JP6832484B2 - Work machine - Google Patents

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Description

本発明は、ヘッド移動機構によって作業ヘッドを移動させて作業を行う作業機に関するものである。 The present invention relates to a working machine that performs work by moving a working head by a head moving mechanism.

従来、ヘッド移動機構によって作業ヘッドを移動させて作業を行う作業機として、例えば、吸着ノズルを備えた装着ヘッドをヘッド移動機構によって移動させて基板に部品を装着する部品実装装置が知られている。このような作業機では、ヘッド移動機構は、水平方向に延びたＸ軸ビームと、Ｘ軸ビームの延びる方向と直交する水平方向に延びてＸ軸ビームの両端部を支持する２つのＹ軸ビームとを有しており、２つのアクチュエータによってＸ軸ビームの両端部それぞれを同時に駆動することで、Ｘ軸ビームをＹ軸ビームの延びる方向に移動させるようになっている。 Conventionally, as a work machine for performing work by moving a work head by a head moving mechanism, for example, a component mounting device in which a mounting head provided with a suction nozzle is moved by a head moving mechanism to mount a component on a substrate is known. .. In such a working machine, the head moving mechanism is an X-axis beam extending in the horizontal direction and two Y-axis beams extending in the horizontal direction orthogonal to the extending direction of the X-axis beam to support both ends of the X-axis beam. By simultaneously driving both ends of the X-axis beam with two actuators, the X-axis beam is moved in the extending direction of the Y-axis beam.

このような構成のヘッド移動機構では、Ｘ軸ビームはＹ軸ビームに対する直交姿勢を維持した状態で水平方向に移動されるが、Ｘ軸ビームの熱変形やＹ軸ビームに対する組付け誤差等の種々の原因によってＹ軸ビームに対するＸ軸ビームの姿勢が基準姿勢（直交姿勢）からずれてしまうと、作業ヘッドの位置決め精度が低下する等の不都合が生じる。このため従来、ヘッド移動機構において、Ｘ軸ビームの姿勢の基準姿勢からのずれが検出された場合には、２つのアクチュエータの少なくとも一方に駆動力（修正駆動力）を発生させて、Ｘ軸ビームの姿勢のずれが小さくなるようにしている（例えば、下記の特許文献１）。 In the head movement mechanism having such a configuration, the X-axis beam is moved in the horizontal direction while maintaining an orthogonal posture with respect to the Y-axis beam, but various factors such as thermal deformation of the X-axis beam and assembly error with respect to the Y-axis beam are observed. If the posture of the X-axis beam with respect to the Y-axis beam deviates from the reference posture (orthogonal posture) due to the above-mentioned cause, inconveniences such as deterioration of the positioning accuracy of the work head occur. For this reason, conventionally, when the head moving mechanism detects a deviation of the posture of the X-axis beam from the reference posture, a driving force (corrective driving force) is generated in at least one of the two actuators to generate the X-axis beam. The deviation of the posture of the above is reduced (for example, Patent Document 1 below).

特開２０１０−８２７１１号公報JP-A-2010-82711

しかしながら、アクチュエータに大きな修正駆動力を発生させたままでヘッド移動機構を作動させ続けると、アクチュエータはもとより、ヘッド移動機構の全体が破損・損傷に至るおそれがあるという問題点があった。 However, if the head moving mechanism is continuously operated while a large correction driving force is generated in the actuator, there is a problem that not only the actuator but also the entire head moving mechanism may be damaged or damaged.

そこで本発明は、Ｘ軸ビームの姿勢のずれに起因して生じ得るヘッド移動機構の破損等を未然に防ぐことができる作業機を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a working machine capable of preventing damage to the head moving mechanism that may occur due to a deviation in the posture of the X-axis beam.

本発明の作業機は、水平方向に延びたＸ軸ビームと、Ｘ軸ビームの延びる方向と直交する水平方向に延びてＸ軸ビームの両端部を支持する２つのＹ軸ビームとを有したヘッド移動機構によって作業ヘッドを移動させて作業を行う作業機であって、前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれを同時に駆動することで前記Ｘ軸ビームを前記Ｙ軸ビームの延びる方向に移動させる２つのアクチュエータと、前記２つのアクチュエータによって移動される前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれの前記Ｙ軸ビームの延びる方向の位置を検出する２つのビーム端部位置検出手段と、前記２つのビーム端部位置検出手段により検出される前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれの前記Ｙ軸ビームの延びる方向の位置に基づいて、前記Ｙ軸ビームに対する前記Ｘ軸ビームの姿勢の基準姿勢からのずれを算出する姿勢ずれ算出部と、前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが予め定めた閾値を上回った場合に作業者に警報を発する警報手段と、前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが閾値を上回った場合に、前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれに基づいて、前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが小さくなるように前記Ｘ軸ビームの姿勢を修正する修正駆動力を前記２つのアクチュエータの少なくとも一方に発生させる姿勢ずれ修正制御部と、を備えた。 The working machine of the present invention has a head having an X-axis beam extending in the horizontal direction and two Y-axis beams extending in the horizontal direction orthogonal to the extending direction of the X-axis beam to support both ends of the X-axis beam. A work machine that performs work by moving the work head by a moving mechanism, and two actuators that move the X-axis beam in the extending direction of the Y-axis beam by simultaneously driving both ends of the X-axis beam. And two beam end position detecting means for detecting the position in the extending direction of the Y-axis beam at both ends of the X-axis beam moved by the two actuators, and the two beam end position detecting means. A posture deviation calculation unit that calculates the deviation of the posture of the X-axis beam from the reference posture with respect to the Y-axis beam based on the positions of both ends of the X-axis beam in the extending direction of the Y-axis beam. An alarm means for issuing an alarm to the operator when the deviation of the posture of the X-axis beam calculated by the posture deviation calculation unit exceeds a predetermined threshold, and the X calculated by the attitude deviation calculation unit. When the deviation of the posture of the axis beam exceeds the threshold value, the deviation of the posture of the X-axis beam is reduced based on the deviation of the posture of the X-axis beam calculated by the posture deviation calculation unit. It is provided with a posture deviation correction control unit that generates a correction driving force for correcting the posture of the axial beam in at least one of the two actuators.

本発明によれば、Ｘ軸ビームの姿勢のずれに起因して生じ得るヘッド移動機構の破損等を未然に防ぐことができる。 According to the present invention, it is possible to prevent damage to the head moving mechanism and the like that may occur due to the deviation of the posture of the X-axis beam.

本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図Perspective view of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるヘッド移動機構の斜視図Perspective view of the head moving mechanism included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるヘッド移動機構の一部断面正面図Partial cross-sectional front view of the head moving mechanism included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるヘッド移動機構の一部断面側面図Partial cross-sectional side view of the head moving mechanism included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図A block diagram showing a control system of a component mounting device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品実装装置が実行する姿勢維持制御の流れを示すフローチャートA flowchart showing the flow of posture maintenance control executed by the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の作業機の一実施の形態としての部品実装装置１を示している。部品実装装置１は基板２に部品３を装着する装置であり、基台１１に基板搬送機構１２、複数のパーツフィーダ１３、部品カメラ１４及び部品装着部１５を備えて構成されている。本実施の形態では、作業者ＯＰから見た部品実装装置１の左右方向をＸ軸方向とし、前後方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a component mounting device 1 as an embodiment of the working machine of the present invention. The component mounting device 1 is a device for mounting components 3 on a substrate 2, and includes a substrate transport mechanism 12, a plurality of component feeders 13, a component camera 14, and a component mounting portion 15 on a base 11. In the present embodiment, the left-right direction of the component mounting device 1 as seen from the operator OP is the X-axis direction, and the front-rear direction is the Y-axis direction. Further, the vertical direction is the Z-axis direction.

図１において、基板搬送機構１２はＸ軸方向に延びた前後一対のベルトコンベア１２ａで構成されている。基板搬送機構１２は部品実装装置１の外部から供給された基板２をＸ軸方向に搬送し、基板２を所定の作業位置に位置決めする。パーツフィーダ１３は例えばテープフィーダから成り、部品３を部品供給口１３Ｋに供給する。部品カメラ１４は撮像視野を上方に向けた姿勢で基台１１に取り付けられている。 In FIG. 1, the substrate transport mechanism 12 is composed of a pair of front and rear belt conveyors 12a extending in the X-axis direction. The board transport mechanism 12 transports the board 2 supplied from the outside of the component mounting device 1 in the X-axis direction, and positions the board 2 at a predetermined working position. The parts feeder 13 is composed of, for example, a tape feeder, and supplies the parts 3 to the parts supply port 13K. The component camera 14 is attached to the base 11 with the imaging field of view facing upward.

図１及び図２において、部品装着部１５はヘッド移動機構２１と、このヘッド移動機構２１により水平面内で移動される装着ヘッド２２で構成されている。ヘッド移動機構２１は、Ｙ軸方向に延びて平行に配置された２つのＹ軸ビーム３１と、これら２つのＹ軸ビーム３１に両端部が支持されたＸ軸ビーム３２と、Ｘ軸ビーム３２上に設けられた移動プレート３３を備えており、装着ヘッド２２は移動プレート３３に取り付けられている。 In FIGS. 1 and 2, the component mounting portion 15 is composed of a head moving mechanism 21 and a mounting head 22 that is moved in a horizontal plane by the head moving mechanism 21. The head moving mechanism 21 has two Y-axis beams 31 extending in the Y-axis direction and arranged in parallel, an X-axis beam 32 having both ends supported by these two Y-axis beams 31, and an X-axis beam 32. The moving plate 33 is provided on the moving plate 33, and the mounting head 22 is attached to the moving plate 33.

図１及び図２において、２つのＹ軸ビーム３１はそれぞれ基台１１の左右端部に固定して設けられている。Ｘ軸ビーム３２はＸ軸方向に延びており、２つのＹ軸ビーム３１に対して直交姿勢を維持した状態でＹ軸方向に移動できるように組み付けられている。移動プレート３３はＸ軸ビーム３２に沿ってＸ軸方向に移動できるように組み付けられている。このためＸ軸ビーム３２は２つのＹ軸ビーム３１に両端部が支持された状態でＹ軸方向に移動自在であり、移動プレート３３（すなわち装着ヘッド２２）は、Ｘ軸ビーム３２に沿ってＸ軸方向に移動自在である。 In FIGS. 1 and 2, the two Y-axis beams 31 are fixedly provided at the left and right ends of the base 11, respectively. The X-axis beam 32 extends in the X-axis direction and is assembled so that it can move in the Y-axis direction while maintaining an orthogonal posture with respect to the two Y-axis beams 31. The moving plate 33 is assembled so as to be movable in the X-axis direction along the X-axis beam 32. Therefore, the X-axis beam 32 is movable in the Y-axis direction with both ends supported by the two Y-axis beams 31, and the moving plate 33 (that is, the mounting head 22) is X along the X-axis beam 32. It is movable in the axial direction.

このように本実施の形態において、部品実装装置１は、水平方向（Ｘ軸方向）に延びたＸ軸ビーム３２と、Ｘ軸ビーム３２の延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に延びてＸ軸ビーム３２の両端部を支持する２つのＹ軸ビーム３１とを有したヘッド移動機構２１によって、作業ヘッドである装着ヘッド２２を移動させる構成となっている。 As described above, in the present embodiment, the component mounting device 1 extends in the horizontal direction (Y-axis direction) orthogonal to the extending direction of the X-axis beam 32 extending in the horizontal direction (X-axis direction) and the extending direction of the X-axis beam 32. The head moving mechanism 21 having two Y-axis beams 31 that support both ends of the X-axis beam 32 is configured to move the mounting head 22 which is a work head.

図２において、装着ヘッド２２は下方に延びた複数の吸着ノズル２２ａを備えている。装着ヘッド２２はノズル動作機構２２Ｍを備えており、このノズル動作機構２２Ｍによって複数の吸着ノズル２２ａを個別に昇降させ、Ｚ軸回りに回動させる。また装着ヘッド２２は吸着制御機構２２Ｖを備えている。吸着制御機構２２Ｖは、部品実装装置１の外部から送給される真空圧を各吸着ノズル２２ａに供給することで、各吸着ノズル２２ａの下端に吸着力を発生させる。 In FIG. 2, the mounting head 22 includes a plurality of suction nozzles 22a extending downward. The mounting head 22 includes a nozzle operation mechanism 22M, and the nozzle operation mechanism 22M individually raises and lowers a plurality of suction nozzles 22a and rotates them around the Z axis. Further, the mounting head 22 is provided with a suction control mechanism 22V. The suction control mechanism 22V supplies a vacuum pressure supplied from the outside of the component mounting device 1 to each suction nozzle 22a to generate a suction force at the lower end of each suction nozzle 22a.

図２において、各Ｙ軸ビーム３１には、長手方向（Ｙ軸方向）に沿って上下の固定子（ビーム駆動固定子４１Ａと称する）が設けられている（図３も参照）。一方、Ｘ軸ビーム３２の両端部のそれぞれには、各Ｙ軸ビーム３１に設けられた上下のビーム駆動固定子４１Ａの間に位置する可動子（ビーム駆動可動子４１Ｂと称する）が設けられている。これら上下のビーム駆動固定子４１Ａとその間に位置するビーム駆動可動子４１Ｂは、Ｘ軸ビーム３２の端部を対応するＹ軸ビーム３１に沿ってＹ軸方向に駆動するアクチュエータとしてのリニアモータ（ビーム駆動リニアモータ４１と称する）を構成している。 In FIG. 2, each Y-axis beam 31 is provided with upper and lower stators (referred to as beam-driven stator 41A) along the longitudinal direction (Y-axis direction) (see also FIG. 3). On the other hand, movers (referred to as beam drive movers 41B) located between the upper and lower beam drive stators 41A provided on each Y-axis beam 31 are provided at both ends of the X-axis beam 32. There is. The upper and lower beam-driven stators 41A and the beam-driven mover 41B located between them are linear motors (beams) as actuators that drive the ends of the X-axis beam 32 along the corresponding Y-axis beam 31 in the Y-axis direction. It constitutes a drive linear motor 41).

２つのビーム駆動リニアモータ４１に（詳細には２つのビーム駆動可動子４１Ｂに）同時に通電を行うと、２つのビーム駆動可動子４１Ｂは対応する上下のビーム駆動固定子４１Ａに対してＹ軸方向に移動し、これによりＸ軸ビーム３２は２つのＹ軸ビーム３１をガイドとして、Ｙ軸方向に移動する。Ｘ軸ビーム３２の移動方向の切替えは、２つのビーム駆動リニアモータ４１への通電方向の制御によって行われる。 When the two beam-driven linear motors 41 (specifically, the two beam-driven actuators 41B) are energized at the same time, the two beam-driven actuators 41B are in the Y-axis direction with respect to the corresponding upper and lower beam-driven stators 41A. The X-axis beam 32 moves in the Y-axis direction with the two Y-axis beams 31 as guides. Switching of the moving direction of the X-axis beam 32 is performed by controlling the energizing directions of the two beam-driven linear motors 41.

このように本実施の形態のヘッド移動機構２１は、２つのアクチュエータ（ビーム駆動リニアモータ４１）を同時に駆動することでＸ軸ビーム３２をＹ軸ビーム３１の延びる方向（Ｙ軸方向）に移動させる構成となっている。 As described above, the head moving mechanism 21 of the present embodiment moves the X-axis beam 32 in the extending direction (Y-axis direction) of the Y-axis beam 31 by simultaneously driving two actuators (beam-driven linear motor 41). It is composed.

図２において、Ｘ軸ビーム３２には、長手方向（Ｘ軸方向）に沿って上下の固定子（プレート駆動固定子４２Ａと称する）が設けられている（図４も参照）。一方、移動プレート３３の後面側には、Ｘ軸ビーム３２に設けられた上下のプレート駆動固定子４２Ａの間に位置する可動子（プレート駆動可動子４２Ｂと称する）が設けられている。これら上下のプレート駆動固定子４２Ａとその間に位置するプレート駆動可動子４２Ｂは移動プレート３３をＸ軸ビーム３２に沿ってＸ軸方向に移動させるリニアモータ（プレート駆動リニアモータ４２と称する）を構成している。 In FIG. 2, the X-axis beam 32 is provided with upper and lower stators (referred to as plate drive stators 42A) along the longitudinal direction (X-axis direction) (see also FIG. 4). On the other hand, on the rear surface side of the moving plate 33, a mover (referred to as a plate drive mover 42B) located between the upper and lower plate drive stators 42A provided on the X-axis beam 32 is provided. The upper and lower plate drive stators 42A and the plate drive mover 42B located between them constitute a linear motor (referred to as a plate drive linear motor 42) that moves the moving plate 33 in the X-axis direction along the X-axis beam 32. ing.

プレート駆動リニアモータ４２に（詳細にはプレート駆動可動子４２Ｂに）通電を行うと、プレート駆動可動子４２Ｂは上下のプレート駆動固定子４２Ａに対してＸ軸方向に移動し、これにより移動プレート３３はＸ軸ビーム３２をガイドとして、Ｘ軸方向に移動する。移動プレート３３の移動方向の切替えは、プレート駆動可動子４２Ｂへの通電方向の制御によって行われる。 When the plate drive linear motor 42 (specifically, the plate drive mover 42B) is energized, the plate drive mover 42B moves in the X-axis direction with respect to the upper and lower plate drive stators 42A, whereby the moving plate 33 Moves in the X-axis direction using the X-axis beam 32 as a guide. The movement direction of the moving plate 33 is switched by controlling the energizing direction of the plate drive mover 42B.

図２及び図３において、各Ｙ軸ビーム３１にはＹ軸方向に延びたリニアスケール（Ｙ軸スケール４１Ｓと称する）が設けられており、Ｘ軸ビーム３２のＸ軸方向の両端部のそれぞれには、Ｙ軸位置読取りヘッド４１Ｈが設けられている。Ｙ軸位置読取りヘッド４１ＨはＸ軸ビーム３２とともに移動してＹ軸スケール４１Ｓ上の目盛りを読み取ることにより、そのＹ軸位置読取りヘッド４１Ｈが設けられている側のＸ軸ビーム３２の端部のＹ軸方向の位置を検出する。 In FIGS. 2 and 3, each Y-axis beam 31 is provided with a linear scale (referred to as a Y-axis scale 41S) extending in the Y-axis direction, and is provided at both ends of the X-axis beam 32 in the X-axis direction. Is provided with a Y-axis position reading head 41H. The Y-axis position reading head 41H moves together with the X-axis beam 32 to read the scale on the Y-axis scale 41S, thereby reading the Y at the end of the X-axis beam 32 on the side where the Y-axis position reading head 41H is provided. Detects axial position.

このように本実施の形態において、Ｙ軸スケール４１ＳとＹ軸位置読取りヘッド４１Ｈはビーム端部位置検出手段５１を構成しており（図３）、２つのビーム端部位置検出手段５１は、２つのアクチュエータ（ビーム駆動リニアモータ４１）によって移動されるＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向（すなわち、Ｙ軸ビーム３１の延びる方向）の位置を検出するものとなっている。 As described above, in the present embodiment, the Y-axis scale 41S and the Y-axis position reading head 41H constitute the beam end position detecting means 51 (FIG. 3), and the two beam end position detecting means 51 are 2 The positions of both ends of the X-axis beam 32 moved by one actuator (beam-driven linear motor 41) in the Y-axis direction (that is, the extending direction of the Y-axis beam 31) are detected.

図２及び図４において、Ｘ軸ビーム３２にはＸ軸方向に延びたリニアスケール（Ｘ軸スケール４２Ｓと称する）が設けられており、移動プレート３３にはＸ軸位置読取りヘッド４２Ｈが設けられている。Ｘ軸位置読取りヘッド４２Ｈは移動プレート３３とともに移動してＸ軸スケール４２Ｓ上の目盛りを読み取ることにより、移動プレート３３のＸ軸方向の位置を検出する。このように本実施の形態において、Ｘ軸スケール４２ＳとＸ軸位置読取りヘッド４２Ｈは、移動プレート３３のＸ軸方向（すなわち、Ｘ軸ビーム３２の延びる方向）の位置を検出するプレート位置検出手段５２となっている（図４）。 In FIGS. 2 and 4, the X-axis beam 32 is provided with a linear scale (referred to as an X-axis scale 42S) extending in the X-axis direction, and the moving plate 33 is provided with an X-axis position reading head 42H. There is. The X-axis position reading head 42H moves together with the moving plate 33 and reads the scale on the X-axis scale 42S to detect the position of the moving plate 33 in the X-axis direction. As described above, in the present embodiment, the X-axis scale 42S and the X-axis position reading head 42H are plate position detecting means 52 for detecting the position of the moving plate 33 in the X-axis direction (that is, the extending direction of the X-axis beam 32). (Fig. 4).

図５において、部品実装装置１が備える制御装置５０は、基板搬送機構１２による基板２の搬送及び位置決め動作、各パーツフィーダ１３による部品供給口１３Ｋへの部品３の供給動作、部品カメラ１４による撮像動作の各制御を行う。また、制御装置５０は、２つのビーム駆動リニアモータ４１及びプレート駆動リニアモータ４２による装着ヘッド２２の移動動作、ノズル動作機構２２Ｍによる吸着ノズル２２ａの昇降及び回転動作、吸着制御機構２２Ｖによる吸着ノズル２２ａの吸着動作等の各制御を行う。 In FIG. 5, the control device 50 included in the component mounting device 1 is a transfer and positioning operation of the substrate 2 by the substrate transfer mechanism 12, a supply operation of the component 3 to the component supply port 13K by each component feeder 13, and an image pickup by the component camera 14. Control each operation. Further, in the control device 50, the movement operation of the mounting head 22 by the two beam drive linear motors 41 and the plate drive linear motor 42, the raising and lowering and rotation operations of the suction nozzle 22a by the nozzle operation mechanism 22M, and the suction nozzle 22a by the suction control mechanism 22V. Each control such as suction operation of.

２つのビーム端部位置検出手段５１は、Ｘ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置を検出し、得られた検出情報を制御装置５０に送信する。プレート位置検出手段５２は、移動プレート３３のＸ軸方向の位置を検出し、得られた検出した情報を制御装置５０に送信する（図５）。部品カメラ１４は撮像動作によって取得した画像データを制御装置５０に送信する。制御装置５０は部品カメラ１４から送信された画像データを画像認識部５０ａ（図５）において画像認識処理する。 The two beam end position detecting means 51 detect the positions of both end portions of the X-axis beam 32 in the Y-axis direction, and transmit the obtained detection information to the control device 50. The plate position detecting means 52 detects the position of the moving plate 33 in the X-axis direction, and transmits the obtained detected information to the control device 50 (FIG. 5). The component camera 14 transmits the image data acquired by the imaging operation to the control device 50. The control device 50 performs image recognition processing on the image data transmitted from the component camera 14 in the image recognition unit 50a (FIG. 5).

図５に示すように、制御装置５０は、上記画像認識部５０ａのほか、姿勢ずれ算出部５０ｂ、記憶部５０ｃ、判定部５０ｄ、姿勢ずれ修正制御部５０ｅ及び警報制御部５０ｆを備えている。 As shown in FIG. 5, in addition to the image recognition unit 50a, the control device 50 includes a posture deviation calculation unit 50b, a storage unit 50c, a determination unit 50d, a posture deviation correction control unit 50e, and an alarm control unit 50f.

姿勢ずれ算出部５０ｂは、２つのビーム端部位置検出手段５１によって検出されるＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置に基づいて、Ｙ軸ビーム３１に対するＸ軸ビーム３２の姿勢の基準姿勢からのずれ（以下、単に「Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれ」と称する）を算出する。具体的には、姿勢ずれ算出部５０ｂは、Ｘ軸ビーム３２の姿勢の基準姿勢をＹ軸ビーム３１に対する直交姿勢として定め、２つのビーム端部位置検出手段５１が検出するＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置が同じである場合にＸ軸ビーム３２の姿勢のずれはないものとする。そして、２つのビーム端部位置検出手段５１が検出するＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置が同じでない場合には、Ｘ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置の差分を算出し、その差分をＸ軸ビーム３２の姿勢のずれとして把握する。 The attitude deviation calculating unit 50b determines the attitude of the X-axis beam 32 with respect to the Y-axis beam 31 based on the positions of both ends of the X-axis beam 32 detected by the two beam end position detecting means 51 in the Y-axis direction. The deviation from the reference posture (hereinafter, simply referred to as “the deviation of the posture of the X-axis beam 32”) is calculated. Specifically, the posture deviation calculation unit 50b defines the reference posture of the posture of the X-axis beam 32 as an orthogonal posture with respect to the Y-axis beam 31, and both ends of the X-axis beam 32 detected by the two beam end position detecting means 51. It is assumed that there is no deviation in the posture of the X-axis beam 32 when the positions of the portions in the Y-axis direction are the same. If the positions of both ends of the X-axis beam 32 detected by the two beam end position detecting means 51 are not the same in the Y-axis direction, the positions of both ends of the X-axis beam 32 in the Y-axis direction are not the same. The difference is calculated, and the difference is grasped as the deviation of the posture of the X-axis beam 32.

記憶部５０ｃには、第１の閾値と第２の閾値が記憶されている。第１の閾値は、Ｘ軸ビーム３２の姿勢が直交姿勢からずれている状態でＸ軸ビーム３２を移動させも装着ヘッド２２の位置制御の精度（ひいては装着ヘッド２２による基板２に対する部品３の装着精度）に影響が出ない値の最大値として、実験等によって予め定められる。第２の閾値は第１の閾値よりも大きい値であり、後述する基準に基づいて予め定められる。 A first threshold value and a second threshold value are stored in the storage unit 50c. The first threshold is the accuracy of the position control of the mounting head 22 even if the X-axis beam 32 is moved while the posture of the X-axis beam 32 deviates from the orthogonal posture (and thus, the mounting of the component 3 on the substrate 2 by the mounting head 22). The maximum value that does not affect the accuracy) is predetermined by experiments or the like. The second threshold value is a value larger than the first threshold value and is predetermined based on the criteria described later.

判定部５０ｄは、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出されたＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが、記憶部５０ｃに記憶された第１の閾値以下であるか否かを判定する。そして、姿勢のずれが第１の閾値を上回っていた場合には、更に、姿勢のずれが、記憶部５０ｃに記憶された第２の閾値以下かであるか否かを判定する。 The determination unit 50d determines whether or not the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated by the attitude deviation calculation unit 50b is equal to or less than the first threshold value stored in the storage unit 50c. Then, when the posture deviation exceeds the first threshold value, it is further determined whether or not the posture deviation is equal to or less than the second threshold value stored in the storage unit 50c.

姿勢ずれ修正制御部５０ｅは、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出されたＸ軸ビーム３２の姿勢のずれに基づいて、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが小さくなるようにＸ軸ビーム３２の姿勢を修正する駆動力（修正駆動力）を２つのビーム駆動リニアモータ４１の少なくとも一方に発生させる制御（姿勢ずれ修正制御）を行う。 The attitude deviation correction control unit 50e corrects the attitude of the X-axis beam 32 so that the attitude deviation of the X-axis beam 32 becomes smaller based on the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated by the attitude deviation calculation unit 50b. Control (posture deviation correction control) is performed to generate the driving force (correction driving force) to be generated in at least one of the two beam drive linear motors 41.

姿勢ずれ修正制御では、例えば、Ｘ軸ビーム３２の左端のＹ軸方向の位置が右端のＹ軸方向位置よりも後方に位置している状態の姿勢のずれが検出されている場合には、Ｘ軸ビーム３２の左端が前方に移動して右端と同じＹ軸方向の位置に位置するような修正駆動力を左側のビーム駆動リニアモータ４１に発生させる。或いは、Ｘ軸ビーム３２の右端が後方に移動して左端と同じＹ軸方向の位置に位置するような修正駆動力を右側のビーム駆動リニアモータ４１に発生させる。または、Ｘ軸ビーム３２の左端が前方へ移動するとともに右端が後方へ移動してＸ軸ビーム３２の左端と右端が同じＹ軸方向の位置に位置するような修正駆動力を、左側のビーム駆動リニアモータ４１と右側のビーム駆動リニアモータ４１の双方に発生させる。 In the posture deviation correction control, for example, when the posture deviation in the state where the position of the left end of the X-axis beam 32 in the Y-axis direction is located behind the position of the right end in the Y-axis direction is detected, X A correction driving force is generated in the left beam drive linear motor 41 so that the left end of the shaft beam 32 moves forward and is located at the same position in the Y-axis direction as the right end. Alternatively, a correction driving force is generated in the right beam drive linear motor 41 so that the right end of the X-axis beam 32 moves rearward and is located at the same position in the Y-axis direction as the left end. Alternatively, a modified driving force is applied so that the left end of the X-axis beam 32 moves forward and the right end moves backward so that the left end and the right end of the X-axis beam 32 are located at the same Y-axis direction. It is generated in both the linear motor 41 and the beam drive linear motor 41 on the right side.

警報制御部５０ｆは、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出された２つのＹ軸ビーム３１に対するＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが記憶部５０ｃに記憶された第２の閾値を上回った場合に、入出力装置としてのタッチパネル５３（図１及び図５）を通じて作業者ＯＰに警報を発する制御を行う。このため第２の閾値は、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値を上回る値であって、姿勢ずれ修正制御によってビーム駆動リニアモータ４１に大きな修正駆動力を発生させたままでヘッド移動機構２１を作動させ続けると、ビーム駆動リニアモータ４１はもとより、ヘッド移動機構２１の全体が破損・損傷に至るおそれが生ずると予測される値に設定される。 The alarm control unit 50f inputs / outputs when the attitude deviation of the X-axis beam 32 with respect to the two Y-axis beams 31 calculated by the attitude deviation calculation unit 50b exceeds the second threshold value stored in the storage unit 50c. Control is performed to issue an alarm to the operator OP through the touch panel 53 (FIGS. 1 and 5) as a device. Therefore, the second threshold value is a value in which the attitude deviation of the X-axis beam 32 exceeds the first threshold value, and the head moves while the beam drive linear motor 41 is generated with a large correction driving force by the attitude deviation correction control. If the mechanism 21 is continuously operated, not only the beam drive linear motor 41 but also the entire head moving mechanism 21 is set to a value predicted to cause damage or damage.

このような構成の部品実装装置１が基板２に部品３を装着する部品装着動作を行う場合には、制御装置５０は先ず、基板搬送機構１２を作動させて外部から投入された基板２を受け取り、作業位置に位置決めする。基板搬送機構１２により基板２を作業位置に位置決めしたらヘッド移動機構２１を作動させ、装着ヘッド２２による装着ターンを繰り返し実行させる。 When the component mounting device 1 having such a configuration performs a component mounting operation for mounting the component 3 on the board 2, the control device 50 first operates the board transport mechanism 12 to receive the board 2 input from the outside. , Position to the working position. After the substrate 2 is positioned at the working position by the substrate transport mechanism 12, the head moving mechanism 21 is operated to repeatedly execute the mounting turn by the mounting head 22.

装着ターンは、パーツフィーダ１３が供給する部品３を吸着ノズル２２ａによって吸着する吸着工程、吸着工程で吸着した部品３を部品カメラ１４に撮像させる撮像工程、撮像工程で撮像させた部品３を基板２に装着する装着工程から構成される。撮像工程で部品カメラ１４が撮像した部品３の画像は制御装置５０によって画像認識され、制御装置５０はその画像認識結果に基づいて部品３の良否判定等を行う。装着ターンの繰り返しによって基板２に装着すべき全ての部品３が基板２に装着されたら、制御装置５０は基板搬送機構１２を作動させて、基板２を部品実装装置１の外部に搬出する。 In the mounting turn, the suction step of sucking the component 3 supplied by the part feeder 13 by the suction nozzle 22a, the imaging step of capturing the component 3 sucked in the suction step on the component camera 14, and the component 3 imaged in the imaging step on the substrate 2 It consists of a mounting process to mount on. The image of the component 3 captured by the component camera 14 in the imaging step is image-recognized by the control device 50, and the control device 50 determines the quality of the component 3 based on the image recognition result. When all the components 3 to be mounted on the board 2 are mounted on the board 2 by repeating the mounting turns, the control device 50 operates the board transport mechanism 12 to carry the board 2 out of the component mounting device 1.

部品実装装置１は上記装着ターンを繰り返し実行することによって実装基板を製造するが、制御装置５０は、部品実装装置１が起動された際や、部品装着動作を行っている途中において、図６のフローチャートに示す姿勢維持制御を実行する。 The component mounting device 1 manufactures a mounting board by repeatedly executing the above mounting turns, but the control device 50 has FIG. 6 when the component mounting device 1 is activated or while the component mounting operation is being performed. The posture maintenance control shown in the flowchart is executed.

姿勢維持制御では、制御装置５０は先ず、２つのビーム端部位置検出手段５１によって検出されているＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸方向の位置の差分に基づいて、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれを算出する（ステップＳＴ１）。そして、その算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが、予め定められた（記憶部５０ｃに記憶された）第１の閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳＴ２）。ステップＳＴ２で行った判定の結果、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値以下であった場合には、制御装置５０はＸ軸ビーム３２の姿勢のずれを許容して姿勢ずれ修正制御は行わず、ステップＳＴ１で算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれの値を記憶部５０ｃに記憶させて（ステップＳＴ３）、姿勢維持制御を終了する。 In the attitude maintenance control, the control device 50 first determines the position difference of the X-axis beam 32 in the Y-axis direction at both ends of the X-axis beam 32 detected by the two beam end position detecting means 51. The deviation of the posture is calculated (step ST1). Then, it is determined whether or not the calculated deviation of the posture of the X-axis beam 32 is equal to or less than a predetermined first threshold value (stored in the storage unit 50c) (step ST2). As a result of the determination performed in step ST2, when the attitude deviation of the X-axis beam 32 is equal to or less than the first threshold value, the control device 50 allows the attitude deviation of the X-axis beam 32 and controls the attitude deviation correction. Is not performed, and the value of the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated in step ST1 is stored in the storage unit 50c (step ST3), and the attitude maintenance control is terminated.

このように本実施の形態では、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値以下であった場合には姿勢ずれ修正制御は行われない。しかし、第１の閾値は、前述のように、Ｘ軸ビーム３２の姿勢が直交姿勢からずれている状態でＸ軸ビーム３２を移動させても装着ヘッド２２の位置制御の精度に影響が出ない値の最大値として定められているので、そのまま（すなわち、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれを放置したまま）Ｘ軸ビーム３２を移動させて部品装着動作を実行しても、基板２に対する部品３の装着精度は良好状態に保たれる。 As described above, in the present embodiment, the posture deviation correction control is not performed when the attitude deviation of the X-axis beam 32 is equal to or less than the first threshold value. However, as described above, the first threshold value does not affect the accuracy of the position control of the mounting head 22 even if the X-axis beam 32 is moved in a state where the posture of the X-axis beam 32 deviates from the orthogonal posture. Since it is set as the maximum value, even if the X-axis beam 32 is moved as it is (that is, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is left unattended) and the component mounting operation is executed, the component 3 with respect to the substrate 2 The mounting accuracy of the is maintained in good condition.

一方、ステップＳＴ２で行った判定の結果、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値を上回っていた場合には、次いで、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが予め設定された（記憶部５０ｃに記憶された）第２の閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳＴ４）。ステップＳＴ４で行った判定の結果、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第２の閾値以下であった場合には、そのＸ軸ビーム３２の姿勢のずれを第１の閾値に置き換えたうえで（ステップＳＴ５）、その置き換えた姿勢のずれが解消されるように、２つのビーム駆動リニアモータ４１の少なくとも一方に駆動力（修正駆動力）を発生させる姿勢ずれ修正制御を実行する（ステップＳＴ６）。そして、ステップＳＴ１で算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれの値を記憶部５０ｃに記憶させて（ステップＳＴ３）、姿勢維持制御を終了する。 On the other hand, as a result of the determination performed in step ST2, when the deviation of the posture of the X-axis beam 32 exceeds the first threshold value, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is set in advance (storage unit). It is determined whether or not it is equal to or less than the second threshold value (stored in 50c) (step ST4). If the attitude deviation of the X-axis beam 32 is equal to or less than the second threshold value as a result of the determination performed in step ST4, the attitude deviation of the X-axis beam 32 is replaced with the first threshold value ( In step ST5), posture deviation correction control for generating a driving force (correction driving force) in at least one of the two beam-driven linear motors 41 is executed so that the replaced posture deviation is eliminated (step ST6). Then, the value of the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated in step ST1 is stored in the storage unit 50c (step ST3), and the attitude maintenance control is terminated.

本実施の形態では、上記ステップＳＴ５及びステップＳＴ６において、ビーム駆動リニアモータ４１に修正駆動力を発生するように制御されることによって、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれは第１の閾値にまで下げられる。この状態では、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれは修正駆動力が発生される前より小さくなってはいるものの、Ｘ軸ビーム３２が直交姿勢からずれた状態は継続する。しかし、第１の閾値は、Ｘ軸ビーム３２の姿勢が直交姿勢からずれている状態でＸ軸ビーム３２を移動させも装着ヘッド２２の位置制御の精度に影響が出ない値の最大値として定められているので、この状態（Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値にまで下げられた状態）であれば、そのままＸ軸ビーム３２を移動させて部品装着動作を実行しても、基板２に対する部品３の装着精度は良好状態に保たれる。 In the present embodiment, in steps ST5 and ST6, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is lowered to the first threshold value by controlling the beam-driven linear motor 41 to generate a correction driving force. Be done. In this state, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is smaller than that before the correction driving force is generated, but the state in which the X-axis beam 32 is displaced from the orthogonal posture continues. However, the first threshold value is set as the maximum value of a value that does not affect the accuracy of the position control of the mounting head 22 even if the X-axis beam 32 is moved in a state where the posture of the X-axis beam 32 deviates from the orthogonal posture. Therefore, in this state (the state in which the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is lowered to the first threshold value), even if the X-axis beam 32 is moved as it is and the component mounting operation is executed, The mounting accuracy of the component 3 on the substrate 2 is maintained in a good state.

判定部５０ｄによる判定は常時行われる。このため、仮に部品実装装置１の電源の投入直後にＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値以下であると判定された場合であっても、その後の部品装着動作の実行中に、何らかの原因（例えば、Ｙ軸ビーム３１におけるＸ軸ビーム３２の端部の支持部等に塗布されているグリースが固くなってしまったような場合）によって、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第１の閾値を上回っていると判定されることもある。このような場合には部品装着動作の途中であっても姿勢ずれ修正制御が実行され、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが小さくなるように処置される。 The determination by the determination unit 50d is always performed. Therefore, even if it is determined that the posture deviation of the X-axis beam 32 is equal to or less than the first threshold value immediately after the power of the component mounting device 1 is turned on, during the subsequent component mounting operation, The first deviation in the posture of the X-axis beam 32 is due to some cause (for example, when the grease applied to the support portion at the end of the X-axis beam 32 in the Y-axis beam 31 has hardened). It may be determined that the threshold value of is exceeded. In such a case, the posture deviation correction control is executed even during the component mounting operation, and the posture deviation of the X-axis beam 32 is reduced.

上記ステップＳＴ５では、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第２の閾値以下であった場合に、そのＸ軸ビーム３２の姿勢のずれを第１の閾値に置き換えるようになっているが、第１の閾値よりも小さい値に置き換えても構わない。しかし、第１の閾値よりも小さい値に置き換えた場合には、ビーム駆動リニアモータ４１に発生させる修正駆動力が、第１の閾値に置き換えた場合よりも大きくなってしまう。このため、装着ヘッド２２の位置制御の精度に影響が出ない範囲で修正駆動力を最小限に抑えることができるよう、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれは、第１の閾値に置き換えて修正駆動力を発生させるようにすることが好ましい。 In step ST5, when the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is equal to or less than the second threshold value, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is replaced with the first threshold value. It may be replaced with a value smaller than the threshold value of. However, when the value is replaced with a value smaller than the first threshold value, the correction driving force generated in the beam drive linear motor 41 becomes larger than when the value is replaced with the first threshold value. Therefore, the deviation of the posture of the X-axis beam 32 is replaced with the first threshold value for correction driving so that the correction driving force can be minimized within a range that does not affect the accuracy of the position control of the mounting head 22. It is preferable to generate a force.

ステップＳＴ４で行った判定の結果、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが第２の閾値を上回っていた場合には、制御装置５０の警報制御部５０ｆは、タッチパネル５３等を通じて、作業者ＯＰに、点検やメンテナンス（点検等と称する）が必要である旨を報知したうえで（ステップＳＴ７）、前述のステップＳＴ５及びステップＳＴ６を実行する。そして、制御装置５０は、ステップＳＴ１で算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれの値を記憶部５０ｃに記憶させて（ステップＳＴ３）、姿勢維持制御を終了する。 As a result of the determination performed in step ST4, when the deviation of the posture of the X-axis beam 32 exceeds the second threshold value, the alarm control unit 50f of the control device 50 sends the operator OP through the touch panel 53 or the like. After notifying that inspection or maintenance (referred to as inspection or the like) is necessary (step ST7), the above-mentioned steps ST5 and ST6 are executed. Then, the control device 50 stores the value of the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated in step ST1 in the storage unit 50c (step ST3), and ends the attitude maintenance control.

このように、本実施の形態では、ステップＳＴ２で算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが第２の閾値を上回っていた場合には、ビーム駆動リニアモータ４１に修正駆動力を発生させる姿勢ずれ修正制御が行われてＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが小さくされるだけでなく、点検等が必要である旨が作業者ＯＰに報知される。このため作業者ＯＰは警報に応じた適切な処置を迅速に施すことができ、ヘッド移動機構２１に破損や損傷等が生じ得る事態を未然に回避することができる。上記ステップＳＴ７の警報報知において、タッチパネル５３は、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出されたＹ軸ビーム３１に対するＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが予め定めた閾値（第２の閾値）を上回った場合に警報を発する警報手段として機能する。 As described above, in the present embodiment, when the attitude deviation of the X-axis beam 32 calculated in step ST2 exceeds the second threshold value, the attitude deviation for generating the correction driving force in the beam drive linear motor 41 The correction control is performed to reduce the deviation of the posture of the X-axis beam 32, and the operator OP is notified that inspection or the like is necessary. Therefore, the operator OP can promptly take an appropriate measure in response to the alarm, and can avoid a situation in which the head moving mechanism 21 may be damaged or damaged. In the alarm notification in step ST7, when the attitude deviation of the X-axis beam 32 with respect to the Y-axis beam 31 calculated by the attitude deviation calculation unit 50b exceeds a predetermined threshold value (second threshold value). It functions as an alarm means for issuing an alarm.

ステップＳＴ３で記憶されるＸ軸ビーム３２の姿勢のずれの履歴は制御装置５０において解析され、その結果は記憶部５０ｃに記憶される。そして、作業者ＯＰは、その履歴をタッチパネル５３の操作によって閲覧することが可能である。このため作業者ＯＰは、タッチパネル５３を通じた上記警報がなされた場合等において、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが大きくなった原因等を迅速かつ精密に調査することが可能である。 The history of the attitude shift of the X-axis beam 32 stored in step ST3 is analyzed by the control device 50, and the result is stored in the storage unit 50c. Then, the worker OP can view the history by operating the touch panel 53. Therefore, the operator OP can quickly and precisely investigate the cause of the large deviation of the posture of the X-axis beam 32 when the above alarm is given through the touch panel 53.

以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置１（作業機）では、２つのビーム端部位置検出手段５１により検出されるＸ軸ビーム３２の両端部それぞれのＹ軸ビーム３１の延びる方向（Ｙ軸方向）の位置に基づいて、Ｙ軸ビーム３１に対するＸ軸ビーム３２の姿勢の基準姿勢からのずれを算出し、その算出したＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが予め定めた閾値（第２の閾値）を上回った場合に警報が発せられるようになっている。このため、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれに起因して生じ得る（より詳細には、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれを小さくするためにビーム駆動リニアモータ４１に大きな修正駆動力を発生させたままでヘッド移動機構２１を作動させ続けることによって生じ得る）ヘッド移動機構２１の破損等を未然に防ぐことができる。 As described above, in the component mounting device 1 (working machine) in the present embodiment, the extending direction of the Y-axis beam 31 at both ends of the X-axis beam 32 detected by the two beam end position detecting means 51. The deviation of the posture of the X-axis beam 32 with respect to the Y-axis beam 31 from the reference posture is calculated based on the position (in the Y-axis direction), and the calculated deviation of the posture of the X-axis beam 32 is a predetermined threshold value (th). An alarm is issued when the threshold value of 2 is exceeded. Therefore, it may occur due to the deviation of the attitude of the X-axis beam 32 (more specifically, a large correction driving force is generated in the beam drive linear motor 41 in order to reduce the deviation of the attitude of the X-axis beam 32. It is possible to prevent damage to the head moving mechanism 21 (which may occur by continuing to operate the head moving mechanism 21).

また、本実施の形態では、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出されたＸ軸ビーム３２の姿勢のずれに基づいて、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれが小さくなるようにＸ軸ビーム３２の姿勢を修正する修正駆動力を２つのアクチュエータ（ビーム駆動リニアモータ４１）の少なくとも一方に発生させるようになっている。これによりＸ軸ビーム３２に姿勢のずれが生じているときでもその姿勢のずれが修正されて装着ヘッド２２の位置制御の精度（ひいては装着ヘッド２２による基板２に対する部品３の装着精度）の低下が防止される。 Further, in the present embodiment, the posture of the X-axis beam 32 is modified so that the deviation of the posture of the X-axis beam 32 becomes small based on the deviation of the posture of the X-axis beam 32 calculated by the posture deviation calculation unit 50b. The correction driving force to be generated is generated in at least one of the two actuators (beam drive linear motor 41). As a result, even when the X-axis beam 32 has a posture shift, the posture shift is corrected and the accuracy of the position control of the mounting head 22 (and thus the mounting accuracy of the component 3 with respect to the substrate 2 by the mounting head 22) is reduced. Be prevented.

また、本実施の形態では、上記のようにＸ軸ビーム３２の姿勢を修正する制御を行いつつも、姿勢ずれ算出部５０ｂにより算出されたＸ軸ビーム３２の姿勢のずれが、第２の閾値よりも小さい所定の基準値（第１の閾値）以下である場合には、Ｘ軸ビーム３２の姿勢を修正しないようになっている。このときＸ軸ビーム３２の姿勢のずれは放置されることになるが、その分、ビーム駆動リニアモータ４１に修正駆動力を発生させる必要がないので、Ｘ軸ビーム３２の姿勢維持に要する消費電力を抑えることができる。この場合、上記基準値は、Ｘ軸ビーム３２の姿勢のずれを放置した状態でＸ軸ビーム３２を移動させても装着ヘッド２２の位置制御の精度に影響が出ない値の最大値として定められる。 Further, in the present embodiment, while controlling to correct the posture of the X-axis beam 32 as described above, the posture deviation of the X-axis beam 32 calculated by the posture deviation calculation unit 50b is the second threshold value. When it is smaller than a predetermined reference value (first threshold value) or less, the posture of the X-axis beam 32 is not corrected. At this time, the deviation of the attitude of the X-axis beam 32 is left unattended, but since it is not necessary to generate a correction driving force in the beam drive linear motor 41 by that amount, the power consumption required to maintain the attitude of the X-axis beam 32 is consumed. Can be suppressed. In this case, the reference value is set as the maximum value of a value that does not affect the accuracy of the position control of the mounting head 22 even if the X-axis beam 32 is moved while the posture deviation of the X-axis beam 32 is left unattended. ..

これまで本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、Ｘ軸ビーム３２の両端部それぞれを同時に駆動することでＸ軸ビーム３２をＹ軸ビーム３１の延びる方向（Ｙ軸方向）に移動させるアクチュエータはリニアモータ（ビーム駆動リニアモータ４１）から成っていたが、他の構成のアクチュエータであってもよい。例えば、リニアモータに替えて、Ｙ軸ビーム３１に沿ってＹ軸方向に延びて設けられたボール螺子とこれを回転駆動するモータを組み合わせた機構から成るアクチュエータ等とすることができる。 Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, the actuator that moves the X-axis beam 32 in the extending direction (Y-axis direction) of the Y-axis beam 31 by simultaneously driving both ends of the X-axis beam 32 is a linear motor (beam drive). Although it is composed of a linear motor 41), it may be an actuator having another configuration. For example, instead of the linear motor, an actuator or the like having a mechanism in which a ball screw provided extending in the Y-axis direction along the Y-axis beam 31 and a motor for rotationally driving the ball screw may be used.

また、上述の実施の形態では、本発明の作業機が、ヘッド移動機構２１によって装着ヘッド２２を移動させて基板２に部品３を装着させる部品実装装置１であるとしていたが、作業機は、水平方向に延びたＸ軸ビームと、Ｘ軸ビームの延びる方向と直交する水平方向に延びてＸ軸ビームの両端部を支持する２つのＹ軸ビームとを有したヘッド移動機構によって作業ヘッドを移動させて作業を行う構成のものであればよい。従って本発明は、部品実装装置１の下流工程側に配置され、検査カメラを作業ヘッドとして基板２の検査を行う検査装置等の部品実装関連の作業機のほか、その他の分野の作業機についても幅広く適用することができる。 Further, in the above-described embodiment, the working machine of the present invention is a component mounting device 1 in which the mounting head 22 is moved by the head moving mechanism 21 to mount the component 3 on the substrate 2. The work head is moved by a head moving mechanism having an X-axis beam extending in the horizontal direction and two Y-axis beams extending in the horizontal direction orthogonal to the extending direction of the X-axis beam to support both ends of the X-axis beam. Any configuration may be used as long as the work is performed by letting it work. Therefore, the present invention relates to a component mounting related work machine such as an inspection device which is arranged on the downstream process side of the component mounting device 1 and inspects the substrate 2 using an inspection camera as a work head, as well as work machines in other fields. It can be widely applied.

Ｘ軸ビームの姿勢のずれに起因して生じ得るヘッド移動機構の破損等を未然に防ぐことができる作業機を提供する。 Provided is a working machine capable of preventing damage to the head moving mechanism that may occur due to a deviation in the posture of the X-axis beam.

１ 部品実装装置（作業機）
２１ ヘッド移動機構
２２ 装着ヘッド（作業ヘッド）
３１ Ｙ軸ビーム
３２ Ｘ軸ビーム
４１ ビーム駆動リニアモータ（アクチュエータ）
５０ｂ 姿勢ずれ算出部
５１ ビーム端部位置検出手段
５３ タッチパネル（警報手段） 1 Parts mounting device (working machine)
21 Head movement mechanism 22 Mounting head (working head)
31 Y-axis beam 32 X-axis beam 41 Beam-driven linear motor (actuator)
50b Posture deviation calculation unit 51 Beam end position detection means 53 Touch panel (alarm means)

Claims (3)

水平方向に延びたＸ軸ビームと、Ｘ軸ビームの延びる方向と直交する水平方向に延びてＸ軸ビームの両端部を支持する２つのＹ軸ビームとを有したヘッド移動機構によって作業ヘッドを移動させて作業を行う作業機であって、
前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれを同時に駆動することで前記Ｘ軸ビームを前記Ｙ軸ビームの延びる方向に移動させる２つのアクチュエータと、
前記２つのアクチュエータによって移動される前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれの前記Ｙ軸ビームの延びる方向の位置を検出する２つのビーム端部位置検出手段と、
前記２つのビーム端部位置検出手段により検出される前記Ｘ軸ビームの両端部それぞれの前記Ｙ軸ビームの延びる方向の位置に基づいて、前記Ｙ軸ビームに対する前記Ｘ軸ビームの姿勢の基準姿勢からのずれを算出する姿勢ずれ算出部と、
前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが予め定めた閾値を上回った場合に作業者に警報を発する警報手段と、
前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが閾値を上回った場合に、前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれに基づいて、前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが小さくなるように前記Ｘ軸ビームの姿勢を修正する修正駆動力を前記２つのアクチュエータの少なくとも一方に発生させる姿勢ずれ修正制御部と、
を備えたことを特徴とする作業機。 The work head is moved by a head moving mechanism having an X-axis beam extending in the horizontal direction and two Y-axis beams extending in the horizontal direction orthogonal to the extending direction of the X-axis beam to support both ends of the X-axis beam. It is a work machine that lets you work
Two actuators that move both ends of the X-axis beam in the extending direction of the Y-axis beam by simultaneously driving both ends of the X-axis beam.
Two beam end position detecting means for detecting the positions of both ends of the X-axis beam moved by the two actuators in the extending direction of the Y-axis beam, and
From the reference posture of the posture of the X-axis beam with respect to the Y-axis beam based on the positions of both ends of the X-axis beam in the extending direction of the Y-axis beam detected by the two beam end position detecting means. Posture deviation calculation unit that calculates the deviation of
An alarm means for issuing an alarm to an operator when the attitude deviation of the X-axis beam calculated by the attitude deviation calculation unit exceeds a predetermined threshold value .
When the attitude deviation of the X-axis beam calculated by the attitude deviation calculation unit exceeds the threshold value, the X-axis beam is based on the attitude deviation of the X-axis beam calculated by the attitude deviation calculation unit. A posture deviation correction control unit that generates a correction driving force for correcting the posture of the X-axis beam in at least one of the two actuators so that the posture deviation of the X-axis beam becomes small.
A work machine characterized by being equipped with. 前記姿勢ずれ算出部により算出された前記Ｘ軸ビームの姿勢のずれが、前記閾値よりも小さい所定の基準値以下である場合には、前記Ｘ軸ビームの姿勢を修正しないことを特徴とする請求項１に記載の作業機。 A claim characterized in that the posture of the X-axis beam is not corrected when the posture deviation of the X-axis beam calculated by the posture deviation calculation unit is equal to or less than a predetermined reference value smaller than the threshold value. Item 1. The working machine according to item 1. 前記アクチュエータはリニアモータから成ることを特徴とする請求項１または２に記載の作業機。 The working machine according to claim 1 or 2 , wherein the actuator comprises a linear motor.
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JP2002028880A (en) * 2000-07-13 2002-01-29 Juki Corp Biaxial parallel drive type moving device
JP2002190695A (en) * 2000-12-22 2002-07-05 Juki Corp Xy-moving device and electronic component mounting device using the xy-moving device
JP3860014B2 (en) * 2001-10-30 2006-12-20 Ｊｕｋｉ株式会社 XY positioning control device and electronic component mounting device
JP4391883B2 (en) * 2004-05-19 2009-12-24 住友重機械工業株式会社 MOBILE POSITION CONTROL DEVICE AND STAGE DEVICE USING THE CONTROL DEVICE
JP5241412B2 (en) * 2008-09-29 2013-07-17 Ｊｕｋｉ株式会社 Surface mount equipment

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