JP6844911B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 支持基板に両端が固定された圧電膜と、該圧電膜を挟んで配置する一対の電極とを備えた圧電素子において、
前記圧電膜は、少なくとも第1の圧電膜と第2の圧電膜を含む積層構造からなることと、
前記第1の圧電膜を挟んで配置する前記一対の電極を備えた圧電素子が複数形成されていることと、
前記第2の圧電膜を挟んで配置する前記一対の電極を備えた圧電素子が複数形成されていることと、
前記圧電素子は、少なくとも、第1の列と第2の列とを構成し、
前記第1の列の圧電素子は、前記第1の圧電膜の一部を挟んで配置する前記一対の電極を備えた第1の圧電素子、第2の圧電素子および第3の圧電素子と、前記第2の圧電膜の一部を挟んで配置する前記一対の電極を備えた第4の圧電素子、第5の圧電素子および第6の圧電素子とを備え、前記両端の一端側から他端側へ順に前記第1の圧電素子、前記第2の圧電素子および前記第3の圧電素子が順に並んで配置しているとともに、前記両端の前記一端側から前記他端側へ順に前記第4の圧電素子、前記第5の圧電素子および前記第6の圧電素子が順に並んで配置していることと、
前記第1の圧電素子と前記第4の圧電素子が並列に接続し、前記第2の圧電素子と前記第5の圧電素子が並列に接続し、前記第3の圧電素子と前記第6の圧電素子が並列に接続するとともに、それぞれ並列に接続した圧電素子が直列に接続していることと、
前記第2の列の圧電素子は、前記第1の圧電膜の一部を挟んで配置する前記一対の電極を備えた第7の圧電素子、第8の圧電素子および第9の圧電素子と、前記第2の圧電膜の一部を挟んで配置する前記一対の電極を備えた第10の圧電素子、第11の圧電素子および第12の圧電素子とを備え、前記両端の前記他端側から前記一端側へ順に前記第7の圧電素子、前記第8の圧電素子および前記第9の圧電素子が順に並んで配置しているとともに、前記両端の前記他端側から前記一端側へ順に前記第10の圧電素子、前記第11の圧電素子および前記第12の圧電素子が順に並んで配置していることと、
前記第7の圧電素子と前記第10の圧電素子が並列に接続し、前記第8の圧電素子と前記第11の圧電素子が並列に接続し、前記第9の圧電素子と前記第12の圧電素子が並列に接続するとともに、それぞれ並列に接続した圧電素子が直列に接続していることと、
並列接続した前記第3の圧電素子と前記第6の圧電素子の組と、並列接続した前記第7の圧電素子と前記第10の圧電素子の組とを直列に接続していることと、
前記第1の圧電素子と前記第4の圧電素子が上下対称に積層形成され、前記第2の圧電素子と前記第5の圧電素子が、前記第3の圧電素子と前記第6の圧電素子が、前記第7の圧電素子と前記第10の圧電素子が上下対称に積層形成され、前記第8の圧電素子と前記第11の圧電素子が上下対称に積層形成され、前記第9の圧電素子と前記第12の圧電素子が上下対称に積層形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1記載の圧電素子において、
前記第1又は前記第2の列を構成する圧電素子間、および前記第1の列と第2の列間は、前記第1の圧電膜あるいは前記第2の圧電膜の表面、裏面あるいは膜間に配置された前記圧電素子の電極から連続する延長部により接続していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1又は2いずれか記載の圧電素子において、
前記第1の列の圧電素子の組と前記第2の列の圧電素子の組を交互に複数個接続配置していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至3いずれか記載の圧電素子において、
振動により前記圧電膜が湾曲変位した場合に、該変位の変曲点により区画される領域毎に、少なくとも前記上下対称に積層形成された前記第1の圧電素子と前記第4の圧電素子と前記第9の圧電素子と前記第12の圧電素子、前記第2の圧電素子と前記第5の圧電素子と前記第8の圧電素子と前記第11の圧電素子、前記第3の圧電素子と前記第6の圧電素子と前記第7の圧電素子と前記第10の圧電素子のいずれかが配置されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至4いずれか記載の圧電素子において、
前記圧電膜は、音響圧力によって振動する膜であることを特徴とする圧電素子。
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