JP6843778B2 - 物体の表面検査装置 - Google Patents
物体の表面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6843778B2 JP6843778B2 JP2018004536A JP2018004536A JP6843778B2 JP 6843778 B2 JP6843778 B2 JP 6843778B2 JP 2018004536 A JP2018004536 A JP 2018004536A JP 2018004536 A JP2018004536 A JP 2018004536A JP 6843778 B2 JP6843778 B2 JP 6843778B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- lens
- light
- light source
- image pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 0 *CC1C(CCC2CC(*)CC2)CC1 Chemical compound *CC1C(CCC2CC(*)CC2)CC1 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第1実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図1に示す。第1実施形態の表面検査装置は、物体100の表面を検査する装置であって、光源10と、ミラー30と、レンズ60と、撮像素子70と、画像処理装置80と、を備えている。光源10は、ミラー30の反射面上の端部に配置される。
第2実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図2に示す。この第2実施形態の表面検査装置は、光源10と、第1ミラー32と、第2ミラー34と、レンズ60と、撮像素子70と、画像処理装置80と、を備えている。
次に、第3実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図4に示す。この第3実施形態の表面検査装置は、第2実施形態の表面検査装置において、光源10と、レンズ60および撮像素子70との配置を入れ替えた構成を有している。このため、第2ミラー34の配置も第2実施形態と異なっている。すなわち、レンズ60の光軸および撮像素子70の撮像面の中心軸が一致するように配置され、物体100の中心軸と、レンズ60の光軸および撮像素子70の撮像面の中心軸が平行に配置される。また、光源10の光軸、すなわち光源10から出射される光の中心軸は、レンズ60の光軸および撮像素子70の撮像面の中心軸と交差するように配置され、好ましくは直交するように配置される。
第4実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図5に示す。第4実施形態の表面検査装置は、物体100の表面を検査する装置であって、光源10と、部分透過素子41と、レンズ42と、ハーフミラー43と、レンズ44と、レンズ45と、レンズ46と、部分透過素子48と、撮像素子70と、画像処理装置80と、を備えている。
r1:r4 = f1:f4
第5実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図6に示す。この第5実施形態の表面検査装置は、図2に示す第2実施形態の表面検査装置において、第1ミラー32をハーフミラー32Aに置き換えた構成を有している。
第6実施形態による物体の表面検査装置(以下、表面検査装置とも云う)を図7に示す。この第6実施形態の表面検査装置は、図2に示す第2実施形態の表面検査装置において、物体100が搬送路150に沿って搬送される構成を有している。すなわち、物体100は、搬送路150に沿って移動する構成となっている。
Claims (8)
- 撮像面を有する撮像素子と、
光源と、
ミラーおよびレンズを有する光学素子群であって、前記光源から物体の表面に入射した入射光による前記物体からの正反射光を除く反射光を前記ミラーのミラー面によって反射し、前記ミラー面によって反射された光を前記レンズによって前記撮像素子の撮像面に結像させる、光学素子群と、
を備え、
前記光源、前記ミラー、前記レンズ、および前記撮像素子は、前記物体から反射される前記入射光の正反射光が前記ミラーおよび前記レンズを介して前記撮像素子の撮像面に入射しないように配置され、
前記レンズの光軸が前記物体の中心軸に対して交差しかつ前記レンズの光軸および前記撮像素子の前記撮像面の中心軸が一致するように前記レンズおよび前記撮像素子が配置され、
前記物体の前記中心軸および前記レンズの光軸に対してそれぞれ前記ミラー面が傾くように前記ミラーが配置され、
前記光源は、前記物体に最も近い側の、前記ミラー面の端部に配置される,物体の表面検査装置。 - 前記光源、前記ミラー、前記レンズ、および前記撮像素子は、前記光源に最も近い側の前記物体の端部に入射した入射光の正反射光が前記ミラーおよび前記レンズを介して前記撮像素子の撮像面に入射しないように、配置される請求項1記載の物体の表面検査装置。
- 撮像面を有する撮像素子と、
検査する物体の表面に対向するように配置された光源と、
前記光源から出射された光を反射する第1ミラー面および前記第1ミラー面と反対側に配置された第2ミラー面を有する第1ミラーと、
前記第1ミラー面によって反射された光を反射して前記物体の前記表面に入射させる第2ミラーと、
レンズと、
を備え、
前記物体の前記表面に入射した入射光による前記物体からの、正反射光を除く反射光が前記第1ミラーの前記第2ミラー面によって反射され、この反射された光を、前記レンズによって前記撮像素子の前記撮像面に結像し、
前記光源、前記第1ミラー、前記第2ミラー、前記レンズ、および前記撮像素子は、前記物体から反射される前記入射光の正反射光が前記第1ミラーの前記第2ミラー面および前記レンズを介して前記撮像素子の撮像面に入射しないように配置される、物体の表面検査装置。 - 前記光源の光軸が前記物体の中心軸に平行となるように前記光源が配置され、
前記レンズの光軸が前記光源の光軸に交差しかつ前記レンズの光軸と前記撮像素子の前記撮像面の中心軸とが一致するように前記レンズおよび前記撮像素子が配置され、
前記光源の光軸に対して前記第1ミラー面が傾き、前記物体の中心軸および前記レンズの光軸に対して第2ミラー面が傾くように前記第1ミラーが配置され、
前記光源の光軸および前記レンズの光軸に対して前記第2ミラーのミラー面が傾くように前記第2ミラーが配置される請求項3記載の物体の表面検査装置。 - 前記第1ミラーは、ハーフミラーである請求項3乃至5のいずれかに記載の物体の表面検査装置。
- 前記物体は搬送路に沿って移動する請求項3乃至6のいずれかに記載の物体の表面検査装置。
- 前記撮像素子の撮像画像に基づいて前記物体の表面情報を得る画像処理装置を更に備えた請求項1乃至7のいずれかに記載の物体の表面検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018004536A JP6843778B2 (ja) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 物体の表面検査装置 |
US16/120,551 US10852243B2 (en) | 2018-01-15 | 2018-09-04 | Apparatus for inspecting object surface |
US17/079,668 US11249028B2 (en) | 2018-01-15 | 2020-10-26 | Apparatus for inspecting object surface |
JP2021026480A JP2021099353A (ja) | 2018-01-15 | 2021-02-22 | 物体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018004536A JP6843778B2 (ja) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 物体の表面検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021026480A Division JP2021099353A (ja) | 2018-01-15 | 2021-02-22 | 物体の表面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019124540A JP2019124540A (ja) | 2019-07-25 |
JP6843778B2 true JP6843778B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=67213808
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018004536A Active JP6843778B2 (ja) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 物体の表面検査装置 |
JP2021026480A Pending JP2021099353A (ja) | 2018-01-15 | 2021-02-22 | 物体の表面検査装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021026480A Pending JP2021099353A (ja) | 2018-01-15 | 2021-02-22 | 物体の表面検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10852243B2 (ja) |
JP (2) | JP6843778B2 (ja) |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS593791B2 (ja) * | 1975-04-07 | 1984-01-26 | キヤノン株式会社 | 物体の像認識方法 |
JPS592791B2 (ja) | 1975-10-28 | 1984-01-20 | 日産自動車株式会社 | ハイキカンリユウセイギヨソウチ |
US4865456A (en) * | 1987-10-01 | 1989-09-12 | Gretag Aktiengesellschaft | Measuring head |
US5113082A (en) * | 1990-09-11 | 1992-05-12 | Moshe Golberstein | Electro-optical instrument with self-contained photometer |
JP2911700B2 (ja) * | 1992-02-17 | 1999-06-23 | 三菱電機株式会社 | コード読み取り用パターンの撮像装置 |
GB9507671D0 (en) * | 1995-04-13 | 1995-11-08 | Barr & Stroud Ltd | Dual waveband optical system |
JP4035558B2 (ja) | 1995-12-05 | 2008-01-23 | 株式会社レイテックス | 表面検査装置 |
US5737074A (en) | 1995-12-05 | 1998-04-07 | New Creation Co., Ltd. | Surface inspection method and apparatus |
EP1396736A3 (en) | 1997-03-11 | 2004-12-29 | Nihon Kohden Corporation | Particle analyzer and composite lens formed by integrally joining plural lens elements of different focal points |
US6667762B1 (en) * | 1998-05-29 | 2003-12-23 | Robotic Vision Systems, Inc. | Miniature inspection system |
US7455407B2 (en) * | 2000-02-11 | 2008-11-25 | Amo Wavefront Sciences, Llc | System and method of measuring and mapping three dimensional structures |
JP4529108B2 (ja) | 2000-12-25 | 2010-08-25 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置 |
US20040042001A1 (en) * | 2002-04-18 | 2004-03-04 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Simultaneous multi-spot inspection and imaging |
IL149557A (en) * | 2002-05-09 | 2008-11-03 | Nova Measuring Instr Ltd | Optical system operating with variable angle of incidence |
JP2004101406A (ja) | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 外観検査装置 |
JP2008039750A (ja) | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Kaneyuki Kubodera | 高さ測定装置 |
JP5611149B2 (ja) | 2011-08-23 | 2014-10-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光学顕微鏡装置及びこれを備えた検査装置 |
WO2015056628A1 (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光学測定装置及び光学系を備える装置 |
US11047790B2 (en) * | 2016-05-09 | 2021-06-29 | Trustees Of Boston University | Method and system for enhanced single particle reflectance imaging |
-
2018
- 2018-01-15 JP JP2018004536A patent/JP6843778B2/ja active Active
- 2018-09-04 US US16/120,551 patent/US10852243B2/en active Active
-
2020
- 2020-10-26 US US17/079,668 patent/US11249028B2/en active Active
-
2021
- 2021-02-22 JP JP2021026480A patent/JP2021099353A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019124540A (ja) | 2019-07-25 |
JP2021099353A (ja) | 2021-07-01 |
US11249028B2 (en) | 2022-02-15 |
US10852243B2 (en) | 2020-12-01 |
US20210041372A1 (en) | 2021-02-11 |
US20190219515A1 (en) | 2019-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6818702B2 (ja) | 光学検査装置及び光学検査方法 | |
JP2000180139A (ja) | マルチスリット走査撮像装置 | |
US11847853B2 (en) | Device for optical imaging of features of a hand | |
JP2007171149A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
US11415510B2 (en) | Optical inspection apparatus | |
US11693162B2 (en) | Optical test apparatus and optical test method | |
CN109196336A (zh) | 利用奇异光束的暗场晶片纳米缺陷检查*** | |
WO2015011968A1 (ja) | 検査装置 | |
CN110836642A (zh) | 一种基于三角测量法的彩色三角位移传感器及其测量方法 | |
JP2015068670A (ja) | シート状物の欠点検査装置およびシート状物の欠点検査方法 | |
JP6843778B2 (ja) | 物体の表面検査装置 | |
US20210293723A1 (en) | Optical inspection device | |
JP7392470B2 (ja) | シート状物の欠点検査用照明およびシート状物の欠点検査装置 | |
JPS5960344A (ja) | 表面をコヒ−レントレ−ザ光束で自動的に検査する方法および装置 | |
JPWO2020059426A5 (ja) | ||
JP7043577B2 (ja) | 光学検査装置、方法及びプログラム | |
JP2000295639A (ja) | 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具 | |
CN114441529B (zh) | 光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法 | |
JP2023019759A (ja) | 光学特性測定装置 | |
CN114324365A (zh) | 一种曲面检测装置 | |
TWI573998B (zh) | 光學檢測裝置 | |
JP2023094587A (ja) | ハイパースペクトルカメラ | |
WO2018042341A1 (en) | An optical system with turning optics | |
JP2019128169A (ja) | 光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190819 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210224 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6843778 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |