JP6834262B2 - 振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置および振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の振動子は、一対の振動基板、および前記一対の振動基板の間に配置されている圧電体を備えている振動部と、
一対の支持基板、および前記一対の支持基板の間に配置されている基板間部を備えている支持部と、
前記振動部と前記支持部とに配置されている配線と、を有し、
前記配線は、前記支持部から露出していることを特徴とする。
これにより、外部との電気的な接続を容易に行うことのできる振動子を提供することができる。
これにより、配線を容易に配置することができる。
他方の前記振動基板および他方の前記支持基板を含む第2基板と、を有することが好ましい。
これにより、振動子の構成が簡単なものとなる。また、振動子の製造も容易となる。
これにより、第1、第2基板と圧電体とをより確実に貼り合せることができる。
これにより、第1配線と第2配線との短絡を防止しつつ、第1配線および第2配線の配置の自由度を高めることができる。
これにより、配線を支持部から露出させ易くなる。
これにより、外部との電気的接続が容易となる。
これにより、外部との電気的接続がより容易となる。
これにより、同じ厚さの振動子で比較した場合、単層の圧電体の構成に対して、振動子の駆動力を高めることができる。
前記振動子に配置されている凸部と、を有することを特徴とする。
これにより、振動部の振動を凸部から対象物に効率的に伝えることができる。
複数の前記振動子が積層されていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエーターの駆動力を高めることができる。
これにより、回路部品によって、振動子の配線を容易に引き出すことができる。
これにより、信頼性の高い圧電モーターが得られる。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。
これにより、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
めっき法によって前記露出部と接触する導電部を形成する工程と、を有することを特徴とする。
これにより、導電部を介して外部との電気的な接続を容易に行うことのできる振動子を提供することができる。
まず、本発明の第1実施形態に係る圧電モーターについて説明する。
まず、図14に示すように、第1配線61が配置された第1基板2、第2配線62が配置された第2基板3、圧電素子4および基板間部5を準備する。次に、図15に示すように、図示しない絶縁性の接着剤8を介して、これらを接合する。
次に、図16に示すように、めっき法(特に無電解めっき法)を用いて、配線6(61、621、622、623、624、625)の露出部60に接触する導電部7を成膜する。導電部7は、凹部122内に充填されるように形成され、さらには、その一部が凹部122の開口から支持部12の外側へ突出する。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
本実施形態は、複数の振動子が積層されている以外は、前述した第1実施形態と同様である。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係るロボットについて説明する。
図22に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の駆動を制御する制御部1080と、を有している。また、アーム1070にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電モーター200が搭載されており、この圧電モーター200の駆動によって各アーム1020、1030、1040、1050、1060、1070が回動する。なお、各圧電モーター200の駆動は、制御部1080によって制御される。
次に、本発明の第5実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
Claims (14)
- 一対の振動基板、および前記一対の振動基板の間に配置されている圧電体を備えている振動部と、
一対の支持基板を備え、前記振動部を支持する支持部と、
一方の前記振動基板と、一方の前記支持基板とを接続する一対の第1の接続部と、
他方の前記振動基板と、他方の前記支持基板とを接続する一対の第2の接続部と、
前記振動部と前記支持部とに配置されている配線と、を有し、
前記配線は、前記支持部から露出していることを特徴とする振動子。 - 一方の前記振動基板および一方の前記支持基板を含む第1基板と、
他方の前記振動基板および他方の前記支持基板を含む第2基板と、を有する請求項1に記載の振動子。 - 前記配線は、前記第1基板に配置されている第1配線と、前記第2基板に配置されている第2配線と、を有する請求項2に記載の振動子。
- 前記支持部は、表面に開口する凹部を有し、前記凹部において前記配線が露出している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記配線の前記露出している部分と接触している導電部を有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記導電部は、前記支持部から突出して配置されている請求項5に記載の振動子。
- 前記一対の振動基板の間に、前記一対の振動基板が重なる方向に沿って積層された複数の前記圧電体を有する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動子。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動子と、
前記振動子に配置されている凸部と、を有することを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 複数の前記振動子を有し、
複数の前記振動子が積層されている請求項8に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記支持部において前記配線と電気的に接続されている回路部品を有する請求項8または9に記載の圧電アクチュエーター。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動子を備えることを特徴とする圧電モーター。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動子を備えることを特徴とするロボット。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動子を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
- 一対の振動基板および前記一対の振動基板の間に配置されている圧電体を備えている振動部と、一対の支持基板を備え、前記振動部を支持する支持部と、一方の前記振動基板と、一方の前記支持基板とを接続する一対の第1の接続部と、他方の前記振動基板と、他方の前記支持基板とを接続する一対の第2の接続部と、前記振動部と前記支持部とに配置され、前記支持部から外部に露出する露出部を有する配線と、を有する振動子を準備する工程と、
めっき法によって前記露出部と接触する導電部を形成する工程と、を有することを特徴とする振動子の製造方法。
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