JP6832934B2 - 最適化された線形性を有する可動マスを連結する手段を備える可動マスサスペンションシステム - Google Patents
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Description
本発明は、振動共振器を有する慣性角センサなどの、平面内に質量可動マスを備えるシステムの領域に関する。「ディスクリートマス(discrete mass)」センサとして知られるこのようなセンサは、「地震マス(seismic mass)」、「試験体(test body)」または「試験マス(test mass)」とも呼ばれる少なくとも1つの可動マスを含み、センサのフレームに対する可動平面に共振器を形成し、センサの動きを分析して、回転におけるフレームの変位に関する情報を提供することができる。
カンチレバービーム(図3A):
ε=2.6206y+2.3065x10−38y2+49697y3;
折り曲げられたばね(図3B):
ε=2.6147y−2.0498x10−38y2+64,223y3;
2軸サスペンション(図3C):
ε=2.5669y+14.055y2+101.73y3;
離間距離hが10μmの連結装置32A(図2):
ε=2.5091y+0.94931y2−25.25y3;
h=20μmの連結装置32A:
ε=2.6030y+0.24324y2+0.045001y3;
h=38μmの連結装置32A:
ε=2.6484y+0.073074y2+40.100y3。
Fy=ky、第1の連結要素34Aの場合、及び
Fy=ky、第2の連結要素36Aの場合
F=Fx+Fy=kx+ky=k(x+y)
12 可動マス
14 可動マス
16 連結手段、サスペンション手段
18 連結手段、サスペンション手段
20 支持体
22 連結手段
24 作動手段
26 作動手段
28 検出手段
30 検出手段
44 第1の端部
46 第2の端部
48 第1の端部
50 第2の端部
51 コンソールビーム
52 板ばね、ビーム
54 板ばね、ビーム
56 板ばね、ビーム
58 板ばね、ビーム
60 延長部
62 延長部
74 折り目
76 折り目
82 延長部
84 延長部
86 延長部
88 折り目
90 折り目
92 コーナー
94 内縁部
95 突出部
102 慣性中心
Claims (15)
- 少なくとも1つの可動マス(12)と、
前記可動マス(12)を支持体20または別の可動マス14などのシステムの別の要素に連結する連結手段(16)であって、これにより、システムの前記別の要素(20、14)に対して、「可動平面」と称される平面(P)内で前記可動マス(12)が移動できる、連結手段(16)と、
を備える可動マスサスペンションシステム(10)であって、
前記連結手段(16)は、前記可動マス(12)に連結された第1の連結要素(34A)、前記システムの前記別の要素に連結された第2の連結要素(36A)、及び、前記第1の連結要素(34A)を前記第2の連結要素(36A)に連結する連結ブロック(38A)を備える第1の連結装置(32A)を備え、
可動マス(12)が静止位置にある際、前記第1及び第2の連結要素(34A、36A)は、それぞれ、前記可動平面(P)と直交し、交差する、第1の平面(P1)及び第2の平面(P2)に対して中心合わせされており、
前記第1の連結要素(34A)は、前記静止位置から開始して、前記第1の平面(P1)に直行する第1の方向(Y)に沿って前記連結ブロック(38A)に対して可動マス(12)を変位させることができるように、前記可動平面(P)において曲げ変形可能であり、かつ、前記第2の連結要素(36A)は、前記静止位置から開始して、前記第2の平面(P2)に直交する第2の方向(X)に沿って前記連結ブロック(38A)に対して前記システムの別の要素(20、14)の相対的な変位を可能にするように前記可動平面(P)において曲げ変形可能であり、
前記第1及び第2の連結要素(34A;36A)の少なくとも1つが、少なくとも2つのばね(40、70、80; 42、72、84)から形成され、それぞれが前記可動マス(12)に連結された第1の端部(44; 48)と、前記連結ブロック(38A)に連結された第2の端部(46、50)と、を有することを特徴とするシステム。 - 前記第1及び第2の連結要素(36A;34A)のうちの他方は、少なくとも2つのばね(42、72、84; 40、70、80)から形成され、それぞれが、前記システムの前記別の要素に、それぞれ前記可動マスに連結された第1の端部(48;44)と、前記連結ブロック(38A)に連結された第2の端部(50、46)と、を有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の連結要素(34A、36A)の少なくとも1つにおける前記ばね(40、42)の各々が直線状の板ばねまたはビームの形態であることを特徴とする請求項1または2に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の連結要素(34A、36A)のうちの少なくとも1つのばね(40、42)の数が3つ以上であることを特徴とする請求項3に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の連結要素(34A、36A)の少なくとも1つが、前記連結ブロック(38A)の2つの対応する延長部(60、62)の間に延在し、この連結要素のばね(44、48)は、数が2つあり、それぞれが折り曲げられた板ばねまたはビームの形態であり、その第1の端部(44、48)が、前記システムの前記可動マス(12)または前記別の要素(20、14)に連結されており、かつ、その第2の端部(46、50)が、前記連結ブロック(38A)の前記延長部(60、62)の1つに連結されていることを特徴とする請求項1または2に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の連結要素(34A、36A)の少なくとも1つのばね(80、84)は、数が2つであり、前記可動マス(12)の対応する延長部(82、84)の各側に延在し、これらのばねの各々は、折り曲げられた板ばねまたはビームの形態であり、その第1の端部(44、48)は、前記システムの前記可動マス(12)または前記別の要素(20、14)の前記延長部(82、86)に連結され、その第2の端部(46、50)が前記連結ブロック(38A)に連結されることを特徴とする請求項1または2に記載のシステム。
- 前記第1の方向(Y)と前記第2の方向(X)との間の角度が90度であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記第1の連結装置(32A)の前記第1の連結要素(34A)及び前記第2の連結要素(36A)は、前記可動平面に直行する第3の平面(P3)に対して互いに対称的であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、前記連結手段(16)は、
前記第1の連結装置(32A)と同様の第2の連結装置(32B)であって、前記第2の連結装置(32B)の第1の連結要素(34B)が前記第1の連結装置(32A)の前記第2の連結要素(36A)と平行に延在するように、かつ、前記第1及び第2の連結装置(32A、32B)が前記可動平面(P)及び前記第3の平面(P3)に直交する第4の平面(P4)に対して互いに対称であるように配置された第2の連結装置(32B)、及び、
前記第1の連結装置(32A)と同様の第3の連結装置(32C)であって、前記第1、第2、及び第3の連結装置(32A、32B、32C)が、前記可動マス(12)の慣性中心(102)の周りに90度回転しても不変である第1のパターン100を形成する、第3の連結装置(32C)、
をさらに備えることを特徴とするシステム。 - 前記可動マス(12)は、どちらも前記可動平面(P)に直交しており、かつ、前記第1の方向(Y)及び前記第2の方向(X)にそれぞれ直交する、第1の対称平面(PS1)及び第2の対称平面(PS2)を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項記載のシステム。
- 前記可動マス(12)は、どちらも前記可動平面(P)に直交しており、かつ、前記第1の方向(Y)及び前記第2の方向(X)にそれぞれ直交する、第1の対称平面(PS1)及び第2の対称平面(PS2)を有し、
前記可動平面(P)における前記可動マス(12)の断面が、前記第4の平面(P4)に対角線を有する正方形であり、前記第1及び第2の対称平面(PS1、PS2)それぞれに平行な2つの隣接する側面(12A、12B)を有することを特徴とする請求項9に記載のシステム。 - 前記可動平面(P)において前記可動マス(12)に振動を与える作動手段(24)をさらに備えることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載のシステム。
- 請求項12に記載のシステムからなる慣性角センサであって、前記可動平面(P)における前記可動マス(12)の変位を測定するための検出手段(28)をさらに備えることを特徴とする慣性角センサ。
- 前記システムの前記別の要素を形成し、前記作動手段(24)が固定される支持体(20)を備えることを特徴とする請求項13に記載の慣性角センサ。
- 前記システムの前記別の要素を形成する別の可動マスを備え、前記システムが2つの前記可動マス(12、14)に前記可動平面(P)において反対の力を加えるように構成されること特徴とする請求項13に記載の慣性角センサ。
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