JP6848887B2 - 異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート及びその製造方法 - Google Patents
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Description
1.熱伝導性充填剤を含有し、かつ、アスカーC硬度が2〜30である熱伝導性シリコーンゴム層と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂が含浸された縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層とを具備し、縦糸の繊維方向が厚さ方向と一致すると共に、上記熱伝導性シリコーンゴム層と上記繊維クロス層とがそれぞれ少なくとも5層以上にわたって、厚さ方向に直交する方向に沿って交互に並設されてなることを特徴とする異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
2.シートの厚さが0.1〜100mmである1記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
3.各熱伝導性シリコーンゴム層の幅(P)が0.01〜10.0mm、各縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層の幅(Q)が0.05〜1.0mmであり、かつ、上記両層の幅の比(P):(Q)が1:10〜10:1である1又は2記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
4.熱伝導性シリコーンゴム層が、(a)硬化性オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、及び(c)熱伝導性充填剤を含むシリコーンゴム組成物の硬化物層である1〜3のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
5.縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸されるシリコーンゴムが、(a)硬化性オルガノポリシロキサン及び(b)硬化剤を含む硬化性シリコーン組成物の硬化物である1〜4のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
6.縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸されるシリコーン樹脂が、室温下で実質的に固体である熱軟化性シリコーン樹脂である1〜4のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
7.シリコーンゴム層の熱伝導率が0.5W/mK以上である1〜6のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
8.熱伝導性充填剤を含有し、かつ、アスカーC硬度が2〜30である熱伝導性シリコーンゴム層と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂を縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させてなる繊維クロス層とを貼り合わせて熱伝導性複合シリコーンゴムシートを作製し、この熱伝導性複合シリコーンゴムシートを積層又は巻き芯に巻回して成形体ブロックを形成した後、これを縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維に対して垂直になる角度にスライスし、シート化させることを特徴とする異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
9.熱伝導性シリコーンゴム層が、(a)硬化性オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、及び(c)熱伝導性充填剤を含むシリコーンゴム組成物を硬化させてなるシリコーンゴム層である8記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
10.縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸させるシリコーンゴムが、(a)硬化性オルガノポリシロキサン及び(b)硬化剤を含む硬化性シリコーン組成物であり、これを縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させたのち硬化させて繊維クロス層を形成する8又は9記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
11.縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させるシリコーン樹脂が、室温下で実質的に固体である熱軟化性シリコーン樹脂であり、これを繊維クロスに含浸・充填させて繊維クロス層を形成する8又は9記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
12.熱伝導性シリコーンゴム層の熱伝導率が0.5W/mK以上である8〜11のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
13.熱伝導性シリコーンゴム層と縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層との体積比率を20:80〜95:5の範囲とする8〜12のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
14.縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層において、該縦糸の質量比が90質量%以上である8〜13のいずれかに記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
本発明の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートは、図1及び図2に示したように、熱伝導性充填剤を含有し、アスカーC硬度が2〜30である層厚さ0.01〜10.0mmの熱伝導性シリコーンゴム層1と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂を含浸させてなる層厚さ0.05〜1.0mmの縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層2とを貼り合わせて熱伝導性複合シリコーンゴムシート3を作製し、この熱伝導性複合シリコーンゴムシート3を積層又は巻き芯に巻回して成形体ブロック4を形成した後、これを縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維に対して垂直になる角度にスライスし、シート化させることにより製造されるものである。そして、本発明の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート5は、上記の熱伝導性シリコーンゴム層1と繊維クロス層2とが少なくとも5層以上にわたって交互に並設された構造を有するものとなる。
本発明において、熱伝導性シリコーンゴム層は、好適には(a)硬化性オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、及び(c)熱伝導性充填剤を含むシリコーンゴム組成物を硬化させてなり、アスカーC硬度が2〜30であり、かつ、表面が微粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層である。
(a)成分のオルガノポリシロキサンは、硬化して熱伝導性シリコーンゴム層を与えるシリコーンゴム組成物におけるベースポリマー(主剤)として作用するものであって、好適には、下記平均組成式(1)
R1 aSiO(4-a)/2 (1)
(式中、R1は独立に炭素原子数1〜12の非置換又は置換の1価炭化水素基であり、aは1.8〜2.2、好ましくは1.95〜2.05の正数である。)
で表される、基本的に直鎖状の(あるいは一部に分岐構造を含有する分岐鎖状の)ジオルガノポリシロキサンである。
(b)硬化剤は、上記(a)成分に対する架橋剤(硬化剤)として作用する成分であり、本発明では、ヒドロシリル化反応硬化剤(即ち、オルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金系触媒の組み合わせ)又は有機過酸化物を使用することができる。以下、これらについて詳細に説明する。
なお、(b)成分中のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、1種単独で使用しても2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(c)熱伝導性充填剤としては、この種の用途に熱伝導性充填剤として一般的に使用される公知の材料を特に制限なく使用することができる。例えば、銅、銀、アルミニウム等の金属:酸化アルミニウム、シリカ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、酸化亜鉛等の金属酸化物:窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス:人工ダイヤモンド等を用いることができる。このうち比較的入手しやすく、比較的安価な酸化アルミニウム、窒化アルミニウムが好ましい。
本発明において繊維クロス層は、縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層にシリコーンゴム又はシリコーン樹脂を含浸させてなるものである。
本発明で用いる繊維クロスは、縦糸に100W/mK以上の熱伝導率を有する熱伝導性繊維を用いたクロスである。なお、本発明における縦糸とは、最終的に繊維クロス含有熱伝導性樹脂硬化物を切断する面と垂直になる方向となる繊維を指す。図1(A)のX方向が縦糸の繊維方向(長さ方向)を示す。
繊維クロスの縦糸と横糸との割合は任意に設定することができるが、熱伝導性の観点から、縦糸の割合は繊維クロス全体の40質量%以上であることが好ましく、より好ましくは90質量%以上である。熱伝導性繊維の縦糸の割合が40質量%より少ないと、熱伝導性が損なわれるおそれがある。また、縦糸の割合の上限値は、繊維クロス全体の好ましくは99.99質量%以下である。
本発明では、上記(d)繊維クロスに含浸させる(e)シリコーンゴム又は樹脂としてこれを得る場合、以下の(e−1)硬化性シリコーンゴム組成物及び(e−2)熱軟化性シリコーン樹脂を使用することができる。
(e−1)硬化性シリコーンゴム組成物としては、上記した(a)オルガノポリシロキサン及び(b)硬化剤と同様の成分を含む組成物からなる硬化性シリコーンゴム組成物を好適に使用することができる。(e−1)成分を上述した(d)繊維クロスに含浸・充填させた後、硬化させることによって、シリコーンゴムが含浸・充填された表面微粘着性の繊維クロス層を形成することができる。
(e−2)熱軟化性シリコーン樹脂としては、室温(25℃±5℃)下で実質的に固体(即ち、自己流動性のない非液状物)のシリコーン樹脂を使用することができる。本発明では、例えば、下記の熱軟化性シリコーン樹脂等が挙げられる。
D1 mTpD2 n
(ここで、D1はジメチルシロキサン単位(即ち、(CH3)2SiO)、Tはフェニルシルセスキオキサン単位(即ち、(C6H5)SiO3/2)、D2はメチルビニルシロキサン単位(即ち、(CH3)(CH2=CH)SiO)を表し、組成比に係る(m+n)/p(モル比)=0.25〜4.0、また、(m+n)/m(モル比)=1.0〜4.0の範囲である。)
MlD1 mTpD2 n
(ここで、Mはトリメチルシロキサン単位(即ち、(CH3)3SiO1/2)、D1、T、D2は上記のとおりであり、組成比に係る(m+n)/p(モル比)=0.25〜4.0、また、(m+n)/m(モル比)=1.0〜4.0、また、l/(m+n)(モル比)=0.001〜0.1の範囲である。)
MlD1 mQqD2 n
(ここで、QはSiO4/2を表し、M、D1、D2は上記のとおりであり、組成比に係る(m+n)/q(モル比)=0.25〜4.0、また、(m+n)/m(モル比)=1.0〜4.0、また、l/(m+n)(モル比)=0.001〜0.1の範囲である。)
これらは、1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法は、特に限定されないが、プレス法やコーティング法など、一般的にはコーティング法が有効である。
熱伝導性シリコーンゴム層の組成物は、上記各成分(上記(a)〜(c)成分及び必要によりその他の成分)をプラネタリミキサー等の混合機を用いて、室温(25℃±5℃)にて0.5〜5時間、特に1〜3時間程度均一に混合することにより調製できる。この工程で所望により、熱伝導性能を損なわない範囲で、付加反応制御剤、セパレーターとの離型を促す内添離型剤、シリコーンウエッター、着色剤、補強性シリカ等補強剤、難燃剤等を添加してもよい。
〈硬化性シリコーンゴム組成物を使用する場合〉
繊維クロスに(e−1)硬化性シリコーンゴムを含浸・充填させた繊維クロス層の製造方法について説明する。
次に、繊維クロスに(e−2)熱軟化性シリコーン樹脂を含浸・充填させた繊維クロス層の製造方法について説明する。
繊維クロスに室温下で実質的に固体である(e−2)熱軟化性シリコーン樹脂を含浸・充填させてなる繊維クロス層の代表的な製造方法は以下のとおりである。
上記熱伝導性複合シリコーンゴムシートを複数層重ね合わせることにより所定の厚さを有する板状又は柱状の成形体ブロックを形成したり、又は該シートを複数層重ね合わせたものを巻き芯に巻回することにより所定の肉厚を有する円筒状の成形体ブロックを形成することができる。積層する場合、熱伝導率の観点から縦糸の高熱伝導繊維の方向を一定になるように積層するのが好ましい。この成形体ブロックの熱伝導性シリコーンゴム層と繊維クロス層の体積比率は20:80〜95:5の範囲にあることが好ましく、30:70〜90:10がより好ましい。熱伝導性シリコーンゴム層の体積比率が20より小さいと、表面硬度が高く、ゴム特有の伸縮性が損なわれ、熱履歴により空隙が発生して熱伝導性が低下するおそれがあり、95より大きいと異方熱伝導性が低下するため、熱伝導性が低下するおそれがある。巻き芯に上記シートを巻きつけて成形体ブロックを形成する場合、使用する巻き芯は、特に限定はされないが、空隙の入り難さ及び作業性の観点から、上記熱伝導性シリコーンゴム層を形成する材料と同様の材料で作成されたチューブ状成形物が好ましい。また熱伝導率の観点から、縦糸の高熱伝導繊維が巻き芯に平行になるようにするのが好ましい。重ね合わせ枚数や巻きつけ回数が影響する成形体ブロックの厚み(層に対する垂直方向の厚み)は、特に限定されないが、集積回路素子の大きさから5〜50mmが好ましい。
本発明の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートは、上記成形体ブロックを縦糸の100W/mK以上の高熱伝導繊維に対して垂直になる角度にスライスしシート化させることで得られる。成形体ブロックから、異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートを得るための加工方法は、特に限定はなく、様々なスライス加工方法を用いることができる。例えば、回転刃を用いて切り出したり、レーザー加工にてシートを切り出したりすることができる。スライスして切り出したシートの厚みは、好ましくは0.1〜20mm、より好ましくは0.2〜10mmである。シートの厚みを0.1mm以上とすることによりスライス時にシートの形状を維持することが容易となり、20mm以下とすることにより熱抵抗が過度に増大することがない。
このようにして得られる異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート5は、図1(B)及び図2(B)に示したように、熱伝導性充填剤を含有するアスカーC硬度2〜30の熱伝導性シリコーンゴム層1と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂が含浸された繊維クロス層2とが交互に並設して設けられたものである。この場合、これら層1,2は互いに5層以上、好ましくは10〜100層、より好ましくは20〜80層が交互に並設されるように形成されることが好ましい。
まず、本発明に係る異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートに用いられる熱伝導性シリコーンゴム層の成分は下記のとおりである。
<熱伝導性シリコーンゴム層>
(a)成分:
下記式で示されるオルガノポリシロキサン
(A−1)動粘度:600mm2/s
(A−2)動粘度:30,000mm2/s
平均粒径が5μmの酸化アルミニウム粉末(C−1)
平均粒径が1.5μmの酸化アルミニウム粉末(C−2)
25℃における動粘度が600mm2/sであるジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン(A−1)65質量部、25℃における動粘度が30,000mm2/sであるジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン(A−2)35質量部、熱伝導性充填剤として平均粒径が5μmの酸化アルミニウム粉末(C−1)300質量部、及び平均粒径が1.5μmの酸化アルミニウム粉末(C−2)300質量部をプラネタリーミキサーにて室温で20分混練りし、100メッシュのストレーナーにて濾過して仕上げた。
5質量%塩化白金酸−トルエン溶液(B−2)0.1質量部をベンゾイルパーオキサイド(B−4)0.5質量部に変更し、付加反応制御剤及びメチルハイドロジェンポリシロキサンを添加しなかった以外は、上記付加硬化型熱伝導性シリコーンゴム層の製造と同様にして表面微粘着性の熱伝導性シリコーンゴム層を得た。
<繊維クロス層>
(d)成分:
縦糸に黒鉛化炭素繊維(10μm径、500W/mK)、横糸にポリエステル繊維(5μm径)を用いた繊維クロス(平織、200g/m2、縦糸95質量%)(D−1)
上記(A−1),(A−2),(B−1),(B−2),(B−3),(B−4)
(e−2)成分:
下記組成式で表されるシロキサン樹脂(E−2−1)
D1 25T55D2 20
〔式中、D1はジメチルシロキサン単位(即ち、(CH3)2SiO2/2)、Tはフェニルシルセスキオキサン単位(即ち、(C6H5)SiO3/2)、D2はメチルビニルシロキサン単位(即ち、(CH3)(CH2=CH)SiO2/2)を表す。〕
(数平均分子量:約2,000、軟化点:48℃)
25℃における動粘度が600mm2/sであるジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン(A−1)65質量部、25℃における動粘度が30,000mm2/sであるジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン(A−2)35質量部、5質量%塩化白金酸−トルエン溶液(B−2)0.1質量部を均一に配合し、次いで、付加反応制御剤として1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.1質量部、上記メチルハイドロジェンポリシロキサン(B−3)5質量部を室温にて1時間均一に混合し、繊維クロスに充填するための液状の硬化性シリコーンゴム組成物を得た。
離型処理したポリマーフィルム上に(D−1)繊維クロスを供給(配置)し、上記(D−1)繊維クロスの表面に上記硬化性シリコーン組成物を塗布した後、更に、もう一つの離型処理したポリマーフィルムを繊維クロスの上部から配置し、2枚の離型処理したポリマーフィルムで繊維クロスを挟んだ状態とした。その後、2枚のポリマーフィルムで挟まれた繊維クロスに対して、加熱プレス装置を用い、3MPaの圧力で、120℃、10分の加熱処理を行い、硬化性シリコーン組成物を充填、硬化させて、シリコーンゴムの硬化物で充填された表面微粘着性の繊維クロス層を得た。
5質量%塩化白金酸−トルエン溶液(B−2)0.1質量部をベンゾイルパーオキサイド(B−4)0.5質量部に変更し、付加反応抑制剤及びメチルハイドロジェンポリシロキサンを添加しなかった以外は、上記繊維クロス充填用付加硬化型シリコーン組成物の製造と同様にして繊維クロスに充填するための硬化性シリコーンゴム組成物を得た。
繊維クロス充填用付加硬化型シリコーンゴム組成物を繊維クロス充填用有機過酸化物硬化型シリコーンゴム組成物に変更した以外は、上記付加硬化型シリコーンゴム組成物によるシリコーンゴム含浸繊維クロス層の製造と同様にして、シリコーンゴムの硬化物で充填された表面微粘着性の繊維クロス層を得た。
100℃のホットプレート上に、離型処理したポリマーフィルムを供給(配置)し、この上に(D−1)繊維クロスを供給(配置)し、更に上述した熱軟化性シリコーン樹脂(E−2−1)を上記(D−1)繊維クロスの上に所定量供給して液状とした後、熱軟化性シリコーン樹脂をバーコートにより繊維クロス上に塗り広げながら含浸させた。次いで、もう一つの離型処理したポリマーフィルムを繊維クロスの上に配置し、2枚の離型処理したポリマーフィルムで繊維クロスを挟んだ状態とした。その後、2枚のポリマーフィルムで挟まれた繊維クロスに対して、加熱プレス装置を用い、3MPaの圧力で、120℃、10分の加熱処理を行い、熱軟化性シリコーン樹脂を充填させて繊維クロス層を得た。
表1,2に示した厚みの表面微粘着性の熱伝導性シリコーンゴム層(幅35mm、長さ100mm)の一方の面の離型処理したポリマーフィルムを剥がし、熱伝導性シリコーンゴム層上に、一方の面の離型処理したポリマーフィルムを剥がした同表に示した表面微粘着性の繊維クロス層(幅35mm、長さ100mm)を配置することで、1セットの熱伝導性複合シリコーンゴムシートを得た。熱伝導性複合シリコーンゴムシートを同表に示した数を用意し、最表面の離型処理したポリマーフィルム以外は全て剥がし、室温でプレス機にて、0.1MPaの圧力で炭素繊維の向きが一定になるように圧着し、幅35mm×長さ100mm×厚さ35mmの熱伝導性複合シリコーンゴム成形体ブロックを得た。
上記熱伝導性複合シリコーンゴム成形体ブロックを炭素繊維に対して垂直に丸刃スライサーA70(回転刃、;ハクラ精機(株)社製)を用いて厚み2mmに切り出し、幅35mm×長さ35mm×厚さ2mmの異方熱伝導性シートを得た。
得られた異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートについて、下記特性を試験・測定し、評価した。その結果を表1,表2に示した。
得られた熱伝導性シリコーンゴム層を重ねて厚さを10mmとし、アスカーC硬度計で測定した。
得られた異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートに0.3MPaの荷重をかけ、表面硬さと相関のある圧縮率を測定した。
得られた異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートに0.3MPaの荷重をかけ、これを幅50mm×長さ50mm×厚さ1mmのアルミニウム板に貼り付け、アルミニウム板を垂直に固定し、1時間後の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの脱着の有り無しで密着性を評価した。
評価A:脱着なし
評価B:脱着あり
得られた異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートをASTM−D5470に準拠した方法で、0.3MPaの荷重をかけ、熱抵抗を測定した。
また、表2から明らかなように、比較例1のように熱伝導性シリコーンゴム層の硬度が高い場合は、密着性が劣るため放熱特性が格段に劣り、比較例2のように、熱伝導性シリコーンゴム層のみで繊維クロス層が無い場合、放熱特性が格段に劣ることが分かる。
2 繊維クロス層
3 熱伝導性複合シリコーンゴムシート
4 成形体ブロック
5 異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート
Claims (14)
- 熱伝導性充填剤を含有し、かつ、アスカーC硬度が2〜30である熱伝導性シリコーンゴム層と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂が含浸された縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層とを具備し、縦糸の繊維方向が厚さ方向と一致すると共に、上記熱伝導性シリコーンゴム層と上記繊維クロス層とがそれぞれ少なくとも5層以上にわたって、厚さ方向に直交する方向に沿って交互に並設されてなることを特徴とする異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- シートの厚さが0.1〜100mmである請求項1記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- 各熱伝導性シリコーンゴム層の幅(P)が0.01〜10.0mm、各縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層の幅(Q)が0.05〜1.0mmであり、かつ、上記両層の幅の比(P):(Q)が1:10〜10:1である請求項1又は2記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- 熱伝導性シリコーンゴム層が、(a)硬化性オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、及び(c)熱伝導性充填剤を含むシリコーンゴム組成物の硬化物層である請求項1〜3のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- 縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸されるシリコーンゴムが、(a)硬化性オルガノポリシロキサン及び(b)硬化剤を含む硬化性シリコーン組成物の硬化物である請求項1〜4のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- 縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸されるシリコーン樹脂が、室温下で実質的に固体である熱軟化性シリコーン樹脂である請求項1〜4のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- シリコーンゴム層の熱伝導率が0.5W/mK以上である請求項1〜6のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
- 熱伝導性充填剤を含有し、かつ、アスカーC硬度が2〜30である熱伝導性シリコーンゴム層と、シリコーンゴム又はシリコーン樹脂を縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させてなる繊維クロス層とを貼り合わせて熱伝導性複合シリコーンゴムシートを作製し、この熱伝導性複合シリコーンゴムシートを積層又は巻き芯に巻回して成形体ブロックを形成した後、これを縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維に対して垂直になる角度にスライスし、シート化させることを特徴とする異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 熱伝導性シリコーンゴム層が、(a)硬化性オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、及び(c)熱伝導性充填剤を含むシリコーンゴム組成物を硬化させてなるシリコーンゴム層である請求項8記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層に含浸させるシリコーンゴムが、(a)硬化性オルガノポリシロキサン及び(b)硬化剤を含む硬化性シリコーン組成物であり、これを縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させたのち硬化させて繊維クロス層を形成する請求項8又は9記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロスに含浸させるシリコーン樹脂が、室温下で実質的に固体である熱軟化性シリコーン樹脂であり、これを繊維クロスに含浸・充填させて繊維クロス層を形成する請求項8又は9記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 熱伝導性シリコーンゴム層の熱伝導率が0.5W/mK以上である請求項8〜11のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 熱伝導性シリコーンゴム層と縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層との体積比率を20:80〜95:5の範囲とする請求項8〜12のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
- 縦糸が100W/mK以上の高熱伝導繊維を有する繊維クロス層において、該縦糸の質量比が90質量%以上である請求項8〜13のいずれか1項記載の異方熱伝導性複合シリコーンゴムシートの製造方法。
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