JP6864717B2 - レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル - Google Patents
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- 210000004180 plasmocyte Anatomy 0.000 title claims description 149
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 title description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 51
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 36
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 8
- BKZJXSDQOIUIIG-UHFFFAOYSA-N argon mercury Chemical compound [Ar].[Hg] BKZJXSDQOIUIIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 84
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 25
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 11
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000004064 dysfunction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
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- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
- H01J61/523—Heating or cooling particular parts of the lamp
- H01J61/526—Heating or cooling particular parts of the lamp heating or cooling of electrodes
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- H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J61/28—Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the lamp
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Description
(1)選択された放射波長に対して実質上透明なガラス材料で形成された、プラズマ電球と、
前記電球内に設けられ、前記電球内でプラズマ発生を開始するように構成された、1つまたは複数の電極と、
前記1つまたは複数の電極と熱交換を行い、さらに、熱交換器と熱交換を行うヒート・パイプであって、前記熱交換器が、前記プラズマ電球内から、前記プラズマ電球の外部の媒体に熱エネルギーを伝達するように構成された、ヒート・パイプとを備える、レーザー維持プラズマ光源での使用に適したヒート・パイプを備えたプラズマ・セル。
(2)前記ヒート・パイプが、前記プラズマ電球の1つまたは複数の電極から、前記プラズマ電球の外部の媒体に熱エネルギーを伝達するように構成された、(1)に記載のプラズマ・セル。
(3)前記ヒート・パイプが、前記プラズマ電球内のプラズマ領域から、前記プラズマ電球の外部の媒体に、ガスによって生成されたプルームからの熱を伝達するように構成された、(1)に記載のプラズマ・セル。
(4)前記ヒート・パイプが、前記ヒート・パイプの外面内に溶融物質の塊を含む、(1)に記載のプラズマ・セル。
(5)前記ヒート・パイプが、前記ヒート・パイプの前記外面内にガス物質の塊を含む、(2)に記載のプラズマ・セル。
(6)前記ヒート・パイプが、相転移ベースのヒート・パイプを備える、(2)に記載のプラズマ・セル。
(7)前記電球が、実質上円筒形、実質上球状、および実質上カージオイド形状の少なくとも1つを有する、(1)に記載のプラズマ・セル。
(8)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球内の対流プルームの捕獲および方向変更を行うように構成された凹状の電極を備える、(1)に記載のプラズマ・セル。
(9)前記1つまたは複数の電極が、前記電球の上部を保護するように構成された実質上平坦な電極を備える、(1)に記載のプラズマ・セル。
(10)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の縦方向に沿って動作するフィラメント状の電極を備える、(1)に記載のプラズマ・セル。
(11)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の中心に関して、中心から外れて配置された電極を備える、(1)に記載のプラズマ・セル。
(12)前記ガスが、Ar、Kr、N2、H2O、O2、H2、CH4、1つまたは複数の金属ハロゲン化物、Ar/Xe混合物、ArHg、KrHg、およびXeHgの少なくとも1つを含む、(1)に記載のプラズマ・セル。
(13)前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、OH低含有人工溶融水晶ガラス材料およびOH高含有人工溶融シリカ・ガラス材料の少なくとも1つを含む、(1)に記載のプラズマ・セル。
(14)前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、SUPRASIL 1、SUPRASIL 2、SUPRASIL 300、SUPRASIL 310、HERALUX PLUS、およびHERALUX−VUVの少なくとも1つを含む、(1)に記載のプラズマ・セル。
(15)選択された放射波長に対して実質上透明なガラス材料で形成され、プラズマ発生に適したガスを含むように構成された、プラズマ電球と、
前記電球内に設けられ、前記電球内でプラズマ発生を開始するように構成された、1つまたは複数の電極と、
前記1つまたは複数の電極に設けられた1つまたは複数の放射線遮蔽であって、前記1つまたは複数の放射線遮蔽が、前記電球の前記ガラス材料を、プラズマ電球内のプラズマ領域によって放出された放射線から、保護するように構成された、放射線遮蔽とを備える、レーザー維持プラズマ光源での使用に適した1つまたは複数の放射線遮蔽を備えたプラズマ・セル。
(16)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の上部に設けられた上電極と、
前記プラズマ電球の下部に設けられた下電極とを備える、(15)に記載のプラズマ・セル。
(17)前記1つまたは複数の放射線遮蔽が、前記上電極に連結された上放射線遮蔽および前記下電極に連結された下放射線遮蔽の少なくとも1つを備える、(16)に記載のプラズマ・セル。
(18)前記1つまたは複数の放射線遮蔽が、前記プラズマ電球内の前記プラズマ領域からの対流電流の向きを変更するよう、さらに構成された、(15)に記載のプラズマ・セル。
(19)前記電球が、実質上円筒形、実質上球状、および実質上カージオイド形状の少なくとも1つを有する、(15)に記載のプラズマ・セル。
(20)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球内の対流プルームの捕獲および方向変更を行うように構成された凹状の電極を備える、(15)に記載のプラズマ・セル。
(21)前記1つまたは複数の電極が、前記電球の上部を保護するように構成された実質上平坦な電極を備える、(15)に記載のプラズマ・セル。
(22)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の縦方向に沿って動作するフィラメント状の電極を備える、(15)に記載のプラズマ・セル。
(23)前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の中心に関して、中心から外れて配置された電極を備える、(15)に記載のプラズマ・セル。
(24)前記ガスが、Ar、Kr、N2、H2O、O2、H2、CH4、1つまたは複数の金属ハロゲン化物、Ar/Xe混合物、ArHg、KrHg、およびXeHgの少なくとも1つを含む、(15)に記載のプラズマ・セル。
(25)前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、OH低含有人工溶融水晶ガラス材料およびOH高含有人工溶融シリカ・ガラス材料の少なくとも1つを含む、(15)に記載のプラズマ・セル。
(26)前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、SUPRASIL 1、SUPRASIL 2、SUPRASIL 300、SUPRASIL 310、HERALUX PLUS、およびHERALUX−VUVの少なくとも1つを含む、(15)に記載のプラズマ・セル。
Claims (11)
- 選択された放射波長に対して実質上透明なガラス材料で形成され、プラズマ発生に適したガスを含むように構成された、プラズマ電球と、
前記電球内に設けられ、前記電球内でプラズマ発生を開始するように構成された、1つまたは複数の電極と、
前記1つまたは複数の電極に設けられた1つまたは複数の放射線遮蔽であって、前記1つまたは複数の放射線遮蔽は、開口部を有し、前記1つ又は複数の電極は、前記開口部を通過して電気路を可能とし、かつ、前記電球の前記ガラス材料を、プラズマ電球内のプラズマ領域によって放出された放射線から保護するように構成された、放射線遮蔽とを備える、レーザー維持プラズマ光源での使用に適した1つまたは複数の放射線遮蔽を備えたプラズマ・セル。 - 前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の上部に設けられた上電極と、
前記プラズマ電球の下部に設けられた下電極とを備える、請求項1に記載のプラズマ・セル。 - 前記1つまたは複数の放射線遮蔽が、前記上電極に連結された上放射線遮蔽および前記下電極に連結された下放射線遮蔽の少なくとも1つを備える、請求項2に記載のプラズマ・セル。
- 前記1つまたは複数の放射線遮蔽が、前記プラズマ電球内の前記プラズマ領域からの対流電流の向きを変更するよう、さらに構成された、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記電球が、実質上円筒形、実質上球状、および実質上カージオイド形状の少なくとも1つを有する、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球内の対流プルームの捕獲および方向変更を行うように構成された凹状の電極を備える、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の縦方向に沿って動作するフィラメント状の電極を備える、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記1つまたは複数の電極が、前記プラズマ電球の中心に関して、中心から外れて配置された電極を備える、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記ガスが、Ar、Kr、N2、H2O、O2、H2、CH4、1つまたは複数の金属ハロゲン化物、Ar/Xe混合物、ArHg、KrHg、およびXeHgの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、OH低含有人工溶融水晶ガラス材料およびOH高含有人工溶融シリカ・ガラス材料の少なくとも1つを含む、請求項1に記載のプラズマ・セル。
- 前記プラズマ電球の前記ガラス材料が、SUPRASIL(登録商標)1、SUPRASIL(登録商標)2、SUPRASIL(登録商標)300、SUPRASIL(登録商標)310、HERALUX(登録商標)PLUS、およびHERALUX(登録商標)−VUVの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のプラズマ・セル。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161545692P | 2011-10-11 | 2011-10-11 | |
US61/545,692 | 2011-10-11 | ||
US13/647,680 US9318311B2 (en) | 2011-10-11 | 2012-10-09 | Plasma cell for laser-sustained plasma light source |
US13/647,680 | 2012-10-09 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017194792A Division JP6553146B2 (ja) | 2011-10-11 | 2017-10-05 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019165023A JP2019165023A (ja) | 2019-09-26 |
JP6864717B2 true JP6864717B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=48171680
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014535805A Active JP6224599B2 (ja) | 2011-10-11 | 2012-10-10 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
JP2017194792A Active JP6553146B2 (ja) | 2011-10-11 | 2017-10-05 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
JP2019124765A Active JP6864717B2 (ja) | 2011-10-11 | 2019-07-03 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014535805A Active JP6224599B2 (ja) | 2011-10-11 | 2012-10-10 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
JP2017194792A Active JP6553146B2 (ja) | 2011-10-11 | 2017-10-05 | レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9318311B2 (ja) |
EP (1) | EP2766919A4 (ja) |
JP (3) | JP6224599B2 (ja) |
WO (1) | WO2013066576A2 (ja) |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9318311B2 (en) * | 2011-10-11 | 2016-04-19 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell for laser-sustained plasma light source |
GB2501933A (en) * | 2012-05-09 | 2013-11-13 | Linde Ag | device for providing a flow of non-thermal plasma |
US8796652B2 (en) * | 2012-08-08 | 2014-08-05 | Kla-Tencor Corporation | Laser sustained plasma bulb including water |
US9232622B2 (en) * | 2013-02-22 | 2016-01-05 | Kla-Tencor Corporation | Gas refraction compensation for laser-sustained plasma bulbs |
US8853655B2 (en) * | 2013-02-22 | 2014-10-07 | Kla-Tencor Corporation | Gas refraction compensation for laser-sustained plasma bulbs |
US9390902B2 (en) * | 2013-03-29 | 2016-07-12 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for controlling convective flow in a light-sustained plasma |
US9185788B2 (en) * | 2013-05-29 | 2015-11-10 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for controlling convection within a plasma cell |
US9709811B2 (en) | 2013-08-14 | 2017-07-18 | Kla-Tencor Corporation | System and method for separation of pump light and collected light in a laser pumped light source |
KR101872752B1 (ko) | 2013-12-13 | 2018-06-29 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 방사선 소스, 계측 장치, 리소그래피 시스템 및 디바이스 제조 방법 |
US9433070B2 (en) | 2013-12-13 | 2016-08-30 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell with floating flange |
US9530636B2 (en) | 2014-03-20 | 2016-12-27 | Kla-Tencor Corporation | Light source with nanostructured antireflection layer |
US9263238B2 (en) * | 2014-03-27 | 2016-02-16 | Kla-Tencor Corporation | Open plasma lamp for forming a light-sustained plasma |
US9723703B2 (en) * | 2014-04-01 | 2017-08-01 | Kla-Tencor Corporation | System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma |
US10032620B2 (en) | 2014-04-30 | 2018-07-24 | Kla-Tencor Corporation | Broadband light source including transparent portion with high hydroxide content |
US9615439B2 (en) | 2015-01-09 | 2017-04-04 | Kla-Tencor Corporation | System and method for inhibiting radiative emission of a laser-sustained plasma source |
US10217625B2 (en) | 2015-03-11 | 2019-02-26 | Kla-Tencor Corporation | Continuous-wave laser-sustained plasma illumination source |
US10008378B2 (en) * | 2015-05-14 | 2018-06-26 | Excelitas Technologies Corp. | Laser driven sealed beam lamp with improved stability |
US10616987B2 (en) * | 2015-08-28 | 2020-04-07 | Kla-Tencor Corporation | System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter |
US10887974B2 (en) * | 2015-06-22 | 2021-01-05 | Kla Corporation | High efficiency laser-sustained plasma light source |
US10257918B2 (en) | 2015-09-28 | 2019-04-09 | Kla-Tencor Corporation | System and method for laser-sustained plasma illumination |
US10244613B2 (en) | 2015-10-04 | 2019-03-26 | Kla-Tencor Corporation | System and method for electrodeless plasma ignition in laser-sustained plasma light source |
US10283342B2 (en) | 2015-12-06 | 2019-05-07 | Kla-Tencor Corporation | Laser sustained plasma light source with graded absorption features |
US9899205B2 (en) | 2016-05-25 | 2018-02-20 | Kla-Tencor Corporation | System and method for inhibiting VUV radiative emission of a laser-sustained plasma source |
JP2019537205A (ja) * | 2016-10-25 | 2019-12-19 | エクセリタス テクノロジーズ コーポレイション | 可変圧力シールドビームランプを操作するための装置及び方法 |
US10691024B2 (en) | 2018-01-26 | 2020-06-23 | Kla-Tencor Corporation | High-power short-pass total internal reflection filter |
US10714327B2 (en) | 2018-03-19 | 2020-07-14 | Kla-Tencor Corporation | System and method for pumping laser sustained plasma and enhancing selected wavelengths of output illumination |
US10568195B2 (en) | 2018-05-30 | 2020-02-18 | Kla-Tencor Corporation | System and method for pumping laser sustained plasma with a frequency converted illumination source |
US11262591B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-03-01 | Kla Corporation | System and method for pumping laser sustained plasma with an illumination source having modified pupil power distribution |
US11121521B2 (en) | 2019-02-25 | 2021-09-14 | Kla Corporation | System and method for pumping laser sustained plasma with interlaced pulsed illumination sources |
US11596048B2 (en) | 2019-09-23 | 2023-02-28 | Kla Corporation | Rotating lamp for laser-sustained plasma illumination source |
US11844172B2 (en) | 2019-10-16 | 2023-12-12 | Kla Corporation | System and method for vacuum ultraviolet lamp assisted ignition of oxygen-containing laser sustained plasma sources |
US11690162B2 (en) | 2020-04-13 | 2023-06-27 | Kla Corporation | Laser-sustained plasma light source with gas vortex flow |
US11862922B2 (en) * | 2020-12-21 | 2024-01-02 | Energetiq Technology, Inc. | Light emitting sealed body and light source device |
US11776804B2 (en) | 2021-04-23 | 2023-10-03 | Kla Corporation | Laser-sustained plasma light source with reverse vortex flow |
US11887835B2 (en) | 2021-08-10 | 2024-01-30 | Kla Corporation | Laser-sustained plasma lamps with graded concentration of hydroxyl radical |
US11978620B2 (en) | 2021-08-12 | 2024-05-07 | Kla Corporation | Swirler for laser-sustained plasma light source with reverse vortex flow |
US12033845B2 (en) | 2022-04-18 | 2024-07-09 | Kla Corporation | Laser-sustained plasma source based on colliding liquid jets |
US11637008B1 (en) * | 2022-05-20 | 2023-04-25 | Kla Corporation | Conical pocket laser-sustained plasma lamp |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3636395A (en) * | 1970-02-19 | 1972-01-18 | Sperry Rand Corp | Light source |
DE2529005C3 (de) * | 1974-07-11 | 1979-12-06 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) | Niederdruck-Gasentladungslampe |
JPS5131378U (ja) * | 1974-08-24 | 1976-03-06 | ||
US4152625A (en) | 1978-05-08 | 1979-05-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Plasma generation and confinement with continuous wave lasers |
JPS60188464U (ja) * | 1984-05-24 | 1985-12-13 | 三菱電機株式会社 | 金属蒸気放電灯 |
JPH01122586A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-15 | Toshiba Corp | 放電管 |
JPH07105911A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 低圧水銀蒸気放電灯、該放電灯の点灯方法並びに点灯回路および該放電灯を用いた紫外線照射装置 |
GB9323601D0 (en) | 1993-11-16 | 1994-01-05 | Atomic Energy Authority Uk | Plasma light source |
JP2980510B2 (ja) * | 1994-01-28 | 1999-11-22 | 信越石英株式会社 | 紫外線ランプ用高純度シリカガラスおよびその製造方法 |
JPH09274893A (ja) * | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ |
JP4627351B2 (ja) * | 2000-05-25 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光源 |
US6747419B2 (en) * | 2002-07-03 | 2004-06-08 | Ushio America, Inc. | Method and apparatus for heat pipe cooling of an excimer lamp |
US20070132408A1 (en) * | 2003-08-05 | 2007-06-14 | Manfred Salvemoser | High frequency driven high pressure micro discharge |
AU2003289406A1 (en) * | 2003-12-17 | 2005-07-05 | Japan Communication Inc. | Field emission spot light source lamp |
JP4535732B2 (ja) * | 2004-01-07 | 2010-09-01 | 株式会社小松製作所 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 |
CN1560898A (zh) * | 2004-03-02 | 2005-01-05 | 福建源光亚明电器有限公司 | 无极荧光灯 |
WO2006015125A2 (en) | 2004-07-28 | 2006-02-09 | BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY & COMMUNITY COLLEGE SYSTEM OF NEVADA on Behalf OF THE UNIVERSITY OF NEVADA | Electrode-less discharge extreme ultraviolet light source |
US20090134761A1 (en) * | 2004-10-26 | 2009-05-28 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Gas discharge lamp having a cold spot outside its translucent envelope |
EP1854121B1 (en) | 2005-02-25 | 2013-05-29 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for euv light source target material handling |
US7989786B2 (en) * | 2006-03-31 | 2011-08-02 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
US7435982B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
US7705331B1 (en) | 2006-06-29 | 2010-04-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for providing illumination of a specimen for a process performed on the specimen |
CN201007982Y (zh) * | 2006-12-22 | 2008-01-16 | 厦门市东林电子有限公司 | 一种多管式节能灯管 |
JP2008218071A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Stanley Electric Co Ltd | 蛍光管 |
US8072146B2 (en) * | 2007-03-01 | 2011-12-06 | Stanley Electric Co., Ltd. | Fluorescent lamp |
JP2009170154A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Stanley Electric Co Ltd | 蛍光ランプ |
CN201156520Y (zh) * | 2008-01-16 | 2008-11-26 | 厦门市东林电子有限公司 | 一种反射式节能灯管 |
US7830092B2 (en) | 2008-06-25 | 2010-11-09 | Topanga Technologies, Inc. | Electrodeless lamps with externally-grounded probes and improved bulb assemblies |
EP2146368A1 (en) * | 2008-07-15 | 2010-01-20 | Barco N.V. | Gas discharge lamp system |
US20100097808A1 (en) | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Robe Lighting S.R.O. | Plasma light source automated luminaire |
TWI457715B (zh) * | 2008-12-27 | 2014-10-21 | Ushio Electric Inc | Light source device |
JP5252586B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2013-07-31 | ウシオ電機株式会社 | レーザー駆動光源 |
US20120120980A1 (en) | 2009-08-05 | 2012-05-17 | Mills Randell L | Molecular hydrino laser |
JP2013519211A (ja) * | 2010-02-09 | 2013-05-23 | エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド | レーザー駆動の光源 |
US9318311B2 (en) * | 2011-10-11 | 2016-04-19 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell for laser-sustained plasma light source |
-
2012
- 2012-10-09 US US13/647,680 patent/US9318311B2/en active Active
- 2012-10-10 JP JP2014535805A patent/JP6224599B2/ja active Active
- 2012-10-10 EP EP12846194.4A patent/EP2766919A4/en not_active Withdrawn
- 2012-10-10 WO PCT/US2012/059448 patent/WO2013066576A2/en active Application Filing
-
2017
- 2017-10-05 JP JP2017194792A patent/JP6553146B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-03 JP JP2019124765A patent/JP6864717B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017228545A (ja) | 2017-12-28 |
US9318311B2 (en) | 2016-04-19 |
US20130106275A1 (en) | 2013-05-02 |
JP2014528641A (ja) | 2014-10-27 |
JP6553146B2 (ja) | 2019-07-31 |
WO2013066576A3 (en) | 2013-07-18 |
JP2019165023A (ja) | 2019-09-26 |
JP6224599B2 (ja) | 2017-11-01 |
EP2766919A2 (en) | 2014-08-20 |
WO2013066576A2 (en) | 2013-05-10 |
EP2766919A4 (en) | 2015-05-27 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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