JP6805189B2 - 物理量検出装置 - Google Patents
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Description
13…駆動系トランスデューサ 14…検出系トランスデューサ
100…駆動回路 110…捕捉及び解放制御部 120…発振回路
200…機械式センサ 210…駆動系 211…可動体
212…固定端 213…バネ 214…ダンパー
220…検出系 221…可動体 222…固定端
223…バネ 224…ダンパー
230…バネ
300…検出回路 310…第1の増幅回路 320…第2の増幅回路
321…電圧電流変換回路 322…可変抵抗 323…可変抵抗
324…スイッチ 325…キャパシタ 326…抵抗
327…演算増幅器 328…抵抗
330…振り分け制御回路 340…乗算回路
341…乗算器 342…演算増幅器
343、344、345…インピーダンス素子
350…位相調整回路 351…演算増幅器
352…インピーダンス素子 353…演算増幅器
354…抵抗 355…演算増幅器
356、357…可変抵抗
410、420.430…アクチュエータ 411…可変キャパシタ
510、520…トランスデューサ 521…可変キャパシタ
Claims (11)
- 第1の方向に振動可能な第1の可動体を含む第1の振動機構と、
前記第1の可動体の前記第1の方向の振動に伴って前記第1の方向に振動するとともに、前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に振動可能な第2の可動体を含む第2の振動機構と、
前記第1の可動体の振動に基づく前記第1の可動体の位置に関する第1の信号を生成する第1のトランスデューサと、
前記第2の可動体の振動に基づく前記第2の可動体の位置に関する第2の信号を生成する第2のトランスデューサと、
前記第1の信号を増幅する第1の増幅回路と、
前記第2の信号を増幅する第2の増幅回路と、
前記第2の増幅回路で増幅された信号を第1の振り分け信号及び第2の振り分け信号に振り分けるための振り分け制御回路と、
前記第1の増幅回路の出力と前記第1の振り分け信号とを乗算する乗算回路と、
前記第2の振り分け信号の位相を調整する位相調整回路と、
前記位相調整回路で調整された信号に基づいて前記第2の可動体の振動を調整する第1のアクチュエータと、
を備え、
前記第1の振り分け信号に対する前記第2の振り分け信号の比率は、前記第1の可動体が振動を開始した後に時間の経過とともに減少する
ことを特徴とする物理量検出装置。 - 前記第1の方向に振動している前記第1の可動体を捕捉し、捕捉された第1の可能体を解放して前記第1の方向へ振動させる第2のアクチュエータをさらに含む
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。 - 前記第2のアクチュエータによって前記第1の可動体が捕捉されている最中は、前記第1の増幅回路、前記第2の増幅回路、前記振り分け制御回路、前記乗算回路及び前記位相調整回路の動作は停止している
ことを特徴とする請求項2に記載の物理量検出装置。 - 前記第1の可動体を前記第1の方向に強制的に振動させる第3のアクチュエータをさらに含む
ことを特徴とする請求項2に記載の物理量検出装置。 - 前記第1の振り分け信号に対する前記第2の振り分け信号の比率は、最終的にゼロになる
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。 - 前記第1の振り分け信号に対する前記第2の振り分け信号の比率が最終的にゼロになった後は、前記振り分け制御回路の動作は停止する
ことを特徴とする請求項5に記載の物理量検出装置。 - 前記第1の振動機構、前記第2の振動機構、前記第1のトランスデューサ、前記第2のトランスデューサ、前記第1のアクチュエータ、前記第2のアクチュエータ及び前記第3のアクチュエータは、同一基板上に設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載の物理量検出装置。 - 前記第1の振動機構、前記第2の振動機構、前記第1のトランスデューサ、前記第2のトランスデューサ、前記第1のアクチュエータ、前記第2のアクチュエータ及び前記第3のアクチュエータは、MEMS技術によって形成されている
ことを特徴とする請求項4に記載の物理量検出装置。 - 前記第2の可動体は、前記第1の可動体の前記第1の方向の振動に伴って前記第2の可動体が前記第1の方向に振動している最中に前記第2の可動体に回転運動が働くことで、前記第2の方向に振動する
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。 - 第2のトランスデューサは可変キャパシタを含み、前記第2の信号は前記可変キャパシタのキャパシタンスに基づいて生成される
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。 - 前記乗算回路からは、前記第2の可動体の角速度に基づく信号が出力される
ことを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。
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JP2018011926A JP6805189B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 物理量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018011926A JP6805189B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 物理量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019128327A JP2019128327A (ja) | 2019-08-01 |
JP6805189B2 true JP6805189B2 (ja) | 2020-12-23 |
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ID=67472152
Family Applications (1)
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JP2018011926A Active JP6805189B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 物理量検出装置 |
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-
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- 2018-01-26 JP JP2018011926A patent/JP6805189B2/ja active Active
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