JP6850687B2 - インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 58
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 58
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 57
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
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Description
検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータ検査機であって、
前記インジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、
前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、
前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する制御部と、を有するものである。
前記制御部は、前記測定スピンドルが、前記インジケータ検査機が有する固有振動数で振動しつつ昇降するように、前記駆動機構を制御する、ものである。
前記測定スピンドルの位置を検出する検出機構を有し、
前記制御部は、前記測定スピンドルの速度と検出した前記測定スピンドルの位置とに基づいて、前記測定スピンドルの動作をフィードバック制御する、ものである。
前記駆動機構は、
モータと、
前記モータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、
前記モータの回転速度を検出する速度検出器と、を有し、
前記測定スピンドルは前記可動部に連結され、
前記制御部は、前記速度検出器が検出した前記モータの回転速度と検出した前記測定スピンドルの位置とに基づいて、前記測定スピンドルの動作をフィードバック制御する、ものである。
前記制御部は、
前記測定スピンドルの目標位置を指定する指令に応じて、前記測定スピンドルに与える変位量を指定する変位指令を出力する変位量指定器と、
前記変位指令と、前記検出機構が検出した前記測定スピンドルの位置と、に基づいて、前記測定スピンドルの速度を指定する速度指令を出力する位置補償器と、
前記速度指令と、前記速度検出器が検出した前記モータの回転速度と、に基づいて、前記モータに与える電流を指定する電流指令を出力する速度補償器と、
前記電流指令が入力される電流補償器と、
入力が前記電流補償器の出力と接続され、前記電流補償器で補償された電流指令を増幅して前記モータへ出力するとともに前記電流補償器の入力へ前記モータへの電流値をフィードバックさせる増幅器と、を有し、
前記位置補償器のゲインは、前記測定スピンドルが、前記インジケータ検査機が有する固有振動数で振動しつつ昇降するように設定される、ものである。
前記駆動機構は、前記測定スピンドルを段階的に昇降させるステップ動作を行う、ものである。
前記駆動機構は、
ステッピングモータと、
前記ステッピングモータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、を有し、
前記測定スピンドルは前記可動部に連結される、ものである。
前記駆動機構は、
モータと、
前記モータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、を有し、
前記制御部は、ステップ動作を行うように前記モータを制御する、ものである。
発生させた振動を前記測定スピンドルに伝達可能に構成された振動機構を更に有する、ものである。
前記インジケータの指示値を複数回測定することで、前記インジケータの指示値の繰り返し精度を検査する場合、
前記制御部は、前記複数回の測定のそれぞれの間で、当該インジケータ検査機の前記測定子と前記インジケータの測定子との接触が維持されるように、前記スピンドルを昇降させる、ものである。
前記インジケータの指示値を複数回測定することで、前記インジケータの指示値の繰り返し精度を検査する場合、
前記制御部は、前記複数回の測定のそれぞれの間で、当該インジケータ検査機の前記測定子と前記インジケータの測定子とが離隔するように、前記スピンドルを昇降させる、ものである。
検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、を有するインジケータ検査機において、前記インジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータの検査方法であって、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する、ものである。
検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する制御部と、を有するインジケータ検査機において、前記インジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータの検査プログラムであって、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する処理を、前記制御部に実行させる、ものである。
実施の形態1にかかるインジケータ検査装置ついて説明する。図1に実施の形態1にかかるインジケータ検査機100の外観を示し、図2に実施の形態1にかかるインジケータ検査機100にインジケータ10をセットした状態を示す。
インジケータ10の指示値が真の値からどれほどずれているかを検査する場合について検討する。図6に、インジケータの検査における指針の動きを示す。ここでは、インジケータ10の変位の目標値を20目盛の位置、目量は0.01mmとする。インジケータ検査機100は、20目盛(0.20mm)よりもやや小さな値だけ、自動的に測定スピンドル140を上昇させる。その後、検査者がマニュアル操作で測定スピンドル140を上昇させ、インジケータ10の指針13が20を指すように、測定スピンドル140の位置を調整する。マニュアル操作による測定スピンドル140の位置調整は、例えば、操作部150のスイッチ151やジョグダイヤル152で行うことが可能である。そして、マニュアル操作による位置調整後の測定スピンドル140の位置を、リニアエンコーダ134で測定し、測定した値をコンピュータ170に取り込んで記録する。同様の操作を、目標値を30目盛(0.30mm)、40目盛(0.40mm)・・・のように変えて行い、インジケータ10の測定範囲全域における指示精度を計測する。
インジケータ10の測定値の繰り返し精度を求めるため、各設定値について、インジケータ10の上記の基本測定を所定回数繰り返す。インジケータ検査機100では、測定スピンドル140、すなわち測定子141は、回転することなく昇降するのみである。そのため、単にインジケータ10のインジケータ測定子16と測定子141とを接触させると、繰り返し精度測定の各基本測定において、インジケータ10のインジケータ測定子16と測定子141と間の接触状態は概ね一定となってしまう。しかし、インジケータ10で実際の測定を行う場合には、インジケータ10のインジケータ測定子16と被測定物との間の接触状態は測定の都度異なるため、繰り返し精度測定の各基本測定での接触状態が概ね一定となると、繰り返し精度測定での測定条件が実際の測定条件を再現できないこととなってしまう。
実施の形態2にかかるインジケータ検査機200について説明する。図8に、実施の形態2にかかるインジケータ検査機200の内部構造を模式的に示す。インジケータ検査機200は、実施の形態1にかかるインジケータ検査機100の駆動機構180に代えて、駆動機構280を有している。インジケータ検査機200のその他の構成は、実施の形態1にかかるインジケータ検査機100と同様である。
実施の形態3にかかるインジケータ検査機300について説明する。図9に、実施の形態3にかかるインジケータ検査機300の内部構造を模式的に示す。インジケータ検査機300は、実施の形態1にかかるインジケータ検査機100に振動機構390を追加した構成を有する。インジケータ検査機300のその他の構成は、実施の形態1にかかるインジケータ検査機100と同様である。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、制御部160は、測定スピンドル140を所定の周期で振動させつつ測定スピンドル140を昇降させて、繰り返し精度の検査のために複数回の測定を行う。このとき、複数回の測定のそれぞれの間で、インジケータ測定子16と測定子141とが接触を維持したままとなるように、測定スピンドル140を昇降させてもよい。この場合、接触は維持されているものの、測定スピンドル140が振動することで、インジケータ測定子16と測定子141との接触状態は測定ごとに変化することで、実際に被測定物を測定するときの接触状態を疑似的に再現できるので、検査精度の信頼性を向上させることができる。また、複数回の測定のそれぞれの間で、インジケータ測定子16と測定子141とが物理的に離隔するように、測定スピンドル140を昇降させてもよい。この場合、インジケータ測定子16と測定子141とが測定ごとに新たに接触するので、その接触状態を確実に変化させることができ、検査精度の信頼性をさらに向上させることができる。
11 筐体部
12 文字盤
13 指針
15 スピンドル
16 インジケータ測定子
20 ステム
21 キャップ
100、200、300 インジケータ検査機
110 ブラケット部
111 ハンドル
120 バックボード
121 ガイドレール
130 筐体
131 モータ
132 ボールネジ
132A 送りネジ
132B 可動部
134 エンコーダ
134A スケール
134B 検出器
136 台部
140 測定スピンドル
141 測定子
150 操作部
151 スイッチ
152 ジョグダイヤル
160 制御部
161 変位量指定器
162 位置補償器
163 速度補償器
164 電流補償器
165 増幅器
170 コンピュータ
180、280 駆動機構
231 ステッピングモータ
Claims (13)
- 検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータ検査機であって、
前記インジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、
前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、
前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する制御部と、を備える、
インジケータ検査機。 - 前記制御部は、前記測定スピンドルが、前記インジケータ検査機が有する固有振動数で振動しつつ昇降するように、前記駆動機構を制御する、
請求項1に記載のインジケータ検査機。 - 前記測定スピンドルの位置を検出する検出機構を備え、
前記制御部は、前記測定スピンドルの速度と検出した前記測定スピンドルの位置とに基づいて、前記測定スピンドルの動作をフィードバック制御する、
請求項2に記載のインジケータ検査機。 - 前記駆動機構は、
モータと、
前記モータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、
前記モータの回転速度を検出する速度検出器と、を備え、
前記測定スピンドルは前記可動部に連結され、
前記制御部は、前記速度検出器が検出した前記モータの回転速度と検出した前記測定スピンドルの位置とに基づいて、前記測定スピンドルの動作をフィードバック制御する、
請求項3に記載のインジケータ検査機。 - 前記制御部は、
前記測定スピンドルの目標位置を指定する指令に応じて、前記測定スピンドルに与える変位量を指定する変位指令を出力する変位量指定器と、
前記変位指令と、前記検出機構が検出した前記測定スピンドルの位置と、に基づいて、前記測定スピンドルの速度を指定する速度指令を出力する位置補償器と、
前記速度指令と、前記速度検出器が検出した前記モータの回転速度と、に基づいて、前記モータに与える電流を指定する電流指令を出力する速度補償器と、
前記電流指令が入力される電流補償器と、
入力が前記電流補償器の出力と接続され、前記電流補償器で補償された電流指令を増幅して前記モータへ出力するとともに、前記電流補償器の入力へ前記モータへの電流値をフィードバックさせる増幅器と、を備え、
前記位置補償器のゲインは、前記測定スピンドルが、前記インジケータ検査機が有する固有振動数で振動しつつ昇降するように設定される、
請求項4に記載のインジケータ検査機。 - 前記駆動機構は、
前記測定スピンドルを段階的に昇降させるステップ動作を行う、
請求項1に記載のインジケータ検査機。 - 前記駆動機構は、
ステッピングモータと、
前記ステッピングモータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、を備え、
前記測定スピンドルは前記可動部に連結される、
請求項6に記載のインジケータ検査機。 - 前記駆動機構は、
モータと、
前記モータによって駆動されることで昇降可能な可動部と、を備え、
前記制御部は、ステップ動作を行うように前記モータを制御する、
請求項6に記載のインジケータ検査機。 - 発生させた振動を前記測定スピンドルに伝達可能に構成された振動機構を更に備える、
請求項1に記載のインジケータ検査機。 - 前記インジケータの指示値を複数回測定することで、前記インジケータの指示値の繰り返し精度を検査する場合、
前記制御部は、前記複数回の測定のそれぞれの間で、当該インジケータ検査機の前記測定子と前記インジケータの測定子との接触が維持されるように、前記スピンドルを昇降させる、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載のインジケータ検査機。 - 前記インジケータの指示値を複数回測定することで、前記インジケータの指示値の繰り返し精度を検査する場合、
前記制御部は、前記複数回の測定のそれぞれの間で、当該インジケータ検査機の前記測定子と前記インジケータの測定子とが離隔するように、前記スピンドルを昇降させる、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載のインジケータ検査機。 - 検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、を有するインジケータ検査機において、前記インジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータの検査方法であって、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する、
インジケータの検査方法。 - 検査対象であるインジケータのスピンドルを変位させるために昇降自在に設けられた測定スピンドルと、前記測定スピンドルの先端に設けられ、前記インジケータのスピンドルの先端に設けられたインジケータ測定子と接触する測定子と、前記測定スピンドルを駆動する駆動機構と、前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する制御部と、を有するインジケータ検査機において、前記インジケータのスピンドルを変位させたときの前記インジケータの表示値に基づいて、前記インジケータの精度を検査するインジケータの検査プログラムであって、
前記測定スピンドルの速度を所定の周期で変化させながら前記測定子と前記インジケータ測定子とを接触させるように前記駆動機構を制御する処理を、前記制御部に実行させる、
インジケータの検査プログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017118582A JP6850687B2 (ja) | 2017-06-16 | 2017-06-16 | インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム |
US16/008,160 US10684109B2 (en) | 2017-06-16 | 2018-06-14 | Indicator inspection machine, inspection method, and inspection program |
CN201810630055.9A CN109141301B (zh) | 2017-06-16 | 2018-06-19 | 指示器检查机器、检查方法和检查程序 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017118582A JP6850687B2 (ja) | 2017-06-16 | 2017-06-16 | インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019002831A JP2019002831A (ja) | 2019-01-10 |
JP6850687B2 true JP6850687B2 (ja) | 2021-03-31 |
Family
ID=64657924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017118582A Active JP6850687B2 (ja) | 2017-06-16 | 2017-06-16 | インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10684109B2 (ja) |
JP (1) | JP6850687B2 (ja) |
CN (1) | CN109141301B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7165601B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2022-11-04 | 株式会社ミツトヨ | ゲージ検査治具及びゲージ検査機 |
USD918278S1 (en) * | 2019-08-28 | 2021-05-04 | Ckd Corporation | Printed circuit board inspection machine |
CN114518061B (zh) * | 2022-02-22 | 2024-06-25 | 湖南省计量检测研究院 | 一种数显式土工合成材料测厚仪的厚度示值的检测方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1674417A (en) * | 1927-10-12 | 1928-06-19 | William E Thayer | Spindle tester |
JPS58135903A (ja) * | 1982-02-08 | 1983-08-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | ダイヤルゲ−ジ |
US5421101A (en) * | 1994-04-14 | 1995-06-06 | Ut Automotive, Inc. | Dedicated crimp measuring gauge |
JP3061096B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2000-07-10 | 株式会社タツノ・メカトロニクス | 液化ガス計量装置 |
JPH1089903A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤルゲージ自動検査装置 |
US6694797B2 (en) * | 2000-05-10 | 2004-02-24 | Ilmar Luik | Dial indicator calibration apparatus |
US6510725B2 (en) * | 2000-10-13 | 2003-01-28 | Mitutoyo Corporation | Apparatus and method of inspecting gage |
JP3594546B2 (ja) * | 2000-10-17 | 2004-12-02 | 株式会社ミツトヨ | ゲージ検査機 |
JP2002148001A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-22 | Nippon Denpa Kk | ダイヤルゲージ検査装置 |
JP4066141B2 (ja) * | 2001-02-20 | 2008-03-26 | 光夫 越智 | 培養組織の品質管理方法及び製造方法 |
WO2003069277A1 (en) * | 2002-02-14 | 2003-08-21 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
CN2553338Y (zh) * | 2002-08-03 | 2003-05-28 | 中国人民解放军96401部队装备部 | 百分表千分表自动检定装置 |
JP2005106549A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Olympus Corp | 形状測定装置 |
JP5236962B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2013-07-17 | 株式会社ミツトヨ | 被測定物の表裏面測定方法 |
JP5265976B2 (ja) * | 2008-07-01 | 2013-08-14 | 株式会社ミツトヨ | 測定機 |
GB2496065B (en) * | 2009-03-18 | 2013-10-23 | Helmut Fischer Gmbh Inst Fur Elektronik Und Messtechnik | Measurement stand and method of its electrical control |
US20120246955A1 (en) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Triseal Corporation | Bearing adjustment dial gage tool |
JP6608579B2 (ja) * | 2014-04-03 | 2019-11-20 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
JP6552940B2 (ja) | 2015-10-23 | 2019-07-31 | 株式会社ミツトヨ | 治具及びゲージ検査機 |
US11040425B2 (en) * | 2018-05-22 | 2021-06-22 | Shawn Thomas Lause | On-machine inspection indicator setup block |
JP6820091B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2021-01-27 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
-
2017
- 2017-06-16 JP JP2017118582A patent/JP6850687B2/ja active Active
-
2018
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Publication number | Publication date |
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US20180364019A1 (en) | 2018-12-20 |
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CN109141301A (zh) | 2019-01-04 |
JP2019002831A (ja) | 2019-01-10 |
CN109141301B (zh) | 2022-06-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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