JP6805923B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
図2は、図1の一点鎖線A−A’における断面を示す図である。光変調器1は、光変調素子4を金属製の筐体10内に収容し、蓋11で閉じて気密封止されている。光変調素子4に形成された電極(信号電極及び接地電極)41は、筐体10の貫通孔に配置されたリードピン5と、フレキシブル基板3に形成された電気伝送線路(信号電極及び接地電極)31とを介して、回路基板2の電気回路と電気的に接続される。図2では、フレキシブル基板3上の電気伝送線路31とリードピン5とは、半田等で直接接続されている。また、リードピン5と光変調素子4上の電極41とは、金線等でワイヤーボンディング(6)されている。
図4は、高周波プローブのコンタクト位置による電気反射特性を示す図である。図4では、CPW部における高周波プローブのコンタクト位置をMSL部とCPW部の境界から100μmの位置、200μmの位置、及び300μmの位置として、それぞれ測定した電気反射特性を示してある。同図より、高周波プローブのコンタクト位置によって電気反射特性の測定結果が異なることが理解できる。
(1) 筐体と、該筐体内に配置された光変調素子と、該筐体外に配置された基板とを備えた光変調器において、該基板には、該光変調素子が有する電極に接続された電気伝送線路の少なくとも一部が形成され、該基板に形成された該電気伝送線路の表面の一部に、該電気伝送線路を貫通しない凹部が形成され、該基板に形成された該電気伝送線路は、マイクロストリップ線路とコプレーナ線路とを接続して構成され、該コプレーナ線路は、外部回路と電気的に接続するための端子として用いられ、該凹部は、該コプレーナ線路に形成され、且つ、該マイクロストリップ線路と該コプレーナ線路との境界から100μm以下の位置に配置されたことを特徴とする。
図5A〜図5Cには、本発明の一実施形態に係る光変調器において、フレキシブル基板3上に形成された電気伝送線路31の一部を示してある。図5Aは、マイクロストリップ線路(MSL)とコプレーナ線路(CPW)とを接続して構成された電気伝送線路を示す平面図である。図5Bは、図5Aの電気伝送線路におけるCPW部に高周波プローブ7をコンタクトさせた様子を示す平面図である。図5Cは、図5Bの一点鎖線C−C’における断面を示す図である。
CPW部には、高周波プローブ7のコンタクト先となる凹部R2が形成されている。凹部R2は、種々の方法により形成することができる。例えば、ポンチ具の押圧や、レーザトリミング、機械的な削り込み、エッチングなどにより形成することができる。
また、凹部R2を形成することで、CPW部の熱容量が減少する。このため、半田を効率的に加熱することができ、半田付けの時間を短縮することができる。
また、フレキシブル基板3のCPW部に設けた凹部R2は、フレキシブル基板3を実装する際の目印としても使用することができる。このため、フレキシブル基板3を正確な位置に実装する作業が容易となる。
本例では、CPW部における基板下面の信号電極S2及び接地電極G2に凹部R2を設けたが、上面側に凹部R2を設けてもよく、両面に凹部R2を設けてもよい。また、CPW部をグランド付きコプレーナ線路とするなど、他の種別の電気伝送線路を用いた構成としてもよい。
2 回路基板
3 フレキシブル基板
4 光変調素子
5 リードピン
6 ワイヤボンディング
7 高周波プローブ
10 筐体
11 蓋
31 電気伝送線路
41 電極
71 接触端子
S1,S2 信号電極
G1,G2 接地電極
H2 ビアホール
C2 キャスタレーション
R2 凹部
MSL マイクロストリップ線路
CPW コプレーナ線路
Claims (3)
- 筐体と、該筐体内に配置された光変調素子と、該筐体外に配置された基板とを備えた光変調器において、
該基板には、該光変調素子が有する電極に接続された電気伝送線路の少なくとも一部が形成され、
該基板に形成された該電気伝送線路の表面の一部に、該電気伝送線路を貫通しない凹部が形成され、
該基板に形成された該電気伝送線路は、マイクロストリップ線路とコプレーナ線路とを接続して構成され、
該コプレーナ線路は、外部回路と電気的に接続するための端子として用いられ、
該凹部は、該コプレーナ線路に形成され、且つ、該マイクロストリップ線路と該コプレーナ線路との境界から100μm以下の位置に配置されたことを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、
該基板は、フレキシブル基板であることを特徴とする光変調器。 - 請求項1又は請求項2に記載の光変調器において、
該凹部には、電気測定用のプローブがコンタクトされることを特徴とする光変調器。
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JP2017059287A JP6805923B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017059287A JP6805923B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 光変調器 |
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JP6805923B2 true JP6805923B2 (ja) | 2020-12-23 |
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Family Applications (1)
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JP2017059287A Active JP6805923B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 光変調器 |
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