心回転軸21に嵌設され側面凸状リング28の上部に位置し、下部カバー26は中心回転軸21に嵌設され側面凸状リング28の下部に位置し、側面凸状ブレード27、固定片25の対応の等価外輪面全体にシリンダーブロック24が嵌設され、上部カバー23、下部カバー26のアキレアルの内端の内側溝内にそれぞれアンギュラ玉軸受39が取付けられ、上部カバー23、下部カバー26の軸方向外端の内側溝に第2のガースリング40が取付けられ、対応の位置のアンギュラ玉軸受39の内輪は中心回転軸21の対応位置に嵌設され、対応の位置の第2のガースリング40の内輪が中心回転軸21の対応位置に嵌設され、上部カバー23、下部カバー26はそれぞれねじを介してシリンダーブロック24の対応位置に固定される。
固定片25はピンを介して下部カバー26に固定的に接続され、固定片25の下端面と下部カバー26の対応端面とが密着し、固定片25の外周面とシリンダーブロック24の対応内面が密着し、固定片25の内面と側面凸状リング28の対応外面との間に隙間を持ち配合される。
側面凸状ブレード27の厚さは側面凸状リング28の厚さよりも大きく、側面凸状リング28と側面凸状ブレード27の位置が段差面を形成し、固定片25の厚さは側面凸状ブレード27の厚さと同じであり、上部カバー23、下部カバー26にそれぞれ対応の内端凸状リング41が設けられ、内端凸状リング41の外側壁が対応位置の固定片25に密着し、且つ側面凸状ブレード27の対応位置との間に隙間を持ち配合され、容易に取付け、位置決め信頼性が高い。
側面凸状ブレード27の外面とシリンダーブロック24の対応領域の内面との間に隙間を持ち配合され、側面凸状ブレード27の上端と下端面はそれぞれ上部カバー23、下部カバー26の対応表面との間に隙間を持ち配合される。
シリンダーブロック24の上端面、下端面の上部カバー、下部カバーに対応する表面内側にそれぞれ端面環溝が設けられ、対応の端面環溝内にそれぞれ第2のOリング42が装着される。
上部カバー23の頂部内端は第1のシール突起43によって中心回転軸21の対応の上部の第1のシール溝44内に係合され、下部カバー26の底部内端は第2のシール突起45によって中心回転軸21の対応の下部の第2のシール溝46内に係合される。
その作動原理は以下のとおりである。油圧挿入式ロータリー直接駆動弁とブレードスイングシリンダーとが統合されたロボット用動関節であるため、油圧システムは定圧油源を入力し、フレア管ジョイントで接続され、中心回転軸用のねじを固定し、固定片は作動油の作用でシリンダーブロックおよび上部カバー、下部カバーを回転させるように駆動され、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に電流入力がない場合、オイルがPポートで流れなくなり、この時点で圧力センサーと角度センサーは信号を出力しなく、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に正の電流信号が入力された時、バルブコアが特定の角度で下方向回転し、オイルがPポートから油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のAポート、A通路の作動配管へ流れてから、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーの第1の作業キャビティに到達し、作動油の作用で固定片はシリンダーブロックおよび上部カバー、下部カバーを回転させ、ロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーの第2の作業キャビティのオイルが油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のバルブコアのBポートからながらTポートを介してタンクに戻り、この時点で圧力センサーと角度センサーはすべて対応の検出信号を油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に出力し、差がゼロになるまでその入力信号と比較し、第1の作業キャビティ及び第2の作業キャビティには所定の圧力に達するまでロボットモーション関節専用のブレードスイング式油圧シリンダーを所定の角度で回転させ、精度よく位置やトルクを制御し、逆に、油圧挿入式ロータリー直接駆動弁に負の電流信号が入力された時、オイルが第1の作業キャビティから流出し、第2の作業キャビティへ流入し、その制御方式は同じである。挿入式ロータリー直接駆動弁とブレードスイングシリンダーとが統合されたロボット用の関節に基づいて、油圧アクチュエータ、電気油圧サーボバルブ、位置センサー及び圧力センサーの検出要素をモジュール化に統合する設計をロボット関節に応用することによって、現在のロボットの発展ニーズを満たすだけでなく、ロボットの応用領域を拡大することもできる。
以上、本発明の具体的な実施例を詳細に説明したが、その内容は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。本発明の特許請求の範囲に従ってなされたすべての変更および改善は、本発明の保護範囲に含まれる。
1 油圧挿入式ロータリー直接駆動弁
2 ブレードスイングシリンダー
3 角度センサー
4 シーリングカバー
5 圧力センサー
6 フレア管ジョイント
7 Oリング
8 取付位置決め切欠
11 駆動モータ
12 上端カバー
13 バルブコア
131 中心軸
14 バルブスリーブ
15 バルブスリーブ
16 凹状の作動油溝
17 雄ねじ
18 第1の油穴
19 第2の油穴
20 ガースリング
21 中心回転軸
22 バルブ本体取付キャビティ
23 上部カバー
24 シリンダーブロック
25 固定片
26 下部カバー
27 側面凸状ブレード
28 側面凸状リング
29 第1の作業キャビティ
30 第2の作業キャビティ
31 第1のオイルポート
32 第2のオイルポート
33 第1の内部配管
34 第2の内部配管
35 P通路
36 T通路
37 第3のオイルポート
38 第4のオイルポート
39 アンギュラ玉軸受
40 第2のガースリング
41 内端凸状リング
42 第2のOリング
43 第1のシール突起
44 第1のシール溝
45 第2のシール突起
46 第2のシール溝

Claims (10)

  1. 油圧挿入式ロータリー直接駆動弁と、ブレードスイングシリンダーとを備え、前記ブレードスイングシリンダーの中心回転軸の中心の一端には、バルブ本体取付キャビティが事前に作られ、前記バルブ本体取付キャビティは、前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の挿入部分の形状に従う形状を有し、前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁が前記バルブ本体取付キャビティ内に挿入され、前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の駆動モータが前記中心回転軸に露出し、
    前記ブレードスイングシリンダーは、上部カバー、シリンダーブロック、固定片、下部カバー、および側面凸状ブレードをさらに含み、前記中心回転軸は側面凸状リングを介して前記側面凸状ブレードに接続され、前記側面凸状ブレードがゼロ位置の状態で側面凸状リングに対してラジアルの他端に固定片が配置され、前記固定片の内壁と前記側面凸状リングの対応の外壁との間に隙間を持ち配合され、前記固定片は前記側面凸状リングから離れ、且つラジアルの位置が固定になり、前記シリンダーブロック、側面凸状リング、上部カバー、下部カバーによって形成される領域は、側面凸状ブレードおよび固定片によって第1の作業キャビティ、第2の作業キャビティに分割され、前記バルブ本体取付キャビティの内壁上に第1のオイルポートおよび第2のオイルポートが設けられ、前記第1のオイルポートは第1の内部配管を介して前記第1の作業キャビティに接続され、前記第2のオイルポートは第2の内部配管を介して前記第2の作業キャビティと連通し、前記中心回転軸の内部には、P通路およびT通路がさらに設けられ、前記中心回転軸の上端面にPポートおよびTポートが配置され、
    前記中心回転軸の他端に角度センサーが固定的に配置され、前記下部カバーの底部にシーリングカバーが付けられ、前記シーリングカバーは、ボルトで角度センサーのベースに接続され、圧力センサーは前記シーリングカバーと中心回転軸によって形成されたキャビティ内に固定され、前記圧力センサーは前記中心回転軸に固定され、前記圧力センサーのセンシングジョイントは前記第1のオイルポートと第2のオイルポートに接続され、
    前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁のPポート、Tポート、Aポート、およびBポートは、前記ブレードスイングシリンダーの対応のポートに対応して配置され、正常の作動状態で、前記ブレードスイングシリンダーのPポートの作動油は前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の内部配管を介して前記第1のオイルポートまたは第2のオイルポートの一方のオイルポートと連通し、前記第1のオイルポートまたは第2のオイルポート中の他方のオイルポートは前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁の内部配管を介してブレードスイングシリンダーのTポートと連通することを特徴とするロボット用の油圧駆動関節。
  2. 前記中心回転軸の上端面のPポート、Tポートには、それぞれフレア管ジョイントが挿入されることを特徴とする請求項1に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  3. 前記油圧挿入式ロータリー直接駆動弁は、駆動モータ、上端カバー、バルブコア、バルブスリーブ、下端カバーを備え、前記駆動モータは前記バルブコアに接続され、前記バルブコアの外周に前記バルブスリーブが嵌設され、前記上端カバーおよび下端カバーは前記バルブスリーブのアキシャルの両端にそれぞれ配置され、前記バルブコアに互いと連通しないP通路、T通路、A通路、B通路が内蔵され、前記バルブ本体取付キャビティ上に第1のオイルポートおよび第2のオイルポートが事前に作られ、前記側面凸状ブレードの両側に前記第1の作業キャビティ、第2の作業キャビティに対応してそれぞれ対応の第3のオイルポートおよび第4のオイルポートが設けられ、前記第3のオイルポートは前記第1の作業キャビティと連通し、前記第4のオイルポートは前記第2の作業キャビティと連通し、前記第3のオイルポートは第1の内部配管を介して前記第1のオイルポートに接続され、前記第4のオイルポートは第2の内部配管を介して前記第2のオイルポートに接続され、前記上端カバーの下面、下端カバーの上面には凹状の作動油溝が設けられ、前記凹状の作動油溝の作動縁は前記バルブコアのA通路、B通路の投影作動縁と合わせて作動し、前記バルブコアの前記P通路、A通路、B通路に対応する外周面には、それぞれ対応の第1の油穴が開設され、前記バルブスリーブの外周上に対応の第2の油穴が開設され、サーボバルブが作動状態で正常に機能するように前記第1の油穴、第2の油穴の位置の寸法を設定することを特徴とする請求項1に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  4. 前記バルブスリーブは前記バルブコアの外周面に嵌設され、前記バルブコアの外周面と前記バルブスリーブの内周面との間にラジアルの隙間を持ち配合され、前記バルブコアは中心軸を有し、前記中心軸の上端と下端はそれぞれ前記バルブスリーブの対応の端面から突出し、前記上端カバーが前記バルブスリーブの上端面に取り付けられ、同時に前記中心軸の上部凸部との間にラジアルの隙間を持ち配合され、中心軸の上部凸部が中心貫通穴を貫通してから前記駆動モータの出力端に接続され、前記下端カバーが前記バルブスリーブの下端面に取り付けられ、同時に前記下端カバーの中心止まり穴と前記中心軸の底部の下部凸部との間にラジアルの隙間を持つように配置され、前記バルブスリーブの両端面はそれぞれ前記上端カバー、下端カバーに固定的に接続され、前記上端カバーの下面、下端カバーの上面に凹状の作動油溝が設けられることを特徴とする請求項3に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  5. 前記上端カバーの軸方向外輪の周面に、バルブ本体取付キャビティの雌ねじに接続される雄ねじが設けられることを特徴とする請求項3に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  6. 前記上端カバーの中心貫通穴内に環状溝が設けられ、前記環状溝内にガースリングが嵌設され、前記中心軸の上部凸起端に第1の段付き軸が設けられ、前記第1の段付き軸と前記中心貫通穴との間にラジアルの隙間を持つように配置され、前記ガースリングの内壁が前記中心軸の上端の対応の領域に密着し、前記中心軸の下部凸起端に第2の段付き軸が設けられ、前記第2の段付き軸と前記下端カバーの中心止まり穴との間にラジアルの隙間を持ち配合されることを特徴とする請求項4に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  7. 前記バルブコアのA通路、B通路の投影作動縁の輪郭は扇形の環状構造であり、前記上端カバー、下端カバーの対応の凹状の作動油溝の作動縁は扇形の環状構造であり、ゼロ位置状態での前記バルブコアの作動縁と上端カバー、下端カバーの対応の作動縁とが対応した位置で隙間なく配置され、且つP通路、T通路、A通路、B通路を互いに離間させることを特徴とする請求項3に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  8. 前記上部カバーは前記中心回転軸に嵌設され前記側面凸状リングの上部に位置し、前記下部カバーは前記中心回転軸に嵌設され前記側面凸状リングの下部に位置し、前記側面凸状ブレード、固定片の対応の等価外輪面全体にシリンダーブロックが嵌設され、前記上部カバー、下部カバーの軸方向の内端の内側溝にそれぞれアンギュラ玉軸受が取り付けられ、前記上部カバー、下部カバーのアキシャル外端の内側溝に第2のガースリングが取り付けられ、対応の位置の前記アンギュラ玉軸受の内輪が前記中心回転軸の対応位置に嵌設され、対応の位置の前記第2のガースリングの内輪が前記中心回転軸の対応位置に嵌設され、前記上部カバーおよび下部カバーはそれぞれねじを介して前記シリンダーブロックの対応位置に固定されることを特徴とする請求項1に記載のロボット用の油圧駆動関節。
  9. 前記固定片はピンを介して下部カバーに固定的に接続され、前記固定片の下端面と前記下部カバーの対応端面とが密着し、前記固定片の外周面と前記シリンダーブロックの対応内面が密着し、前記固定片の内面と前記側面凸状リングの対応外面との間に隙間を持つように配置されることを特徴とする請求項8前記のロボット用の油圧駆動関節。
  10. 前記側面凸状ブレードの厚さは前記側面凸状リングの厚さよりも大きく、前記側面凸状リングと前記側面凸状ブレードの位置が段差面を形成し、前記固定片の厚さは前記側面凸状ブレードの厚さと同じであり、前記上部カバー、下部カバーにそれぞれ対応の内端凸状リングが設けられ、前記内端凸状リングの外側壁が対応位置の固定片に密着し、且つ側面凸状ブレードの対応位置との間に隙間を持つように配置されることを特徴とする請求項8に記載のロボット用の油圧駆動関節。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108775302B (zh) * 2018-08-09 2024-07-12 江苏钧微动力科技有限公司 机器人运动关节专用叶片摆动式液压缸
CN108608459B (zh) 2018-08-09 2020-07-28 江苏钧微动力科技有限公司 机器人用液压驱动关节
CN109366520A (zh) * 2018-12-24 2019-02-22 江苏正贸仓储设备制造有限公司 一种工业机器人液压驱动关节
CN110253601B (zh) * 2019-06-12 2022-05-24 广东技术师范大学天河学院 一种全液力仿人形机械手
CN110242636B (zh) * 2019-06-19 2021-02-02 东莞市贺尔碧格自动化科技有限公司 一种自动化机器人应用的翻转装置
DE102019211443B4 (de) * 2019-07-31 2021-03-04 Festo Se & Co. Kg Drehantriebsvorrichtung und damit ausgestatteter Roboterarm eines Roboters
CN110561485B (zh) * 2019-09-03 2021-12-31 江苏壹利特机器人科技有限公司 一种用于工业机器人手臂内部转轴的连接固定装置
CN110962156B (zh) * 2019-12-25 2022-10-18 哈尔滨工业大学 一种走油摆动缸一体化关节
CN111843989A (zh) * 2020-06-19 2020-10-30 太原理工大学 一种液压作动器驱动的机器人手腕单元
CN113263520B (zh) * 2021-06-24 2023-03-14 武汉科技大学 一种可连续旋转的被动随动液压机器人回转关节
CN113263521A (zh) * 2021-06-28 2021-08-17 武汉科技大学 一种多级刚度可调的被动柔顺摆动关节
CN113511282B (zh) * 2021-06-30 2023-07-21 上海微电机研究所(中国电子科技集团公司第二十一研究所) 足式机器人用髋关节和足式机器人
CN113370202A (zh) * 2021-07-08 2021-09-10 武汉科技大学 一种双叶片液压伺服柔顺驱动器
CN114233718B (zh) * 2021-12-29 2023-06-30 北京第二机床厂有限公司 测量定位的旋转驱动装置
CN115106739B (zh) * 2022-07-12 2024-01-23 核工业西南物理研究院 一种耐高剂量γ辐照的电液协同操作臂
CN115898990B (zh) * 2023-01-05 2023-05-23 中国人民解放军国防科技大学 一种仿生关节驱动液压***

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58178001A (ja) * 1982-04-12 1983-10-18 ム−グ・インコ−ポレ−テツド 回転アクチユエ−タ及びアクチユエ−タ組立体
DE3608782A1 (de) * 1986-03-15 1987-09-24 Thyssen Industrie Drehgelenk mit durchstroemkanaelen
JPH0617683B2 (ja) * 1986-10-07 1994-03-09 株式会社トルカー 直動シリンダーを内蔵した中間停止機構付ロータリーアクチュエータ
CN2620121Y (zh) * 2003-03-21 2004-06-09 朱兴龙 液压伺服关节
CN2931013Y (zh) * 2006-05-18 2007-08-08 扬州大学 三自由度解耦型仿肩关节
US9351855B2 (en) * 2008-06-16 2016-05-31 Ekso Bionics, Inc. Powered lower extremity orthotic and method of operation
US20110196509A1 (en) * 2009-02-27 2011-08-11 Ut-Battelle, Llc Hydraulic apparatus with direct torque control
WO2015007943A1 (en) * 2013-07-19 2015-01-22 Timaco Oy Pressure medium operated actuator
CN104179746B (zh) * 2014-08-15 2016-04-13 武汉科技大学 一种可连续旋转的自伺服液压机器人关节
JP6392802B2 (ja) 2016-03-03 2018-09-19 Necプラットフォームズ株式会社 無線通信装置、位置情報通知システムおよび位置情報送信方法、並びにコンピュータ・プログラム
CN106737827B (zh) * 2017-01-17 2020-02-14 武汉科技大学 一种转角自伺服被动柔顺液压机器人关节
CN107116572B (zh) * 2017-04-24 2019-07-23 武汉科技大学 一种被动随动液压机器人回转关节
CN208841446U (zh) * 2018-08-09 2019-05-10 江苏钧微动力科技有限公司 机器人用液压驱动关节
CN108608459B (zh) * 2018-08-09 2020-07-28 江苏钧微动力科技有限公司 机器人用液压驱动关节

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