JP6835506B2 - 液体塗布ユニットおよび液体塗布装置 - Google Patents
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Description
[液体塗布ユニットの構成]
図1〜図6を参照して、本実施の形態に係る液体塗布ユニット100は、塗布針1を用いて対象物としての基板140(図3参照)の表面に液体材料を塗布するためのものである。液体塗布ユニット100は、塗布針1と、サーボモータ2と、ベース部3と、液体材料容器5と、容器保持部4とを主に備える。
本実施の形態に係る液体塗布装置200は、上述した液体塗布ユニット100を備える。液体塗布装置200は、液体塗布ユニット100と、観察光学系110と、観察光学系110に接続されたCCDカメラ111と、Z軸テーブル120と、X軸テーブル121と、Y軸テーブル122と、基台123と、制御部130とを含む。
次に、液体塗布装置200を用いた液体塗布方法について説明する。液体塗布方法では、まず塗布対象物である基板140の塗布位置のうちの第1塗布位置が観察光学系110の直下に位置するように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120が移動される。基板140の塗布位置は、観察光学系110により観察され、決定される。このようにして決定された塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。このときの液体塗布ユニット100は上記第1状態にある。そして、決定された塗布位置において液体塗布ユニット100が上記第2状態とされることにより、基板140の当該塗布位置に液体材料が塗布される。その後、液体塗布ユニット100は再び第1状態とされる。さらに、次の塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。移動が完了した後、液体塗布ユニット100が上記第2状態とされることにより、基板140の当該塗布位置に液体材料が塗布される。これらの各工程は、連続して繰り返し実施され得る。その結果、本実施の形態に係る液体塗布方法により、基板140の上面上には所定の回路パターンが短時間に形成され得る。
本実施の形態に係る液体塗布ユニット100は、塗布針1を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットである。液体塗布ユニット100は塗布針1と、液体材料Lを貯留する液体材料容器5と、液体材料容器5に対し塗布針1を昇降させる駆動部2とを備える。液体材料容器5には、液体材料Lを貯留するための空間50と、空間50に塗布針1を挿通させるための第1孔51および第2孔52が形成されている。第1孔51は、空間50よりも重力方向の下方に形成されている。第2孔52は、空間50を挟んで第1孔51と反対側に形成されている。液体材料容器5は、第1孔51の内周面上から液体材料容器5の外周面のうち第1孔51を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層9を含む。
本実施の形態に係る液体塗布ユニット100は、例えば以下のような構成を有していてもよい。
Claims (4)
- 塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、
前記塗布針と、
前記液体材料を貯留する液体材料容器と、
前記液体材料容器に対し、前記塗布針を昇降させ、前記塗布針の針先が前記液体材料容器内に収容されている第1状態と、前記塗布針の針先が前記対象物の表面に接触可能な第2状態とを切り替える駆動部とを備え、
前記液体材料容器には、前記液体材料を貯留するための空間と、前記空間に前記塗布針を挿通させるための第1孔および第2孔が形成されており、
前記第1孔は、前記空間よりも重力方向の下方に形成されており、
前記第2孔は、前記空間を挟んで前記第1孔と反対側に形成されており、
前記液体材料容器は、少なくとも前記第1孔の内周面上から前記液体材料容器の外周面のうち前記第1孔を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層を含み、
前記液体材料容器は、前記外周面上において前記第1孔の周囲を囲むように形成されている壁部と、前記壁部の周囲を囲むように形成されておりかつ前記壁部よりも下方に突出している凸部とを含み、
前記壁部は、前記対象物の前記表面と対向する下面として、重力方向および水平方向に対して交差する方向に延びるように形成されている第1面と、前記第1孔の孔軸を中心軸とする径方向において前記第1面よりも外側に配置されており、かつ水平方向に沿って延びるように形成されている第2面とを有し、
前記一部領域は、前記壁部の前記第1面および前記第2面と、前記凸部の頂面と、前記凸部の前記頂面および前記壁部の前記第2面とを接続している前記凸部の側面とを有しており、
前記液体材料容器は、前記第1状態にあるときに、前記液体材料容器に貯留されている前記液体材料の下面が前記壁部の前記第1面上に形成されている前記撥水層と接するように設けられているとともに、前記第1状態および前記第2状態にあるときに、前記液体材料容器に貯留されている前記液体材料の下面が前記壁部の前記第2面上に形成されないように設けられている、液体塗布ユニット。 - 前記第1孔の前記孔軸に対し前記壁部の前記第1面が成す角度のうち小さい方の角度は、30度以上60度以下である、請求項1に記載の液体塗布ユニット。
- 前記撥水層は、前記液体材料容器の全面上に形成されている、請求項1または請求項2に記載の液体塗布ユニット。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体塗布ユニットと、
前記対象物を保持する保持台とを備える、液体塗布装置。
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