JP6824593B2 - ステージ装置及び複合ステージの制御装置 - Google Patents
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Description
また、本発明のステージ装置においては、前記制御部は、前記加速度センサの検出値を周波数分析して前記テーブルと前記テーブルにより移動される前記物体とが一体となった移動体の固有振動周波数と、前記固有振動周波数となるときの前記モータの回転数を取得し、前記固有振動周波数となるときの前記モータの回転数での運転時間を減少させている。
当該構成によれば、テーブル及びテーブルにより移動される物体とが一体となった移動体の固有振動周波数を伴ってテーブルが移動される時間が少なくなるので、テーブル等の共振によるステージ装置の負担を軽減することができる。
Claims (8)
- 物体を移動させるテーブルを所定の軌道で移動させるステージ機構と、
前記ステージ機構を駆動するモータと、
前記テーブルの位置を検出する位置センサと、
前記テーブルに生じる加速度を検出する加速度センサと、
前記モータの運転を制御する制御部とを備えたステージ装置であって、
前記制御部は、前記テーブルの位置を指示する位置制御信号と、前記テーブルの加速度を指示する加速度制御信号により前記モータの回転制御を行い、
前記位置制御信号によって前記テーブルが目標位置となるように前記モータを駆動する際に、前記加速度制御信号によって前記テーブルが目標加速度となるように前記モータを駆動し、
前記モータによって前記テーブルが移動された際の前記位置センサの検出値が所定の位置閾値を超えて前記目標位置と異なっているときは、前記位置センサの検出値が前記目標位置となるように前記位置制御信号を補正し、
前記加速度センサの検出値を周波数分析して前記テーブルと前記テーブルにより移動される前記物体とが一体となった移動体の固有振動周波数と、前記固有振動周波数となるときの前記モータの回転数を取得し、前記固有振動周波数となるときの前記モータの回転数での運転時間を減少させることを特徴とする
ステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置であって、
前記テーブルにかかる荷重を検出する荷重センサをさらに備え、
前記加速度制御信号は、正の加速度制御信号及び負の加速度制御信号からなり、
前記制御部は、前記荷重センサの検出値が所定の荷重閾値を超えたときは、前記加速度制御信号を絶対値の低い値に補正することを特徴とするステージ装置。 - 請求項2に記載のステージ装置であって、
前記制御部は、前記加速度制御信号が変更される変更点から所定時間前に前記加速度制御信号を補正することを特徴とするステージ装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置であって、
前記加速度センサは、前記テーブルの移動方向に生じる重力加速度成分を検出し、
前記制御部は、前記加速度制御信号を、前記重力加速度成分を含む値とすることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置であって、
前記テーブルの姿勢を検知するジャイロセンサをさらに備え、
前記制御部は、前記ジャイロセンサの検出値によって検知される前記テーブルの姿勢が、所定の姿勢閾値を超えたときは、前記加速度制御信号を絶対値の低い値に補正することを特徴とするステージ装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のステージ装置を複数組み合わせた複合ステージを制御する装置であって、
いずれかの前記ステージ装置において前記位置制御信号を補正した際の補正値が所定の補正許容値を超えているときは、当該ステージ装置を特定して警報を報知する報知部を備えていることを特徴とする複合ステージの制御装置。 - 請求項6に記載の複合ステージの制御装置であって、
前記テーブルにかかる荷重を検出する荷重センサを備えるものであるときは、
前記報知部は、いずれかの前記ステージ装置において前記荷重センサの検出値が所定の荷重閾値を超えた際に、当該ステージ装置を特定して警報を報知することを特徴とする複合ステージの制御装置。 - 請求項6または7に記載の複合ステージの制御装置であって、
前記ステージ装置が前記テーブルの姿勢を検知するジャイロセンサを備えるものであるときは、
前記報知部は、前記ジャイロセンサの検出値によって検知される前記テーブルの姿勢が所定の姿勢閾値を超えた際に、当該ステージ装置を特定して警報を報知することを特徴とする複合ステージの制御装置。
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