JP6830330B2 - Liquid coating unit, liquid coating device, and liquid coating method - Google Patents
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Description
本発明は、液体塗布ユニット、液体塗布装置および液体塗布方法に関し、特にその先端部に液状材料を付着させ、その先端を基板上の微細領域に接触させて液状材料を塗布する塗布針を備える液体塗布ユニット、および該液体塗布ユニットを備える液体塗布装置に関する。 The present invention relates to a liquid coating unit, a liquid coating apparatus, and a liquid coating method, and particularly comprises a liquid provided with a coating needle that adheres a liquid material to the tip thereof and brings the tip into contact with a fine region on a substrate to coat the liquid material. The present invention relates to a coating unit and a liquid coating device including the liquid coating unit.
RFIDタグなどの微細な回路を印刷(塗布)方式で形成するプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。プリンテッドエレクトロニクス技術としては、印刷方式、インクジェット方式、ディスペンサ方式などが一般的であるが、塗布針を用いた方式も、広範囲の粘度の材料を用いて微細な塗布が可能な点で、その選択肢の一つである。 Printed electronics technology for forming minute circuits such as RFID tags by printing (coating) is rapidly developing. As the printed electronics technology, a printing method, an inkjet method, a dispenser method, etc. are generally used, but a method using a coating needle is also an option in that fine coating can be performed using a material having a wide range of viscosities. one of.
塗布針を用いて微細な塗布を行う方法については、特開2007−268353号公報(特許文献1)に記載のような塗布ユニットを用いて行う方法がある。該塗布ユニットは、塗布針を固定支持するアームがエアシリンダによって上下駆動される駆動板によって下方から支持されている。そのため、塗布針による塗布動作においては、エアシリンダによって駆動板が下降することにより、塗布針およびアームが自重で下降する。該塗布ユニットによる1回の塗布時間、すなわち塗布針の下降、塗布、および塗布針の上昇にかかる時間は、例えば数秒程度である。 As a method of performing fine coating using a coating needle, there is a method of performing fine coating using a coating unit as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-268353 (Patent Document 1). In the coating unit, an arm that fixedly supports the coating needle is supported from below by a drive plate that is vertically driven by an air cylinder. Therefore, in the coating operation by the coating needle, the driving plate is lowered by the air cylinder, so that the coating needle and the arm are lowered by their own weight. The time required for one coating by the coating unit, that is, the time required for lowering the coating needle, coating, and raising the coating needle is, for example, about several seconds.
特許文献1に記載の塗布ユニットは、塗布動作を高速化することが困難である。特に、塗布針の下降は、塗布針およびアームの自重により行われるため、仮に駆動板の下降が高速に行われたとしても駆動板の下降に追従できず、高速化が困難である。
With the coating unit described in
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、塗布針による塗布動作を高速で行える液体塗布ユニット、液体塗布装置および液体塗布方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems. A main object of the present invention is to provide a liquid coating unit, a liquid coating apparatus, and a liquid coating method capable of performing a coating operation with a coating needle at high speed.
本発明に係る液体塗布ユニットは、塗布針を用いて対象物の表面に液状材料を塗布するための液体塗布ユニットである。液体塗布ユニットは、塗布針を搭載しており、かつ直線移動する可動部と、可動部を案内する固定部とを含むリニアモータと、可動部に対し重力方向の上方に向かう力を付与する支持部を備える。可動部は、少なくとも、塗布針と対象物とが接触可能な状態にある第1の位置と、第1の位置よりも重力方向の上方にある第2の位置との間を移動可能に設けられている。 The liquid coating unit according to the present invention is a liquid coating unit for coating a liquid material on the surface of an object using a coating needle. The liquid coating unit is equipped with a coating needle, and has a linear motor including a movable portion that moves linearly and a fixed portion that guides the movable portion, and a support that applies an upward force in the direction of gravity to the movable portion. It has a part. The movable portion is provided so as to be movable at least between a first position in which the coating needle and the object are in contact with each other and a second position above the first position in the direction of gravity. ing.
上記液体塗布ユニットにおいて、好ましくは、支持部は、固定部に対して可動部を吊り下げて、可動部を第2の位置に保持可能に設けられている。 In the liquid coating unit, preferably, the support portion is provided so that the movable portion can be suspended from the fixed portion and the movable portion can be held at the second position.
上記液体塗布ユニットにおいて、好ましくは、支持部は、可動部の移動に伴い弾性変形する弾性部を含む。弾性部の一端は固定部に接続されており、弾性部の他端は可動部に接続されている。 In the liquid coating unit, the support portion preferably includes an elastic portion that elastically deforms with the movement of the movable portion. One end of the elastic portion is connected to the fixed portion, and the other end of the elastic portion is connected to the movable portion.
上記液体塗布ユニットにおいて、好ましくは、可動部の移動速度を制御する制御部をさらに備える。制御部は、第2の位置から第1の位置と第2の位置との間に位置する第3の位置までの領域における可動部の移動速度より、可動部が第3の位置から第1の位置までの領域における可動部の移動速度が遅くなるように、可動部の移動速度を制御可能に設けられている。 The liquid coating unit preferably further includes a control unit that controls the moving speed of the movable unit. In the control unit, the movable unit is first from the third position based on the moving speed of the movable unit in the region from the second position to the third position located between the first position and the second position. The moving speed of the movable part can be controlled so as to slow down the moving speed of the movable part in the area up to the position.
本実施の形態に係る液体塗布装置は、上記液体塗布ユニットと、液体塗布ユニットを少なくとも重力方向と交差する方向に移動可能に設けられている移動部とを備える。 The liquid coating device according to the present embodiment includes the liquid coating unit and a moving portion provided so that the liquid coating unit can be moved at least in a direction intersecting the direction of gravity.
本実施の形態に係る液体塗布方法は、上記液体塗布ユニットを用いて液体材料を塗布する液体塗布方法である。該液体塗布方法は、可動部を第2の位置から第3の位置まで移動させる第1工程と、可動部を第3の位置から第1の位置まで移動させる第2工程とを備える。第2工程における可動部の移動速度は、第1工程における可動部の移動速度よりも遅い。 The liquid coating method according to the present embodiment is a liquid coating method for coating a liquid material using the liquid coating unit. The liquid coating method includes a first step of moving the movable portion from the second position to the third position, and a second step of moving the movable portion from the third position to the first position. The moving speed of the movable part in the second step is slower than the moving speed of the moving part in the first step.
本発明によれば、塗布針による塗布動作を高速で行える液体塗布ユニット、液体塗布装置、および液体塗布方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a liquid coating unit, a liquid coating apparatus, and a liquid coating method capable of performing a coating operation with a coating needle at high speed.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
[液体塗布ユニットの構成]
図1〜図6を参照して、本実施の形態に係る液体塗布ユニット100について説明する。液体塗布ユニット100は、塗布針1と、リニアモータ2と、支持部3と、ベース部4と、液体材料容器5とを備える。図1、図2および図5は、塗布針1によって基板140(図5および図6参照)に対し液体材料を塗布可能な状態にある液体塗布ユニット100を示す。図1および図2に示される可動部21の重力方向における位置を、可動部21の第1の位置とよぶ。図3、図4および図6は、可動部21が第1の位置よりも鉛直方向の上方に配置された状態にある液体塗布ユニット100を示す。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings below, the same or corresponding parts will be given the same reference number, and the explanation will not be repeated.
[Construction of liquid coating unit]
The
塗布針1は、一端と他端(図5および図6に示される針先1E)とを有している。塗布針1の針先1Eは、任意の形状を有していればよいが、例えば円錐形状を有している。塗布針1の一端を有する部分(図5および図6に示される部分1B)の外径は、塗布針1の他端を有する部分(図5および図6に示される部分1A)の外径よりも大きい。塗布針1の一端は、塗布針ホルダ11により保持されている。塗布針1の他端は、液体材料が塗布される被塗布部材に接触可能に設けられている。塗布針ホルダ11は、塗布針ホルダ保持部12に保持されている。塗布針ホルダ11は、例えばネジ13により塗布針ホルダ保持部12に対して着脱可能に設けられている。なお、図1および図2において、塗布針1の他端は後述する液体材料容器5よりも下方に突出されている。図3および図4において、塗布針1の他端は後述する液体材料容器5内に収容されている。
The
リニアモータ2は、可動部21と固定部22とを含む。可動部21は、直線移動可能である。可動部21は、塗布針1と、塗布針ホルダ11と、塗布針ホルダ保持部12とを有している。塗布針ホルダ保持部12は、例えばネジ14によりリニアモータ2の可動部21に対して着脱可能に設けられている。このようにして、可動部21には、塗布針1が搭載されている。塗布針1の軸方向と可動部21の移動方向とは、例えば平行である。塗布針1の軸方向および可動部21の移動方向は、例えば重力方向に沿うように設けられている。リニアモータ2は、任意の構成を有していればよく、例えばリニア直流モータまたはリニアステッピングモータなどである。
The
可動部21は、図1および図2に示される第1の位置と図3および図4に示される第2の位置との間を移動可能に設けられている。可動部21が第1の位置にあるときに、塗布針1と塗布対象物である基板140とは接触可能に設けられている。第1の位置にある可動部21は、第2の位置にある可動部21よりも重力方向の下方に位置している。
The
固定部22は、可動部21の直線移動を案内する案内部23を有している。固定部22は、ベース部4に固定されている。
The fixed
支持部3は、第1部31、第2部32、および弾性部33を含む。弾性部33は、一端および他端を有している。弾性部33の一端は第1部31に固定されており、弾性部33の他端は第2部32に固定されている。第1部31は可動部21に固定されている。第2部32は第1部31よりも上方においてベース部4に固定されている。つまり、支持部3は、ベース部4から可動部21を吊り下げている。
The
弾性部33は、一端と他端との間で、弾性変形可能に設けられている。弾性部33は、例えばバネ部材である。弾性部33は、弾性変形によって、可動部21が第1の位置にあるときの第1状態と、可動部21が第2の位置にあるときに第2状態とを変更可能に設けられている。弾性部33は、例えば第1状態および第2状態にあるときに、弾性変形している。
The
弾性部33が第2状態にあるときに、支持部3は第2の位置にある可動部21を保持している。弾性部33は、第2状態にあるときに、可動部21の自重と同等であって重力方向の上方に向かう弾性力を、第1部31を介して可動部21に付与している。言い換えると、支持部3は可動部21の自重を相殺する力を第2の位置にある可動部21に付与し、第2の位置にある可動部21を保持している。
When the
弾性部33が第1状態にあるときの弾性部33の一端は、弾性部33が第2状態にあるときの弾性部33の一端と比べて下方に位置している。異なる観点から言えば、弾性部33が第1状態にあるときの第1部31は、弾性部33が第2状態にあるときの第1部31と比べて下方に位置している。弾性部33の他端、および第2部32は、弾性部33の状態に依らず、重力方向における位置がベース部4に対して固定されている。
One end of the
ベース部4は、固定部22および液体材料容器5を保持している。図2、図5および図6に示されるように、液体材料容器5の内部には、液体材料L(図5および図6参照)を貯留するための空間50が形成されている。液体材料容器5の底部には、当該空間50と外部とを接続している孔51が形成されている。液体材料容器5の上部には、当該空間50と外部とを接続している孔52が形成されている。孔51の孔径は、塗布針1の部分1Aの外径以上部分1Bの外径未満である。孔52の孔径は、塗布針1の部分1Bの外径以上である。これにより、塗布針1の部分1Aは孔51に挿通され得る。塗布針1の部分1Bは、孔52に挿通され得るが、孔51に挿通され得ない。
The base portion 4 holds the fixing
図5に示されるように、液体材料容器5は、可動部21が第1の位置にあるときに塗布針1の針先1Eを孔51から突出可能に設けられている。このとき、塗布針1の針先1Eの表面の少なくとも一部上には、液体材料Lが付着している。図6に示されるように、液体材料容器5は、可動部21が第2の位置にあるときに塗布針1の針先1Eを空間50内に収容可能に設けられている。液体材料Lの粘度は、例えば数cP以上数万cP以下の範囲内から選択され得る。なお、図6に示される一例においては、使用される液体材料の粘度は数万cP程度であるものとする。
As shown in FIG. 5, the
上述のように、液体塗布ユニット100は、塗布針1を搭載しており、かつ直線移動する可動部21と、可動部21を案内する固定部22とを含むリニアモータ2と、可動部21に対し重力方向の上方に向かう力を付与する支持部3を備える。可動部21は、少なくとも、塗布針1と基板140とが接触可能な状態にある第1の位置(図1、図2および図5参照)と、第1の位置よりも重力方向の上方にある第2の位置(図3、図4および図6参照)との間を移動可能に設けられている。
As described above, the
このような液体塗布ユニット100において、リニアモータ2によって塗布針1を搭載している可動部21が第1の位置と第2の位置との間を重力方向に移動する。これにより、可動部21が第2の位置から第1の位置まで移動する際の移動速度は、可動部が自重によって第2の位置から第1の位置まで下降する際の移動速度と比べて、速くされ得る。さらに、第1の位置と第2の位置との間を移動する可動部21には支持部3によって重力方向の上方に向かう力が付与され、可動部21は支持部3によって支持されている。そのため、可動部21が第1の位置から第2の位置まで移動する際の可動部21の移動速度は、重力方向の上方に向かう力が付与されていない可動部の移動速度と比べて、速くされ得る。その結果、液体塗布ユニット100は、従来の液体塗布ユニットと比べて、塗布針1による塗布動作を高速で行えるため、1回の塗布に要する時間を短くすることができる。なお、可動部21に対して支持部3が付与する重力方向の上方に向かう力が可動部21の自重未満である場合、可動部21は、例えばリニアモータ2において可動部21と固定部22との間に働く電磁力により、第2の位置に保持されていればよい。
In such a
上記液体塗布ユニット100において、好ましくは、支持部3は、第2の位置にある可動部21を吊り下げて保持している。この場合、第2の位置にある可動部21は、可動部21の自重に等しくかつ重力方向の上方に向かう力を支持部3から付与されることにより、自重が相殺された状態にある。そのため、リニアモータ2の電源がオフされた状態においても、可動部2は支持部3によって第2の位置に保持され得る。
In the
上記液体塗布ユニット100において、好ましくは、支持部3は、可動部21の移動に伴い弾性変形する弾性部33を含む。弾性部33の一端は固定部22に接続されており、弾性部33の他端は可動部21に接続されている。この場合、可動部21に対し重力方向の上方に向かう力は、弾性部33の弾性変形に伴う弾性力である。このような支持部3によれば、弾性部33の構成を変更することで、可動部21に対して付与される上方に向かう力の強さを容易に変更することができる。そのため、支持部3によれば、可動部21に対し、可動部21の自重を相殺する力を適切に付与させることができる。
In the
上記液体塗布ユニットにおいて、好ましくは、可動部の移動速度を制御する制御部をさらに備える。制御部は、可動部が第2の位置から第1の位置と第2の位置との間に位置する第3の位置に達するまでの可動部の移動速度と比べて、可動部が第3の位置から第1の位置に達するまでの可動部の移動速度が遅くなるように、可動部の移動速度を制御可能に設けられている。 The liquid coating unit preferably further includes a control unit that controls the moving speed of the movable unit. The control unit has a third movable part as compared with the moving speed of the movable part from the second position to the third position located between the first position and the second position. The moving speed of the movable portion can be controlled so as to slow down the moving speed of the movable portion from the position to the first position.
このようにすれば、可動部21が第1の位置に達して塗布針1の針先1Eが基板140(図5〜図7参照)の上面と接触可能する際に、針先1Eによって基板140が受ける衝撃を十分に緩和することができる。
In this way, when the
上述のような液体塗布ユニット100は、RFIDタグなどの微細な回路パターンの形成、液晶ディスプレイなどの欠陥の修正、LED(Light Emitting Diode)への接着剤の塗布などを行う液体塗布装置に好適である。
The
[液体塗布装置の全体構成]
図7は、本実施の形態に従った液体塗布装置200の模式的な斜視図である。液体塗布装置200は、上述した液体塗布ユニット100を備えている。図2に示されるように、液体塗布装置200は、液体塗布ユニット100と、観察光学系110と、観察光学系110に接続されたCCDカメラ111と、Z軸テーブル120と、X軸テーブル121と、Y軸テーブル122と、基台123と、制御部130とを含む。
[Overall configuration of liquid coating device]
FIG. 7 is a schematic perspective view of the
観察光学系110は、塗布対象の基板140の塗布位置を観察するために設けられる。観察光学系110のCCDカメラ111は、観察した画像を電気信号に変換する。液体塗布ユニット100および観察光学系110は、Z軸テーブル120の移動体に搭載されている。これにより、液体塗布ユニット100および観察光学系110は、Z軸テーブル120によって図7中のZ軸方向に移動可能に支持されている。Z軸テーブル120は、X軸テーブル121の移動体に搭載されている。これにより、Z軸テーブル120は、X軸テーブル121によって図7中のX軸方向に移動可能に支持されている。基板140は、Y軸テーブル122の移動体上に載置される。これにより、基板140は、Y軸テーブル122によって図7中のY軸方向に移動可能に支持されている。Y軸テーブル122は、基台123の上面に設置されている。Y軸テーブル122は、Y軸方向に移動可能に設けられている。なお、図7中のZ軸方向は重力方向に沿う方向である。
The observation
制御部130は、操作パネル131、モニタ132、および制御用コンピュータ133を備える。制御部130は、液体塗布ユニット100、観察光学系110、Z軸テーブル120、X軸テーブル121、およびY軸テーブル122を制御する。操作パネル131は、制御用コンピュータ133への指令を入力するために用いられる。モニタ132は、観察光学系110のCCDカメラ111で変換された画像データおよび、制御用コンピュータ133からの出力データを表示する。
The
制御部130は、可動部21の移動速度を制御可能に設けられている。制御部130は、可動部21の移動速度V1が、可動部が自重によって案内部に案内されながら下降する従来の液体塗布ユニットにおける可動部の移動速度と比べて高速となるように、可動部21の移動速度を制御可能に設けられている。可動部21の移動速度は、リニアモータ2に供給される直流電流値または入力パルス信号の周波数によって制御され得る。
The
制御部130は、好ましくは、可動部21が上記第2の位置から第1の位置と第2の位置との間に位置する第3の位置に達するまでの可動部21の移動速度V1と比べて、可動部21が第3の位置から第1の位置に達するまでの可動部21の移動速度V2が遅くなるように、可動部21の移動速度を制御可能に設けられている。つまり、制御部130は、好ましくは、塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する前に、可動部21を減速可能に設けられている。なお、可動部21が第3の位置にあるときに、塗布針1の針先1Eは、例えば液体材料容器5の孔51よりも下方に位置している。
The
好ましくは、可動部21の第3の位置は、可動部21の第2の位置よりも可動部21の第1の位置に近い。この場合、制御部130は、塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する直前に、可動部21を減速可能に設けられている。このような液体塗布装置200によれば、塗布針1による塗布動作を高速で行うことができ、かつ、塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する際に基板140が受ける衝撃を緩和することができる。
Preferably, the third position of the
[液体塗布方法]
次に、液体塗布装置200を用いた液体塗布方法について説明する。液体塗布方法では、まず塗布対象物である基板140の塗布位置が決定される。具体的には、基板140の塗布位置が観察光学系110の直下に位置するように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120が移動される。基板140の塗布位置は、観察光学系110により観察され、決定される。このようにして決定された塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。そして、決定された塗布位置に、液体塗布ユニット100によって液体材料が塗布される。その後、次の塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。移動が完了した後、液体塗布ユニット100によって液体材料が塗布される。これらの各工程は、連続して繰り返し実施され得る。その結果、本実施の形態に係る液体塗布方法により、基板140の上面上には所定の回路パターンが短時間に形成され得る。
[Liquid application method]
Next, a liquid coating method using the
本実施の形態に係る液体塗布方法は、好ましくは、可動部21を第2の位置から第3の位置まで移動させる第1工程と、可動部21を第3の位置から第1の位置まで移動させる第2工程とを備える。第2工程は、第1工程の後に、連続して実施される。第2工程における可動部21の移動速度V2は、第1工程における可動部21の移動速度V1よりも遅い。第1工程および第2工程における可動部21の移動速度は、図7に示される制御部130によって制御される。つまり、制御部130は、塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する前に、可動部21を減速可能に設けられている。
The liquid coating method according to the present embodiment preferably has a first step of moving the
好ましくは、第2工程は、第1工程において可動部21が第2の位置よりも第1の位置に十分に近づいた後に、実施される。つまり、可動部21は、制御部130によって塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する直前に減速されるのが好ましい。このようにすれば、リニアモータ2によって塗布針1を重力方向に沿って高速に移動することができ、かつ、塗布針1の針先1Eが基板140の上面に接触する際に基板140が受ける衝撃を緩和することができる。
Preferably, the second step is carried out after the
なお、液体塗布ユニット100において、支持部3の第1部31は第2部32よりも重力方向の上方に配置されていてもよい。この場合、支持部3の弾性部33は、可動部21が第1の位置および第2の位置にあるときに、圧縮変形された状態にある。このような支持部3によっても、可動部21の自重に等しく、かつ重力方向の上方へ向かう力が可動部21に対して付与され得る。
In the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
1 塗布針、1A,1B 部分、1E 針先、2 リニアモータ、3 支持部、4 ベース部、5 液体材料容器、11 塗布針ホルダ、12 塗布針ホルダ保持部、13,14 ネジ、21 可動部、22 固定部、23 案内部、31 第1部、32 第2部、33 弾性部、50 空間、51,52 孔、100 液体塗布ユニット、110 観察光学系、111 カメラ、120 Z軸テーブル、121 X軸テーブル、122 Y軸テーブル、123 基台、130 制御部、131 操作パネル、132 モニタ、133 制御用コンピュータ、140 基板、200 液体塗布装置。 1 coating needle, 1A, 1B part, 1E needle tip, 2 linear motor, 3 support part, 4 base part, 5 liquid material container, 11 coating needle holder, 12 coating needle holder holding part, 13, 14 screws, 21 moving parts , 22 Fixed part, 23 Guide part, 31 1st part, 32 2nd part, 33 Elastic part, 50 space, 51, 52 holes, 100 liquid coating unit, 110 observation optical system, 111 camera, 120 Z-axis table, 121 X-axis table, 122 Y-axis table, 123 base, 130 control unit, 131 operation panel, 132 monitor, 133 control computer, 140 substrate, 200 liquid coating device.
Claims (4)
前記塗布針を搭載しており、かつ直線移動する可動部と、前記可動部を案内する固定部とを含むリニアモータと、
前記可動部に対し重力方向の上方に向かう力を付与し、前記可動部を支持している支持部を備え、
前記可動部は、少なくとも、前記塗布針と前記対象物とが接触可能な状態にある第1の位置と、前記第1の位置よりも重力方向の上方にある第2の位置との間を移動可能に設けられており、
前記支持部は、前記固定部に対して前記可動部を吊り下げて、前記可動部を前記第2の位置に保持可能に設けられており、
前記支持部は、前記可動部の移動に伴い弾性変形する弾性部を含み、
前記弾性部の一端は前記固定部に接続されており、前記弾性部の他端は前記可動部に接続されており、
前記可動部が前記リニアモータによって前記第2の位置から前記第1の位置まで移動する際の移動速度は、前記可動部が自重によって前記第2の位置から前記第1の位置まで下降する際の移動速度と比べて、速い、液体塗布ユニット。 A liquid coating unit for applying a liquid material to the surface of an object using a coating needle.
A linear motor on which the coating needle is mounted and including a movable portion that moves linearly and a fixed portion that guides the movable portion.
A support portion that applies an upward force in the direction of gravity to the movable portion and supports the movable portion is provided.
The movable portion moves at least between a first position in which the coating needle and the object are in contact with each other and a second position above the first position in the direction of gravity. It is provided as possible ,
The support portion is provided so that the movable portion can be suspended from the fixed portion and the movable portion can be held at the second position.
The support portion includes an elastic portion that elastically deforms with the movement of the movable portion.
One end of the elastic portion is connected to the fixed portion, and the other end of the elastic portion is connected to the movable portion .
The moving speed when the movable part is moved from the second position to the first position by the linear motor is when the movable part is lowered from the second position to the first position by its own weight. A liquid coating unit that is faster than the moving speed .
前記制御部は、前記第2の位置から前記第1の位置と前記第2の位置との間に位置する第3の位置までの領域における前記可動部の移動速度より、前記第3の位置から前記第1の位置までの領域における前記可動部の移動速度が遅くなるように、前記可動部の移動速度を制御可能に設けられている、請求項1に記載の液体塗布ユニット。 A control unit for controlling the moving speed of the movable unit is further provided.
The control unit starts from the third position based on the moving speed of the movable unit in the region from the second position to the third position located between the first position and the second position. wherein as the moving speed of the movable part becomes slow in the region up to the first position, it is provided to be controlled the movement speed of the movable part, the liquid coating unit according to claim 1.
前記液体塗布ユニットを少なくとも重力方向と交差する方向に移動可能に設けられている移動部とを備える、液体塗布装置。 The liquid coating unit according to claim 1 or 2 ,
A liquid coating device including a moving portion provided so that the liquid coating unit can be moved at least in a direction intersecting the direction of gravity.
前記可動部を前記第2の位置から前記第3の位置まで移動させる第1工程と、前記可動部を前記第3の位置から前記第1の位置まで移動させる第2工程とを備え、
前記第2工程における前記可動部の移動速度は、前記第1工程における前記可動部の移動速度よりも遅い、液体塗布方法。 A liquid coating method for coating a liquid material using the liquid coating unit according to claim 2 .
It includes a first step of moving the movable portion from the second position to the third position, and a second step of moving the movable portion from the third position to the first position.
A liquid coating method in which the moving speed of the movable portion in the second step is slower than the moving speed of the movable portion in the first step.
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