JP6804069B2 - 基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- General Factory Administration (AREA)
Description
基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第1画像データよりも解像度が高い第2画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第1画像データを前記イベントデータに基づき第1記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第2画像データを前記アラームデータに基づき第2記憶部に記憶させる第2制御手段と、
前記第1画像データと前記第2画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第2制御手段は、前記第1画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第2画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第1画像データと前記第2画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な
技術が提供される。
図1に示すように、本実施形態において、基板処理装置4は、ICの製造方法における熱処理工程を実施する縦型熱処理装置(バッチ式縦型熱処理装置)として構成されている。なお、本開示が適用される縦型熱処理装置では、基板としてのウエハWを搬送するキャリアとしてFOUP(Front Opening Unified Pod:以下、ポッドという。)20が使用されている。基板処理装置4は後述する処理炉8、収容室12、搬送室16を備える。
基板処理装置4の筐体内前側には、ポッド20を装置内に搬入し、収納する収容室12が配置されている。収容室12の筐体前側には、ポッド20を収容室12に対して搬入搬出するための開口である搬入出口22Aが収容室12の筐体内外を連通するように開設されている。搬入出口22Aはフロントシャッタによって開閉されるように構成されていても良い。搬入出口22Aの筐体内側にはロードポート(ポッド載置装置)としてのAGVポート(I/Oステージ)22が設けられている。収容室12と搬送室16との間の壁面には、移載ポート42が設置されている。ポッド20はAGVポート22上に基板処理装置4外にある工程内搬送装置(工程間搬送装置)によって基板処理装置4内に搬入され、かつまた、AGVポート22上から搬出される。
収容室12の後方に隣接して搬送室16が構成されている。収容室12の搬送室16側には、ウエハWを搬送室16に対して搬入出するためのウエハ搬入出口が水平方向に複数並べられて開設されており、各ウエハ搬入出口に対して移載ポート42がそれぞれ設置されている。移載ポート42では、ポッド20を載置する載置台42Bを水平移動させてウエハ搬入出口に押し当て、図示しない蓋開閉機構(蓋開閉装置)としてのFIMS(Front−Opening Interface Standard)オープナによりポッド20の蓋が展開される。ポッド20の蓋が展開されると、基板移載装置としての基板移載機86によって、ポッド20内外へのウエハWの搬送が行われる。
搬送室16の上方には処理炉8が設けられている。図3に示すように、処理炉8は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ46を有する。ヒータ46は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ46は、後述するようにガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
ポッド20がAGVポート22またはOHTポート32に供給されると、AGVポート22またはOHTポート32の上のポッド20は基板処理装置4内部へ搬入される。搬入されたポッド20は収納棚30の指定されたステージ25へポッド搬送機構40によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、収納棚30から一方の移載ポート42に搬送されて受け渡されるか、もしくは直接移載ポート42に搬送される。
ポッド20が、移載ポート42の載置部に載置されると蓋開閉機構としてのFIMSオープナによりポッド20の蓋が開けられる。
ポッド20の蓋が開けられると、ポッド20内の複数枚のウエハWが基板移載機86によって、ボート58に装填(ウエハチャージ)される。
複数枚のウエハWがボート58に装填されると、ボート58は、ボートエレベータ82によって処理室54に搬入(ボートロード)される。このとき、シールキャップ78は、Oリング78Aを介して反応管50の下端を気密に閉塞(シール)した状態となる。
処理室54、すなわち、ウエハWが存在する空間が所定の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ74によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室54の圧力は、圧力センサ70で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ72が、フィードバック制御される。真空ポンプ74は、少なくともウエハWに対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。
バルブ66aを開き、ガス供給管62a内へHCDSガスを流す。HCDSガスは、MFC64aにより流量調整され、ノズル60を介して処理室54へ供給され、排気管68から排気される。このとき、ウエハWに対してHCDSガスが供給されることとなる。このとき、同時にバルブ66bを開き、ガス供給管62b内へN2ガスを流す。N2ガスは、MFC64bにより流量調整され、HCDSガスと一緒に処理室54へ供給され、排気管68から排気される。ウエハWに対してHCDSガスを供給することにより、ウエハWの最表面上に、第1の層として、例えば1原子層未満から数原子層の厚さのシリコン(Si)含有層が形成される。
ステップ1が終了した後、処理室54のウエハW、すなわち、ウエハW上に形成された第1の層に対してNH3ガスを供給する。NH3ガスは熱で活性化されてウエハWに対して供給されることとなる。
大気圧復帰した後、ボートエレベータ82によりシールキャップ78が下降され、反応管50の下端が開口される。そして、処理済のウエハWが、ボート58に支持された状態で、反応管50の下端から反応管50の外部に搬出される(ボートアンロード)。
処理済のウエハWは、基板移載機86によって、ボート58より取出される(ウエハディスチャージ)。
次処理済のウエハWは、基板移載機86によって、ポッド20に収納され、処理済のウエハWが収納されたポッド20は、キャリアロードと反対の動作により、ロードポート(AGVポート22、OHTポート32)に戻され、外部搬送装置により回収される。
1.色情報をRGBからYCbCrに変換する。
2.画素全体を8×8のブロック単位に分解する。
3.各ブロックにDCT(周波数解析)を行い、結果の値を量子化する。
4.量子化した値をジグザグスキャンし、ランレングスコーディングを行う。
5.直流成分はDPCM(差分パルス符号変調)で圧縮する。
6.これをハフマンコードで符号化し、ブロックの順に出力する。
操作部PC400等の外部コンピュータ等からポッド20の搬送要求を受付けると、装置コントローラ210は、監視コントローラ310にキャリアロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、このイベント通知を受けると、カメラ91(カメラ番号1)による撮影を開始させる。
次に、FIMSオープナによるポッド20の蓋を展開する工程が実施される。装置コントローラ210は、監視コントローラ310にFIMSオープナによるポッド20の蓋開動作終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、この終了イベント通知を受けると、カメラ93により撮影させる。なお、装置コントローラ210が、監視コントローラ310にFIMSオープンイベントを示すイベント通知を送信し、他のカメラのように動画を撮影させるようにしてもよい。
図示しない外部コンピュータ等からウエハWの移載要求を受付けると、装置コントローラ210は、監視コントローラ310にウエハチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、このイベント通知を受けると、カメラ94(カメラ番号4)またはカメラ95(カメラ番号5)による撮影を開始させるとともにイベント録画情報リストが作成される。
図示しない操作部等からプロセスレシピを実行する指示要求を受付けると、装置コントローラ210は、監視コントローラ310にボートロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、このイベント通知を受けると、カメラ94またはカメラ95による撮影を開始させる。
次に、プロセスレシピが実行されてウエハWに成膜処理が行われる。この工程では、監視コントローラ310は、全てのカメラ91〜95の動作を停止させている。なお、操作部PC400で、これまでに終了した搬送イベント(キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程)で取得した画像データ(動画または静止画)を操作部PC400等の操作画面に表示させて動作確認を行うことができる。
プロセスレシピのボートアンロード工程に移行するタイミングで、装置コントローラ210は、監視コントローラ310にボートアンロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、このイベント通知を受けると、カメラ94またはカメラ95による撮影を開始させる。
装置コントローラ210は、監視コントローラ310にウエハディスチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ310は、このイベント通知を受けると、カメラ94またはカメラ95による撮影を開始させる。
そして、ウエハディスチャージ工程における復旧処理により、エラーが解除されると次のキャリアアンロード工程が通常通りキャリアロードと反対の動作が開始される。監視コントローラ310は、開始イベントを受信すると、イベント画像データの録画をカメラ91に開始させ、終了イベントを受信するとイベント画像データの録画をカメラ91に終了させる。監視コントローラ310は、キャリアアンロード工程の間、カメラ91で取得したイベント画像データを第1記憶部313aに記憶するとともにイベント録画情報リストを更新するように構成されている。
例えば、上述の実施形態によれば、データ取得周期は、1秒間に30フレームであり、第2画像データはそのまま第2記憶部313bに保存され、第1画像データは、フレーム前後の画像データを比較してデータの変化の有無により画像データを圧縮して第1記憶部313aに保存していた。しかしながら、この実施形態に限定することはない。
データ取得周期は、上述の実施形態と同様に1秒間30フレームであるが、第1画像データと第2画像データは解像度を異ならせる。例えば、第1画像データは、1600×900ピクセルとし、第2画像データは、3840×2160(4K)ピクセルとしても本実施形態と同様の効果を奏することができる。また、第1画像データと第2画像データを同時に送信するマルチストリーム機能を使用することで、一つのカメラで実装することができる。
第1画像データと第2画像データでデータ取得周期を変更することができ、例えば、第1画像データは、1秒間に3フレームとし、第2画像データは、本実施形態と同様に1秒間30フレームとすることができる。これにより、第1画像データは第2画像データの10分の1のデータ量にすることができる。また、第2画像データの取り扱いは本実施形態と同じであるため、本実施形態と同様な効果を奏することができる。
91,92,93,94,95 カメラ(記録手段)
210 装置コントローラ
310 監視コントローラ
Claims (15)
- 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第1制御手段と、
基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第1画像データよりも解像度が高い第2画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第1画像データを前記イベントデータに基づき第1記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第2画像データを前記アラームデータに基づき第2記憶部に記憶させる第2制御手段と、
前記第1画像データと前記第2画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第2制御手段は、前記第1画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第2画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第1画像データと前記第2画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理システム。 - 基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、
前記第1制御手段は、前記検出手段から前記搬送エラーを示す通知を取得し、前記搬送エラーが発生した装置名、前記搬送エラーに対して設定されるアラームID、前記搬送エラーの発生時刻を少なくとも含むエラー情報を前記第2制御手段と前記操作部に通知するように構成されている請求項1記載の基板処理システム。 - 前記第2制御手段は、前記搬送エラーの発生前後の所定時間分の前記第2画像データをファイル化し、前記第2記憶部に記憶させつつ、前記エラー情報に基づき前記搬送エラーが発生した装置の操作画面と同じ画面を前記操作部に表示させると共に、該同じ画面に前記記録手段が取得した前記第1画像データを表示させる指示を受付ける手段を表示させるように構成されている請求項2記載の基板処理システム。
- 前記第2制御手段は、前記記録手段が取得した前記第1画像データを表示させる指示を受け付けると、前記搬送エラーが発生した時点の前記第1画像データと前記エラー情報を含む画面に切替えて前記操作部に表示させるように構成されている請求項3記載の基板処理システム。
- 前記第2制御手段は、前記アラームID及び/又は前記発生時刻の選択指示を受け付けると、前記第2記憶部内を選択された前記アラームID及び/又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第2画像データを前記操作部に表示させるよう構成されている請求項2記載の基板処理システム。
- 前記検出手段は、前記搬送手段による前記基板の搬送の開始及び終了を示すイベントデータを検出し、
前記第1制御手段は、前記検出手段により前記イベントデータが検出されると前記第2制御手段に前記イベントデータを通知し、
前記第2制御手段は、前記基板の搬送動作が終了したイベントデータを通知されると、前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した第1画像データを前記第1記憶部に記憶させるように構成されている請求項2記載の基板処理システム。 - 前記第2制御手段は、前記第2記憶部内を前記アラームID及び/又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第2画像データと、前記第1記憶部内に予め格納されている前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した前記第1画像データを同じ画面に表示するように構成されている請求項2記載の基板処理システム。
- 基板を搬送する複数の搬送機構と、
前記搬送機構に設けられ、前記搬送機構による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、
前記記録手段は、記録対象である前記搬送機構による前記基板の搬送動作を撮像するように構成され、
前記第2制御手段は、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を第1画像データとして前記記録手段に記録させつつ、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を該第1画像データよりも解像度が高い第2画像データとして前記記録手段に記録させるように構成されている請求項1記載の基板処理システム。 - 前記第2制御手段は、記録対象である前記搬送機構が前記基板もしくは前記基板を収納されたキャリアを搬送中のとき、前記記録手段に前記第1画像データ及び前記第2画像データを記録させるよう構成されている請求項8記載の基板処理システム。
- 前記第2制御手段は、記録対象である前記搬送機構が停止中のとき、前記記録手段に前記第1画像データ及び前記第2画像データを記録させないように構成されている請求項8記載の基板処理システム。
- 前記第2制御手段は、前記搬送エラー発生時に取得する前記搬送エラーに対して設定されるアラームIDの番号に応じて前記搬送エラーを発生させた前記搬送機構を特定可能に構成されている請求項8記載の基板処理システム。
- 前記第2制御手段は、特定した前記搬送機構を記録する前記記録手段の前記第2画像データだけを取得するよう構成されている請求項11記載の基板処理システム。
- 前記搬送機構は、ロードポート、ポッド搬送装置、ボート、移載機よりなる群から選択される少なくとも一つである請求項8記載の基板処理システム。
- 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第1制御手段と、
基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第1画像データよりも解像度が高い第2画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第1画像データを前記イベントデータに基づき第1記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第2画像データを前記アラームデータに基づき第2記憶部に記憶させる第2制御手段と、
前記第1画像データと前記第2画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第2制御手段は、前記第1画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第2画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第1画像データと前記第2画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理装置。 - 基板を搬送する工程と、基板を処理する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記基板を搬送する工程は、更に、
前記基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する工程と、
前記基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、前記基板の搬送動作を前記第1画像データよりも解像度が高い第2画像データとして取得し、それぞれ取得した前記第1画像データを前記イベントデータに基づき第1記憶部に記憶させると共に、前記第2画像データを前記アラームデータに基づき第2記憶部に記憶させる記憶工程と、
前記第1画像データまたは前記第2画像データを表示する表示工程と、を有し、
前記表示工程では、
前記第1画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第2画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第1画像データと前記第2画像データの開始再生タイミングを調整する
半導体装置の製造方法。
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