JP6862602B1

JP6862602B1 - Sheet heat treatment equipment

Info

Publication number: JP6862602B1
Application number: JP2020217982A
Authority: JP
Inventors: 浩也稲本; 将伸加藤
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 2020-12-25
Filing date: 2020-12-25
Publication date: 2021-04-21
Anticipated expiration: 2040-12-25
Also published as: JP2022102916A

Abstract

【課題】加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制されるシートの加熱処理装置を提供する。【解決手段】上側ガス吹込装置１７６ａにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａに、材料シート１６の幅方向の一端側から他端側へ向って窒素ガスが吹き込まれる。このため、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に有機溶剤が滞留して有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。これにより、材料シート１６、上側ガイドローラ１６８ａ、下側ガイドローラ１６８ｂ、平板状のヒータ１７０等が汚染されることが抑制される。【選択図】図６PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet heat treatment apparatus in which a material sheet, a guide roller, a flat plate heater and the like are prevented from being contaminated by an organic solvent released from a material sheet in a heating case. SOLUTION: An inner space ISa of a material sheet 16 which is wound around an upper guide roller 168a by an upper gas blowing device 176a and bent in an inverted U shape from one end side to the other end side in the width direction of the material sheet 16. Nitrogen gas is blown toward. Therefore, it is possible to prevent the organic solvent from staying in the inner space ISa of the material sheet 16 which is wound around the upper guide roller 168a and bent in an inverted U shape to increase the concentration of the organic solvent. As a result, the material sheet 16, the upper guide roller 168a, the lower guide roller 168b, the flat plate heater 170, and the like are prevented from being contaminated. [Selection diagram] Fig. 6

Description

本発明は、巻出ロールから巻き出された後に巻取ロールに巻き取られる長手状のシートに対して、熱処理を行なうシートの加熱処理装置に関するものである。 The present invention relates to a sheet heat treatment apparatus that heat-treats a longitudinal sheet that is unwound from a unwinding roll and then wound around a winding roll.

熱処理されたシートとして、たとえば金属箔等の材料（基材）シートの一面に樹脂層が貼り着けられた可撓性且つ帯状の積層シートが知られている。たとえば、銅箔のような金属箔の一面にポリイミド樹脂層が貼り着けられた可撓性のポリイミド金属積層シートがそれである。このような積層シートは、たとえば、金属箔がエッチングなどによって所定の回路パターンとなるように加工されることにより、上記金属箔から成るリード線を有するＩＣパッケージに分離可能なテープオートメーションボンディング（ＴＡＢ）製品、フレキシブルなフラットケーブル、多層配線基板などとして、電子機器、デジタルカメラ、携帯電話機、携帯式情報端末機器などに多用されている。 As the heat-treated sheet, a flexible and strip-shaped laminated sheet in which a resin layer is attached to one surface of a material (base material) sheet such as a metal foil is known. For example, it is a flexible polyimide metal laminated sheet in which a polyimide resin layer is attached to one surface of a metal foil such as a copper foil. Such a laminated sheet can be separated into an IC package having a lead wire made of the metal foil by, for example, processing the metal foil into a predetermined circuit pattern by etching or the like (TAB). It is widely used in electronic devices, digital cameras, mobile phones, portable information terminal devices, etc. as products, flexible flat cables, multi-layer wiring boards, etc.

上記積層シートは、樹脂前躯体たとえばポリイミド樹脂の前躯体であるポリアミド酸（ポリアミック酸）を有機溶剤で溶かした塗布液が、金属箔の一面に塗布され、次いで、その塗布された塗布液をたとえば３５０℃程度の温度で熱処理して樹脂の硬化反応を進めることで、金属箔の一面にポリイミド等の樹脂層が積層された積層シートが製造される。 In the laminated sheet, a coating solution prepared by dissolving a resin front body, for example, a polyamic acid (polyamic acid), which is a front body of a polyimide resin, with an organic solvent is applied to one surface of a metal foil, and then the applied coating solution is applied, for example. By heat-treating at a temperature of about 350 ° C. to advance the curing reaction of the resin, a laminated sheet in which a resin layer such as polyimide is laminated on one surface of a metal foil is produced.

このようなシートの加熱処理装置においては、巻出ロールから巻きだされた帯状の材料シートの一面に、塗布手段により塗布液が塗布され、次いで加熱ケースを通されることで熱処理され、熱処理により得られた積層シートを巻取ロールにより巻き取ることが行なわれている。たとえば、特許文献１に記載された塗布膜の乾燥装置がそれである。 In such a sheet heat treatment apparatus, a coating liquid is applied to one surface of a strip-shaped material sheet unwound from an unwinding roll by a coating means, and then heat-treated by passing through a heating case, and the heat treatment is performed. The obtained laminated sheet is wound by a winding roll. For example, the coating film drying apparatus described in Patent Document 1 is that.

特開２００３−１７０１０２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-170102

ところで、上記従来のシートの加熱処理装置では、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、それら下側ガイドローラと上側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された積層シートの両面に対向するように配置された平板状のヒータとを備えた加熱ケースが備えられ、連続的に送られる材料シートに熱処理が施されるようになっている。 By the way, in the above-mentioned conventional sheet heat treatment apparatus, a plurality of lower guide rollers parallel to each other, a plurality of upper guide rollers parallel to each other, and a vertical direction between the lower guide rollers and the upper guide rollers. A heating case is provided with a flat plate-shaped heater arranged so as to face both sides of the laminated sheet spanned over the above surface, and the continuously fed material sheet is heat-treated.

しかしながら、加熱ケース内における熱処理の過程において、材料シートの一面に塗布されている塗布液に含まれる有機溶剤が、特に上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間、或いは下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間に滞留し易いことから、その内側空間において有機溶剤の濃度が高くなるので、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染される可能性があった。 However, in the process of heat treatment in the heating case, the organic solvent contained in the coating liquid applied to one surface of the material sheet is particularly wound around the upper guide roller and bent into an inverted U shape inside the material sheet. Since it is easy to stay in the space or the inner space of the material sheet that is wound around the lower guide roller and bent in a U shape, the concentration of the organic solvent increases in the inner space. There was a possibility that the flat plate heater or the like would be contaminated.

本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制されるシートの加熱処理装置を提供することにある。 The present invention has been made in the background of the above circumstances, and an object of the present invention is to contaminate a material sheet, a guide roller, a flat plate heater, etc. by an organic solvent released from a material sheet in a heating case. It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus for a sheet which is suppressed.

本発明者等は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、加熱ケース内において、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた積層シートの内側空間および下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた積層シートの内側空間の少なくとも一方の、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向って窒素等の不活性ガスを吹き込むと、積層シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等の有機溶剤による汚染が好適に抑制されることが見出された。本発明は、斯かる知見に基づいて為されたものである。 As a result of various studies against the background of the above circumstances, the present inventors have conducted various studies, and as a result, in the heating case, the inner space of the laminated sheet wound around the upper guide roller and bent in an inverted U shape and the lower guide roller. When an inert gas such as nitrogen is blown from one end side to the other end side in the width direction of the material sheet at least one of the inner spaces of the laminated sheet that is wound around and bent in a U shape, the laminated sheet , It was found that contamination by organic solvents such as guide rollers and flat plate heaters is suitably suppressed. The present invention has been made based on such findings.

すなわち、本発明の要旨とするところは、（ａ）互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、前記上側ガイドローラと前記下側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された有機溶剤を含む材料シートの少なくとも一面に対向するように配置された平板状のヒータと、を加熱ケース内に収容し、前記材料シートに熱処理を施すことでシートを製造するシートの加熱処理装置であって（ｂ）前記上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間および前記下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスを吹き込むガス吹込装置を、含むことにある。 That is, the gist of the present invention is (a) between a plurality of upper guide rollers parallel to each other, a plurality of lower guide rollers parallel to each other, and the upper guide roller and the lower guide roller. A flat plate-shaped heater arranged so as to face at least one surface of a material sheet containing an organic solvent spanned in the vertical direction is housed in a heating case, and the material sheet is heat-treated to form a sheet. A heat treatment device for the sheet to be manufactured. (B) The inner space of the material sheet wound around the upper guide roller and bent in an inverted U shape and the U shape wound around the lower guide roller. A gas blowing device for blowing gas from one end side to the other end side in the width direction of the material sheet is included in at least one inner space of the inner space of the material sheet bent in parallel.

本発明の積層シートの加熱処理装置によれば、前記ガス吹込装置により、前記上側ガイドローラに巻き掛けられた逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側および下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスが吹き込まれる。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間、或いは下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に有機溶剤が滞留して有機溶剤の濃度が高くなることが抑制されるので、加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制される。 According to the heat treatment device for the laminated sheet of the present invention, the gas blowing device is wound around the inner and lower guide rollers of the material sheet bent in an inverted U shape wound around the upper guide roller. Gas is blown into at least one inner space of the inner space of the material sheet bent in a U shape from one end side to the other end side in the width direction of the material sheet. As a result, it is organic in the inner space of the material sheet wound on the upper guide roller and bent in an inverted U shape, or in the inner space of the material sheet wound on the lower guide roller and bent in a U shape. Since it is possible to prevent the solvent from staying and increasing the concentration of the organic solvent, the organic solvent released from the material sheet in the heating case may contaminate the material sheet, the guide roller, the flat plate heater, and the like. It is suppressed.

ここで、好適には、前記ガス吹込装置は、複数本の前記上側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記上側ガイドローラよりも低い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された上側吹込管と、前記上側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む上側吹込穴と、を備える。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、その内側空間内において有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。 Here, preferably, the gas blowing device is longitudinal in the arrangement direction of the plurality of upper guide rollers, and is located at a position lower than the plurality of upper guide rollers in the vertical direction and the width of the material sheet. The upper blow pipe arranged at a position outside the material sheet in the direction and the inner space of the material sheet formed on the material sheet side of the upper blow pipe and bent in an inverted U shape. It is provided with an upper blowing hole for blowing gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet. As a result, the organic solvent that is wound around the upper guide roller and stays in the inner space of the material sheet that is bent in an inverted U shape is swept out, so that the concentration of the organic solvent in the inner space may increase. It is suppressed.

また、好適には、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、前記上側吹込穴は、前記上側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が、一層好適に掃出される。 Further, preferably, the inner space of the material sheet bent in an inverted U shape is divided by the flat plate-shaped heater arranged so as to face the material sheet, and the upper blowing hole is formed. It is provided at a position where gas is blown into each of the pair of divided spaces divided by the flat plate-shaped heater in the upper blowing pipe. As a result, the organic solvent that is wound around the upper guide roller and is bent in an inverted U shape and stays in the inner space of the material sheet is more preferably swept out.

また、好適には、前記上側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記上側ガイドローラに巻き掛けられて前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴が設けられている。これにより、複数本の上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの相互間に滞留する有機溶剤も好適に掃出される。 Further, preferably, on the material sheet side of the upper blow pipe, gas is applied to each of the material sheets wound in a plurality of the upper guide rollers and bent in an inverted U shape. A blowing hole between the upper material sheets is provided at the blowing position. As a result, the organic solvent that is wound around the plurality of upper guide rollers and stays between the material sheets bent in an inverted U shape is also suitably swept out.

また、好適には、前記ガス吹込装置は、複数本の前記下側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記下側ガイドローラよりも高い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された下側吹込管と、前記下側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む下側吹込穴と、を備える。これにより、下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、その内側空間内において有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。 Further, preferably, the gas blowing device is longitudinal in the arrangement direction of the plurality of lower guide rollers, and is located at a position higher than the plurality of lower guide rollers in the vertical direction and of the material sheet. A lower blowing pipe arranged at a position outside the material sheet in the width direction, and an inner space of the material sheet formed on the material sheet side of the lower blowing pipe and bent in a U shape. The material sheet is provided with a lower blowing hole for blowing gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet. As a result, the organic solvent that is wound around the lower guide roller and stays in the inner space of the U-shaped bent material sheet is swept out, so that the concentration of the organic solvent in the inner space may increase. It is suppressed.

また、好適には、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、前記下側吹込穴は、前記下側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が、一層好適に掃出される。 Further, preferably, the inner space of the material sheet bent in a U shape is divided by the flat plate-shaped heater arranged so as to face the material sheet, and the lower blow hole is formed. It is provided at a position where gas is blown into each of the pair of divided spaces divided by the flat plate-shaped heater in the lower blowing pipe. As a result, the organic solvent that is wound around the lower guide roller and stays in the inner space of the material sheet that is bent in a U shape is more preferably swept out.

また、好適には、前記下側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記下側ガイドローラに巻き掛けられて前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、下側材料シート間吹込穴が設けられている。これにより、複数本の下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの相互間に滞留する有機溶剤も好適に掃出される。 Further, preferably, on the material sheet side of the lower blow pipe, gas is provided between the material sheets wound in a plurality of the lower guide rollers and bent in a U shape. A blowing hole between the lower material sheets is provided at the position where the material is blown. As a result, the organic solvent that is wound around the plurality of lower guide rollers and stays between the U-shaped bent material sheets is also suitably swept out.

また、好適には、前記加熱ケースを構成する壁のうち、前記材料シートを挟んで前記ガス吹込装置とは反対側の壁には、前記加熱ケース内のガスを排気する排気ポートが設けられており、前記ガス吹込装置から前記材料シートを幅方向に横切って前記排気ポートへ向うガスの流れが形成される。これにより、加熱ケース内において、前記ガス吹込装置から前記排気ポートへ向う一方向の流れが形成され、有機溶剤の滞留が好適に解消される。 Further, preferably, among the walls constituting the heating case, an exhaust port for exhausting the gas in the heating case is provided on the wall on the side opposite to the gas blowing device across the material sheet. A gas flow is formed from the gas blowing device across the material sheet in the width direction toward the exhaust port. As a result, a unidirectional flow from the gas blowing device to the exhaust port is formed in the heating case, and the retention of the organic solvent is preferably eliminated.

本発明の一実施例の加熱処理装置を用いて製造されるポリイミド金属積層シートの断面を示している。The cross section of the polyimide metal laminated sheet manufactured by using the heat treatment apparatus of one Example of this invention is shown. 図１のポリイミド金属積層シートの製造工程の要部を説明する工程図である。It is a process drawing explaining the main part of the manufacturing process of the polyimide metal laminated sheet of FIG. 本発明の一実施例の加熱処理装置を構成する各ケースを、その蓋板を外して示す正面図である。It is a front view which shows each case which constitutes the heat treatment apparatus of one Example of this invention by removing the lid plate. 図１の加熱処理装置を構成する各ケースの内部を示す平面図である。It is a top view which shows the inside of each case which comprises the heat treatment apparatus of FIG. 図３の上側ガス吹込装置を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the upper gas blowing apparatus of FIG. 図５の上側ガス吹込装置を拡大して説明する図であって、図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。FIG. 5 is an enlarged view for explaining the upper gas blowing device of FIG. 5, and is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. 図３の下側ガス吹込装置を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the lower gas blowing apparatus of FIG. 図３の加熱処理装置を制御する電子制御装置等の構成を示すブロック線図である。It is a block diagram which shows the structure of the electronic control apparatus which controls the heat treatment apparatus of FIG.

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、図は適宜簡略化或いは模式化されており、各部の形状等は必ずしも正確に描かれていない。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following examples, the drawings are appropriately simplified or schematicized, and the shapes and the like of each part are not necessarily drawn accurately.

図１は、本発明の一実施例の加熱処理装置３０（図３及び図４を参照）によりポリイミド樹脂のイミド化が行なわれた帯状のポリイミド金属積層シート１０の断面を示している。このポリイミド金属積層シート１０は可撓性を有し、例えば２層型であって、銅箔、ニッケル箔、クラッド材箔などからなる例えば５μｍ〜２０μｍ好適には９μｍ〜１８μｍの厚みを有する金属箔１２の一面に、５μｍ〜１００μｍ程度の厚みを有するシート状のポリイミド樹脂層１４が直接的に固着されることにより構成される。ポリイミド金属積層シート１０は、例えば１８０μｍ〜２００μｍ程度の厚みと２５０ｍｍ〜５００ｍｍ程度の幅と、例えば２００ｍ〜３００ｍ程度の長さとを備えている。なお、ポリイミド金属積層シート１０は、３層型であってもよい。 FIG. 1 shows a cross section of a strip-shaped polyimide metal laminated sheet 10 in which a polyimide resin is imidized by a heat treatment apparatus 30 (see FIGS. 3 and 4) according to an embodiment of the present invention. The polyimide metal laminated sheet 10 is flexible, for example, a two-layer type metal foil made of a copper foil, a nickel foil, a clad material foil, or the like and having a thickness of, for example, 5 μm to 20 μm, preferably 9 μm to 18 μm. A sheet-shaped polyimide resin layer 14 having a thickness of about 5 μm to 100 μm is directly fixed to one surface of the twelve. The polyimide metal laminated sheet 10 has, for example, a thickness of about 180 μm to 200 μm, a width of about 250 mm to 500 mm, and a length of, for example, about 200 m to 300 m. The polyimide metal laminated sheet 10 may be of a three-layer type.

図２は、上記ポリイミド金属積層シート１０の製造方法の要部を説明する工程図である。図２において、塗布液調製工程２０では、ポリイミド樹脂の材料１４ａと有機溶剤１４ｂとから、金属箔１２に塗布する塗布液１４ｃが調製される。この塗布液調製工程２０では、ポリイミド樹脂の材料１４ａとして用いられる、例えば、ＮＭＰ（N-methylpyrrolidinone）、ＤＭＡｃ（dimethyl acetamide）等の非プロトン性のアミド系極性溶剤に、ｍ−フェニレンジアミン等のジアミンを溶解し、それを室温（常温常圧）下で攪拌させながら、脂肪族ジアミンや脂肪族テトラカルボン酸二無水物等の酸無水物を添加して混合することで生じる重合反応により、ポリアミド酸（ポリアミック酸）が合成される。このポリアミド酸がＮ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルカーボネート、Ｎ−メチルピロリドン等の有機溶剤１４ｂに溶解されることによって所定の粘度の流動性を備えたポリアミド酸の溶液である塗布液１４ｃが調製される。 FIG. 2 is a process diagram illustrating a main part of the method for manufacturing the polyimide metal laminated sheet 10. In FIG. 2, in the coating liquid preparation step 20, the coating liquid 14c to be applied to the metal foil 12 is prepared from the polyimide resin material 14a and the organic solvent 14b. In this coating liquid preparation step 20, for example, an aprotonic amide-based polar solvent such as NMP (N-methylpyrrolidinone) or DMAc (dimethyl acetamide) used as the material 14a of the polyimide resin is mixed with a diamine such as m-phenylenediamine. Is dissolved, and while stirring it at room temperature (normal temperature and pressure), an acid anhydride such as an aliphatic diamine or an aliphatic tetracarboxylic acid dianhydride is added and mixed, and the polyamic acid is formed by a polymerization reaction. (Polyamic acid) is synthesized. By dissolving this polyamic acid in an organic solvent 14b such as N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl carbonate, N-methylpyrrolidone, a coating liquid 14c which is a solution of polyamic acid having a fluidity having a predetermined viscosity is prepared. Will be done.

続く塗布工程２２では、金属箔１２が巻回された円筒状のロールから引き出された長手状の金属箔１２の上面に、例えば所定の塗布ロールを備える塗布装置を用いて上記流動性を備えたポリアミド酸の溶液（塗布液１４ｃ）が所定の厚みに連続的に塗布される。次いで、乾燥工程２４において、上記塗布装置に隣接して設けられた乾燥装置により、少なくとも上記塗布されたポリアミド酸が金属箔１２の下面に付着しない程度にポリアミド酸内の溶剤が除去されて乾燥された材料シート１６が得られる。この後、材料シート１６は再び巻回されてロールが得られる。このロールは、ポリイミド樹脂前駆体であるポリアミド酸が一面に塗着された金属箔１２が巻回されたものであり、後述の巻出ロール３２に相当する。 In the subsequent coating step 22, the upper surface of the longitudinal metal foil 12 drawn from the cylindrical roll around which the metal foil 12 is wound is provided with the above-mentioned fluidity by using, for example, a coating device provided with a predetermined coating roll. A solution of polyamic acid (coating liquid 14c) is continuously applied to a predetermined thickness. Next, in the drying step 24, the solvent in the polyamic acid is removed and dried by a drying device provided adjacent to the coating device so that at least the applied polyamic acid does not adhere to the lower surface of the metal foil 12. The material sheet 16 is obtained. After this, the material sheet 16 is wound again to obtain a roll. This roll is formed by winding a metal foil 12 coated with polyamic acid, which is a polyimide resin precursor, on one surface, and corresponds to the unwinding roll 32 described later.

次いで、熱処理工程２６では、図３及び図４に示す加熱処理装置３０を用いて、好適には２５０℃〜３００℃で１０分〜２０分程度の加熱が好適には２０００Ｐａ〜６０００Ｐａ程度の真空下において行なわれることにより、金属箔１２の一面に塗布され且つ乾燥されたポリアミド酸の脱水・環化すなわちイミド化反応が、巻出ロール３２から巻取ロール３４までの間の搬送過程で、連続的に行なわれる。これにより、ポリアミド酸のイミド化が完了したポリイミド樹脂層１４が金属箔１２の一面に固着されたポリイミド金属積層シート１０が、巻取ロール３４に巻き取られる。 Next, in the heat treatment step 26, using the heat treatment apparatus 30 shown in FIGS. 3 and 4, heating at 250 ° C. to 300 ° C. for about 10 to 20 minutes is preferably performed under a vacuum of about 2000 Pa to 6000 Pa. The dehydration / cyclization, that is, the imidization reaction of the polyamic acid applied and dried on one surface of the metal foil 12 is continuously carried out in the transport process between the unwinding roll 32 and the winding roll 34. It is done in. As a result, the polyimide metal laminated sheet 10 in which the polyimide resin layer 14 in which the imidization of the polyamic acid is completed is fixed to one surface of the metal foil 12 is wound around the winding roll 34.

図３は、加熱処理装置３０を構成する、それぞれ気密な巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、及び巻取ロール収容ケース３８を、それらの全面の覆う蓋板を外して示す正面図である。図４は、加熱処理装置３０を構成する巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、及び巻取ロール収容ケース３８の内部を示す平面図である。なお、図４においては、ガイドローラ５８及び６０とガイドローラ１０８及び１１０とが省略されている。 FIG. 3 is a front view showing the airtight unwinding roll accommodating case 36, the heating case 40, and the winding roll accommodating case 38, which constitute the heat treatment apparatus 30, with the lid plate covering the entire surface thereof removed. .. FIG. 4 is a plan view showing the insides of the unwinding roll accommodating case 36, the heating case 40, and the winding roll accommodating case 38 constituting the heat treatment apparatus 30. In FIG. 4, the guide rollers 58 and 60 and the guide rollers 108 and 110 are omitted.

加熱処理装置３０は、巻出ロール収容ケース３６と巻取ロール収容ケース３８と加熱ケース４０とを直列に備えている。巻出ロール収容ケース３６には、金属箔１２上にポリアミド酸が層状に塗布された帯状の材料シート１６がロール状に巻回された巻出ロール３２が収容されている。巻取ロール収容ケース３８には、熱処理された帯状のポリイミド金属積層シート１０を巻き取る巻取ロール３４が収容されている。 The heat treatment apparatus 30 includes a take-up roll accommodating case 36, a take-up roll accommodating case 38, and a heating case 40 in series. The unwinding roll accommodating case 36 accommodates an unwinding roll 32 in which a strip-shaped material sheet 16 in which a polyamic acid is coated in a layer on a metal foil 12 is wound in a roll shape. The take-up roll accommodating case 38 contains a take-up roll 34 for winding the heat-treated strip-shaped polyimide metal laminated sheet 10.

加熱ケース４０は、材料シート１６を通過させる巻出側連結筒４２を介して巻出ロール収容ケース３６に気密に接続されるとともに、熱処理後の帯状のポリイミド金属積層シート１０を通過させる巻取側連結筒４４を介して巻取ロール収容ケース３８に気密に接続されている。この加熱ケース４０には、巻出側連結筒４２から巻取側連結筒４４へ搬送される材料シート１６を真空下で加熱してポリアミド酸をイミド化するためのヒータ１７０が収容されている。ヒータ１７０は、赤外線或いは遠赤外線を放射する輻射加熱型であってもよい。 The heating case 40 is airtightly connected to the unwinding roll accommodating case 36 via the unwinding side connecting cylinder 42 through which the material sheet 16 passes, and the winding side through which the band-shaped polyimide metal laminated sheet 10 after heat treatment is passed. It is airtightly connected to the take-up roll accommodating case 38 via the connecting cylinder 44. The heating case 40 houses a heater 170 for heating the material sheet 16 transported from the unwinding side connecting cylinder 42 to the winding side connecting cylinder 44 under vacuum to imidize the polyamic acid. The heater 170 may be a radiant heating type that emits infrared rays or far infrared rays.

巻出ロール収容ケース３６内には、支持板４６が立設されている。巻出ロール３２は、回転軸線Ｃ１まわりに回転可能且つ回転軸線Ｃ１方向に移動可能に支持板４６に支持されたロール支持軸４８により支持されている。ロール支持軸４８は、回転軸線Ｃ１に平行な方向に移動可能に設けられ移動テーブル５０上に載置された減速機付モータ５２により回転駆動される。巻出ロール３２は、移動テーブル５０を回転軸線Ｃ１に平行な方向すなわちスラスト方向に移動させる巻出側幅方向アクチュエータ５４によって回転軸線Ｃ１に平行な方向に位置決めされる。 A support plate 46 is erected in the unwinding roll accommodating case 36. The unwinding roll 32 is supported by a roll support shaft 48 supported by a support plate 46 so as to be rotatable around the rotation axis C1 and movable in the rotation axis C1 direction. The roll support shaft 48 is movably provided in a direction parallel to the rotation axis C1 and is rotationally driven by a motor 52 with a speed reducer mounted on the movement table 50. The unwinding roll 32 is positioned in a direction parallel to the rotating axis C1 by the unwinding side width direction actuator 54 that moves the moving table 50 in the direction parallel to the rotating axis C1, that is, in the thrust direction.

支持板４６には、巻出ロール３２から連続的に引き出された材料シート１６をテンションローラ５６へ案内する一対のガイドローラ５８及び６０が設けられている。一対のガイドローラ５８及び６０の間には、案内される材料シート１６の幅方向の位置を検出する巻出側幅方向位置センサ６２が設けられている。テンションローラ５６は、上下ガイド６４により上下方向に移動可能に配設されており、テンションローラ５６の高さ位置が、上下ガイド６４に設けられた張力センサ６６により検出されるようになっている。減速機付モータ５２、ガイドローラ６０、ガイドローラ６８、テンションローラ５６、及び、張力センサ６６等は、シート引出装置として機能している。 The support plate 46 is provided with a pair of guide rollers 58 and 60 that guide the material sheet 16 continuously drawn out from the unwinding roll 32 to the tension roller 56. An unwinding side width direction position sensor 62 for detecting the position of the guided material sheet 16 in the width direction is provided between the pair of guide rollers 58 and 60. The tension roller 56 is arranged so as to be movable in the vertical direction by the vertical guide 64, and the height position of the tension roller 56 is detected by the tension sensor 66 provided in the vertical guide 64. The motor 52 with a speed reducer, the guide roller 60, the guide roller 68, the tension roller 56, the tension sensor 66, and the like function as a seat extraction device.

また、支持板４６には、テンションローラ５６からの材料シート１６を案内する一対のガイドローラ６８及び７０と、それらガイドローラ６８及び７０の間に、材料シート１６の終端部を新たな巻出ロール３２からの材料シート１６の前端部にホッチキス（登録商標）や糸で接続する巻出側シート連結装置として機能するスプライステーブル７２とが設けられている。さらに、支持板４６には、材料シート１６を駆動するために、モータ７４により回転駆動される駆動ローラ７６が、一対のガイドローラ７８及び８０の間に設けられている。 Further, on the support plate 46, a new unwinding roll is provided between the pair of guide rollers 68 and 70 for guiding the material sheet 16 from the tension roller 56 and the end portion of the material sheet 16 between the guide rollers 68 and 70. A stapler (registered trademark) or a splice table 72 that functions as a unwinding sheet connecting device for connecting with a thread is provided at the front end of the material sheet 16 from 32. Further, the support plate 46 is provided with a drive roller 76, which is rotationally driven by a motor 74, between the pair of guide rollers 78 and 80 in order to drive the material sheet 16.

また、支持板４６には、テンションローラ８２を先端部において回転可能に支持する水平レバー８４をその基端部において回動可能に支持するレバー支持装置８６と、テンションローラ８２からの材料シート１６を巻出側連結筒４２を通して加熱ケース４０へ案内するガイドローラ８８とが設けられている。このテンションローラ８２の高さ位置すなわち水平レバー８４の回動角は、加熱ケース４０へ送り込まれる材料シート１６の張力に対応しており、レバー支持装置８６に設けられた張力センサ９０により検出されるようになっている。モータ７４、駆動ローラ７６、ガイドローラ７８、ガイドローラ８０、テンションローラ８２を有するレバー支持装置８６、ガイドローラ８８、及び、張力センサ９０等は、送込張力付与装置として機能している。 Further, the support plate 46 includes a lever support device 86 that rotatably supports the horizontal lever 84 that rotatably supports the tension roller 82 at the tip end portion, and a material sheet 16 from the tension roller 82 at the base end portion thereof. A guide roller 88 is provided to guide the heating case 40 through the unwinding side connecting cylinder 42. The height position of the tension roller 82, that is, the rotation angle of the horizontal lever 84 corresponds to the tension of the material sheet 16 sent to the heating case 40, and is detected by the tension sensor 90 provided in the lever support device 86. It has become like. The motor 74, the drive roller 76, the guide roller 78, the guide roller 80, the lever support device 86 having the tension roller 82, the guide roller 88, the tension sensor 90, and the like function as a feed tension applying device.

巻出ロール収容ケース３６には、不活性ガスとして窒素ガスを供給するＮ_２パージポート９２が巻出側連結筒４２とは反対側の端部に設けられており、巻出ロール収容ケース３６の高さ方向及び幅方向の中央部には、排気ポート９４が設けられている。 The unwinding roll accommodating case 36, supplies a nitrogen gas N ₂ purge port 92 and the unwinding side connecting cylinder 42 as the inert gas is provided at the opposite end, the unwinding roll accommodating case 36 An exhaust port 94 is provided at the center in the height direction and the width direction.

巻取ロール収容ケース３８内には、支持板９６が立設されている。巻取ロール３４は、回転軸線Ｃ２まわりに回転可能且つ回転軸線Ｃ２方向に移動可能に支持板９６に支持されたロール支持軸９８により支持されている。ロール支持軸９８は、回転軸線Ｃ２に平行な方向に移動可能に設けられ移動テーブル１００上に載置された減速機付モータ１０２により回転駆動される。巻取ロール３４は、移動テーブル１００を回転軸線Ｃ２すなわちスラスト方向に平行な方向に移動させる巻取側幅方向アクチュエータ１０４によって回転軸線Ｃ２に平行な方向に位置決めされる。 A support plate 96 is erected in the take-up roll accommodating case 38. The take-up roll 34 is supported by a roll support shaft 98 supported by a support plate 96 so as to be rotatable around the rotation axis C2 and movable in the rotation axis C2 direction. The roll support shaft 98 is movably provided in a direction parallel to the rotation axis C2 and is rotationally driven by a motor 102 with a speed reducer mounted on the movement table 100. The take-up roll 34 is positioned in the direction parallel to the rotation axis C2 by the take-up side width direction actuator 104 that moves the moving table 100 in the direction parallel to the rotation axis C2, that is, the thrust direction.

支持板９６には、巻取ロール３４に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０をテンションローラ１０６から巻取ロール３４へ案内する一対のガイドローラ１０８及び１１０が設けられている。一対のガイドローラ１０８及び１１０の間には、案内されるポリイミド金属積層シート１０の幅方向のずれを検出する巻取側幅方向位置センサ１１２が設けられている。テンションローラ１０６は、上下ガイド１１４により上下方向に移動可能に配設されており、テンションローラ１０６の高さ位置が、上下ガイド１１４に設けられた張力センサ１１６により検出されるようになっている。 The support plate 96 is provided with a pair of guide rollers 108 and 110 that guide the polyimide metal laminated sheet 10 wound on the winding roll 34 from the tension roller 106 to the winding roll 34. A winding side width direction position sensor 112 for detecting a deviation in the width direction of the guided polyimide metal laminated sheet 10 is provided between the pair of guide rollers 108 and 110. The tension roller 106 is arranged so as to be movable in the vertical direction by the vertical guide 114, and the height position of the tension roller 106 is detected by the tension sensor 116 provided in the vertical guide 114.

また、支持板９６には、テンションローラ１０６へのポリイミド金属積層シート１０を案内する一対のガイドローラ１１８及び１２０と、それらガイドローラ１１８及び１２０の間に、新たな巻取ロール３４に巻かれている帯状シートの終端部に巻出ロール３２からのポリイミド金属積層シート１０の前端部をホッチキスや糸で接続する巻取側シート連結装置として機能するスプライステーブル１２２とが設けられている。減速機付モータ１０２、ガイドローラ１１０、ガイドローラ１１８、テンションローラ１０６、及び、張力センサ１１６等は、シート巻取装置として機能している。 Further, the support plate 96 is wound around a new take-up roll 34 between the pair of guide rollers 118 and 120 for guiding the polyimide metal laminated sheet 10 to the tension roller 106 and the guide rollers 118 and 120. A splice table 122 that functions as a take-up side sheet connecting device for connecting the front end portion of the polyimide metal laminated sheet 10 from the unwinding roll 32 with a stapler or a thread is provided at the end portion of the strip-shaped sheet. The motor 102 with a speed reducer, the guide roller 110, the guide roller 118, the tension roller 106, the tension sensor 116, and the like function as a sheet winding device.

さらに、支持板９６には、ポリイミド金属積層シート１０を駆動するために、モータ１２４により回転駆動される冷却フィードローラ１２６が、ガイドローラ１２０とガイドローラ１２８との間に設けられている。冷却フィードローラ１２６は、図示しないチラーから送られた冷媒によって常時冷却されており、巻取ロール３４に連続的に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０が冷却されるようになっている。 Further, the support plate 96 is provided with a cooling feed roller 126, which is rotationally driven by a motor 124, between the guide roller 120 and the guide roller 128 in order to drive the polyimide metal laminated sheet 10. The cooling feed roller 126 is constantly cooled by a refrigerant sent from a chiller (not shown), so that the polyimide metal laminated sheet 10 continuously wound around the winding roll 34 is cooled.

そして、支持板９６には、テンションローラ１３２を先端部において回転可能に支持する水平レバー１３４をその基端部において回動可能に支持するレバー支持装置１３６と、加熱ケース４０内から巻取側連結筒４４を通過したポリイミド金属積層シート１０をテンションローラ１３２へ案内するガイドローラ１３０とが設けられている。このテンションローラ１３２の高さ位置すなわち水平レバー１３４の回動角は、加熱ケース４０から送り出されるポリイミド金属積層シート１０の張力に対応しており、レバー支持装置１３６に設けられた張力センサ１４２により検出されるようになっている。モータ１２４、冷却フィードローラ１２６、ガイドローラ１２８、ガイドローラ１３０、テンションローラ１３２を有するレバー支持装置１３６、及び、張力センサ１４２等は、引出張力付与装置として機能している。 Then, the support plate 96 is connected to the take-up side from the inside of the heating case 40 with a lever support device 136 that rotatably supports the horizontal lever 134 that rotatably supports the tension roller 132 at the tip end portion thereof. A guide roller 130 is provided to guide the polyimide metal laminated sheet 10 that has passed through the cylinder 44 to the tension roller 132. The height position of the tension roller 132, that is, the rotation angle of the horizontal lever 134 corresponds to the tension of the polyimide metal laminated sheet 10 sent out from the heating case 40, and is detected by the tension sensor 142 provided in the lever support device 136. It is supposed to be done. The motor 124, the cooling feed roller 126, the guide roller 128, the guide roller 130, the lever support device 136 having the tension roller 132, the tension sensor 142, and the like function as a pull-out tension applying device.

巻取ロール収容ケース３８には、不活性ガスとして窒素ガスを供給するＮ_２パージポート１４４が巻取側連結筒４４とは反対側の端部に設けられており、巻取ロール収容ケース３８の高さ方向及び幅方向の中央部には、排気ポート１４６が設けられている。 The winding roll accommodating case 38, the N ₂ purge port 144 for supplying nitrogen gas as the inert gas and the take-up coupling tube 44 is provided at the opposite end, the winding roll accommodating case 38 An exhaust port 146 is provided at the center in the height direction and the width direction.

加熱ケース４０内の真空状態及び加熱状態に影響を及ぼすことなく、巻出ロール３２の交換を可能とするために、巻出側連結筒４２には、巻出側連結筒４２を遮断可能な巻出側開閉ゲート１４８が設けられている。巻出側開閉ゲート１４８には、材料シート１６を通した状態で開閉可能な例えばフッ素ゴム製のリップシール１５０と、そのリップシール１５０を開閉する開閉アクチュエータ１５２とが備えられている。 In order to enable the unwinding roll 32 to be replaced without affecting the vacuum state and the heating state in the heating case 40, the unwinding side connecting cylinder 42 is wound so that the unwinding side connecting cylinder 42 can be cut off. An exit side opening / closing gate 148 is provided. The unwinding side opening / closing gate 148 is provided with, for example, a fluororubber lip seal 150 that can be opened / closed while passing through the material sheet 16, and an opening / closing actuator 152 that opens / closes the lip seal 150.

また、加熱ケース４０内の真空状態及び加熱状態に影響を及ぼすことなく、巻取ロール３４の交換を可能とするために、巻取側連結筒４４には、巻取側連結筒４４を遮断可能な巻取側開閉ゲート１５４が設けられている。巻取側開閉ゲート１５４には、ポリイミド金属積層シート１０を通した状態で開閉可能な例えばフッ素ゴム製のリップシール１５６と、そのリップシール１５６を開閉する開閉アクチュエータ１５８とが備えられている。 Further, in order to enable the winding roll 34 to be replaced without affecting the vacuum state and the heating state in the heating case 40, the winding side connecting cylinder 44 can be cut off from the winding side connecting cylinder 44. A winding side opening / closing gate 154 is provided. The take-up side opening / closing gate 154 is provided with, for example, a fluororubber lip seal 156 that can be opened / closed while passing through the polyimide metal laminated sheet 10, and an opening / closing actuator 158 that opens / closes the lip seal 156.

加熱ケース４０は、天井壁４０ａ、底壁４０ｂ、巻出側壁４０ｃ、巻取側壁４０ｄ、前壁４０ｅ、後壁４０ｆから、直方体状に形成されている。加熱ケース４０内には、支持板１６０が立設されている。支持板１６０には、入口ガイドローラ１６２および出口ガイドローラ１６４と、複数個（本実施例では６個）の下側ガイドローラ１６８ｂと、複数個（本実施例では５個）の上側ガイドローラ１６８ａとが、水平方向に支持されている。また、支持板１６０には、入口ガイドローラ１６２、出口ガイドローラ１６４、複数個の下側ガイドローラ１６８ｂと複数個の上側ガイドローラ１６８ａとの間に、互いに平行となるように上下方向に架け渡された材料シート１６或いはポリイミド金属積層シート１０の両面に対向するように配置された平板状のヒータ１７０が、設けられている。 The heating case 40 is formed in a rectangular parallelepiped shape from the ceiling wall 40a, the bottom wall 40b, the unwinding side wall 40c, the winding side wall 40d, the front wall 40e, and the rear wall 40f. A support plate 160 is erected in the heating case 40. The support plate 160 includes an inlet guide roller 162 and an outlet guide roller 164, a plurality of lower guide rollers 168b (six in this embodiment), and a plurality of upper guide rollers 168a (five in this embodiment). And are supported in the horizontal direction. Further, the support plate 160 is vertically bridged between the inlet guide roller 162, the outlet guide roller 164, the plurality of lower guide rollers 168b, and the plurality of upper guide rollers 168a so as to be parallel to each other. A flat plate-shaped heater 170 arranged so as to face both surfaces of the material sheet 16 or the polyimide metal laminated sheet 10 is provided.

入口ガイドローラ１６２、出口ガイドローラ１６４、複数個の下側ガイドローラ１６８ｂ、及び、複数個の上側ガイドローラ１６８ａには、モータ１８２がそれぞれ設けられている。また、上側ガイドローラ１６８ａ及び下側ガイドローラ１６８ｂの各軸には、チェーン１８３を介して相互に回転可能に連結されたスプロケット１８４が設けられ、各上側ガイドローラ１６８ａ及び各下側ガイドローラ１６８ｂの回転が同期させられるようになっている。これにより、入口ガイドローラ１６２から送り込まれた材料シート１６が、搬送過程でイミド化が行なわれてポリイミド金属積層シート１０へ変換され、出口ガイドローラ１６４から送り出されるようになっている。 Motors 182 are provided on the inlet guide roller 162, the outlet guide roller 164, the plurality of lower guide rollers 168b, and the plurality of upper guide rollers 168a, respectively. Further, each shaft of the upper guide roller 168a and the lower guide roller 168b is provided with a sprocket 184 rotatably connected to each other via a chain 183, and the upper guide roller 168a and the lower guide roller 168b are provided with sprockets 184. The rotations are synchronized. As a result, the material sheet 16 fed from the inlet guide roller 162 is imidized in the transport process, converted into the polyimide metal laminated sheet 10, and is fed out from the outlet guide roller 164.

加熱ケース４０の支持板１６０の裏面に対向する壁には、不活性ガスとして窒素ガスを供給する１対の上側パージポート１７８ａおよび一対の下側パージポート１７８ｂが、下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向および上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向にそれぞれ沿って設けられており、加熱ケース４０の後壁４０ｆの高さ方向および幅方向の中央部には、排気ポート１８０が、設けられている。 On the wall facing the back surface of the support plate 160 of the heating case 40, a pair of upper purge ports 178a and a pair of lower purge ports 178b that supply nitrogen gas as an inert gas are arranged in an array of lower guide rollers 168b. The exhaust ports 180 are provided along the horizontal direction and the arrangement (horizontal) direction of the upper guide rollers 168a, respectively, and the exhaust port 180 is provided at the center of the rear wall 40f of the heating case 40 in the height direction and the width direction. ing.

上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向に沿って設けられた一対の上側パージポート１７８ａ間は、複数個の上側吹込穴１７２ａが形成された上側吹込管１７４ａが、接続されている。上側吹込管１７４ａの複数個の上側吹込穴１７２ａが形成された部分は、複数本の上側ガイドローラ１６８ａの配列方向に長手直管状であって、上下方向において複数本の上側ガイドローラ１６８ａよりも低い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設されている。上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側に形成され、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａへ材料シート１６の一端から他端に向って窒素ガスを吹き込むようになっている。 An upper blow pipe 174a having a plurality of upper blow holes 172a formed is connected between the pair of upper purge ports 178a provided along the arrangement (horizontal) direction of the upper guide rollers 168a. The portion of the upper blow pipe 174a in which the plurality of upper blow holes 172a are formed is longitudinally straight tubular in the arrangement direction of the plurality of upper guide rollers 168a, and is lower than the plurality of upper guide rollers 168a in the vertical direction. It is arranged at a position outside the material sheet 16 in the width direction of the material sheet 16. The upper blowing hole 172a is formed on the material sheet 16 side of the upper blowing pipe 174a, and is wound around the upper guide roller 168a and bent into an inverted U shape to the inner space ISa of the material sheet 16 from one end of the material sheet 16. Nitrogen gas is blown toward the other end.

図５に拡大して示すように、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により２分されており、上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａのうち、内側空間ＩＳａが２分された一対の分割空間ＩＳａ１及びＩＳａ２のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に設けられている。 As shown enlarged in FIG. 5, the inner space ISa of the material sheet 16 wound around the upper guide roller 168a and bent in an inverted U shape is a flat plate-shaped heater arranged to face the material sheet 16. The upper blowing hole 172a is divided into two by 170, and the upper blowing hole 172a is provided at a position where nitrogen gas is blown into each of the pair of divided spaces ISa1 and ISa2 in which the inner space ISa is divided into two in the upper blowing pipe 174a.

また、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側には、複数本の上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接する逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６との間、すなわち逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に上側材料シート間吹込穴１７２ｃが設けられている。本実施例では、上側吹込穴１７２ａ、上側材料シート間吹込穴１７２ｃ、及び上側吹込管１７４ａは、上側ガス吹込装置１７６ａとして機能している。 Further, on the material sheet 16 side of the upper blow pipe 174a, a material sheet 16 that is wound around a plurality of upper guide rollers 168a and bent in an inverted U shape, and an inverted U shape adjacent to the material sheet 16. Upper material sheet-to-sheet blowing holes 172c are provided at positions where nitrogen gas is blown between the material sheets 16 bent in the above direction, that is, between the material sheets 16 bent in an inverted U shape. In this embodiment, the upper blowing hole 172a, the upper material sheet blowing hole 172c, and the upper blowing pipe 174a function as the upper gas blowing device 176a.

図６は、上側ガス吹込装置１７６ａから吹き込まれた窒素ガスの流れを説明する、図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。上側吹込管１７４ａの上側吹込穴１７２ａから吹き込まれた窒素ガスは、１点鎖線の矢印で示されるように一方向の流れを形成し、内側空間ＩＳａの一端から他端へ材料シート１６の幅方向に貫通した後、加熱ケース４０の内壁面に沿って加熱ケース４０の後壁４０ｆに設けられた排気ポート１８０へ向かい、排気ポート１８０から排出される。すなわち、加熱ケース４０を構成する壁のうち、材料シート１６を挟んで上側ガス吹込装置１７６ａとは反対側の壁（後壁４０ｆ）には、加熱ケース４０内のガスを排気する排気ポート１８０が設けられており、上側吹込穴１７２ａから吹き込まれた窒素ガスの、材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う流れが形成される。 FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 for explaining the flow of nitrogen gas blown from the upper gas blowing device 176a. The nitrogen gas blown from the upper blow hole 172a of the upper blow pipe 174a forms a unidirectional flow as indicated by the arrow of the alternate long and short dash line, and the width direction of the material sheet 16 from one end to the other end of the inner space ISa. Then, along the inner wall surface of the heating case 40, the gas is discharged from the exhaust port 180 toward the exhaust port 180 provided on the rear wall 40f of the heating case 40. That is, among the walls constituting the heating case 40, an exhaust port 180 for exhausting the gas in the heating case 40 is provided on the wall (rear wall 40f) opposite to the upper gas blowing device 176a with the material sheet 16 interposed therebetween. A flow of nitrogen gas blown from the upper blowing hole 172a across the material sheet 16 in the width direction toward the exhaust port 180 is formed.

下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向に沿って設けられた一対の下側パージポート１７８ｂ間は、複数個の下側吹込穴１７２ｂが形成された下側吹込管１７４ｂが、接続されている。下側吹込管１７４ｂの複数個の下側吹込穴１７２ｂが形成された部分は、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂの配列方向に長手直管状であって、上下方向において複数本の下側ガイドローラ１６８ｂよりも高い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設されている。下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側に形成され、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂへ材料シート１６の一端から他端に向って窒素ガスを吹き込むようになっている。 A lower blow pipe 174b in which a plurality of lower blow holes 172b are formed is connected between a pair of lower purge ports 178b provided along the arrangement (horizontal) direction of the lower guide rollers 168b. .. The portion of the lower blow pipe 174b in which the plurality of lower blow holes 172b are formed is a longitudinally straight tubular portion in the arrangement direction of the plurality of lower guide rollers 168b, and a plurality of lower guide rollers are formed in the vertical direction. It is arranged at a position higher than 168b and at a position outside the material sheet 16 in the width direction of the material sheet 16. The lower blow hole 172b is formed on the material sheet 16 side of the lower blow pipe 174b, and is wound around the lower guide roller 168b and bent into a U shape into the inner space ISb of the material sheet 16. Nitrogen gas is blown from one end to the other end.

図７に拡大して示すように、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により２分されており、下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂのうち、内側空間ＩＳｂの２分された一対の分割空間ＩＳｂ１及びＩＳｂ２のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に設けられている。 As shown enlarged in FIG. 7, the inner space ISb of the material sheet 16 wound around the lower guide roller 168b and bent in a U shape is a flat plate-shaped heater arranged to face the material sheet 16. It is divided into two by 170, and the lower blowing hole 172b is provided at a position in the lower blowing pipe 174b where nitrogen gas is blown into each of the pair of divided spaces ISb1 and ISb2 divided into two in the inner space ISb. There is.

また、下側吹込穴１７２ｂの材料シート１６側には、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接するＵ字状に曲げられた材料シート１６との間、すなわちＵ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に下側材料シート間吹込穴１７２ｄが設けられている。本実施例では、下側吹込穴１７２ｂ、下側材料シート間吹込穴１７２ｄ、及び下側吹込管１７４ｂは、下側ガス吹込装置１７６ｂとして機能している。下側ガス吹込装置１７６ｂにおいても、図６と同様に、下側吹込穴１７２ｂから吹き込まれた窒素ガスの、材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う流れが形成される。 Further, on the material sheet 16 side of the lower blow hole 172b, a material sheet 16 that is wound around a plurality of lower guide rollers 168b and bent into a U shape, and a U shape adjacent to the material sheet 16 A lower material sheet blowing hole 172d is provided at a position where gas is blown between the material sheet 16 bent in the shape of the material, that is, between the material sheets 16 bent in a U shape. In this embodiment, the lower blowing hole 172b, the lower material sheet blowing hole 172d, and the lower blowing pipe 174b function as the lower gas blowing device 176b. Similarly to FIG. 6, in the lower gas blowing device 176b, a flow of nitrogen gas blown from the lower blowing hole 172b is formed across the material sheet 16 in the width direction toward the exhaust port 180.

図８は、加熱処理装置３０に備えられた電子制御装置２１８を示している。加熱ケース４０には、加熱ケース４０内の加熱温度を検出する温度センサ１８６が設けられている。また、巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、加熱ケース４０には、それら内の真空度を検出する真空度センサ１８８ａ、１８８ｂ、１８８ｃが設けられている。真空度センサ１８８ａ、１８８ｂ、１８８ｃは、たとえばピラニ真空度計から構成される。 FIG. 8 shows an electronic control device 218 provided in the heat treatment device 30. The heating case 40 is provided with a temperature sensor 186 that detects the heating temperature inside the heating case 40. Further, the unwinding roll accommodating case 36, the unwinding roll accommodating case 38, and the heating case 40 are provided with vacuum degree sensors 188a, 188b, and 188c for detecting the degree of vacuum in them. The vacuum sensor 188a, 188b, 188c is composed of, for example, a Pirani vacuum gauge.

図４に示すように、加熱処理装置３０には、少なくとも材料シート１６のイミド化処理の過程において、巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、加熱ケース４０内を真空とするための真空圧制御回路１９０が設けられている。真空圧制御回路１９０は、電子制御装置２１８からの指令に従って加熱ケース４０内の圧力を調節する圧力制御弁１９２、及び加熱ケース４０内から吸引する気体に含まれる溶剤を除去するコールドトラップ１９４を介して、加熱ケース４０と接続された真空ポンプ１９６と、真空ポンプ１９６と巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、及び加熱ケース４０との間にそれぞれ設けられ、電子制御装置２１８からの指令に従って、閉位置、真空ポンプ接続位置、大気導入位置へ選択的に切り換えられる切換制御弁１９８、２００、２０２と、を備えている。 As shown in FIG. 4, in the heat treatment apparatus 30, at least in the process of imidization of the material sheet 16, the inside of the unwinding roll accommodating case 36, the winding roll accommodating case 38, and the heating case 40 is evacuated. A vacuum pressure control circuit 190 is provided. The vacuum pressure control circuit 190 is provided via a pressure control valve 192 that adjusts the pressure in the heating case 40 according to a command from the electronic control device 218, and a cold trap 194 that removes the solvent contained in the gas sucked from the heating case 40. The vacuum pump 196 connected to the heating case 40 is provided between the vacuum pump 196 and the unwinding roll accommodating case 36, the winding roll accommodating case 38, and the heating case 40, respectively, and is provided from the electronic control device 218. It includes switching control valves 198, 200, and 202 that can be selectively switched to a closed position, a vacuum pump connection position, and an atmosphere introduction position according to a command.

また、加熱処理装置３０には、巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０にそれぞれ窒素ガスを供給する窒素供給回路２０４が、設けられている。窒素供給回路２０４は、窒素ガスが圧縮状態或いは液化状態で封入された窒素供給源２０６と、窒素供給源２０６と巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０との間にそれぞれ設けられ、電子制御装置２１８からの指令に従ってそれぞれ開閉作動する複数の開閉弁２０８、２１０、２１２、２１４、２１６と、を備えている。 Further, the heat treatment apparatus 30 is supplied with nitrogen that supplies nitrogen gas to the unwinding roll accommodating case 36, the unwinding side connecting cylinder 42, the winding roll accommodating case 38, the winding side connecting cylinder 44, and the heating case 40, respectively. Circuit 204 is provided. The nitrogen supply circuit 204 includes a nitrogen supply source 206 in which nitrogen gas is sealed in a compressed state or a liquefied state, a nitrogen supply source 206 and a unwinding roll accommodating case 36, an unwinding side connecting cylinder 42, a winding roll accommodating case 38, and the like. A plurality of on-off valves 208, 210, 212, 214, 216, which are provided between the take-up side connecting cylinder 44 and the heating case 40 and are opened and closed according to a command from the electronic control device 218, are provided. ..

図８に示す電子制御装置２１８は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェースを含むマイクロコンピュータであって、予め記憶されたプログラムにしたがって入力信号を処理することで、イミド化制御、巻出ロール交換制御、巻取ロール交換制御等を実行する。 The electronic control device 218 shown in FIG. 8 is, for example, a microcomputer including a CPU, a ROM, a RAM, and an input / output interface, and processes an input signal according to a program stored in advance to control imidization and unwind roll. Performs exchange control, take-up roll exchange control, etc.

電子制御装置２１８は、加熱処理装置３０の立上制御、定常運転制御、巻出ロール取替制御及び巻取ロール取替制御を行なうための運転制御部２２０と、定常運転時においてイミド化に必要な温度及び処理時間を制御するイミド化処理制御部２２２と、定常運転制御時において巻出ロール３２からの巻出張力、加熱ケース４０内の搬送張力及び巻取ロール３４の巻き取り張力をそれぞれ制御する張力制御部２２４と、巻出ロール３２から引き出された材料シート１６の幅方向位置及び巻取ロール３４の巻き取られる前のポリイミド金属積層シート１０の幅方向位置を予め設定された幅位置に制御する幅位置制御部２２６と、を機能的に備えている。 The electronic control device 218 is an operation control unit 220 for performing start-up control, steady operation control, unwinding roll replacement control, and winding roll replacement control of the heat treatment device 30, and is required for imidization during steady operation. The imidization processing control unit 222 that controls the temperature and processing time controls the unwinding tension from the unwinding roll 32, the transport tension in the heating case 40, and the winding tension of the winding roll 34 during steady operation control. The tension control unit 224 and the width direction position of the material sheet 16 drawn out from the unwinding roll 32 and the width direction position of the polyimide metal laminated sheet 10 before winding up of the winding roll 34 are set to preset width positions. It is functionally provided with a width position control unit 226 to be controlled.

運転制御部２２０は、巻出ロール３２が巻出ロール収容ケース３６内にセットされ、巻取ロール３４が巻取ロール収容ケース３８内にセットされた状態で、起動操作入力に応答して、巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、巻取ロール収容ケース３８内をそれぞれ常用真空例えば２０Ｔｏｒｒ（２６６６Ｐａ）とする定常運転直前の状態とする立上制御を、定常運転に先立って順次実行する。 In the operation control unit 220, in a state where the unwinding roll 32 is set in the unwinding roll accommodating case 36 and the winding roll 34 is set in the unwinding roll accommodating case 38, the operation control unit 220 responds to the start operation input and winds. Prior to the steady operation, the start-up control is sequentially executed prior to the steady operation, in which the inside of the discharge roll accommodating case 36, the heating case 40, and the take-up roll accommodating case 38 is set to a normal vacuum, for example, 20 Torr (2666 Pa), respectively.

運転制御部２２０は、立上制御完了状態から、巻出ロール３２から材料シート１６を連続的に引き出して窒素ガス下の真空状態で加熱することによりポリアミド酸のイミド化を行い、イミド化反応後のポリイミド金属積層シート１０を巻取ロール３４に連続的に巻き取るという定常運転に切り換える。運転制御部２２０は、この定常運転に際して、図４に示す開閉弁２０８、２１０、２１２、２１４、２１６を開くことで、窒素ガスを巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、加熱ケース４０、巻取側連結筒４４及び巻取ロール収容ケース３８内へ供給するとともに、巻出側開閉ゲート１４８を開き、加熱ケース４０内の減速機付モータ５２、モータ７４、モータ１２４、減速機付モータ１０２、モータ１８２等を送りモータ駆動回路２３０を介して駆動し、ヒータ１７０により材料シート１６を加熱する。好適には、２５０℃以上３００℃以下且つ１０分以上２０分以下の加熱条件で加熱するものである。 The operation control unit 220 continuously draws out the material sheet 16 from the unwinding roll 32 from the start-up control completed state and heats it in a vacuum state under nitrogen gas to imidize the polyamic acid, and after the imidization reaction. The polyimide metal laminated sheet 10 is continuously wound around the winding roll 34, which is a steady operation. During this steady operation, the operation control unit 220 opens the on-off valves 208, 210, 212, 214, 216 shown in FIG. 4 to unwind the nitrogen gas, and the unwinding roll accommodating case 36, the unwinding side connecting cylinder 42, and the heating case. 40, while supplying to the winding side connecting cylinder 44 and the winding roll accommodating case 38, the unwinding side opening / closing gate 148 is opened, and the motor 52 with a speed reducer, the motor 74, the motor 124, and the speed reducer in the heating case 40 are provided. The motor 102, the motor 182, and the like are fed and driven via the motor drive circuit 230, and the material sheet 16 is heated by the heater 170. Preferably, it is heated under heating conditions of 250 ° C. or higher and 300 ° C. or lower and 10 minutes or longer and 20 minutes or shorter.

大気圧（常圧）で加熱する従来の加熱処理装置では、ポリアミド酸のイミド化を確保し、ポリイミド金属積層シート１０のポリイミド樹脂の品質を維持するために４００℃且つ３０分という熱処理が必要であったのに対して、本実施例の加熱処理装置３０は、従来の加熱処理装置に比較して、１００℃以上低い温度且つ１０分以上短縮された加熱時間で、前記材料シートを加熱できる。このため、ポリイミド金属積層シート１０を製造するための加熱処理装置３０の設備の大きさが比較的小型となる。また、大気圧よりも低い真空に維持された加熱ケース４０内において、加熱ケース４０を通過する材料シート１６がヒータ１７０により加熱されるので、材料シート１６の金属箔１２上のポリアミド酸が比較的低温且つ短時間で充分にイミド化される。 In a conventional heat treatment device that heats at atmospheric pressure (normal pressure), heat treatment of 400 ° C. and 30 minutes is required to ensure imidization of polyamic acid and maintain the quality of the polyimide resin of the polyimide metal laminated sheet 10. On the other hand, the heat treatment apparatus 30 of this embodiment can heat the material sheet at a temperature lower than that of the conventional heat treatment apparatus by 100 ° C. or more and a heating time shortened by 10 minutes or more. Therefore, the size of the equipment of the heat treatment apparatus 30 for manufacturing the polyimide metal laminated sheet 10 becomes relatively small. Further, in the heating case 40 maintained in a vacuum lower than the atmospheric pressure, the material sheet 16 passing through the heating case 40 is heated by the heater 170, so that the polyamic acid on the metal leaf 12 of the material sheet 16 is relatively high. It is sufficiently imidized at low temperature and in a short time.

イミド化処理制御部２２２は、上記定常運転時において、加熱ケース４０をイミド化に必要な真空度、温度及び処理時間となるように制御する。定常運転時には、窒素ガスが、巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、加熱ケース４０、巻取側連結筒４４、及び巻取ロール収容ケース３８内へ供給され、その窒素ガスが加熱ケース４０の排気ポート１８０のみから真空ポンプ１９６によって吸引されるとともに、圧力制御弁１９２によって巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、巻取ロール収容ケース３８内が２０Ｔｏｒｒに調圧される。 The imidization treatment control unit 222 controls the heating case 40 so as to have the degree of vacuum, temperature, and treatment time required for imidization during the steady operation. During steady operation, nitrogen gas is supplied into the unwinding roll accommodating case 36, the unwinding side connecting cylinder 42, the heating case 40, the winding side connecting cylinder 44, and the winding roll accommodating case 38, and the nitrogen gas is heated. The pressure is sucked from only the exhaust port 180 of the case 40 by the vacuum pump 196, and the pressure inside the unwinding roll accommodating case 36, the heating case 40, and the winding roll accommodating case 38 is adjusted to 20 Torr by the pressure control valve 192.

張力制御部２２４は、巻出張力制御部２２４ａと送込張力制御部２２４ｂとを備えている。巻出張力制御部２２４ａは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻出ロール３２から予め設定された一定の張力で材料シート１６を引き出すように、張力センサ６６により検出されたテンションローラ５６の高さが一定となるように巻出ロール３２の回転を制御する。送込張力制御部２２４ｂは、運転制御部２２０による定常運転時において、送込張力制御部２２４ｂにより引き出された材料シート１６を予め設定された一定の張力を付与して加熱ケース４０に送り込むように、張力センサ９０により検出された水平レバー８４の角度が水平となるように駆動ローラ７６の回転を制御する。 The tension control unit 224 includes an unwind tension control unit 224a and a feed tension control unit 224b. The unwinding tension control unit 224a of the tension roller 56 detected by the tension sensor 66 so as to pull out the material sheet 16 from the unwinding roll 32 at a preset constant tension during steady operation by the operation control unit 220. The rotation of the unwinding roll 32 is controlled so that the height becomes constant. The feed tension control unit 224b sends the material sheet 16 pulled out by the feed tension control unit 224b to the heating case 40 by applying a preset constant tension during steady operation by the operation control unit 220. , The rotation of the drive roller 76 is controlled so that the angle of the horizontal lever 84 detected by the tension sensor 90 becomes horizontal.

また、張力制御部２２４は、引出張力制御部２２４ｃと巻取張力制御部２２４ｄとを、備えている。引出張力制御部２２４ｃは、運転制御部２２０による定常運転時において、加熱ケース４０からポリイミド金属積層シート１０を予め設定された一定の張力で引き出すように、張力センサ１４２により検出された水平レバー１３４の角度が水平となるように冷却フィードローラ１２６を駆動するモータ１２４の回転を制御する。巻取張力制御部２２４ｄは、運転制御部２２０による定常運転時において、ポリイミド金属積層シート１０を巻取ロール３４に予め設定された一定の張力で巻き取るように、張力センサ１１６により検出されたテンションローラ１０６の高さが一定となるように巻取ロール３４を駆動する減速機付モータ１０２の回転を制御する。 Further, the tension control unit 224 includes a pull-out tension control unit 224c and a take-up tension control unit 224d. The withdrawal tension control unit 224c is a horizontal lever 134 detected by the tension sensor 142 so that the polyimide metal laminated sheet 10 is pulled out from the heating case 40 at a preset constant tension during steady operation by the operation control unit 220. The rotation of the motor 124 that drives the cooling feed roller 126 is controlled so that the angle becomes horizontal. The take-up tension control unit 224d winds the polyimide metal laminated sheet 10 on the take-up roll 34 with a constant tension set in advance during steady operation by the operation control unit 220, so that the tension detected by the tension sensor 116 The rotation of the speed reducer motor 102 that drives the take-up roll 34 is controlled so that the height of the roller 106 is constant.

図８の幅位置制御部２２６は、巻出側幅位置制御部２２６ａと巻取側幅位置制御部２２６ｂとを備えている。巻出側幅位置制御部２２６ａは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻出側幅方向位置センサ６２により検出された巻出ロール３２から引き出された材料シート１６の幅方向位置が予め設定された目標幅方向位置となるように、巻出側幅方向アクチュエータ５４を制御する。巻取側幅位置制御部２２６ｂは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻取側幅方向位置センサ１１２により検出された巻取ロール３４に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０の幅方向位置が予め設定された目標幅方向位置となるように、巻取側幅方向アクチュエータ１０４を制御する。 The width position control unit 226 of FIG. 8 includes a winding side width position control unit 226a and a winding side width position control unit 226b. The unwinding side width position control unit 226a presets the width direction position of the material sheet 16 drawn out from the unwinding roll 32 detected by the unwinding side width direction position sensor 62 during steady operation by the operation control unit 220. The unwinding side width direction actuator 54 is controlled so as to reach the target width direction position. In the take-up side width position control unit 226b, the width direction position of the polyimide metal laminated sheet 10 wound on the take-up roll 34 detected by the take-up side width direction position sensor 112 during steady operation by the operation control unit 220 is set. The take-up side width direction actuator 104 is controlled so as to have a preset target width direction position.

上述のように、本実施例の加熱処理装置３０によれば、互いに平行な複数本の上側ガイドローラ１６８ａと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラ１６８ｂと、それら上側ガイドローラ１６８ａと下側ガイドローラ１６８ｂとの間に上下方向に架け渡された材料シート１６の両面に対向するように配置された平板状のヒータ１７０と、を加熱ケース４０内に収容し、材料シート１６の一面に塗布された有機溶剤１４ｂを含む塗布液１４ｃに熱処理を施すことでポリイミド金属積層シート１０を製造する加熱処理装置３０であって、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ及び下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの１６の内側空間ＩＳｂに、材料シート１６の幅方向の一端側から他端側へ向って窒素ガス（不活性ガス）が吹き込まれる。 As described above, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, the plurality of upper guide rollers 168a parallel to each other, the plurality of lower guide rollers 168b parallel to each other, and the upper guide rollers 168a and the lower side thereof. A flat plate-shaped heater 170 arranged so as to face both sides of the material sheet 16 bridged vertically with the guide roller 168b is housed in the heating case 40 and applied to one surface of the material sheet 16. A heat treatment device 30 for producing a polyimide metal laminated sheet 10 by subjecting a coating liquid 14c containing the organic solvent 14b to a heat treatment, and the upper guide roller 168a is provided by the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b. The material sheet is placed in the inner space ISa of the material sheet 16 wound around the material sheet 16 and bent in an inverted U shape, and in the inner space ISb of the material sheet 16 wound in the lower guide roller 168b and bent in a U shape. Nitrogen gas (inert gas) is blown from one end side to the other end side in the width direction of 16.

このようにすれば、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ、及び、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に有機溶剤１４ｂが滞留して有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制されるので、加熱ケース４０内において材料シート１６から放出された有機溶剤１４ｂによって、加熱ケース４０内の材料シート１６、下側ガイドローラ１６８ｂ、上側ガイドローラ１６８ａ、平板状のヒータ１７０等が汚染されることが抑制される。 In this way, the material sheet 16 was wound around the upper guide roller 168a and bent in an inverted U shape, and was wound around the inner space ISa of the material sheet 16 and the lower guide roller 168b and bent in a U shape. Since it is possible to prevent the organic solvent 14b from staying in the inner space ISb of the material sheet 16 and increasing the concentration of the organic solvent 14b, the organic solvent 14b released from the material sheet 16 in the heating case 40 causes the heating case. Contamination of the material sheet 16, the lower guide roller 168b, the upper guide roller 168a, the flat plate heater 170, and the like in the 40 is suppressed.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側ガス吹込装置１７６ａは、複数本の上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向に長手状であって、上下方向において複数本の上側ガイドローラ１６８ａよりも低い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設された上側吹込管１７４ａと、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側に形成され、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａへ材料シート１６の幅方向の一端から他端に向って不活性ガスを吹き込む上側吹込穴１７２ａと、を備える。これにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に滞留する有機溶剤１４ｂが掃出されるので、内側空間ＩＳａ内において有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制される。 Further, according to the heat treatment device 30 of the present embodiment, the upper gas blowing device 176a is longitudinal in the arrangement (horizontal) direction of the plurality of upper guide rollers 168a, and the plurality of upper guide rollers are in the vertical direction. The upper blow pipe 174a arranged at a position lower than 168a and outside the material sheet 16 in the width direction of the material sheet 16 and the upper guide roller 168a formed on the material sheet 16 side of the upper blow pipe 174a. An upper blowing hole 172a for blowing an inert gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet 16 is provided in the inner space ISa of the material sheet 16 that is wound and bent in an inverted U shape. As a result, the organic solvent 14b that is wound around the upper guide roller 168a and stays in the inner space ISa of the material sheet 16 that is bent in an inverted U shape is swept out, so that the concentration of the organic solvent 14b in the inner space ISa Is suppressed from becoming high.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側ガス吹込装置１７６ｂは、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向に長手状であって、上下方向において複数本の下側ガイドローラ１６８ｂよりも高い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設された下側吹込管１７４ｂと、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側に形成され、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂへ材料シート１６の幅方向の一端から他端に向って不活性ガスを吹き込む下側吹込穴１７２ｂと、を備える。これにより、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、内側空間ＩＳｂ内において有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制される。 Further, according to the heat treatment device 30 of the present embodiment, the lower gas blowing device 176b is longitudinal in the arrangement (horizontal) direction of the plurality of lower guide rollers 168b, and the lower gas blowing device 176b has a plurality of lower ones in the vertical direction. It is formed on the material sheet 16 side of the lower blow pipe 174b and the lower blow pipe 174b arranged at a position higher than the side guide roller 168b and at a position outside the material sheet 16 in the width direction of the material sheet 16. With a lower blowing hole 172b that blows an inert gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet 16 into the inner space ISb of the material sheet 16 that is wound around the lower guide roller 168b and bent in a U shape. , Equipped with. As a result, the organic solvent that is wound around the lower guide roller 168b and stays in the inner space ISb of the material sheet 16 that is bent in a U shape is swept out, so that the concentration of the organic solvent 14b in the inner space ISb is increased. It is suppressed from becoming high.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により分割されており、上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａのうち、平板状のヒータ１７０により分割された一対の分割空間ＩＳａ１及びＩＳａ２のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に滞留する有機溶剤１４ｂが、一層好適に掃出される。 Further, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, the inner space ISa of the material sheet 16 wound around the upper guide roller 168a and bent in an inverted U shape is arranged to face the material sheet 16. The upper blowing hole 172a is divided by the flat plate-shaped heater 170, and the upper blowing hole 172a is located at a position where the inert gas is blown into each of the pair of divided spaces ISa1 and ISa2 divided by the flat plate-shaped heater 170 in the upper blowing pipe 174a. It is provided. As a result, the organic solvent 14b that is wound around the upper guide roller 168a and stays in the inner space ISa of the material sheet 16 that is bent in an inverted U shape is more preferably swept out.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により分割されており、下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂのうち、平板状のヒータ１７０により分割された一対の分割空間ＩＳｂ１及びＩＳｂ２のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に滞留する有機溶剤１４ｂが、一層好適に掃出される。 Further, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, the inner space ISb of the material sheet 16 wound around the lower guide roller 168b and bent in a U shape is arranged so as to face the material sheet 16. The lower blowing hole 172b is divided by the flat plate-shaped heater 170, and the lower blowing hole 172b blows the inert gas into each of the pair of divided spaces ISb1 and ISb2 divided by the flat plate-shaped heater 170 in the lower blowing pipe 174b. It is provided at the position. As a result, the organic solvent 14b that is wound around the lower guide roller 168b and stays in the inner space ISb of the material sheet 16 that is bent in a U shape is more preferably swept out.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側には、複数本の上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴１７２ｃが設けられている。これにより、逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接する逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６との間に滞留する有機溶剤１４ｂも好適に掃出される。 Further, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, on the material sheet 16 side of the upper blow pipe 174a, the material sheet 16 is wound around a plurality of upper guide rollers 168a and bent in an inverted U shape. A blowing hole 172c between the upper material sheets is provided at a position where the inert gas is blown into each other. As a result, the organic solvent 14b that stays between the material sheet 16 that is bent in an inverted U shape and the material sheet 16 that is bent in an inverted U shape adjacent to the material sheet 16 is also suitably swept out.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側には、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に下側材料シート間吹込穴１７２ｄが設けられている。これにより、Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接するＵ字状に曲げられた材料シート１６との間に滞留する有機溶剤１４ｂも好適に掃出される。 Further, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, on the material sheet 16 side of the lower blowing pipe 174b, the material sheet 16 is wound around a plurality of lower guide rollers 168b and bent in a U shape. A blowing hole 172d between the lower material sheets is provided at a position where the inert gas is blown between the two. As a result, the organic solvent 14b that stays between the U-shaped bent material sheet 16 and the U-shaped bent material sheet 16 adjacent to the U-shaped material sheet 16 is also suitably swept out.

また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、加熱ケース４０を構成する壁（天井壁４０ａ、底壁４０ｂ、巻出側壁４０ｃ、巻取側壁４０ｄ、前壁４０ｅ、後壁４０ｆ）のうち、材料シート１６を挟んで上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂとは反対側の後壁４０ｆには、加熱ケース４０内のガスを専ら排気する排気ポート１８０が設けられており、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂから材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う不活性ガスの流れが形成される。これにより、加熱ケース４０内において、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂから排気ポート１８０へ向う一方向の流れが形成され、有機溶剤１４ｂの滞留が好適に解消される。 Further, according to the heat treatment apparatus 30 of the present embodiment, among the walls (ceiling wall 40a, bottom wall 40b, unwinding side wall 40c, winding side wall 40d, front wall 40e, rear wall 40f) constituting the heating case 40. An exhaust port 180 for exclusively exhausting the gas in the heating case 40 is provided on the rear wall 40f on the side opposite to the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b with the material sheet 16 interposed therebetween. A flow of inert gas is formed from the gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b across the material sheet 16 in the width direction toward the exhaust port 180. As a result, in the heating case 40, a unidirectional flow is formed from the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b toward the exhaust port 180, and the retention of the organic solvent 14b is preferably eliminated.

以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。 Although the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the present invention is also applicable to other aspects.

たとえば、前述の実施例において、加熱処理装置３０の加熱ケース４０内には、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂが設けられていたが、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂの一方が設けられていなくてもよい。 For example, in the above-described embodiment, the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b are provided in the heating case 40 of the heat treatment device 30, but the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device are provided. One of the 176b may not be provided.

また、前述の実施例において、上側吹込管１７４ａには、上側吹込穴１７２ａが上側ガイドローラ１６８ａに逆Ｕ字状に巻き掛けられた材料シート１６毎に設けられ、下側吹込管１７４ｂには、下側吹込穴１７２ｂが下側ガイドローラ１６８ｂにＵ字状に巻き掛けられた材料シート１６毎に設けられていたが、有機溶剤１４ｂの濃度が高い場所、たとえば巻出ロール収容ケース３６側の一部に設けられていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the upper blowing pipe 174a is provided with the upper blowing hole 172a for each material sheet 16 wound around the upper guide roller 168a in an inverted U shape, and the lower blowing pipe 174b is provided with the lower blowing pipe 174b. A lower blow hole 172b was provided for each material sheet 16 wound around the lower guide roller 168b in a U shape, but a place where the concentration of the organic solvent 14b is high, for example, one on the unwinding roll storage case 36 side. It may be provided in the part.

また、前述の実施例において、加熱処理装置３０はポリイミド金属積層シート１０を製造するためのものであったが、材料シート１６の一面に塗布された有機溶剤１４ｂを含む他の樹脂（塗布液１４ｃ）が塗布された材料シート１６を熱処理することで得られるシートを製造するものであってもよい。また、平板状のヒータ１７０は、材料シート１６の両面に対向するように配置されていたが、材料シート１６の一面だけに対向するようにヒータ１７０が配置されて材料シート１６に熱処理を施すことでシートを製造する加熱処理装置であってもよい。 Further, in the above-described embodiment, the heat treatment apparatus 30 was for producing the polyimide metal laminated sheet 10, but another resin (coating liquid 14c) containing the organic solvent 14b coated on one surface of the material sheet 16 was used. ) May be produced by heat-treating the material sheet 16 coated with). Further, although the flat plate-shaped heater 170 was arranged so as to face both surfaces of the material sheet 16, the heater 170 is arranged so as to face only one surface of the material sheet 16 to heat-treat the material sheet 16. It may be a heat treatment apparatus that manufactures a sheet in the above.

また、前述の実施例において、加熱処理装置３０によりポリイミド金属積層シート１０が製造されていたが、液晶ポリマー（ＬＣＰ）やフッ素樹脂系の金属積層シート、リチウムイオン電池（ＬｉＢ）の極板に用いる積層シート、プリプレグ（ｐｒｅｐｒｅｇ）に用いる熱硬化樹脂が含浸された繊維基材などのシートであってもよい。要するに、有機溶剤１４ｂを含む帯状の材料シート１６に熱処理が施されて製造されるシートであればよい。 Further, in the above-described embodiment, the polyimide metal laminated sheet 10 was manufactured by the heat treatment apparatus 30, but it is used for a liquid crystal polymer (LCP), a fluororesin-based metal laminated sheet, and a electrode plate of a lithium ion battery (LiB). It may be a laminated sheet or a sheet such as a fiber base material impregnated with a thermosetting resin used for prepreg. In short, any sheet may be produced by subjecting the strip-shaped material sheet 16 containing the organic solvent 14b to heat treatment.

また、前述の実施例では、不活性ガスとして窒素ガスが用いられて窒素供給回路２０４から巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０にそれぞれ供給されていたが、アルゴンガス、炭酸ガスなどの他の種類の不活性ガスが用いられてもよく、上側ガス吹込装置１７６ａや下側ガス吹込装置１７６ｂから吹き込まれてもよい。また、酸素と反応しないシート、例えばプリプレグに用いる熱硬化樹脂が含浸された繊維基材などのシートの場合には、不活性ガスに替えて空気などのガスが用いられてもよい。 Further, in the above-described embodiment, nitrogen gas is used as the inert gas, and the unwinding roll accommodating case 36, unwinding side connecting cylinder 42, winding roll accommodating case 38, and winding side connecting cylinder 44 are used from the nitrogen supply circuit 204. , And other types of inert gases such as argon gas and carbon dioxide gas, which were supplied to the heating case 40, respectively, are blown from the upper gas blowing device 176a and the lower gas blowing device 176b. May be good. Further, in the case of a sheet that does not react with oxygen, for example, a sheet such as a fiber base material impregnated with a thermosetting resin used for a prepreg, a gas such as air may be used instead of the inert gas.

なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得るものである。 The present invention can be modified in various ways without departing from the spirit of the present invention.

１０：ポリイミド金属積層シート（シート）
１４ｂ：有機溶剤
１４ｃ：塗布液
１６：材料シート
３０：加熱処理装置
４０：加熱ケース
１６８ａ：上側ガイドローラ
１６８ｂ：下側ガイドローラ
１７０：平板状のヒータ
１７２ａ：上側吹込穴
１７２ｂ：下側吹込穴
１７２ｃ：上側材料シート間吹込穴
１７２ｄ：下側材料シート間吹込穴
１７４ａ：上側吹込管
１７４ｂ：下側吹込管
１８０：排気ポート
１７６ａ：上側ガス吹込装置（ガス吹込装置）
１７６ｂ：下側ガス吹込装置（ガス吹込装置）
ＩＳａ，ＩＳｂ：内側空間
ＩＳａ１，ＩＳａ２，ＩＳｂ１，ＩＳｂ２：分割空間 10: Polyimide metal laminated sheet (sheet)
14b: Organic solvent 14c: Coating liquid 16: Material sheet 30: Heat treatment device 40: Heating case 168a: Upper guide roller 168b: Lower guide roller 170: Flat plate heater 172a: Upper blow hole 172b: Lower blow hole 172c : Upper material sheet blowing hole 172d: Lower material sheet blowing hole 174a: Upper blowing pipe 174b: Lower blowing pipe 180: Exhaust port 176a: Upper gas blowing device (gas blowing device)
176b: Lower gas blowing device (gas blowing device)
ISa, ISb: Inner space ISa1, ISa2, ISb1, ISb2: Divided space

Claims

互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、前記上側ガイドローラと前記下側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された有機溶剤を含む材料シートの少なくとも一面に対向するように配置された平板状のヒータと、を加熱ケース内に収容し、前記材料シートに熱処理を施すことでシートを製造するシートの加熱処理装置であって、
前記上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間および前記下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスを吹き込むガス吹込装置を、含む
ことを特徴とするシートの加熱処理装置。 A material sheet containing a plurality of upper guide rollers parallel to each other, a plurality of lower guide rollers parallel to each other, and an organic solvent spanned in the vertical direction between the upper guide roller and the lower guide roller. A sheet heat treatment device for producing a sheet by accommodating a flat plate-shaped heater arranged so as to face at least one surface of the material in a heating case and heat-treating the material sheet.
At least one of the inner space of the material sheet wound around the upper guide roller and bent in an inverted U shape and the inner space of the material sheet wound around the lower guide roller and bent in a U shape. A sheet heat treatment device comprising a gas blowing device for blowing gas from one end side to the other end side in the width direction of the material sheet into the inner space of the material sheet.

前記ガス吹込装置は、
複数本の前記上側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記上側ガイドローラよりも低い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された上側吹込管と、
前記上側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む上側吹込穴と、を備える
ことを特徴とする請求項１のシートの加熱処理装置。 The gas blowing device is
It is longitudinal in the arrangement direction of the plurality of upper guide rollers, and is arranged at a position lower than the plurality of upper guide rollers in the vertical direction and at a position outside the material sheet in the width direction of the material sheet. With the upper blow pipe
With an upper blowing hole formed on the material sheet side of the upper blowing pipe and blowing gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet into the inner space of the material sheet bent in an inverted U shape. The sheet heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the sheet is provided with.

前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、
前記上側吹込穴は、前記上側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている
ことを特徴とする請求項２のシートの加熱処理装置。 The inner space of the material sheet bent in an inverted U shape is divided by the flat plate-shaped heater arranged so as to face the material sheet.
The heating of the sheet according to claim 2, wherein the upper blowing hole is provided at a position where gas is blown into each of the pair of divided spaces divided by the flat plate-shaped heater in the upper blowing pipe. Processing equipment.

前記上側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記上側ガイドローラに巻き掛けられて前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴が設けられている
ことを特徴とする請求項２又は３のシートの加熱処理装置。 On the material sheet side of the upper blow pipe, the upper material is at a position where gas is blown into each of the material sheets wound in a plurality of the upper guide rollers and bent in an inverted U shape. The sheet heat treatment apparatus according to claim 2 or 3, wherein a blow-in hole between sheets is provided.

前記ガス吹込装置は、
複数本の前記下側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記下側ガイドローラよりも高い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された下側吹込管と、
前記下側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む下側吹込穴と、を備える
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１のシートの加熱処理装置。 The gas blowing device is
Longitudinal in the arrangement direction of the plurality of lower guide rollers, at a position higher than the plurality of lower guide rollers in the vertical direction and at a position outside the material sheet in the width direction of the material sheet. The arranged lower blow pipe and
A lower blow hole formed on the material sheet side of the lower blow pipe and blowing gas from one end to the other end in the width direction of the material sheet into the inner space of the U-shaped bent material sheet. The sheet heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the sheet is provided with.

前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、
前記下側吹込穴は、前記下側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている
ことを特徴とする請求項５のシートの加熱処理装置。 The inner space of the material sheet bent in a U shape is divided by the flat plate-shaped heater arranged so as to face the material sheet.
The sheet of claim 5, wherein the lower blow hole is provided at a position where gas is blown into each of the pair of divided spaces divided by the flat plate-shaped heater in the lower blow pipe. Heat treatment equipment.

前記下側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記下側ガイドローラに巻き掛けられて前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、下側材料シート間吹込穴が設けられている
ことを特徴とする請求項５または６のシートの加熱処理装置。 On the material sheet side of the lower blow pipe, the gas is blown into each of the material sheets wound in a plurality of lower guide rollers and bent in a U shape. The sheet heat treatment apparatus according to claim 5 or 6, wherein a blowing hole between the side material sheets is provided.

前記加熱ケースを構成する壁のうち、前記材料シートを挟んで前記ガス吹込装置とは反対側の壁には、前記加熱ケース内のガスを排気する排気ポートが設けられており、前記ガス吹込装置から前記材料シートを幅方向に横切って前記排気ポートへ向うガスの流れが形成される
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１のシートの加熱処理装置。 Of the walls constituting the heating case, an exhaust port for exhausting the gas in the heating case is provided on the wall opposite to the gas blowing device across the material sheet, and the gas blowing device is provided. The heat treatment apparatus for a sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein a gas flow is formed from the material sheet to the exhaust port across the material sheet in the width direction.