JP6826175B2 - Electronic component mounting packages and electronic devices - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品実装用パッケージおよび電子装置に関する。 The present invention relates to a package for mounting electronic components and an electronic device.

圧電振動子などの圧電素子、LED(Light-Emitting Diode:発光ダイオード)などの半導体発光素子等の電子部品が実装された電子装置は、基体を備えたパッケージと、該パッケージにおいて基体に実装される電子部品とを含んで構成される。電子装置において、電子部品は、パッケージの基体の一表面に設けられた導体層上に、たとえば導電性接着剤による接着によって実装されている。 An electronic device on which electronic components such as a piezoelectric element such as a piezoelectric vibrator and a semiconductor light emitting element such as an LED (Light-Emitting Diode) are mounted is mounted on a package having a base and a base in the package. It is composed of electronic components. In electronic devices, electronic components are mounted on a conductor layer provided on one surface of a package substrate, for example by bonding with a conductive adhesive.

具体的には、電子部品として圧電振動子が実装された電子装置である表面実装型の圧電デバイスは、凹部を有する基体を備えたパッケージと、該パッケージ内に収納される水晶などから成る圧電振動子と、凹部を覆う蓋体とを備えている。圧電デバイスにおいて、圧電振動子は、パッケージの基体の一表面となる、凹部の底面に設けられた電極パッド(導体層)上に、導電性接着剤による接着によって実装されている。このような圧電デバイスは、基体の下面に設けられた外部電極を介してプリント基板等の外部回路基板に実装される(特許文献1参照)。 Specifically, a surface mount type piezoelectric device, which is an electronic device on which a piezoelectric vibrator is mounted as an electronic component, is a piezoelectric vibration composed of a package having a substrate having a recess and a crystal housed in the package. It includes a child and a lid that covers the recess. In the piezoelectric device, the piezoelectric vibrator is mounted by bonding with a conductive adhesive on an electrode pad (conductor layer) provided on the bottom surface of the recess, which is one surface of the substrate of the package. Such a piezoelectric device is mounted on an external circuit board such as a printed circuit board via an external electrode provided on the lower surface of the substrate (see Patent Document 1).

また、電子部品としてLED素子が実装された電子装置である発光装置は、光反射部材が載置される基体を備えたパッケージと、LED素子とを備えている。発光装置において、LED素子は、パッケージの基体の、光反射部材が載置される一表面に設けられた電極パッド(導体層)上に、導電性接着剤による接着によって実装されている(特許文献2参照)。 Further, a light emitting device, which is an electronic device on which an LED element is mounted as an electronic component, includes a package including a substrate on which a light reflecting member is placed, and an LED element. In the light emitting device, the LED element is mounted on the electrode pad (conductor layer) provided on one surface of the base of the package on which the light reflecting member is placed by bonding with a conductive adhesive (Patent Document). 2).

特開2014−160980号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-160980 特開2005−166937号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-166937

電子装置の小型化が進むと、外部電極(導体層)の面積が小さくなるので、外部電極と基体の下面との間の固着強度が小さくなる。このように固着強度が小さくなると、外部接続の信頼性が低くなるおそれがる。 As the miniaturization of electronic devices progresses, the area of the external electrode (conductor layer) becomes smaller, so that the adhesion strength between the external electrode and the lower surface of the substrate becomes smaller. When the fixing strength is reduced in this way, the reliability of the external connection may be lowered.

本発明の目的は、導体層と基体との固着強度に優れた電子部品実装用パッケージ、および該電子部品実装用パッケージを備えた電子装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide an electronic component mounting package having excellent adhesion strength between a conductor layer and a substrate, and an electronic device provided with the electronic component mounting package.

本発明の一態様の電子部品実装用パッケージは、外部回路基板に接続される基板接続領域を含む第2表面を有する基体と、前記第2表面の前記基板接続領域から突出する第2突出部と、前記第2突出部を覆うように設けられる第2導体層と、を含み、前記第2突出部は、前記第2表面に連なる基部と、該基部から上方に***する***部とを有し、前記第2表面側から見たときに、前記基部および前記***部がそれぞれ複数のコーナー部を有する多角形状であって、前記基部および前記***部の互いに隣り合うコーナー部がともに円弧状に成形されており、前記***部の前記コーナー部の曲率よりも、前記基部の前記コーナ
ー部の曲率の方が小さいことを特徴とするものである。
The electronic component mounting package of one aspect of the present invention includes a substrate having a second surface including a substrate connecting region connected to an external circuit board, and a second protruding portion protruding from the substrate connecting region of the second surface. the look-containing second conductive layer, the provided as second to cover the protrusion, the second protrusion, organic a base portion connected to the second surface and a ridge raised upwardly from the base portion When viewed from the second surface side, the base portion and the raised portion each have a polygonal shape having a plurality of corner portions, and both the base portion and the raised portion adjacent to each other have an arc shape. It is molded and the corner of the base is more than the curvature of the corner of the ridge.
The feature is that the curvature of the-part is smaller .

また本発明の一態様の電子装置は、前記電子部品実装用パッケージと、電子部品と、を含むことを特徴とするものである。 Further, the electronic device according to one aspect of the present invention is characterized by including the electronic component mounting package and the electronic component.

本発明によれば、外部電極となる第2導体層は、基体の第2表面における基板接続領域から突出する第2突出部を覆うように設けられているので、平坦な一表面上に外部電極が設けられた従来の構成に比べて、固着される面積が大きくなる。これによって、基体の第2表面の基板接続領域において、第2表面から突出する第2突出部と第2導体層との間の固着の強度が小さくなることを抑制することができる。また、コーナー部が円弧状に成形されているので、第2突出部の外周部のうち特に応力が集中しやすいコーナー部において、その応力を効果的に分散させることができ、***部のコーナー部の曲率を基部のコーナー部の曲率よりも大きくすることで、応力をより偏りなく分散させることができる。したがって、電子部品実装用パッケージは、第2導体層と基体との固着強度に優れたものとなり、外部接続の信頼性が高いものとなる。 According to the present invention, the second conductor layer serving as the external electrode is provided so as to cover the second protruding portion protruding from the substrate connection region on the second surface of the substrate, so that the external electrode is formed on one flat surface. The area to be fixed is larger than that of the conventional configuration provided with. As a result, it is possible to prevent the strength of adhesion between the second protruding portion protruding from the second surface and the second conductor layer from being reduced in the substrate connecting region on the second surface of the substrate. Further, since the corner portion is formed in an arc shape, the stress can be effectively dispersed in the corner portion where the stress is particularly likely to be concentrated in the outer peripheral portion of the second protruding portion, and the corner portion of the raised portion can be effectively dispersed. By making the curvature of the base larger than the curvature of the corner of the base, the stress can be dispersed more evenly. Therefore, the package for mounting electronic components has excellent adhesion strength between the second conductor layer and the substrate, and the reliability of external connection is high.

また本発明によれば、電子装置は、外部接続の信頼性の高い電子部品実装用パッケージを備えているので、電子装置の外部接続の信頼性が高いものとなる。 Further, according to the present invention, since the electronic device includes a package for mounting electronic components with high reliability of external connection, the reliability of external connection of the electronic device is high.

電子部品実装用パッケージを備えた電子装置の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the electronic device provided with the package for mounting an electronic component. 電子部品実装用パッケージにおける部品搭載用突出部の近傍を拡大して示す図である。It is a figure which enlarges and shows the vicinity of the protrusion for component mounting in the package for mounting an electronic component. 電子部品実装用パッケージを上方から見た平面図である。It is a top view of the package for mounting an electronic component. 電子部品実装用パッケージを下方から見た底面図である。It is the bottom view which looked at the package for mounting electronic components from the bottom. 電子部品実装用パッケージにおける基体の内層構造を示す図である。It is a figure which shows the inner layer structure of the substrate in the package for mounting electronic components. 本発明の実施形態に係る電子部品実装用パッケージを備えた電子装置の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the electronic device provided with the package for mounting an electronic component which concerns on embodiment of this invention. 電子部品実装用パッケージにおける基板接続用突出部の近傍を拡大して示す図である。It is a figure which enlarges and shows the vicinity of the protrusion part for board connection in the package for mounting an electronic component. 電子部品実装用パッケージを下方から見た底面図である。It is the bottom view which looked at the package for mounting electronic components from the bottom. 図8の第1の変形例を示す底面図である。It is a bottom view which shows the 1st modification of FIG. 図8の第2の変形例を示す底面図である。It is a bottom view which shows the 2nd modification of FIG. 本発明の効果を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows the effect of this invention typically.

以下、本発明を添付の図面を参照して詳細に説明する。図1は、電子部品実装用パッケージ2を備えた電子装置1の構成を示す断面図である。図2は、電子部品実装用パッケージ2における部品搭載用突出部221aの近傍を拡大して示す図である。図3は、電子部品実装用パッケージ2を上方から見た平面図である。図4は、電子部品実装用パッケージ2を下方から見た底面図である。図5は、電子部品実装用パッケージ2における基体21の内層構造を示す図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of an electronic device 1 provided with a package 2 for mounting electronic components. FIG. 2 is an enlarged view showing the vicinity of the component mounting protrusion 221a in the electronic component mounting package 2. FIG. 3 is a plan view of the electronic component mounting package 2 as viewed from above. FIG. 4 is a bottom view of the electronic component mounting package 2 as viewed from below. FIG. 5 is a diagram showing an inner layer structure of the substrate 21 in the electronic component mounting package 2.

電子装置1は、圧電振動子などの圧電素子、LED(Light-Emitting Diode:発光ダイオード)などの半導体発光素子等の電子部品が実装されたデバイスである。電子装置1は、電子部品実装用パッケージ2と、電子部品3とを含んで構成される。 The electronic device 1 is a device on which electronic components such as a piezoelectric element such as a piezoelectric vibrator and a semiconductor light emitting element such as an LED (Light-Emitting Diode) are mounted. The electronic device 1 includes an electronic component mounting package 2 and an electronic component 3.

電子部品実装用パッケージ2は、電子部品3が実装される実装領域を含む第1表面を有する基体21と、基体21の第1表面における前記実装領域から突出する第1突出部である部品搭載用突出部221a,221bと、部品搭載用突出部221a,221bを覆うように設けられる第1導体層である電極パッド222a,222bと、を含んで構成される。 The electronic component mounting package 2 is for mounting components, which is a base 21 having a first surface including a mounting region on which the electronic component 3 is mounted, and a first protruding portion on the first surface of the base 21 that protrudes from the mounting region. The protrusions 221a and 221b and electrode pads 222a and 222b, which are first conductor layers provided so as to cover the protrusions 221a and 221b for mounting components, are included.

電子装置1が、電子部品3として圧電振動子が実装された圧電デバイスである場合、電子部品実装用パッケージ2は、凹部を有する基体21を備えたパッケージとなり、部品搭載用突出部221a,221bが設けられる第1表面が、凹部の底面となる。また、電子装置1が、電子部品3としてLED素子が実装された発光装置である場合、電子部品実装
用パッケージ2は、光反射部材が載置される基体21を備えたパッケージとなり、部品搭載用突出部221a,221bが設けられる第1表面が、光反射部材が載置される一表面となる。
When the electronic device 1 is a piezoelectric device on which a piezoelectric vibrator is mounted as an electronic component 3, the electronic component mounting package 2 is a package including a base 21 having a recess, and the component mounting protrusions 221a and 221b are provided. The first surface provided is the bottom surface of the recess. Further, when the electronic device 1 is a light emitting device on which an LED element is mounted as an electronic component 3, the electronic component mounting package 2 is a package including a base 21 on which a light reflecting member is mounted, and is used for mounting the component. The first surface on which the projecting portions 221a and 221b are provided is one surface on which the light reflecting member is placed.

図1〜図5は、電子部品3として圧電振動子が実装された電子装置1である圧電デバイスを示したものであり、以下では、この圧電デバイスを例にして、詳細に説明する。なお、以下では、電子装置1を「圧電デバイス1」と称し、電子部品3を「圧電振動子3」と称する。 1 to 5 show a piezoelectric device which is an electronic device 1 on which a piezoelectric vibrator is mounted as an electronic component 3, and will be described in detail below by taking this piezoelectric device as an example. In the following, the electronic device 1 will be referred to as a "piezoelectric device 1", and the electronic component 3 will be referred to as a "piezoelectric oscillator 3".

圧電デバイス1は、電子部品実装用パッケージ2と、圧電振動子3と、蓋体4とを含んで構成される。 The piezoelectric device 1 includes a package 2 for mounting electronic components, a piezoelectric vibrator 3, and a lid 4.

ここで、圧電振動子3は、たとえば、水晶振動子であり、圧電体を2枚の電極で挟んだ素子を基本構造とするものであり、特定の周波数で振動振幅が最大となる。圧電振動子3は、圧電体に加えられた力による歪みによって電圧を発生し、あるいは圧電体に電圧を印加すると歪みを発生する、圧電効果を利用した受動素子である。 Here, the piezoelectric vibrator 3 is, for example, a crystal oscillator, and has an element having a piezoelectric body sandwiched between two electrodes as a basic structure, and has a maximum vibration amplitude at a specific frequency. The piezoelectric vibrator 3 is a passive element utilizing the piezoelectric effect, which generates a voltage by strain due to a force applied to the piezoelectric body or generates distortion when a voltage is applied to the piezoelectric body.

圧電振動子3としての水晶振動子の作製方法について説明する。まず、水晶素子を準備する。水晶素子は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し、中央部の厚みが外周の厚みよりも厚くなるようにベベル加工を行う。そして、水晶素子は、両主面にフォトリソグラフィー技術、蒸着技術又はスパッタリング技術によって、金属膜を被着させることにより、励振電極や接続電極を形成することにより作製される。なお、励振電極は、水晶素子の両主面のそれぞれの中央部を覆った電極であって、水晶素子を振動させる機能を有している。また、接続電極は、水晶素子の一主面の中央部の周辺部に設けられ、接着剤層5と接続される電極である。 A method of manufacturing a quartz oscillator as the piezoelectric oscillator 3 will be described. First, a crystal element is prepared. The crystal element is cut from an artificial crystalline lens at a predetermined cut angle, and beveled so that the thickness of the central portion is thicker than the thickness of the outer periphery. Then, the crystal element is manufactured by forming an excitation electrode or a connection electrode by adhering a metal film on both main surfaces by a photolithography technique, a vapor deposition technique, or a sputtering technique. The excitation electrode is an electrode that covers the central portions of both main surfaces of the crystal element, and has a function of vibrating the crystal element. Further, the connection electrode is an electrode provided in the peripheral portion of the central portion of one main surface of the crystal element and connected to the adhesive layer 5.

電子部品実装用パッケージ2は、圧電振動子3を収納するためのものであり、基体21と、圧電振動子搭載部22とを含んで構成される。 The electronic component mounting package 2 is for accommodating the piezoelectric vibrator 3, and includes a base 21 and a piezoelectric vibrator mounting portion 22.

基体21は、圧電振動子3が収納される収納空間を形成する凹部211を有する。この凹部211の底面211aが、圧電振動子3が実装される実装領域を含む第1表面である。基体21は、平面視したときに、外形形状が矩形状である。また、凹部211の底面211aの形状は、角が角丸の矩形状である。平面視において基体21の外形寸法は、たとえば、長辺の長さが0.75〜3.25mmであり、短辺の長さが0.55〜2.55mmである。また、平面視において凹部211の底面211aの寸法は、たとえば、長辺の長さが0.55〜3.05mmであり、短辺の長さが0.35〜2.35mmである。 The substrate 21 has a recess 211 that forms a storage space in which the piezoelectric vibrator 3 is housed. The bottom surface 211a of the recess 211 is the first surface including the mounting region on which the piezoelectric vibrator 3 is mounted. The outer shape of the base 21 is rectangular when viewed in a plan view. Further, the shape of the bottom surface 211a of the recess 211 is a rectangular shape with rounded corners. In plan view, the external dimensions of the substrate 21 are, for example, a long side length of 0.75 to 3.25 mm and a short side length of 0.55 to 2.55 mm. Further, in the plan view, the dimensions of the bottom surface 211a of the recess 211 are, for example, a long side length of 0.55 to 3.05 mm and a short side length of 0.35 to 2.35 mm.

基体21は、例えばアルミナセラミックスまたはガラス−セラミックス等のセラミック材料である絶縁部材からなる。基体21は、絶縁部材からなる絶縁層を1層用いたものであっても、絶縁部材を複数積層したものであってもよい。基体21は、最外層のセラミック層、各セラミック層の間には、図4に示す外部電極パッド231a,231b,231c,231d、図5に示すパターン導体251が配置され、各セラミック層を貫通し、第1導体層である電極パッド222a,222b、第2導体層である外部電極パッド231(231a,231b,231c,231d)あるいはパターン導体251同士を電気的に接続する貫通導体261(261a,261b,261c,261d)が設けられている。 The substrate 21 is made of an insulating member which is a ceramic material such as alumina ceramics or glass-ceramics. The substrate 21 may be one in which one insulating layer made of an insulating member is used, or one in which a plurality of insulating members are laminated. In the substrate 21, the outermost ceramic layer, the external electrode pads 231a, 231b, 231c, 231d shown in FIG. 4 and the pattern conductor 251 shown in FIG. 5 are arranged between the ceramic layers, and penetrate each ceramic layer. , Electrode pads 222a, 222b, which are the first conductor layers, external electrode pads 231 (231a, 231b, 231c, 231d), which are the second conductor layers, or through conductors 261 (261a, 261b) that electrically connect the pattern conductors 251 to each other. , 261c, 261d) are provided.

また、電子部品実装用パッケージ2において、基体21の矩形状の下面211bには、図4に示すように、4つの隅部のそれぞれに、外部電極パッド231a,231b,231c,231dが設けられている。基体21の下面211bは、外部回路基板に接続され
る基板接続領域を含む第2表面である。これらの外部電極パッド231a,231b,231c,231dは、プリント基板などの外部回路基板の所定部位にはんだ等によって電気的および機械的に接続されて実装される端子である。
Further, in the electronic component mounting package 2, the rectangular lower surface 211b of the substrate 21 is provided with external electrode pads 231a, 231b, 231c, and 231d at each of the four corners, as shown in FIG. There is. The lower surface 211b of the substrate 21 is a second surface including a substrate connection region connected to an external circuit board. These external electrode pads 231a, 231b, 231c, and 231d are terminals that are electrically and mechanically connected to a predetermined portion of an external circuit board such as a printed circuit board by solder or the like and mounted.

具体的には、外部電極パッド231aは、貫通導体261aと接続されている。外部電極パッド231bは、貫通導体261bと接続されている。外部電極パッド231cは、貫通導体261cと接続されている。外部電極パッド231dは、貫通導体261dと接続されている。 Specifically, the external electrode pad 231a is connected to the through conductor 261a. The external electrode pad 231b is connected to the through conductor 261b. The external electrode pad 231c is connected to the through conductor 261c. The external electrode pad 231d is connected to the through conductor 261d.

電極パッド222aは、内層パッド222a’と接続されている。電極パッド222bは、内層パッド222b’と接続されている。そして、電極パッド222aは、外部電極パッド231aと電気的に接続されて陽極として機能する。また、電極パッド222bは、外部電極パッド231cと電気的に接続されて陰極として機能する。 The electrode pad 222a is connected to the inner layer pad 222a'. The electrode pad 222b is connected to the inner layer pad 222b'. Then, the electrode pad 222a is electrically connected to the external electrode pad 231a and functions as an anode. Further, the electrode pad 222b is electrically connected to the external electrode pad 231c and functions as a cathode.

また、電極パッド222、外部電極パッド231、パターン導体251および貫通導体261は、たとえばタングステン、モリブデン、銅、銀または銀パラジウム等の金属粉末の焼結体等から構成されている。 Further, the electrode pad 222, the external electrode pad 231 and the pattern conductor 251 and the through conductor 261 are made of, for example, a sintered body of a metal powder such as tungsten, molybdenum, copper, silver or silver palladium.

圧電振動子搭載部22は、電子部品実装用パッケージ2において、圧電振動子3が搭載される部分であり、第1突出部である部品搭載用突出部221a,221bと、第1導体層である電極パッド222a,222bとを含んで構成される。 The piezoelectric vibrator mounting portion 22 is a portion in which the piezoelectric vibrator 3 is mounted in the electronic component mounting package 2, and is a component mounting protruding portion 221a, 221b which is a first protruding portion, and a first conductor layer. It is configured to include electrode pads 222a and 222b.

部品搭載用突出部221a,221bは、基体21の上面における凹部211の底面211aから収納空間内に盛り上がるようにして、突出して設けられる。部品搭載用突出部221a,221bは、図3に示すように、凹部211の底面211aに、互いに間隔をあけて配置される一対の部品搭載用突出部221a,221bによって構成される。一対の部品搭載用突出部221a,221bは、基体21と同じ材料から成り、基体21と一体的に形成されている。 The component mounting protrusions 221a and 221b are provided so as to project from the bottom surface 211a of the recess 211 on the upper surface of the base 21 so as to bulge into the storage space. As shown in FIG. 3, the component mounting protrusions 221a and 221b are composed of a pair of component mounting protrusions 221a and 221b arranged on the bottom surface 211a of the recess 211 at intervals. The pair of component mounting protrusions 221a and 221b are made of the same material as the base 21, and are integrally formed with the base 21.

また、基体21は、凹部211の底面211aから凹部211の内側面を介して凹部211の周縁部にわたって、内層電極27が形成されている。内層電極27は、内層パッド27’と接続されている。そして、内層電極27は、外部電極パッド231bと電気的に接続されている。外部電極パッド231bは、基準電位、たとえばグランドとして機能する。 Further, in the substrate 21, an inner layer electrode 27 is formed from the bottom surface 211a of the recess 211 to the peripheral edge of the recess 211 via the inner surface of the recess 211. The inner layer electrode 27 is connected to the inner layer pad 27'. The inner layer electrode 27 is electrically connected to the outer electrode pad 231b. The external electrode pad 231b functions as a reference potential, for example, ground.

このように、基体21の上面には、基体21と一対の部品搭載用突出部221a,221bとが、セラミック材料によって一体的に形成されている。 As described above, on the upper surface of the base 21, the base 21 and the pair of component mounting protrusions 221a and 221b are integrally formed of the ceramic material.

一対の部品搭載用突出部221a,221bのうち、一方の部品搭載用突出部221aは、凹部211の底面211aにおいて、長辺方向一方側の、短辺方向一方側の隅部に設けられ、他方の部品搭載用突出部221bは、長辺方向一方側の、短辺方向他方側の隅部に設けられる。 Of the pair of component mounting protrusions 221a and 221b, one component mounting protrusion 221a is provided on the bottom surface 211a of the recess 211 at a corner on one side in the long side direction and one side in the short side direction. The component mounting protrusion 221b is provided at a corner on one side in the long side direction and on the other side in the short side direction.

一対の部品搭載用突出部221a,221bのそれぞれは、図3に示すように、多角柱状(具体的には矩形柱状)である。一対の部品搭載用突出部221a,221bの寸法は、たとえば、高さが5〜80μmであり、断面における長辺の長さが100〜1100μmであり、短辺の長さが100〜1100μmである。 As shown in FIG. 3, each of the pair of component mounting protrusions 221a and 221b is a polygonal columnar shape (specifically, a rectangular columnar shape). The dimensions of the pair of component mounting protrusions 221a and 221b are, for example, 5 to 80 μm in height, 100 to 1100 μm in the long side in the cross section, and 100 to 1100 μm in the short side. ..

また、矩形柱状に形成された、一対の部品搭載用突出部221a,221bについて説明する。ここでは、図2を用いて、一方の部品搭載用突出部221aについて説明するが
、他方の部品搭載用突出部221bの構造も同じように形成されている。図2に示すように、部品搭載用突出部221aは、部品搭載用突出部221aの上部の角に位置する、角部221aaが少なくとも部分的に角丸である。これによって、圧電振動子3が振動したときに、圧電振動子3に過度に応力が付加されることを抑制することができ、たとえば、圧電振動子3に亀裂が生じることを抑えることができる。
In addition, a pair of component mounting protrusions 221a and 221b formed in a rectangular columnar shape will be described. Here, although one component mounting protrusion 221a will be described with reference to FIG. 2, the structure of the other component mounting protrusion 221b is also formed in the same manner. As shown in FIG. 2, in the component mounting protrusion 221a, the corner portion 221a located at the upper corner of the component mounting protrusion 221a is at least partially rounded. As a result, it is possible to prevent excessive stress from being applied to the piezoelectric vibrator 3 when the piezoelectric vibrator 3 vibrates, and for example, it is possible to prevent cracks from occurring in the piezoelectric vibrator 3.

また、図2に示すように、基体21の凹部211の底面211aは、部品搭載用突出部221a,221bの周辺部分の少なくとも一部に第1凹溝である底面側凹溝211aaを有することが好ましい。これによって、部品搭載用突出部221a,221bは、後述の電極パッド222a,222bとの固着面積が大きくなるので、部品搭載用突出部221a,221bと電極パッド222a,222bとの間の固着強度が小さくなることを抑制することができる。 Further, as shown in FIG. 2, the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21 may have a bottom surface side recess 211a which is a first recess in at least a part of peripheral portions of the component mounting protrusions 221a and 221b. preferable. As a result, the component mounting protrusions 221a and 221b have a large adhesion area with the electrode pads 222a and 222b described later, so that the adhesion strength between the component mounting protrusions 221a and 221b and the electrode pads 222a and 222b is increased. It can be suppressed from becoming smaller.

電極パッド222a,222bは、部品搭載用突出部221a,221bの全面を覆うように設けられる。電極パッド222a,222bは、たとえば、タングステンおよびモリブデンから成り、たとえば酸化防止のためにニッケルおよびスズの少なくとも一方またはこれらを含む合金により被覆される。なお、電極パッド222aと電極パッド222bは、所定の間隔を空けて配置されており、両者は電気的に絶縁した関係である。 The electrode pads 222a and 222b are provided so as to cover the entire surface of the component mounting protrusions 221a and 221b. The electrode pads 222a, 222b are made of, for example, tungsten and molybdenum, and are coated with, for example, at least one of nickel and tin or an alloy containing them for antioxidant purposes. The electrode pads 222a and the electrode pads 222b are arranged at predetermined intervals, and they are electrically insulated from each other.

また、電子部品実装用パッケージ2において、基体21の凹部211の底面211aには、図3に示すように、支持部241が設けられている。この支持部241は、必須の構成ではないけれども、支持部241を設けた構成とすることによって、支持部241が支えとなり圧電振動子3を底面211aに対して平行に配置することができ、圧電振動子3を凹部211内に安定して固定することができる。 Further, in the electronic component mounting package 2, a support portion 241 is provided on the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21 as shown in FIG. Although this support portion 241 is not an essential configuration, by providing the support portion 241, the support portion 241 serves as a support and the piezoelectric vibrator 3 can be arranged parallel to the bottom surface 211a, and the piezoelectric vibrator 3 can be arranged in parallel. The oscillator 3 can be stably fixed in the recess 211.

支持部241は、基体21の凹部211の底面211aにおいて、長辺方向に関し、部品搭載用突出部221a,221bが設けられている側とは反対側に形成されている。 The support portion 241 is formed on the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21 in the long side direction on the side opposite to the side on which the component mounting protrusions 221a and 221b are provided.

支持部241は、矩形柱状であり、その寸法は、たとえば、高さが2〜80μmであり、断面における長辺の長さが200〜2000μmであり、短辺の長さが50〜500μmである。 The support portion 241 has a rectangular columnar shape, and its dimensions are, for example, 2 to 80 μm in height, 200 to 2000 μm in the long side in the cross section, and 50 to 500 μm in the short side. ..

以上のように構成される電子部品実装用パッケージ2の製造方法について、以下に説明する。 The manufacturing method of the electronic component mounting package 2 configured as described above will be described below.

電子部品実装用パッケージ2は、前述したように、複数のセラミック層が積層された積層構造を有する。このような積層構造は、各セラミック層に対応した熱可塑性シートを用いて形成することができる。ここで、熱可塑性シートは、加熱することで軟化して流動するセラミックシートである。なお、熱可塑性シートとしては、たとえばアルミナ、窒化アルミニウム、ガラスセラミックスを主成分に、バインダーや可塑剤などの有機成分を調整して、60〜80℃における弾性率を低く調整したテープを用いている。 As described above, the electronic component mounting package 2 has a laminated structure in which a plurality of ceramic layers are laminated. Such a laminated structure can be formed by using a thermoplastic sheet corresponding to each ceramic layer. Here, the thermoplastic sheet is a ceramic sheet that softens and flows when heated. As the thermoplastic sheet, for example, a tape containing alumina, aluminum nitride, and glass ceramics as main components and having organic components such as a binder and a plasticizer adjusted to have a low elastic modulus at 60 to 80 ° C. is used. ..

電子部品実装用パッケージ2は、熱可塑性シート、鋳型を用いたモールド工法により、製造することができる。鋳型は、電子部品実装用パッケージ2の凹部211の底面211aの形状に対して、反転形状の構造を有する。 The electronic component mounting package 2 can be manufactured by a molding method using a thermoplastic sheet and a mold. The mold has a structure that is inverted with respect to the shape of the bottom surface 211a of the recess 211 of the electronic component mounting package 2.

電子部品実装用パッケージ2の製造方法では、まず、熱可塑性シートに厚み方向に貫通する貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体261用の導電性ペーストを充填する。 In the method for manufacturing the electronic component mounting package 2, first, a through hole penetrating in the thickness direction is formed in the thermoplastic sheet, and the through hole is filled with the conductive paste for the through conductor 261.

次に、電極パッド222a,222b、外部電極パッド231a,231b,231c
,231d、およびパターン導体251に対応して導電性ペーストを、従来公知のスクリーン印刷法により印刷する。
Next, the electrode pads 222a, 222b and the external electrode pads 231a, 231b, 231c
, 231d, and the conductive paste corresponding to the pattern conductor 251 are printed by a conventionally known screen printing method.

次に、各熱可塑性シートを重ね合わせて積層体を作製し、この積層体に鋳型を、加熱下で押しつけて、変形させる。このとき、基体21の凹部211の底面211aが鋳型に合うように盛り上がって、部品搭載用突出部221a,221bが形成される。そして、変形後の積層体を焼成することによって、電子部品実装用パッケージ2を製造することができる。 Next, each thermoplastic sheet is laminated to prepare a laminated body, and a mold is pressed against the laminated body under heating to deform it. At this time, the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21 is raised so as to fit the mold, and the component mounting protrusions 221a and 221b are formed. Then, the package 2 for mounting electronic components can be manufactured by firing the deformed laminate.

以上のように構成される電子部品実装用パッケージ2において、電極パッド222a,222bは、基体21の凹部211の底面211aから突出する部品搭載用突出部221a,221bを覆うように設けられているので、平坦な底面211a上に設けられた従来の構成に比べて、固着される面積が大きくなる。 In the electronic component mounting package 2 configured as described above, the electrode pads 222a and 222b are provided so as to cover the component mounting protrusions 221a and 221b protruding from the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21. The area to be fixed is larger than that of the conventional configuration provided on the flat bottom surface 211a.

これによって、部品搭載用突出部221a,221bおよび電極パッド222a,222bにより構成される圧電振動子搭載部22に搭載される圧電振動子3と電極パッド222a,222bとの間の固着強度、および、基体21の凹部211の底面211aから突出する部品搭載用突出部221a,221bと電極パッド222a,222bとの間の固着強度が小さくなることを抑制することができる。したがって、電子部品実装用パッケージ2は、圧電振動子3の振動特性の劣化を抑制可能なものとなる。 As a result, the adhesion strength between the piezoelectric vibrator 3 mounted on the piezoelectric vibrator mounting portion 22 composed of the component mounting protrusions 221a and 221b and the electrode pads 222a and 222b and the electrode pads 222a and 222b, and It is possible to prevent the adhesion strength between the component mounting protrusions 221a and 221b protruding from the bottom surface 211a of the recess 211 of the base 21 and the electrode pads 222a and 222b from being reduced. Therefore, the electronic component mounting package 2 can suppress deterioration of the vibration characteristics of the piezoelectric vibrator 3.

また、圧電デバイス1は、図1に示すように、上記の電子部品実装用パッケージ2と、圧電振動子3と、蓋体4と、接着剤層5と、を含んで構成される。 Further, as shown in FIG. 1, the piezoelectric device 1 includes the above-mentioned electronic component mounting package 2, a piezoelectric vibrator 3, a lid 4, and an adhesive layer 5.

接着剤層5は、導電性接着剤から成り、圧電振動子搭載部22の電極パッド222a,222bを覆うように設けられる。導電性接着剤としては、従来公知のものを使用することができる。圧電振動子3は、圧電振動子搭載部22に、前記接着剤層5を介して搭載される。このとき、圧電振動子3は、図1に示すように、長手方向一端部が、圧電振動子搭載部22に支持されるように、搭載される。 The adhesive layer 5 is made of a conductive adhesive and is provided so as to cover the electrode pads 222a and 222b of the piezoelectric vibrator mounting portion 22. As the conductive adhesive, conventionally known ones can be used. The piezoelectric vibrator 3 is mounted on the piezoelectric vibrator mounting portion 22 via the adhesive layer 5. At this time, as shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrator 3 is mounted so that one end in the longitudinal direction is supported by the piezoelectric vibrator mounting portion 22.

接着剤層5は、シリコーン樹脂等のバインダーの中に導電フィラーとして導電性粉末が含有されているものであり、導電性粉末としては、アルミニウム、モリブデン、タングステン、白金、パラジウム、銀、チタン、ニッケルまたは鉄のうちのいずれか、或いはこれらの組み合わせを含むものが用いられている。また、バインダーとしては、たとえばシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂またはビスマレイミド樹脂が用いられる。 The adhesive layer 5 contains a conductive powder as a conductive filler in a binder such as a silicone resin, and the conductive powder includes aluminum, molybdenum, tungsten, platinum, palladium, silver, titanium, and nickel. Alternatively, any of irons, or those containing a combination thereof are used. Further, as the binder, for example, a silicone resin, an epoxy resin, a polyimide resin or a bismaleimide resin is used.

蓋体4は、基体21の凹部211の周縁部に設けられ、凹部211によって形成される収納空間を塞ぐ。 The lid 4 is provided on the peripheral edge of the recess 211 of the substrate 21 and closes the storage space formed by the recess 211.

蓋体4は、たとえば、鉄、ニッケルまたはコバルトの少なくともいずれかを含む合金からなる。このような蓋体4は、真空状態にある凹部211、あるいは窒素ガスなどが充填された凹部211を気密的に封止するためのものである。具体的には、蓋体4は、所定雰囲気で、基体21上に載置される。そして、基体21上の枠部分に形成された封止用導体パターンと蓋体4とが溶接されるように蓋体4に所定電流を印加してシーム溶接を行うことにより、基体21に接合する。 The lid 4 is made of, for example, an alloy containing at least one of iron, nickel or cobalt. Such a lid 4 is for airtightly sealing the recess 211 in a vacuum state or the recess 211 filled with nitrogen gas or the like. Specifically, the lid 4 is placed on the substrate 21 in a predetermined atmosphere. Then, a predetermined current is applied to the lid 4 so that the sealing conductor pattern formed on the frame portion on the substrate 21 and the lid 4 are welded, and seam welding is performed to join the lid 21 to the substrate 21. ..

蓋体4は、内層電極27と接続されて、外部電極パッド231bと電気的に接続される。蓋体4は、基準電位に設定されることで、圧電振動子3を外部の電界からシールドすることができる。 The lid 4 is connected to the inner layer electrode 27 and electrically connected to the outer electrode pad 231b. By setting the lid body 4 to the reference potential, the piezoelectric vibrator 3 can be shielded from an external electric field.

以上のように構成される圧電デバイス1は、圧電振動子3の振動特性を良好に維持することが可能な電子部品実装用パッケージ2を備えているので、デバイスの特性が劣化することを抑制することができる。 Since the piezoelectric device 1 configured as described above includes the electronic component mounting package 2 capable of maintaining good vibration characteristics of the piezoelectric vibrator 3, it suppresses deterioration of the device characteristics. be able to.

図6は、本発明の実施形態に係る電子部品実装用パッケージ2Aを備えた電子装置1Aの構成を示す断面図である。図7は、電子部品実装用パッケージ2Aにおける基板接続用突出部232Aの近傍を拡大して示す図である。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of an electronic device 1A including the electronic component mounting package 2A according to the embodiment of the present invention. FIG. 7 is an enlarged view showing the vicinity of the substrate connecting protrusion 232A in the electronic component mounting package 2A.

電子部品実装用パッケージ2Aは、基体21Aに係る構成が前述した基体21と異なること以外は、電子部品実装用パッケージ2と同様に構成される。また、圧電デバイス1Aは、基体21Aを有する電子部品実装用パッケージ2Aを備えたこと以外は、圧電デバイス1と同様に構成される。このように本実施形態の電子部品実装用パッケージ2Aおよび圧電デバイス1Aは、前述した電子部品実装用パッケージ2および圧電デバイス1と同様の部分を有する。したがって、以下の説明および図において、対応する同様の部分については同一の参照符号を付すとともに、説明を省略する。 The electronic component mounting package 2A is configured in the same manner as the electronic component mounting package 2 except that the configuration related to the substrate 21A is different from the above-mentioned substrate 21. Further, the piezoelectric device 1A is configured in the same manner as the piezoelectric device 1 except that the electronic component mounting package 2A having the substrate 21A is provided. As described above, the electronic component mounting package 2A and the piezoelectric device 1A of the present embodiment have the same parts as the electronic component mounting package 2 and the piezoelectric device 1 described above. Therefore, in the following description and figures, the same reference numerals are given to the corresponding similar parts, and the description thereof will be omitted.

電子部品実装用パッケージ2Aは、前述した電子部品実装用パッケージ2と同様に、圧電振動子3が収納される収納空間を形成する凹部211を有する基体21Aと、圧電振動子搭載部22とを含んで構成され、圧電振動子搭載部22は、凹部211の底面211aから収納空間内に突出する部品搭載用突出部221a,221bと、部品搭載用突出部221a,221bを覆うように設けられる電極パッド222a,222bとから成る。 Similar to the electronic component mounting package 2 described above, the electronic component mounting package 2A includes a substrate 21A having a recess 211 forming a storage space for accommodating the piezoelectric vibrator 3 and a piezoelectric vibrator mounting portion 22. The piezoelectric vibrator mounting portion 22 is composed of an electrode pad provided so as to cover the component mounting protrusions 221a and 221b protruding from the bottom surface 211a of the recess 211 into the storage space and the component mounting protrusions 221a and 221b. It consists of 222a and 222b.

電子部品実装用パッケージ2Aは、外部回路基板に接続される基板接続領域を含む第2表面である基体21Aの下面211bにおける、外部電極パッド231Aの形成構造が、前述した電子部品実装用パッケージ2と異なる。 In the electronic component mounting package 2A, the formation structure of the external electrode pad 231A on the lower surface 211b of the substrate 21A, which is the second surface including the substrate connection region connected to the external circuit board, is the same as that of the electronic component mounting package 2 described above. different.

電子部品実装用パッケージ2Aは、基体21Aの下面211bから突出する第2突出部である基板接続用突出部232Aを有し、この基板接続用突出部232Aを覆うように、外部電極パッド231Aが設けられている。なお、基板接続用突出部232Aは、基体21Aの下面211bの4つの隅部にそれぞれ設けられ、これらの各基板接続用突出部232Aをそれぞれ覆うように、外部電極パッド231Aが設けられる。 The electronic component mounting package 2A has a substrate connection protrusion 232A which is a second protrusion protruding from the lower surface 211b of the substrate 21A, and an external electrode pad 231A is provided so as to cover the substrate connection protrusion 232A. Has been done. The substrate connecting protrusions 232A are provided at four corners of the lower surface 211b of the substrate 21A, and external electrode pads 231A are provided so as to cover each of the substrate connecting protrusions 232A.

電子部品実装用パッケージ2Aにおいて、外部電極パッド231Aは、基体21Aの下面211bから突出する基板接続用突出部232Aを覆うように設けられているので、平坦な下面211b上に設けられた従来の構成に比べて、固着される面積が大きくなる。これによって、基体21Aの下面211bから突出する基板接続用突出部232Aと外部電極パッド231Aとの間の固着強度が小さくなることを抑制することができる。したがって、電子部品実装用パッケージ2Aは、外部回路基板との接続信頼性の低下を抑制可能なものとなる。 In the electronic component mounting package 2A, the external electrode pad 231A is provided so as to cover the substrate connecting protrusion 232A protruding from the lower surface 211b of the substrate 21A, so that the conventional configuration is provided on the flat lower surface 211b. The area to be fixed is larger than that of. As a result, it is possible to prevent the adhesion strength between the substrate connecting protrusion 232A protruding from the lower surface 211b of the substrate 21A and the external electrode pad 231A from being reduced. Therefore, the electronic component mounting package 2A can suppress a decrease in connection reliability with the external circuit board.

また、基体21Aと基板接続用突出部232Aとは、セラミックス材料によって一体的に形成されている。 Further, the substrate 21A and the substrate connecting protrusion 232A are integrally formed of a ceramic material.

また、基板接続用突出部232Aは、図6,7に示すように、基体21Aの下面211bに連なる基部232Aaと、基部232Aaから上方に***する***部232Abとから成ることが好ましい。これによって、基体21Aの下面211bから突出する基板接続用突出部232Aと外部電極パッド231Aとの間の固着強度が小さくなることをより抑制することができる。 Further, as shown in FIGS. 6 and 7, the substrate connecting protrusion 232A preferably includes a base portion 232Aa connected to the lower surface 211b of the substrate 21A and a raised portion 232Ab protruding upward from the base portion 232Aa. As a result, it is possible to further prevent the adhesion strength between the substrate connecting protrusion 232A protruding from the lower surface 211b of the substrate 21A and the external electrode pad 231A from being reduced.

本実施形態では、基板接続用突出部232Aは、基部232Aaと***部232Abと
が、それぞれ、多角柱状(具体的には矩形柱状)である。基部232Aaの寸法は、たとえば、高さが5〜50μmであり、断面における長辺の長さが200〜3500μmであり、短辺の長さが100〜2000μmである。
In the present embodiment, the substrate connecting protrusion 232A has a base portion 232Aa and a raised portion 232Ab, each of which is a polygonal columnar shape (specifically, a rectangular columnar shape). The dimensions of the base 232Aa are, for example, 5 to 50 μm in height, 200 to 3500 μm in length of the long side in cross section, and 100 to 2000 μm in length of the short side.

また、図7に示すように、基板接続用突出部232Aにおいて、基部232Aaの角部232Aaaが少なくとも部分的に角丸であり、さらに、***部232Abの角部232Abaが少なくとも部分的に角丸である。これによって、外部回路基板が接続されたときに、その外部回路基板に過度に応力が付加されることを抑制することができ、たとえば、外部回路基板に亀裂が生じることを抑えることができる。 Further, as shown in FIG. 7, in the substrate connecting protrusion 232A, the corner portion 232Aa of the base portion 232Aa is at least partially rounded, and the corner portion 232Aba of the raised portion 232Ab is at least partially rounded. is there. As a result, when an external circuit board is connected, it is possible to prevent excessive stress from being applied to the external circuit board, and for example, it is possible to prevent cracks from occurring in the external circuit board.

また、本実施形態では、図7に示すように、基体21Aの下面211bは、基板接続用突出部232Aの周辺部分の少なくとも一部に第2凹溝である下面側凹溝211baを有することが好ましい。これによって、外部電極パッド231Aとの固着面積が大きくなるので、基板接続用突出部232Aと外部電極パッド231Aとの間の固着強度が小さくなることを抑制することができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the lower surface 211b of the substrate 21A may have a lower surface side concave groove 211ba which is a second concave groove in at least a part of the peripheral portion of the substrate connecting protrusion 232A. preferable. As a result, the area of adhesion to the external electrode pad 231A is increased, so that it is possible to prevent the adhesion strength between the substrate connecting protrusion 232A and the external electrode pad 231A from being reduced.

図8は、電子部品実装用パッケージ2Aおよび電子装置1Aを下方から見た、つまり第2表面(下面211b)側から見た底面図である。下面211b側から見たときに、電子部品実装用パッケージ2Aについて、基部232Aaおよび***部232Abがそれぞれ複数のコーナー部232Aac、232Abcを有する多角形状である。 FIG. 8 is a bottom view of the electronic component mounting package 2A and the electronic device 1A viewed from below, that is, viewed from the second surface (lower surface 211b) side. When viewed from the lower surface 211b side, the electronic component mounting package 2A has a polygonal shape in which the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab each have a plurality of corner portions 232Aac and 232Abc.

基部232Aaおよび***部232Abがそれぞれ複数のコーナー部を有する多角形状であるときに、基部232Aaおよび***部232Abのそれぞれの複数のコーナー部232Aac、232Abcのうち少なくとも1つのコーナー部が円弧状に成形されていてもよい。すなわち、基板接続用突出部232Aは平面視(下面視)においてコーナー部(基板接続用突出部232A全体としては符号なし)が円弧状であってもよい。 When the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab each have a polygonal shape having a plurality of corner portions, at least one corner portion of the plurality of corner portions 232Aac and 232Abc of the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab is formed in an arc shape. You may be. That is, in the plan view (bottom view) of the substrate connecting protrusion 232A, the corner portion (the board connecting protrusion 232A as a whole has no sign) may be arcuate.

なお、図8に示す例では、基部232Aaについては各コーナー部232Aacが円弧状に成形されている。また、***部232Abについては各コーナー部232Abcが直角状であって、円弧状に成形されていない。 In the example shown in FIG. 8, each corner portion 232Aac of the base portion 232Aa is formed in an arc shape. Further, regarding the raised portion 232Ab, each corner portion 232Abc has a right-angled shape and is not formed into an arc shape.

基部232Aaおよび***部232Abのそれぞれの複数のコーナー部232Aac、232Abcのうち少なくとも1つのコーナー部が円弧状に成形されているときには、基板接続用突出部232Aの外周部のうち特に応力が集中しやすいコーナー部において、その応力を効果的に分散させることができる。そのため、外部回路基板に対する実装の長期信頼性の向上に対してより有利である。 When at least one corner of the plurality of corners 232Aac and 232Abc of the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab is formed in an arc shape, stress is particularly likely to be concentrated in the outer peripheral portion of the substrate connecting protrusion 232A. The stress can be effectively dispersed at the corners. Therefore, it is more advantageous for improving the long-term reliability of mounting on an external circuit board.

なお、基部232Aaおよび***部232Abのそれぞれの複数のコーナー部232Aac、232Abcのうち基部232Aaのコーナー部232Aacが円弧状に成形されているときには、外部回路基板との接続信頼性の低下の抑制に対してより有効である。すなわち、下面211b側から見たときに基部232Aaは***部232Abよりも外側に位置しているため、基部232Aaに対してより大きな応力が作用する。これに対して、基部232Aaのコーナー部232Aacが円弧状であれば、その応力をより効果的に分散させることができる。そのため、基板接続用突出部232Aと外部電極パッド231Aとの間の固着強度が小さくなることを抑制して、外部回路基板との接続信頼性の低下をより効果的に抑制することができる。 When the corner portion 232Aac of the base portion 232Aa is formed in an arc shape among the plurality of corner portions 232Aac and 232Abc of the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab, the deterioration of the connection reliability with the external circuit board is suppressed. It is more effective. That is, since the base portion 232Aa is located outside the raised portion 232Ab when viewed from the lower surface 211b side, a larger stress acts on the base portion 232Aa. On the other hand, if the corner portion 232Aac of the base portion 232Aa has an arc shape, the stress can be dispersed more effectively. Therefore, it is possible to suppress the decrease in the adhesive strength between the substrate connecting protrusion 232A and the external electrode pad 231A, and to more effectively suppress the decrease in the connection reliability with the external circuit board.

図9は、図8の第1の変形例を示す底面図である。図9に示す例では、第2表面(下面211b)側から見たときに、基板接続用突出部(第2突出部)232Aの複数のコーナー部のうち下面211bの外周に近いコーナー部232Aacが、円弧状に成形されてい
る。この場合には、外部電極パッド231Aのコーナー部のうち特に応力が集中しやすい下面211bの外周に近いものにおいてより効果的に応力が分散されて、低減される。そのため、この場合にも、外部回路基板に対する実装の長期信頼性の向上に対してより有利である。
FIG. 9 is a bottom view showing a first modification of FIG. 8. In the example shown in FIG. 9, when viewed from the second surface (lower surface 211b) side, the corner portion 232Aac close to the outer circumference of the lower surface 211b among the plurality of corner portions of the substrate connecting protrusion (second protrusion) 232A is , It is molded in an arc shape. In this case, the stress is more effectively dispersed and reduced in the corner portion of the external electrode pad 231A, which is close to the outer circumference of the lower surface 211b where the stress tends to be concentrated. Therefore, even in this case, it is more advantageous for improving the long-term reliability of mounting on the external circuit board.

また、図9に示す例では、基部232Aaのみについて、下面211bの外周に近いコーナー部232Aacのうち下面211bの角部分に最も近いもののみが円弧状に成形されている。このような場合には、下面211b側から見たときの外部電極パッド231Aの面積の減少を抑えながら、応力の分散により一層適した構成とすることができる。 Further, in the example shown in FIG. 9, only the base portion 232Aa is formed in an arc shape only in the corner portion 232Aac near the outer periphery of the lower surface 211b, which is closest to the corner portion of the lower surface 211b. In such a case, the configuration can be made more suitable for stress dispersion while suppressing a decrease in the area of the external electrode pad 231A when viewed from the lower surface 211b side.

図10は、図8の第2の変形例を示す底面図である。図10に示す例では、下面211b側から見たときに、基部232Aaおよび***部232Abの互いに隣り合うコーナー部232Aac、232Abcがともに円弧状に成形されている。すなわち、下面211b側から見たときに、互いに曲率が異なる2つの円弧状のコーナー部232Aac、232Abcが、半径方向に互いにずれ隣り合っている。また、***部232Abのコーナー部232Abcの曲率よりも、基部232Aaのコーナー部232Aacの曲率の方が小さい。 FIG. 10 is a bottom view showing a second modification of FIG. In the example shown in FIG. 10, when viewed from the lower surface 211b side, the corner portions 232Aac and 232Abc of the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab that are adjacent to each other are both formed in an arc shape. That is, when viewed from the lower surface 211b side, the two arcuate corner portions 232Aac and 232Abc having different curvatures are adjacent to each other in the radial direction. Further, the curvature of the corner portion 232Aac of the base portion 232Aa is smaller than the curvature of the corner portion 232Abc of the raised portion 232Ab.

この場合には、次のような効果が得られる。すなわち、外部電極パッド231Aのうち基部232Aa部分に接続された半田にかかる応力(半田ひずみ)が分散されて小さくなるが、このときに、***部232Ab部の応力が若干増大する。これに対して、***部232Abのコーナー部232Abc曲率を基部232Aaのコーナー部232Aacの曲率よりも大きくすることで、応力をより偏りなく分散させることができる。そのため、外部回路基板に対する実装の長期信頼性をさらに向上させることができる。したがって、下面211b側から見たときに、互いに隣り合う2つのコーナー部がともに円弧状であるときには、基板接続用突出部232Aの中央部からの距離が大きい(基部のコーナー部)ほど曲率は小さく、中心からの距離が小さい(***部)ほど曲率は大きいほうがよいということもできる。 In this case, the following effects can be obtained. That is, the stress (solder strain) applied to the solder connected to the base portion 232Aa portion of the external electrode pad 231A is dispersed and reduced, but at this time, the stress of the raised portion 232Ab portion is slightly increased. On the other hand, by making the curvature of the corner portion 232Abc of the raised portion 232Ab larger than the curvature of the corner portion 232Aac of the base portion 232Aa, the stress can be dispersed more evenly. Therefore, the long-term reliability of mounting on an external circuit board can be further improved. Therefore, when viewed from the lower surface 211b side, when the two adjacent corners are both arcuate, the larger the distance from the center of the substrate connecting protrusion 232A (the corner of the base), the smaller the curvature. It can also be said that the smaller the distance from the center (raised part), the larger the curvature.

なお、それぞれのコーナー部232Aac、232Abcについて、円弧状とするものの選択およびその曲率等の条件は、基部232Aaおよび***部232Abの高さ(厚み)、さらに必要に応じて電子装置1Aの実装時の作業性等の条件も考慮して適宜決めるようにしてもよい。 For each corner portion 232Aac and 232Abc, the conditions such as selection of an arcuate shape and its curvature are the height (thickness) of the base portion 232Aa and the raised portion 232Ab, and if necessary, when the electronic device 1A is mounted. It may be decided as appropriate in consideration of conditions such as workability.

ここで、上記のように基板接続用突出部232Aが複数のコーナー部232Aac、232Abcを有し、それらのコーナー部232Aac、232Abcが円弧状に成形されている場合の効果を、具体例を挙げて説明する。 Here, a specific example will be given of the effect when the substrate connecting protrusion 232A has a plurality of corner portions 232Aac and 232Abc and the corner portions 232Aac and 232Abc are formed in an arc shape as described above. explain.

この具体例においては、電子部品実装用パッケージ2(基体21)の外形は長方形の平板状であり、基板接続用突出部232Aは下面視において長辺の長さが3.2mmで、短辺の長さが2.5mmの長方形状であった、その基板接続用突出部232Aのうち基体21の角部に近いコーナー部232Aacを、半径が約0.1mmの円弧状とした。この具体例の電子部品実装用パッケージ2Aに電子部品3を実装して電子装置1Aを作製した。具体例の電子装置1Aにおいても、基板接続用突出部232Aに外部電極パッド231Aを設けた。この具体例の電子装置1Aを外部回路基板と半田を用いて接続して実装モデルを作製した。 In this specific example, the outer shape of the electronic component mounting package 2 (base 21) is a rectangular flat plate, and the board connecting protrusion 232A has a long side length of 3.2 mm and a short side in the bottom view. The corner portion 232Aac close to the corner portion of the substrate 21 of the substrate connecting protrusion 232A having a rectangular shape having a length of 2.5 mm was formed into an arc shape having a radius of about 0.1 mm. The electronic component 1A was manufactured by mounting the electronic component 3 on the electronic component mounting package 2A of this specific example. Also in the electronic device 1A of the specific example, the external electrode pad 231A is provided on the protrusion 232A for connecting the substrate. An electronic device 1A of this specific example was connected to an external circuit board using solder to produce a mounting model.

その後、上記の実装モデルについて、約125〜25℃の温度変化時の半田における歪み(応力)をシミュレーションにより解析した。また、比較例として、コーナー部が直角な電子部品実装用パッケージ2Dおよび電子装置1Dについても同様にシミュレーション
を行ない、歪み(応力)を解析した。
Then, for the above mounting model, the strain (stress) in the solder when the temperature changed at about 125 to 25 ° C. was analyzed by simulation. Further, as a comparative example, the same simulation was performed for the electronic component mounting package 2D and the electronic device 1D having right-angled corners, and the strain (stress) was analyzed.

その解析結果を図11に示す。図11は、本発明の効果を模式的に示す下面図である。すなわち、図11(a)は、上記具体例の電子装置1Aの1つの基板接続用突出部232A(および外部電極パッド231A)における歪み(応力)の分布を模式的に示す下面図である。図11(b)は、上記比較例の電子装置1Dの基板接続用突出部232Aにおける歪み(応力)の分布を模式的に示す下面図である。なお、図11において図8等と同様の部位には同様の符号を付している。また、図11において***部232Abは省略している。 The analysis result is shown in FIG. FIG. 11 is a bottom view schematically showing the effect of the present invention. That is, FIG. 11A is a bottom view schematically showing the distribution of strain (stress) in one substrate connecting protrusion 232A (and the external electrode pad 231A) of the electronic device 1A of the above specific example. FIG. 11B is a bottom view schematically showing the distribution of strain (stress) in the substrate connecting protrusion 232A of the electronic device 1D of the comparative example. In FIG. 11, the same parts as those in FIG. 8 and the like are designated by the same reference numerals. Further, in FIG. 11, the raised portion 232Ab is omitted.

図11において歪みが生じている領域をハッチングして示している。ハッチングの線間隔が小さいほど歪み(応力)が大きい。具体的には、比較例において、歪み(応力)が最大となる比較的狭い領域が直角状のコーナー部232Aac周辺に集中しているが、この領域を含む歪み(応力)が非常に高い領域をHとして示し、この領域Hにおける歪み(応力)に対して歪み(応力)が約75%の領域をMとし、歪み(応力)が約50%の領域をLとして示している。 In FIG. 11, the area where the distortion occurs is shown by hatching. The smaller the hatch line spacing, the greater the strain (stress). Specifically, in the comparative example, a relatively narrow region where the strain (stress) is maximized is concentrated around the right-angled corner portion 232Aac, but a region having a very high strain (stress) including this region is defined. It is shown as H, and the region where the strain (stress) is about 75% with respect to the strain (stress) in this region H is shown as M, and the region where the strain (stress) is about 50% is shown as L.

以上の結果に示すように、比較例の電子装置においては歪み(応力)が非常に大きい領域Hが見られたのに対して、具体例の電子装置1Aでは歪み(応力)が集中する領域Hがなくなり、最大の歪みが約75%程度に低減されていることを確認できた。すなわち、この場合には、外部回路基板に対する実装の長期信頼性の向上に対してより有利であることが確認できた。 As shown in the above results, in the electronic device of the comparative example, a region H in which the strain (stress) is very large was observed, whereas in the electronic device 1A of the specific example, the region H in which the strain (stress) is concentrated was observed. It was confirmed that the maximum strain was reduced to about 75%. That is, in this case, it was confirmed that it is more advantageous for improving the long-term reliability of mounting on the external circuit board.

なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を加えることは何ら差し支えない。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made without departing from the gist of the present invention.

例えば、実施形態の電子部品実装用パッケージ2Aおよび圧電デバイス(電子装置)2Aは、第2表面である基体21Aの下面211bにおける、外部電極パッド231Aの形成構造が前述した構造であるとともに、凹部211内に従来構造の電極パッド(図示せず)が設けられたものでもよい。この場合でも、基体21Aと外部電極パッド231Aとの間の固着強度が小さくなることを抑制して、外部回路基板との接続信頼性の低下を抑制することができる。 For example, the electronic component mounting package 2A and the piezoelectric device (electronic device) 2A of the embodiment have the above-mentioned structure of the external electrode pad 231A on the lower surface 211b of the substrate 21A which is the second surface, and the recess 211. An electrode pad (not shown) having a conventional structure may be provided inside. Even in this case, it is possible to suppress the decrease in the adhesive strength between the substrate 21A and the external electrode pad 231A and suppress the decrease in the connection reliability with the external circuit board.

1,1A 圧電デバイス
2,2A 電子部品実装用パッケージ
3 圧電振動子
4 蓋体
5 接着剤層
21,21A 基体
211 凹部
211a 底面
211b 下面
211aa 底面側凹溝
211ba 下面側凹溝
22 圧電振動子搭載部
221a,221b 部品搭載用突出部
221aa 角部
222a,222b 電極パッド
222a’,222b’ 内層パッド
231a,231b,231c,231d,231A 外部電極パッド
232A 基板接続用突出部
232Aa 基部
232Ab ***部
232Aaa,232Aba 角部
232Aac,232Abc コーナー部
241 支持部
251 パターン導体
261a,261b,261c,261d 貫通導体
27 内層電極
1,1A Piezoelectric device 2,2A Package for mounting electronic components 3 Piezoelectric vibrator 4 Lid 5 Adhesive layer 21,21A Base plate 211 Recessed 211a Bottom surface 211b Bottom surface 211aa Bottom side concave groove 211ba Bottom side concave groove 22 Piezoelectric vibrator mounting part 221a, 221b Parts mounting protrusions 221aa Square parts 222a, 222b Electrode pads 222a', 222b' Inner layer pads 231a, 231b, 231c, 231d, 231A External electrode pads 232A Substrate connection protrusions 232Aa Base 232Ab Raised parts 232Ab Part 232Aac, 232Abc Corner part 241 Support part 251 Pattern conductor 261a, 261b, 261c, 261d Through conductor 27 Inner layer electrode

Claims (4)

電子部品が実装される電子部品実装用パッケージであって、
外部回路基板に接続される基板接続領域を含む第2表面を有する基体と、
前記第2表面の前記基板接続領域から突出する第2突出部と、
前記第2突出部を覆うように設けられる第2導体層と、を含み、
前記第2突出部は、前記第2表面に連なる基部と、該基部から上方に***する***部とを有し、
前記第2表面側から見たときに、前記基部および前記***部がそれぞれ複数のコーナー部を有する多角形状であって、前記基部および前記***部の互いに隣り合うコーナー部がともに円弧状に成形されており、前記***部の前記コーナー部の曲率よりも、前記基部の前記コーナー部の曲率の方が小さいことを特徴とする電子部品実装用パッケージ。
A package for mounting electronic components on which electronic components are mounted.
A substrate having a second surface including a substrate connection area connected to an external circuit board,
A second protruding portion protruding from the substrate connection region on the second surface,
A second conductive layer provided so as to cover the second protruding portion, only including,
The second protruding portion has a base portion connected to the second surface and a raised portion protruding upward from the base portion.
When viewed from the second surface side, the base portion and the raised portion each have a polygonal shape having a plurality of corner portions, and the base portion and the corner portions adjacent to each other of the raised portion are both formed into an arc shape. A package for mounting an electronic component , wherein the curvature of the corner portion of the base portion is smaller than the curvature of the corner portion of the raised portion .
前記基体と、前記第2突出部が、セラミックス材料によって一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装用パッケージ。 The electronic component mounting package according to claim 1, wherein the substrate and the second protruding portion are integrally formed of a ceramic material. 前記第2表面は、前記第2突出部の周辺部分の少なくとも一部に第2凹溝を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品実装用パッケージ。 The electronic component mounting package according to claim 1 or 2, wherein the second surface has a second concave groove in at least a part of a peripheral portion of the second protruding portion. 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品実装用パッケージと、電子部品と、を含むことを特徴とする電子装置。 An electronic device including the electronic component mounting package according to any one of claims 1 to 3, and an electronic component.
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