JP6855008B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図7(c)を用いて説明する。
次に第2の実施形態に係る液晶露光装置について、図8(a)〜図8(d)を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、アライメント系の構成及び動作が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態に係る液晶露光装置について、図9(a)及び図9(b)を用いて説明する。第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、アライメント系及び投影光学系の構成及び動作が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (20)
- 投影光学系を介して物体に照明光を照射し、前記物体に対して前記投影光学系を走査方向へ相対移動させながら走査露光する露光装置であって、
前記走査方向に関して、前記投影光学系の一方側に設けられた第1検出装置と前記投影光学系の他方側に設けられた第2検出装置とを有し、前記物体に設けられたマークのマーク検出を行うマーク検出部と、
前記マーク検出部を移動させる第1駆動系と、
前記投影光学系を移動させる第2駆動系と、
前記投影光学系の移動よりも先に前記マーク検出部を移動するように前記第1及び第2駆動系を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記他方側から前記一方側への前記走査露光において、前記第1検出装置を前記他方側から前記一方側へ移動させ、前記第1検出装置による検出結果に基づいて前記投影光学系を、前記走査方向の前記他方側から前記一方側へ移動させ前記走査露光を行いつつ、前記第2検出装置を前記他方側から前記一方側へ移動させ、
前記一方側から前記他方側への前記走査露光において、前記一方側へ移動された前記第2検出装置を前記他方側へ移動させ、前記第2検出装置による検出結果に基づいて前記投影光学系を前記走査方向へ移動させ前記走査露光を行うように前記第1及び第2駆動系を制御する露光装置。 - 前記制御装置は、前記マーク検出部による少なくとも一部の前記マーク検出が完了した後に前記投影光学系を移動させるように前記第1及び第2駆動系を制御する請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記マーク検出を含むマーク検出動作と前記走査露光を含む走査露光動作との少なくとも一部の動作を並行して行うよう制御する請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記投影光学系の移動速度と前記マーク検出部の移動速度とを異ならせる請求項3に記載の露光装置。
- 前記投影光学系の光軸が水平面に平行であり、
前記物体は、前記照明光が照射される露光面が前記水平面に対して直交した状態で配置される請求項1〜4の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記マーク検出部と前記投影光学系は、互いに分離可能に配置される請求項5に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項1〜6の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項7に記載の露光装置。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜8の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 投影光学系を介して物体に照明光を照射し、前記物体に対して前記投影光学系を走査方向へ相対移動させながら走査露光する露光方法であって、
前記走査方向に関して、前記投影光学系の一方側に設けられた第1検出装置と前記投影光学系の他方側に設けられた第2検出装置とを有するマーク検出部により、前記物体に設けられたマークのマーク検出を行うことと、
前記マーク検出部を、第1駆動系を用いて移動させることと、
前記投影光学系を、第2駆動系を用いて移動させることと、
前記投影光学系の移動よりも先に前記マーク検出部を移動するように前記第1及び第2駆動系を制御することと、を含み、
前記制御することでは、
前記他方側から前記一方側への前記走査露光において、前記第1検出装置を前記他方側から前記一方側へ移動させ、前記第1検出装置による検出結果に基づいて前記投影光学系を、前記走査方向の前記他方側から前記一方側へ移動させ前記走査露光を行いつつ、前記第2検出装置を前記他方側から前記一方側へ移動させ、
前記一方側から前記他方側への前記走査露光において、前記一方側へ移動された前記第2検出装置を前記他方側へ移動させ、前記第2検出装置による検出結果に基づいて前記投影光学系を前記走査方向へ移動させ前記走査露光を行うように前記第1及び第2駆動系を制御する露光方法。 - 前記制御することでは、前記マーク検出部による少なくとも一部の前記マーク検出が完了した後に前記投影光学系を移動させるように前記第1及び第2駆動系を制御する請求項11に記載の露光方法。
- 前記制御することでは、前記マーク検出を含むマーク検出動作と前記走査露光を含む走査露光動作との少なくとも一部の動作を並行して行うよう制御する請求項11又は12に記載の露光方法。
- 前記制御することでは、前記投影光学系の移動速度と前記マーク検出部の移動速度とを異ならせる請求項13に記載の露光方法。
- 前記投影光学系の光軸が水平面に平行であり、
前記物体は、前記照明光が照射される露光面が前記水平面に対して直交した状態で配置される請求項11〜14の何れか一項に記載の露光方法。 - 前記マーク検出部と前記投影光学系は、互いに分離可能に配置される請求項15に記載の露光方法。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項11〜16の何れか一項に記載の露光方法。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項17に記載の露光方法。
- 請求項11〜18の何れか一項に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項11〜18の何れか一項に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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