JP6804069B2 - 基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法に関する。

基板処理装置は、例えば搬送手段により処理室内へ基板(以下ウエハともいう)を搬送し、処理室内にて基板に対して所定の処理を行うよう構成されている。基板の搬送時には、例えば搬送手段のトラブルや処理室内外の圧力差で、基板がずれたり、落下したり、破損したりすることがある。

従来から、この搬送手段の搬送状況を把握することが行われている(例えば、特許文献１参照)。また、基板の状態を検出する検出手段（例えば、光センサ、マッピングセンサ等のセンサ類）を設け、所定位置での基板の状態が期待値と異なった場合、それを搬送エラーとして検出し、そして、操作画面に搬送エラー状況や搬送エラー発生時の搬送系のモニタ画面を表示している(例えば、特許文献２参照)。但し、搬送エラーが発生したことはわかっても、位置ずれ、落下、破損等の基板の詳細の状態やその状態に至った原因を把握することについては直ちに知ることはできない。

係る状況を解消するには、例えばビデオカメラ等の記録手段を基板処理装置内に設置し、搬送エラーの解析に利用することが考えられる(例えば、特許文献３参照)。しかしながら、単に稼働中の画像データを保存し続けると、搬送エラーの発生時に膨大な量の画像データの中から適切な画像データを選択して表示させることになり、解析に時間を要してしまう。

特開２０１０−１６１３４６号公報 特開２０１１−１５５２４４号公報 特開２０１３−０３０７４７号公報

本開示の目的は、基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データを用いて解析を行う構成を提供することにある。

本開示の一態様によれば、 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な
技術が提供される。

本開示によれば、基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データをそれぞれ用いて搬送エラーの異常解析を行うことができる。

本開示の第一実施形態で好適に用いられる収容室の斜透視図である。 本開示の第一実施形態で好適に用いられる基板処理装置の横断面図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる基板処理装置の縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉部分の縦断面図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる基板処理装置のコントローラの概略構成図であり、コントローラの制御系をブロック図で示す図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられるコントローラのシステム構成を示す図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段で記録した画像データを処理する監視コントローラで実行されるプログラム構成を説明するための図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段で記録した画像データを説明する図である。 ＭＪＰＥＧ形式について説明するための図である。 Ｈ．２６４形式について説明するための図である。 （Ａ）は、Ｈ．２６４形式について説明するための図であって、（Ｂ）は、Ｈ．２６５形式について説明するための図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、ＭＪＰＥＧ形式のファイル保存について説明するための図である。 アラーム録画のコマ送り再生を説明するための図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段を説明するための図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段を説明するための図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる画像監視プログラムのフローを説明する図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられるイベント頭出し機能の図示例である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる画像監視プログラムフローの要部を説明する図である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示機能を説明するシーケンスである。 本開示の一実施形態で好適に用いられる装置コントローラの操作画面の図示例である。 本開示の一実施形態で好適に用いられるアラームＩＤ検索画面表示の図示例である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示の図示例である。 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示の図示例である。

以下、本開示の第１の実施形態について、図１〜図３を用いて説明する。

（１）基板処理装置の構成
図１に示すように、本実施形態において、基板処理装置４は、ＩＣの製造方法における熱処理工程を実施する縦型熱処理装置（バッチ式縦型熱処理装置）として構成されている。なお、本開示が適用される縦型熱処理装置では、基板としてのウエハＷを搬送するキャリアとしてＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：以下、ポッドという。）２０が使用されている。基板処理装置４は後述する処理炉８、収容室１２、搬送室１６を備える。

（収容室）
基板処理装置４の筐体内前側には、ポッド２０を装置内に搬入し、収納する収容室１２が配置されている。収容室１２の筐体前側には、ポッド２０を収容室１２に対して搬入搬出するための開口である搬入出口２２Ａが収容室１２の筐体内外を連通するように開設されている。搬入出口２２Ａはフロントシャッタによって開閉されるように構成されていても良い。搬入出口２２Ａの筐体内側にはロードポート（ポッド載置装置）としてのＡＧＶポート（Ｉ／Ｏステージ）２２が設けられている。収容室１２と搬送室１６との間の壁面には、移載ポート４２が設置されている。ポッド２０はＡＧＶポート２２上に基板処理装置４外にある工程内搬送装置（工程間搬送装置）によって基板処理装置４内に搬入され、かつまた、ＡＧＶポート２２上から搬出される。

収容室１２の筐体内前方のＡＧＶポート２２上方には、ポッド２０を収納する収納棚（ポッド棚）３０Ａが上下２段に設置されている。また、収容室１２の筐体内後方には、ポッド２０を収納する収納棚（ポッド棚）３０Ｂがマトリクス状に設置されている。

筐体前方の上段の収納棚３０Ａと水平方向の同一直線状には、ロードポートとしてのＯＨＴポート３２が左右に並んで設置されている。ポッド２０は、基板処理装置４外にある工程内搬送装置（工程間搬送装置）によって基板処理装置４の上方からＯＨＴポート３２上に搬入され、かつまた、ＯＨＴポート３２上から搬出される。ＡＧＶポート２２、収納棚３０ＡおよびＯＨＴポート３２は、水平駆動機構２６によってポッド２０を載置位置と受渡し位置とに水平移動可能なように構成されている。以後、ＡＧＶポート２２を第１ロードポート、ＯＨＴポート３２を第２ロードポートという場合がある。

図２に示すように、収容室１２の筐体内の前側の収納棚３０Ａと後側の収納棚３０Ｂとの間の空間はポッド搬送領域１４を形成しており、このポッド搬送領域１４でポッド２０の受渡しおよび搬送が行われる。ポッド搬送領域１４の天井部（収容室１２の天井部）にはポッド搬送装置としてのポッド搬送機構４０の走行路としてのレール機構４０Ａが形成されている。ここで、受渡し位置はポッド搬送領域１４内に位置し、例えば、ポッド搬送機構４０の真下の位置のことである。

ポッド２０を搬送するポッド搬送機構４０は走行路を走行する走行部４０Ｂと、ポッド２４を保持する保持部４０Ｃと、保持部４０Ｃを垂直方向に昇降させる昇降部４０Ｄを備える。走行部４０Ｂを駆動させるモータのエンコーダを検出することにより、走行路４０Ｂ中の位置を検知することができ、任意の位置に走行部４０Ｂを移動させることができる。

（搬送室）
収容室１２の後方に隣接して搬送室１６が構成されている。収容室１２の搬送室１６側には、ウエハＷを搬送室１６に対して搬入出するためのウエハ搬入出口が水平方向に複数並べられて開設されており、各ウエハ搬入出口に対して移載ポート４２がそれぞれ設置されている。移載ポート４２では、ポッド２０を載置する載置台４２Ｂを水平移動させてウエハ搬入出口に押し当て、図示しない蓋開閉機構（蓋開閉装置）としてのＦＩＭＳ(Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｓｔａｎｄａｒｄ)オープナによりポッド２０の蓋が展開される。ポッド２０の蓋が展開されると、基板移載装置としての基板移載機８６によって、ポッド２０内外へのウエハＷの搬送が行われる。

（処理炉）
搬送室１６の上方には処理炉８が設けられている。図３に示すように、処理炉８は加熱手段（加熱機構）としてのヒータ４６を有する。ヒータ４６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース（図示せず）に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ４６は、後述するようにガスを熱で活性化（励起）させる活性化機構（励起部）としても機能する。

ヒータ４６の内側には、ヒータ４６と同心円状に反応容器（処理容器）を構成する反応管５０が配設されている。反応管５０は、例えば石英（ＳｉＯ₂）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料で構成され、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。反応管５０の筒中空部には、処理室５４が形成されている。処理室５４は、基板としてのウエハＷを後述するボート５８によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。

処理室５４には、ノズル６０が、反応管５０の下部を貫通するように設けられている。ノズル６０は、例えば石英またはＳｉＣ等の耐熱性材料からなる。ノズル６０には、ガス供給管６２ａ及びガス供給管６２ｃが接続されている。ガス供給管６２ａ，６２ｃには、それぞれ上流方向から順に、流量制御器（流量制御部）であるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）６４ａ，６４ｃおよび開閉弁であるバルブ６６ａ，６６ｃが設けられている。ガス供給管６２ａ，６２ｃのバルブ６６ａ，６６ｃよりも下流側には、それぞれ不活性ガスを供給するガス供給管６２ｂ，６２ｄが接続されている。ガス供給管６２ｂ，６２ｄには、それぞれ上流方向から順に、ＭＦＣ６４ｂ，６４ｄおよびバルブ６６ｂ，６６ｄが設けられている。主に、ガス供給管６２ａ、ＭＦＣ６４ａ、バルブ６６ａにより、処理ガス供給系である処理ガス供給部が構成される。また、ガス供給管６２ｃ、ＭＦＣ６４ｃ、バルブ６６ｃにより、反応ガス供給系である反応ガス供給部が構成される。また、ガス供給管６２ｂ，６２ｄ、ＭＦＣ６４ｂ，６４ｄ、バルブ６６ｂ，６６ｄにより、不活性ガス供給系である不活性ガス供給部が構成される。

ノズル６０は、反応管５０の内壁とウエハＷとの間における円環状の空間に、反応管５０の内壁の下部より上部に沿って、ウエハＷの配列方向上方に向かって立ち上がるように設けられている。すなわち、ノズル６０は、ウエハＷが配列されるウエハ配列領域の側方の、ウエハ配列領域を水平に取り囲む領域に、ウエハ配列領域に沿うように設けられている。ノズル６０は、Ｌ字型のロングノズルとして構成されており、その水平部は反応管５０の下部側壁を貫通するように設けられており、その垂直部は少なくともウエハ配列領域の一端側から他端側に向かって立ち上がるように設けられている。ノズル６０の側面には、ガスを供給するガス供給孔６０Ａが設けられている。ガス供給孔６０Ａは、反応管５０の中心を向くようにそれぞれ開口しており、ウエハＷに向けてガスを供給することが可能となっている。ガス供給孔６０Ａは、反応管５０の下部から上部にわたって複数設けられ、それぞれが同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。

反応管５０には、処理室５４の雰囲気を排気する排気管６８が設けられている。排気管６８には、処理室５４の圧力を検出する圧力検出器（圧力検出部）としての圧力センサ７０および圧力調整器（圧力調整部）としてのＡＰＣ（Ａｕｔｏ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）バルブ７２を介して、真空排気装置としての真空ポンプ７４が接続されている。ＡＰＣバルブ７２は、真空ポンプ７４を作動させた状態で弁を開閉することで、処理室５４の真空排気および真空排気停止を行うことができ、更に、真空ポンプ７４を作動させた状態で、圧力センサ７０により検出された圧力情報に基づいて弁開度を調節することで、処理室５４の圧力を調整することができるように構成されているバルブである。主に、排気管６８、ＡＰＣバルブ７２、圧力センサ７０により、排気系が構成される。真空ポンプ７４を排気系に含めて考えてもよい。

反応管５０には、温度検出器としての温度検出部７６が設置されている。温度検出部７６により検出された温度情報に基づきヒータ４６への通電具合を調整することで、処理室５４の温度が所望の温度分布となるように構成されている。温度検出部７６は、ノズル６０と同様にＬ字型に構成されており、反応管５０の内壁に沿って設けられている。

反応管５０の下方には、反応管５０の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ７８が設けられている。シールキャップ７８は、例えばＳＵＳやステンレス等の金属で構成され、円盤状の部材である。シールキャップ７８の上面には、反応管５０の下端と当接するシール部材としてのＯリング７８Ａが設けられている。また、シールキャップ７８の上面のうち、Ｏリング７８Ａより内側領域にはシールキャップ７８を保護するシールキャッププレート７８Ｂが設置されている。シールキャッププレート７８Ｂは、例えば、石英またはＳｉＣ等の耐熱性材料で構成され、円盤状の部材である。シールキャップ７８は、反応管５０の下端に垂直方向下側から当接されるように構成されている。

基板支持具（基板支持装置）としてのボート５８は、複数枚、例えば２５〜２００枚のウエハＷを、水平姿勢で、かつ、互いに中心を揃えた状態で垂直方向に整列させて多段に支持するように、すなわち、間隔を空けて配列させるように構成されている。ボート５８は、例えば石英やＳｉＣ等の耐熱性材料からなる。

シールキャップ７８の処理室５４と反対側には、ボート５８を回転させるボート回転装置としての回転機構８０が設置されている。回転機構８０の回転軸８０Ａは、シールキャップ７８を貫通してボート５８に接続されている。回転機構８０は、ボート５８を回転させることでウエハＷを回転させるように構成されている。

図４に示すように、制御部（制御手段）である装置コントローラ（第１制御手段）２１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）２１２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）２１４、記憶装置２１６、Ｉ／Ｏポート２１８を備えたコンピュータとして構成されている。ＲＡＭ２１４、記憶装置２１６、Ｉ／Ｏポート２１８は、内部バス２２０を介して、ＣＰＵ２１２とデータ交換可能なように構成されている。装置コントローラ２１０には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置２２２が接続されている。また、装置コントローラ２１０には、ハブ３０９を介して第２制御手段としての監視コントローラ３１０と、記録手段としての撮像装置（以後、カメラという）９１，９２，９３，９４，９５（以後、９１〜９５と略す。）が接続されている。なお、カメラ９１〜９５に関しての詳細は後述する。

記憶装置２１６は、例えばフラッシュメモリ、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）等で構成されている。記憶装置２１６内には、基板処理装置の動作を制御する制御プログラムや、後述する基板処理の手順や条件等が記載されたプロセスレシピ等が、読み出し可能に格納されている。プロセスレシピは、後述する基板処理工程における各手順を装置コントローラ２１０に実行させ、所定の結果を得ることが出来るように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプロセスレシピや制御プログラム等を総称して、単に、プログラムともいう。本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合は、プロセスレシピ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。ＲＡＭ２１４は、ＣＰＵ２１２によって読み出されたプログラムやデータ等が一時的に保持されるメモリ領域（ワークエリア）として構成されている。

Ｉ／Ｏポート２１８は、上述のＭＦＣ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ、バルブ６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ、圧力センサ７０、ＡＰＣバルブ７２、ヒータ４６、温度検出部７６、真空ポンプ７４、回転機構８０、ボート昇降装置としてのボートエレベータ８２、ポッド搬送機構４０、センサ（検出器）２５Ｂ，２８Ａ、水平駆動機構２６等に接続されている。

ＣＰＵ２１２は、記憶装置２１６から制御プログラムを読み出して実行すると共に、入出力装置２２２からの操作コマンドの入力等に応じて記憶装置２１６からプロセスレシピを読み出すように構成されている。ＣＰＵ２１２は、読み出したプロセスレシピの内容に沿うように、ＭＦＣ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによる各種ガスの流量調整動作、バルブ６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄの開閉動作、ＡＰＣバルブ７２の開閉動作および圧力センサ７０に基づくＡＰＣバルブ７２による圧力調整動作、真空ポンプ７４の起動および停止、温度検出部７６に基づくヒータ４６の温度調整動作、回転機構８０によるボート５８の回転および回転速度調節動作、ボートエレベータ８２によるボート５８の昇降動作、ポッド搬送機構４０によるポッド搬送動作、センサ２５Ｂ、２８Ａに基づく水平駆動機構２６の駆動動作、ボート５８に対する基板移載機８６による基板搬送動作等を制御するように構成されている。

装置コントローラ２１０は、外部記憶装置（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）２２４に格納された上述のプログラムを、コンピュータにインストールすることにより構成することができる。記憶装置２１６や外部記憶装置２２４は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成されている。以下、これらを総称して、単に、記録媒体ともいう。本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶装置２１６単体のみを含む場合、外部記憶装置２２４単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。なお、コンピュータへのプログラムの提供は、外部記憶装置２２４を用いず、インターネットや専用回線等の通信手段を用いて行ってもよい。

次に、上述の基板処理装置４を用いたポッド２０の搬送について説明する。

(キャリアロード工程：Ｓ１０)
ポッド２０がＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２に供給されると、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２の上のポッド２０は基板処理装置４内部へ搬入される。搬入されたポッド２０は収納棚３０の指定されたステージ２５へポッド搬送機構４０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、収納棚３０から一方の移載ポート４２に搬送されて受け渡されるか、もしくは直接移載ポート４２に搬送される。

走行部４０Ｂを制御し、ポッド搬送機構４０を搬送対象であるポッド２０が載置されているＡＧＶポート２２のステージ２５の受渡し位置上方に移動させる。ここで、受渡し位置上方とは、ポッド搬送機構４０が昇降部４０Ｄにより保持部４０Ｃを下降してポッド２０を保持できる位置、すなわち、ポッド２０の真上に保持部４０Ｃがある位置である。

ポッド搬送機構４０が受渡し位置上方に待機していることを確認し、搬出対象であるポッド２０が載置されているＡＧＶポート２２のステージ２５を受渡し位置まで水平移動（スライド）させる。ここで、ＡＧＶポート２２のスライド動作とポッド搬送機構４０との駆動は同時に行っても良い。

センサ２８Ａにより、ステージ２５が受渡し位置までスライドされたことを確認した後、昇降部４０Ｄを制御し、ポッド２０を保持できる位置まで保持部４０Ｃを降下させ、保持部４０Ｃを制御しポッド２０を保持する。保持部４０Ｃがポッド２０を保持したことを確認し、昇降部４０Ｄを制御し保持部４０Ｃを上昇させる。

ステージ２５のセンサ２５Ｂにより、ポッド２０がステージ２５上に載置されていないことを確認した後、ステージ２５を載置位置までスライドさせる。センサ２８Ａにより、ステージ２５が載置位置に戻ったことを確認した後、ポッド搬送機構４０を受渡し対象の移載ポート４２または収納棚３０の受渡し位置上方に移動させる。

移載ポート４２に搬送する場合、移載ポート４２の載置部上方にポッド搬送機構４０が移動した後、昇降部４０Ｄを制御し、保持部４０Ｃを降下させ、移載ポート４２の載置部にポッド２０を載置する。移載ポート４２の載置部はポッド搬送機構４０の真下に位置しており、受渡しのために水平移動させる必要はない。

収納棚３０に搬送する場合、搬送先の収納棚３０のステージ２５を受渡し位置まで水平移動（スライド）させ、センサ２８Ａにより、ステージ２５が受渡し位置までスライドされたことを確認した後、昇降部４０Ｄを制御し、保持部４０Ｃを降下させ、ステージ２５にポッド２０を載置する。ここで、収納棚３０のステージ２５のスライド動作とポッド搬送機構４０との駆動は同時に行っても良い。

（蓋展開工程：Ｓ１１）
ポッド２０が、移載ポート４２の載置部に載置されると蓋開閉機構としてのＦＩＭＳオープナによりポッド２０の蓋が開けられる。

（ウエハチャージ工程：Ｓ１２）
ポッド２０の蓋が開けられると、ポッド２０内の複数枚のウエハＷが基板移載機８６によって、ボート５８に装填（ウエハチャージ）される。

（ボートロード工程：Ｓ１３）
複数枚のウエハＷがボート５８に装填されると、ボート５８は、ボートエレベータ８２によって処理室５４に搬入（ボートロード）される。このとき、シールキャップ７８は、Ｏリング７８Ａを介して反応管５０の下端を気密に閉塞（シール）した状態となる。

次に、上述の基板処理装置４を用い、半導体装置（デバイス）の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成する処理（以下、成膜処理ともいう）のシーケンス例について説明する。ここでは、基板としてのウエハＷに対して、第１の処理ガス（原料ガス）と第２の処理ガス（反応ガス）とを交互に供給することで、ウエハＷ上に膜を形成する例について説明する。

以下、原料ガスとしてヘキサクロロジシラン（Ｓｉ₂Ｃｌ₆、略称：ＨＣＤＳ）ガスを用い、反応ガスとしてアンモニア（ＮＨ₃）ガスを用い、ウエハＷ上にシリコン窒化膜（Ｓｉ₃Ｎ₄膜、以下、ＳｉＮ膜ともいう）を形成する例について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置４を構成する各部の動作は装置コントローラ２１０により制御される。

本実施形態における成膜処理では、処理室５４のウエハＷに対してＨＣＤＳガスを供給する工程と、処理室５４からＨＣＤＳガス（残留ガス）を除去する工程と、処理室５４のウエハＷに対してＮＨ₃ガスを供給する工程と、処理室５４からＮＨ₃ガス（残留ガス）を除去する工程と、を非同時に行うサイクルを所定回数（１回以上）行うことで、ウエハＷ上にＳｉＮ膜を形成する。

また、本明細書において「基板」という言葉を用いた場合も、「ウエハ」という言葉を用いた場合と同義である。

（成膜工程：Ｓ１４）
処理室５４、すなわち、ウエハＷが存在する空間が所定の圧力（真空度）となるように、真空ポンプ７４によって真空排気（減圧排気）される。この際、処理室５４の圧力は、圧力センサ７０で測定され、この測定された圧力情報に基づきＡＰＣバルブ７２が、フィードバック制御される。真空ポンプ７４は、少なくともウエハＷに対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。

また、処理室５４のウエハＷが所定の温度となるように、ヒータ４６によって加熱される。この際、処理室５４が所定の温度分布となるように、温度検出部７６が検出した温度情報に基づきヒータ４６への通電具合がフィードバック制御される。ヒータ４６による処理室５４内の加熱は、少なくともウエハＷに対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。

また、回転機構８０によるボート５８およびウエハＷの回転を開始する。回転機構８０により、ボート５８が回転されることで、ウエハＷが回転される。回転機構８０によるボート５８およびウエハＷの回転は、少なくとも、ウエハＷに対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。

処理室５４の温度が予め設定された処理温度に安定すると、次の２つのステップ、すなわち、ステップ１〜２を順次実行する。

［ステップ１］
バルブ６６ａを開き、ガス供給管６２ａ内へＨＣＤＳガスを流す。ＨＣＤＳガスは、ＭＦＣ６４ａにより流量調整され、ノズル６０を介して処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。このとき、ウエハＷに対してＨＣＤＳガスが供給されることとなる。このとき、同時にバルブ６６ｂを開き、ガス供給管６２ｂ内へＮ₂ガスを流す。Ｎ₂ガスは、ＭＦＣ６４ｂにより流量調整され、ＨＣＤＳガスと一緒に処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。ウエハＷに対してＨＣＤＳガスを供給することにより、ウエハＷの最表面上に、第１の層として、例えば１原子層未満から数原子層の厚さのシリコン（Ｓｉ）含有層が形成される。

第１の層が形成された後、バルブ６６ａを閉じ、ＨＣＤＳガスの供給を停止する。このとき、ＡＰＣバルブ７２は開いたままとして、真空ポンプ７４により処理室５４を真空排気し、処理室５４に残留する未反応もしくは第１の層の形成に寄与した後のＨＣＤＳガスを処理室５４から排出する。このとき、バルブ６６ｂを開いたままとして、Ｎ₂ガスの処理室５４への供給を維持する。Ｎ₂ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室５４に残留するガスを処理室５４から排出する効果を高めることができる。

［ステップ２］
ステップ１が終了した後、処理室５４のウエハＷ、すなわち、ウエハＷ上に形成された第１の層に対してＮＨ₃ガスを供給する。ＮＨ₃ガスは熱で活性化されてウエハＷに対して供給されることとなる。

このステップでは、バルブ６６ｃ，６６ｄの開閉制御を、ステップ１におけるバルブ６６ａ，６６ｂの開閉制御と同様の手順で行う。ＮＨ₃ガスは、ＭＦＣ６４ｃにより流量調整され、ノズル６０を介して処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。このとき、ウエハＷに対してＮＨ₃ガスが供給されることとなる。ウエハＷに対して供給されたＮＨ₃ガスは、ステップ１でウエハＷ上に形成された第１の層、すなわちＳｉ含有層の少なくとも一部と反応する。これにより第１の層は、ノンプラズマで熱的に窒化され、ＳｉおよびＮを含む第２の層、すなわち、シリコン窒化層（ＳｉＮ層）へと変化させられる（改質される）。なお、このとき、プラズマ励起させたＮＨ₃ガスをウエハＷに対して供給し、第１の層をプラズマ窒化することで、第１の層を第２の層（ＳｉＮ層）へ変化させるようにしてもよい。

第２の層が形成された後、バルブ６６ｃを閉じ、ＮＨ₃ガスの供給を停止する。そして、ステップ１と同様の処理手順により、処理室５４に残留する未反応もしくは第２の層の形成に寄与した後のＮＨ₃ガスや反応副生成物を処理室５４から排出する。このとき、処理室５４に残留するガス等を完全に排出しなくてもよい点は、ステップ１と同様である。

上述した２つのステップを非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数（ｎ回）行うことにより、ウエハＷ上に、所定組成および所定膜厚のＳｉＮ膜を形成することができる。なお、上述のサイクルは複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、上述のサイクルを１回行う際に形成される第２の層（ＳｉＮ層）の厚さを所定の膜厚よりも小さくし、第２の層（ＳｉＮ層）を積層することで形成されるＳｉＮ膜の膜厚が所定の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。

成膜処理が完了した後、バルブ６６ｂ，６６ｄを開き、ガス供給管６２ｂ，６２ｄからＮ₂ガスを処理室５４へ供給し、排気管６８から排気する。Ｎ₂ガスはパージガスとして作用する。これにより、処理室５４がパージされ、処理室５４に残留するガスや反応副生成物が処理室５４から除去される（パージ）。その後、処理室５４の雰囲気が不活性ガスに置換され（不活性ガス置換）、処理室５４の圧力が常圧に復帰される（大気圧復帰）。

（ボートアンロード工程：Ｓ１５）
大気圧復帰した後、ボートエレベータ８２によりシールキャップ７８が下降され、反応管５０の下端が開口される。そして、処理済のウエハＷが、ボート５８に支持された状態で、反応管５０の下端から反応管５０の外部に搬出される（ボートアンロード）。

（ウエハディスチャージ工程：Ｓ１６）
処理済のウエハＷは、基板移載機８６によって、ボート５８より取出される（ウエハディスチャージ）。

（キャリアアンロード工程：Ｓ１７）
次処理済のウエハＷは、基板移載機８６によって、ポッド２０に収納され、処理済のウエハＷが収納されたポッド２０は、キャリアロードと反対の動作により、ロードポート(ＡＧＶポート２２、ＯＨＴポート３２)に戻され、外部搬送装置により回収される。

次に、本実施形態における基板処理システムとしての装置モニタ制御システムについて図５を用いて説明する。

本実施形態における装置モニタシステムは、カメラ９１〜９５と、該カメラ９１〜９５が記録した画像データを保存する監視コントローラ３１０と、装置コントローラ２１０と、装置コントローラ２１０と監視コントローラとカメラ９１〜９５とを接続するハブ３０９と、装置コントローラ２１０や監視コントローラ３１０に接続される操作部コントローラとしての操作部ＰＣ(Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ)４００と、を含む構成である。また、操作部として装置コントローラ２１０内にある操作部を用いてもよい。なお、図５では、これら装置コントローラ２１０、監視コントローラ３１０、操作部ＰＣ４００はそれぞれ別体として示されているが、監視コントローラ３１０、操作部ＰＣ４００を基板処理装置４の構成部品の一つに含めてもよいのはいうまでもない。ここで、監視コントローラ３１０や操作部ＰＣ４００は装置コントローラ２１０と同じ構成であってもよい。なお、監視コントローラ３１０は、監視コントローラ３１０とカメラ９１〜９５のクロックがｍｓｅｃ精度で同期しているため、カメラ９１〜９５が記録する画像データを正確に保持することができる。

また、装置コントローラ２１０、監視コントローラ３１０は、基板処理装置４が設置されるクリーンルームに設置され、操作部ＰＣ４００は、クリーンルームとは別室のオフィスルーム等に設置されている。すなわち、装置コントローラ２１０及び監視コントローラ３１０は、クリーンルームから離れた操作部ＰＣ４００を入出力装置２２２として遠隔制御される。装置コントローラ２１０は、ウエハＷの搬送時等に発生するイベントデータと、搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する。そして、装置コントローラ２１０は、イベントデータを取得すると、イベントデータに基づくイベント通知を監視コントローラ３１０と操作部ＰＣ４００に送信する。また、装置コントローラ２１０は、搬送エラーが発生するとアラームデータに基づくエラー情報を含むアラーム通知を監視コントローラ３１０と操作部ＰＣ４００に送信するよう構成されている。また、管理装置４０２及び顧客等のホストＰＣ４０４等にエラー情報を含むアラーム通知をメールで送信するよう構成され、管理装置４０２やホストＰＣ４０４等の表示部に、操作部ＰＣ４００の表示部と同様の画面がリモート表示できるように構成されている。ここで、イベントデータとは、搬送ロボット等の各搬送機構に設けられたセンサから取得するデータであって、キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程、成膜工程、ボートアンロード工程、ウエハディスチャージ工程、キャリアアンロード工程等のそれぞれの工程（イベント）におけるウエハ搬送開始及び終了のタイミングを示す情報（イベント情報）であって、イベント発生日時等を含む。また、アラームデータとは、ウエハＷの搬送時に発生する位置ずれ、落下、破損、搬送残り等の搬送手段による搬送エラーの発生等を示す情報（エラー情報）であって、搬送エラー発生日時等を含んでいる。具体的には、エラー情報として、搬送エラーが発生した装置名、搬送エラーに対して設定されているアラームＩＤ、搬送エラーの発生時刻等に関する情報が含まれる。なお、カメラ９１〜９５に関しての詳細は後述する。

図６に示すように、監視コントローラ３１０は、監視コントローラ３１０で実行される画像録画プログラムにより、後述する第１画像データとしてのイベント画像データであるＨ.２６４形式の動画（高圧縮・低画質動画）と、後述する第２画像データとしてのアラーム画像データであるＭｏｔｉｏｎ ＪＰＥＧ（Ｊｏｉｎｔ Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｅｘｐｅｒｔｓ Ｇｒｏｕｐ）またはＭ−ＪＰＥＧ（以後、ＭＪＰＥＧと称する）形式の動画（低圧縮・高精細動画）を同時に取得するように構成されている。アラーム画像データは、搬送エラー等の障害が発生したときの画像データであるのに対して、イベント画像データは、搬送エラー等の障害が発生するまでの基板の搬送時の状態や、障害が発生していない正常な基板の搬送時の状態を示す画像データである。監視コントローラ３１０は、イベント画像データ及びアラーム画像データのリストを保存する蓄積部としてのデータベース３１１ａと、イベント画像データ及びアラーム画像データの動画をそれぞれ一時的に格納するバッファ部としてのメモリ３１２ａ，３１２ｂと、イベント画像データ及びアラーム画像データをそれぞれ保存（記憶）するハードディスクドライブとしての記憶部３１３ａ，３１３ｂと、を有する。以下、イベント画像データを格納する記憶部を第１記憶部３１３ａ、イベント画像データを一時的に格納するメモリを第１メモリ３１２ａと称する。そして、アラーム画像データをそれぞれ記録したカメラ９１〜９５毎に格納する記憶部を第２記憶部３１３ｂ、アラーム画像データをそれぞれ記録したカメラ９１〜９５毎に一時的に格納するメモリを第２メモリ３１２ｂと称する。

監視コントローラ３１０は、例えば、装置コントローラ２１０からウエハＷ（またはポッド２０）の搬送の開始を示すイベント通知を受けると、カメラ９１〜９５がそれぞれ記録する第１画像データ（イベント画像データ）のメモリ（第１メモリ３１２ａ）への格納を開始する。イベント画像データは、カメラ９１〜９５が記録する画像データを一時格納する一つの第１メモリ３１２ａに集約され、周期的に第１記憶部３１３ａに格納される。この場合、監視コントローラ３１０は、装置コントローラ２１０からウエハＷ（またはポッド２０）の搬送の終了を示すイベント通知を受けると、カメラ９１〜９５がそれぞれ記録する第１画像データの第１メモリ３１２ａへの格納を終了し、第１メモリ３１２ａ内の第１画像データを第１記憶部３１３ａに格納する。例えば、第１メモリ３１２ａが一杯になるとまとめて第１記憶部３１３ａに転送したり、また、設定値で予め第１記憶部３１３ａへの転送時間を決めたりしてもよい。そして、イベント画像データ（第１画像データ）は、イベント画像データのイベント録画ファイルの保存先ディレクトリとイベント情報を含む後述する「イベント録画情報リスト」としてデータベースＤＢ化される。例えば、開始を示すイベント通知のタイミングでデータベース３１１ａへイベント情報が登録されつつ、イベント画像データのファイル化が第１記憶部３１３ａへ開始される。終了を示すイベント通知のタイミングでデータベース３１１ａが更新されつつ、第１記憶部３１３ａへのファイル化の終了処理（ファイルクローズ処理）が行われる。

監視コントローラ３１０は、起動してカメラ９１~９５と接続した後、数十秒間分の第２画像データ（アラーム画像データ）を各メモリ（第２メモリ３１２ｂ）へ格納を開始する。数十秒間分をリングバッファとして、最も古い画像データを最新の画像データで上書きし、常に一定の過去数十秒間分のデータを蓄えるような構造となっている。アラーム画像データは、カメラ９１〜９５ごとに設けられる第２メモリ３１２ｂに一旦格納される。そして、監視コントローラ３１０は、装置コントローラ２１０からウエハＷの搬送時に発生する位置ずれ、落下、破損、搬送残り等の搬送手段による搬送エラーの発生を示すアラーム通知を受けると、このカメラ９１〜９５ごとに設けられる第２メモリ３１２ｂに格納されたアラーム画像データの搬送エラー発生前後のあらかじめ決められている範囲であって、搬送エラー発生前後数十秒間の、例えば搬送エラー発生前後２０秒間分のデータがファイル化され、カメラ９１〜９５ごとに設けられる第２記憶部３１３ｂに格納される。また、図示されていないが、アラーム画像データは、録画ファイルの保存先ディレクトリとエラー情報を含む後述する「アラーム録画情報リスト」としてデータベースＤＢ化される。

監視コントローラ３１０が、録画監視プログラムに組み込まれたイベント録画タスク、アラーム録画タスクを実行することにより、イベント画像データの第１記憶部３１３ａへの保存、イベント録画ファイルの作成、アラーム画像データの第２記憶部３１３ｂへの保存、アラーム録画ファイルの作成が行われる。なお、第１記憶部３１３ａのＨＤＤ容量が十分にある場合、または動作していない場合も録画したい箇所を映しているカメラの場合、イベント画像データは、装置コントローラ２１０から搬送機構の搬送の開始及び終了を示すイベント通知によらず、周期的にイベント画像データの第１記憶部３１３ａへの保存する常時録画された画像データであってもよい。例えば、２４時間Ｎ（自然数）日間録画し続けた画像データであってもよい。一方、ＨＤＤ容量に制限がある場合、または、できるだけ長時間にわたって搬送動作中の画像データを保持したい場合、イベント画像データは、イベント通知に従って、搬送している間だけ第１記憶部３１３ａに録画される。このようなイベント画像データ（第１画像データ）の録画方式に関しては、カメラ９１〜９５毎に設定される。

図７にカメラ９１〜９５から取得する動画形式について示す。本開示では一つのカメラからＨ.２６４形式の動画(イベント画像データ)と、ＭＪＰＥＧ形式の動画(アラーム画像データ)の二つの形式の動画(画像データ)を同時に監視コントローラ３１０で取得できるように構成されている。つまり、カメラ９１〜９５は、それぞれウエハＷの搬送動作をイベント画像データとして記録しつつ、ウエハＷの搬送動作をイベント画像データよりも高精細なアラーム画像データとして記録する。

ここで、ＭＪＰＥＧ形式の画像(第２画像データ)は、例えば図８に示すように、１枚のＪＰＥＧ形式の画像（以後、フレームとも言う）の連続で動画を構成する。図８は、ＭＪＰＥＧ形式でボート５８が反応管５０へ上昇する動画が左側から右側へ１フレーム毎に表示されている。ＭＪＰＥＧではフレーム間の依存関係がなく、ＭＪＰＥＧの画像は、データの伝送中にフレームが1つ欠落しても、残りのフレームに一切影響を与えないため、非常に安定している。ＭＪＰＥＧ形式の利点は、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がなく、画質が劣化しない。したがって、例えば、搬送機構の動作中に障害が発生した際にＭＪＰＥＧ形式で録画されていれば、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がない画像（動画）、画質で障害発生状況を確認することが可能となる。欠点は、完全な画像の連続であるため、ビデオ圧縮技術を利用してデータを圧縮できない。なお、本実施例では、１秒間に３０フレームの画像が記録され、監視コントローラ３１０の第２記憶部３１３ｂに格納される。つまり、アラーム発生時に、約３３ｍｓｅｃ毎の高精細な画像データが記憶される。

第２画像データとして、ＢＭＰ形式やＰＮＧ形式を用いてもよい。ＭＪＰＥＧ形式のＪＰＥＧ画像は、図９のように動きのないところは録画しないＨ．２６４形式と比較すると、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がなく、画質劣化が少ない。しかし、ＪＰＥＧ圧縮技術は、主に下記の処理が実施されているため、拡大表示すると、ブロック単位のノイズが見られることがある（非可逆圧縮方式）。
１．色情報をＲＧＢからＹＣｂＣｒに変換する。
２．画素全体を８×８のブロック単位に分解する。
３．各ブロックにＤＣＴ（周波数解析）を行い、結果の値を量子化する。
４．量子化した値をジグザグスキャンし、ランレングスコーディングを行う。
５．直流成分はＤＰＣＭ（差分パルス符号変調）で圧縮する。
６．これをハフマンコードで符号化し、ブロックの順に出力する。

ＢＭＰ形式は、特殊な圧縮を掛けていない、ファイルサイズは大きくなるが、構造が単純で汎用性が高い、画像情報をそのまま維持している（可逆圧縮方式）。ＰＮＧ形式は、可逆圧縮方式の画像形式のため、圧縮による画像劣化がない。したがって、ＢＮＰ形式やＰＮＧ形式で第２画像データを録画すると、拡大表示した際によりブロック単位のノイズがなく、鮮明に状況を確認することが期待できる。

ここで、第１画像データは、ＭＰＥＧ-４ Ｐａｒｔ １０ ＡＶＣ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｖｉｄｅｏ Ｃｏｄｉｎｇ）とも呼ばれるビデオエンコーディングのための最新のＭＰＥＧ規格である。Ｈ.２６４は次世代の動画圧縮の標準規格として期待されている。図７に示すように、Ｈ.２６４のデータサイズはＭＪＰＥＧと比較して８０％以上、ＭＰＥＧ-４と比較して５０％以上削減され、例えば、第１記憶部３１３ａのストレージ容量を大幅に抑えられる。画像フレーム内では、不要な情報を削除することでデータ量を削減することができる。例えば図９に示すように、前後フレームで変化のないところは削除される。ここで図９は、Ｈ．２６４形式で図８と同様にボート５８が反応管５０へ上昇する動画が左側から右側へ１フレーム毎に表示されている。この１フレームは、ＭＪＰＥＧ形式の画像（第２画像データ）と同様に０．０３３ｍｓｅｃである。Ｈ．２６４形式では画像データを圧縮する際に、フレーム間で動いている部分と静止している部分を切り分けて、動いている部分は時間軸の変化に合わせて画像データを随時書き換えるが、静止している部分は時間が変化しても画像データとしては変化していないとみなして、元の画像データを流用する。しかし、大幅に圧縮率が高まるが、動きのある部分と静止部分の切り分けがうまくいかないと、ノイズが発生し不鮮明な映像になる場合がある。

Ｈ．２６４形式は、基本的な方式はＭＰＥＧ−２と同じ、動き補償（ＭＣ）フレーム間予測符号化方式に離散コサイン変換（ＤＣＴ）を使用したもので、いわゆるＭＣ＋ＤＣＴと呼ばれている方式である。Ｈ．２６４形式は、ＭＰＥＧ−２やＭＰＥＧ−４による映像圧縮符号化方式よりも、２倍以上の超高圧縮の実現を目指して標準化されている。

また、画像データをより高圧縮にするために、例えば図１０（Ｂ）に示すように、Ｈ．２６５形式を用いてもよい。Ｈ．２６４形式は、図１０（Ａ）に示すように、画面全体を細かくブロック化し変化した部分のみを監視コントローラに送信する。つまり、大きく変化したブロックも比較的変化の小さいブロックも、同じ細かいブロックで送信することになる。Ｈ．２６５形式は、細かいブロックとして固定しないで、大きく変化したブロックは細かく、比較的変化の少ないブロックは大きいブロックとすることで、圧縮率の適正化を行い全体の情報量を削減することを可能としている。このようなＨ．２６４形式やＨ．２６５形式の画像データを半導体製造装置に適用する場合、オペレータの画面操作により流量計をモニタする目的など、一般的にはそれほど画質を必要としない用途に対しては、有効な手段である。

また、ＭＪＰＥＧ形式のファイル保存について、図１１（Ａ）に示すように、通常は「 ．ａｖｉ」や「 ．ｍｏｖ」のような１つのファイルに動画を保存する。つまり、この形式では、１つのファイルをプレイヤーで再生する際、コマ送り再生ができず、スロー再生のみとなる。

本開示のアラーム録画では、図１１（Ｂ）に示すように、１秒間に３０フレームの静止画をＪＰＥＧファイルとして、障害発生前の２０秒間と障害発生後の２０秒間の合わせて４０秒間分を出力する。つまり、３０フレーム×４０秒＝１２００ファイルのＪＰＥＧファイルを保存していることになる。この技術的な解決方法を用いることで、０．０３３秒間隔の映像をコマ送り再生することで、超スロー再生する方式を実現している。図１２は、０．０３３秒間隔の映像をコマ送り再生するイメージを示す。ウエハＷを搬送する搬送機構は、約９〜１０分の間にポッド２０を３セット（最大ウエハＷ７５枚）分、ボート５８へ搬送している。そのため、障害発生時の調査には、より間隔の短い映像を取得して再生できることが求められている。

顧客によっては、数か月（３カ月以上）の動画保存を要求されており、要求を満たすためには、より高圧縮した画像データ（Ｈ．２６４形式または次世代Ｈ．２６５形式）で記録することになる。ただし、高圧縮した画像データは、時間軸での映像比較により、データ圧縮するため、障害発生時の重要な場面を出力した場合に、不鮮明な映像となる場合がある。また、Ｈ．２６４形式やＨ．２６５形式は、前後のフレームの情報を参照して映像を作り出しているため、コマ送り再生ができない。そのため、エラー発生時前後をＭＪＰＥＧ形式で同時に記録して、障害発生時の映像を高精細な映像で記憶することで、コマ送り再生して確認することができる。

ここで、ウエハＷ等の半導体基板が搬送される様子を常時録画して保存しておき、搬送エラー等が発生した場合には、録画されている画像データを参照して搬送エラーが発生した要因を調べるようなことが行われる。

しかし、搬送エラー等の障害が発生しない場合でも常時録画されるイベント画像データを低圧縮・高精細のＭＪＰＥＧ形式で録画したのでは、画像データを記憶するための記憶容量が膨大となってしまう。

そのため、本実施形態においては、搬送エラー等の障害が発生しない場合でも常時録画されるイベント画像データについては、高圧縮・低画質のＨ．２６４形式で記憶し、搬送エラー等の障害が発生した場合にのみ録画されるアラーム画像データについては、低圧縮・高精細のＭＪＰＥＧ形式で記憶するようにしている。

次に、カメラ９１〜９５の撮像ポイントについて図１３を用いて説明する。カメラの撮影対象は、主にウエハＷを搬送する搬送機構であって、例えば、移載ポート４２、ポッド搬送機構４０、基板移載機８６、ボート５８等である。それぞれ、移載ポート４２でのポッド２０の受渡し確認、ポッド搬送動作確認、ポッド２０からのウエハ取出し、ボート５８へのチャージ、ディスチャージの確認、基板移載機８６で移動中のウエハ状態の確認、ボート５８及びボート５８に装填されたウエハＷの昇降確認等を目的としている。また、画像データとして動画及び静止画が取得され、これらの画像データは、監視コントローラ３１０の第１記憶部３１３ａ又は第２記憶部３１３ｂに記憶される。なお、カメラ９１〜９５は、上述の移載ポート４２、ポッド搬送機構４０、基板移載機８６、ボート５８等の搬送機構（撮影対象）の動作や周囲の環境に応じた露出（照明）制御を自動的に行うように構成されている。

ポッド搬送機構４０によるキャリアロード／アンロード中、基板移載機８６によるウエハＷのチャージ／ディスチャージ中、ボート５８のロード／アンロード中にカメラ９１~９５により取得される動画（イベント画像データ）が第１記憶部３１３ａに保存される。つまり、第１記憶部３１３ａには、所定時間(所定イベント)毎にイベント画像データがファイル化されて蓄積される。例えば、ウエハＷのチャージ／ディスチャージのような基板の搬送工程毎に、イベント画像データがファイル化されて蓄積されるよう構成されている。また、ファイル化の周期（上記所定時間）は、イベント毎に限らず適宜設定可能に構成されている。

また、ＦＩＭＳオープン後、ウエハチャージ終了後、ボートアンロード後に、監視コントローラ３１０は、静止画を取得するように構成されている。これは、ＦＩＭＳオープン後、搬送工程終了後のウエハＷ確認は、静止画を確認するだけで少なくとも異常の発生を把握できるためである。本実施形態ではアラーム画像データと同様な形式の低圧縮で高精細の静止画を取得し、搬送エラーの詳細状況を把握するようにしている。なお、ＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋展開工程も他の搬送イベントと同様に動画を取得するようにしてもよい。

次に、カメラ９１〜９５のそれぞれの撮影対象とアラームＩＤとの関連について図１４を用いて説明する。図１４は、撮影対象とアラームＩＤから搬送エラー発生時(障害発生時)の録画を限定する場合に利用するテーブルを示す。

図１４に示すように、設置するカメラの数を５個とした場合に、各撮影対象に起因して発生する搬送エラーに対してアラームＩＤは設定される。つまり、アラームＩＤは、撮影対象とカメラ９１〜９５に対してそれぞれ紐付けられ、アラームＩＤから撮影対象とカメラ９１〜９５とを特定することができるようにされている。

カメラ９１（カメラ番号１）は、外部搬送装置とＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２との間で、キャリアとしてのポッド２０を受渡しする様子を撮影する。なお、ポッド２０の受渡し中に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。実際に搬送エラーが発生したことを検出する検出手段（例えば、センサ）は、ＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２もしくはこれらの近傍にそれぞれ設けられる。

カメラ９２（カメラ番号２）は、ポッド搬送機構４０と移載ポート４２との間で、ポッド２０を受渡しする様子を撮影する。また、カメラ９２は、上述したキャリアロード工程及びキャリアアンロード工程の間、つまり、ＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２と移載ポート４２の間のポッド搬送機構４０の様子を撮影する。キャリアロード工程及びキャリアアンロード工程の間に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、ポッド搬送機構４０に設けられる。

カメラ９３（カメラ番号３）は、移載ポート４２の載置部に載置されたポッド２０がＦＩＭＳオープナにより蓋が展開される様子を撮影する。ＦＩＭＳオープナオープン後にウエハ飛び出し等のエラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、移載ポート４２にあるＦＩＭＳオープナ（蓋開閉機構）に設けられる。

カメラ９４（カメラ番号４）及びカメラ９５（カメラ番号５）は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、基板移載機８６によりウエハＷが搬送される様子を撮影すると共に、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が昇降される様子を撮影する。つまり、カメラ９４及びカメラ９５は、上述したウエハチャージ工程及びウエハディスチャージ工程の間、および、上述したボートロード工程及びボートアンロード工程の間で、ウエハＷが搬送される様子やボート５８が昇降される様子を撮影する。ウエハチャージ工程及びウエハディスチャージ工程の間、若しくは、ボートロード工程及びボートアンロード工程の間に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、基板移載機８６に設けられる。

監視コントローラ３１０は、図１４に示すテーブルを持つことで、装置コントローラ２１０からアラームＩＤを含む搬送エラー発生のアラーム通知を受信すると、通知されたアラームＩＤから対象となるカメラ番号を特定することができる。そして、監視コントローラ３１０は、特定したカメラ番号に限定してアラーム画像データを取得してアラーム録画を行う(アラーム画像データを各カメラ番号の第２記憶部３１３ｂに保存する)。

監視コントローラ３１０のアラーム録画機能は、高精細な動画(アラーム画像データ)を取得できるが、低圧縮のためファイル容量が大きくなり記憶部を占有してしまう。よって、搬送エラーが発生した箇所に応じてアラームＩＤやカメラ番号を定義した図１４に示すテーブルを適用することにより、監視コントローラ３１０の記憶部のデータ量を削減する効果が高くなる。

次に、本実施形態における監視コントローラ３１０による基板処理装置４の搬送動作監視フローについて図１５を主に用いて説明する。ここでは、ステップＳ１６のウエハディスチャージ工程で搬送エラー（障害）が発生した場合を例に説明する。なお、操作部ＰＣ４００を用いた場合を例に以下説明する。

（キャリアロード工程：Ｓ１０）
操作部ＰＣ４００等の外部コンピュータ等からポッド２０の搬送要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にキャリアロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９１(カメラ番号１)による撮影を開始させる。

尚、外部搬送装置からポッド２０がＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２に載置されると、装置コントローラ２１０が、監視コントローラ３１０にキャリアロード開始イベントを示すイベント通知を送信するようにしてもよい。

カメラ９１は、外部搬送装置とＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２との間で、キャリアとしてのポッド２０を受渡しする様子を撮影する。監視コントローラ３１０は、カメラ９１が撮影したイベント画像データを、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２にポッド２０が載置されると、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）させるように構成されている。

また、監視コントローラ３１０は、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２にポッド２０が載置されると、カメラ９１からカメラ９２(カメラ番号２)に切替え、カメラ９２にＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２と移載ポート４２の間のポッド搬送機構４０の様子を撮影させるよう構成されている。

ポッド２０が移載ポート４２の載置部に載置されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にキャリアロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９２による撮影を終了させる。そして、カメラ９２が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。

（蓋展開工程：Ｓ１１）
次に、ＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋を展開する工程が実施される。装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋開動作終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、この終了イベント通知を受けると、カメラ９３により撮影させる。なお、装置コントローラ２１０が、監視コントローラ３１０にＦＩＭＳオープンイベントを示すイベント通知を送信し、他のカメラのように動画を撮影させるようにしてもよい。

(ウエハチャージ工程：Ｓ１２)
図示しない外部コンピュータ等からウエハＷの移載要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４(カメラ番号４)またはカメラ９５(カメラ番号５)による撮影を開始させるとともにイベント録画情報リストが作成される。

カメラ９４またはカメラ９５は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、ウエハＷが搬送される様子を撮影する。

ウエハＷがボート５８に装填されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハチャージ終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。

そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。

(ボートロード工程：Ｓ１３)
図示しない操作部等からプロセスレシピを実行する指示要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。

カメラ９４またはカメラ９５は、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が昇降される様子を撮影する。なお、ボート５８が昇降される様子を撮影するカメラとポッド２０とボート５８との間のウエハＷの移載を撮影するカメラを個別に設けるようにしてもよい。

ボート５８が処理炉８に搬入されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。

(成膜工程：Ｓ１４)
次に、プロセスレシピが実行されてウエハＷに成膜処理が行われる。この工程では、監視コントローラ３１０は、全てのカメラ９１〜９５の動作を停止させている。なお、操作部ＰＣ４００で、これまでに終了した搬送イベント(キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程)で取得した画像データ(動画または静止画)を操作部ＰＣ４００等の操作画面に表示させて動作確認を行うことができる。

具体的には、図１６に示すように、操作部ＰＣ４００の操作画面にはイベント録画情報リスト４０５が表示される。イベント録画情報リスト４０５には、イベント発生日時、イベント内容等のイベント情報が表示される。そして、イベント録画情報リスト４０５に記載されているイベント情報を選択すると各イベントが頭出しされ、各イベントの開始から終了までの動画を再生することができる。また、複数のバッチが記憶されている場合には、操作画面で所定のボタンを押下し、同じイベントで異なるバッチ間の比較表示をすることができる。

これにより、正常動作を確認し、搬送エラーは発生しないが、同じ搬送イベントでイベントの開始から終了するまでの時間の差異を突き止めることができ、搬送エラーが発生しないように予め対策を施すことができる。なお、正常動作確認は、基板処理工程が終了後に行っても構わない。

(ボートアンロード工程：Ｓ１５)
プロセスレシピのボートアンロード工程に移行するタイミングで、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートアンロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。

カメラ９４またはカメラ９５は、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が下降される様子を撮影する。

ボート５８が搬送室１６へ下降されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートアンロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。

(ウエハディスチャージ工程：Ｓ１６)
装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハディスチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。

カメラ９４またはカメラ９５は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、ウエハＷが搬送される様子を撮影する。移載ポート４２上のポッド２０とボート５８との間でウエハＷの搬送中に、搬送エラーが発生すると、搬送エラー発生時の前後の数十秒間、例えば搬送エラー発生時の前後２０秒間のアラーム画像データが、監視コントローラ３１０の第２記憶部３１３ｂに保存（アラーム録画）される。

また、装置コントローラ２１０から搬送エラー発生時に通知されるアラーム通知には、搬送イベントの終了を示す通知も含まれる。但し、この通知は、搬送イベントで異常が発生したことを示すイベント異常終了通知である。なお、このイベント異常終了通知は、本実施形態において、アラーム通知に含まれる情報である。一方、装置コントローラ２１０が、該イベント異常終了通知とアラーム通知を別々に監視コントローラ３１０および操作部ＰＣ４００に通知するように構成してもよく、特に通知方法は限定されない。本実施形態では、ウエハディスチャージ工程（Ｓ１６）において、イベント開始通知からイベント異常終了通知（つまり搬送エラー発生時）までの画像データがイベント画像データとして、監視コントローラ３１０の第１記憶部３１３ａにファイル化して保存される。

なお、監視コントローラ３１０は、蓋展開工程（Ｓ１１）後、ウエハＷ搬送後(上述のウエハチャージ工程（Ｓ１２）後)またはボート５８下降後(上述のボートアンロード工程（Ｓ１５）後)に静止画を取得するように構成されている。このとき、監視コントローラ３１０は、イベント画像データよりも低圧縮で高精細（ＭＪＰＥＧ形式）の静止画をカメラ９１〜９５に撮影させ、ファイル化して第２記憶部３１３ｂに保存するようにしてもよい。

ここで、搬送エラーが発生してから異常解析するまでのシーケンスについて図１７を用いて詳細に説明する。なお、ウエハＷを搬送するポッド搬送装置４０、基板移載機８６、ボート５８等の搬送手段には、ウエハＷの搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段としてのセンサがそれぞれ取り付けられ、装置コントローラ２１０は、イベントデータを取得している。

監視コントローラ３１０は、搬送エラー発生時に過去に数十秒遡ったアラーム画像データを録画できるように各カメラ９１〜９５から取得したアラーム画像データを第２メモリ３１２ｂに保持している。そして、不図示のセンサにより搬送エラーを検出すると、装置コントローラ２１０は、アラームデータを取得し、これらの搬送手段を停止させるよう構成されている。

そして、装置コントローラ２１０は監視コントローラ３１０にエラー情報をアラーム通知する（Ｓ１００）。エラー情報には、搬送エラーが発生した装置名、搬送エラーを示すアラームＩＤ、搬送エラーの発生時刻が少なくとも含まれる。ここで、装置名は、基板処理装置４を特定する情報（装置の名前データ）だけでなく、ロードポート２２、ポッド搬送機構４０、蓋開閉機構、基板移載機８６、ボート５８、回転機構８０、ボートエレベータ８２、カメラ９１〜９５等の基板処理装置４を構成する装置を特定する情報（名前データ）でもある。そして、監視コントローラ３１０は、アラーム通知を取得した後、搬送エラー発生時刻の前後の数十秒間分、例えば搬送エラー発生前後２０秒間の低圧縮で高精細のＭＪＰＥＧ形式のアラーム画像データを第２記憶部３１３ｂに保存する（Ｓ１０１）。つまり、監視コントローラ３１０は、第２メモリ３１２ｂに保持されたアラーム画像データをファイル化して第２記憶部３１３ｂに保存（アラーム録画）するように構成されている。

また、装置コントローラ２１０は監視コントローラ３１０と同じタイミングで例えば操作部ＰＣ４００にエラー情報をアラーム通知する（Ｓ１００）。そして、操作部ＰＣ４００上に障害が発生した基板処理装置と同じ障害発生画面が表示される（Ｓ１０２）。そして、操作画面上でカメラ９１〜９５で記録した画像データを表示させる手段（例えば、図１９で示すＥ−ＣＡＭボタン４１０等）が選択されると、監視コントローラ３１０は、アラームＩＤや搬送エラー発生時刻等のエラー情報からアラーム発生時の画像データ（イベント画像データ）を含むアラーム情報画面を操作部ＰＣ４００に表示させる。ここで、操作部ＰＣ４００は、リモートで監視コントローラ３１０へ接続されているので、該アラーム情報画面を操作部ＰＣ４００の表示部に表示することができる（Ｓ１０３）。本実施形態では、操作部ＰＣ４００の操作画面（アラーム情報画面）には、カメラ９１〜９５で記録したイベント画像データ又は／及びアラーム画像データを表示させるためのボタンが設けられるように構成されている。つまり、監視コントローラ３１０が、操作部ＰＣ４００の操作画面にカメラ９１〜９５で記録したイベント画像データ又は／及びアラーム画像データを表示させることにより、動画解析、比較動画解析、エラー情報分析等の搬送エラー録画解析をすることができる（Ｓ１０４）。そして、操作部ＰＣ４００において、クリーンルームの作業者等に復旧指示（Ｓ１０５）がなされることにより搬送エラーが発生した装置の復旧作業が行われる。

以下、図１８に操作部ＰＣ４００の操作画面上にリモートで表示させるために監視コントローラ３１０が実行する画面表示フローを示す。

監視コントローラ３１０は、例えば、操作部ＰＣ４００の操作画面上で搬送エラーに関する所定アラームを参照するボタン（例えば、図１９で示すＥ−ＣＡＭボタン４１０等）が押下されてから、アラーム録画参照通知を取得すると、アラーム録画情報リストを検索する（ステップＳ２０）。そして、検索した結果、対象アラーム画像データのアラーム録画ファイルの保存先ディレクトリ、搬送エラー発生時のイベント情報等の対象エラー情報を取得して、検索結果を保存する（ステップＳ２１）。ここで、対象エラー情報におけるイベント情報とは、キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程、成膜工程、ボートアンロード工程、ウエハディスチャージ工程、キャリアアンロード工程のいずれかのタイミングであることを示すものである。更に、本実施形態では、監視コントローラ３１０とカメラ９１〜９５のクロックが同期しているため、イベント情報の開始時や搬送エラー発生時にカメラ９１〜９５により録画した画像データの開始再生タイミングを一致させることができる（少なくとも微調整できる）。詳細は後述する。

そして、操作部ＰＣ４００の操作画面上にて２画面表示ボタンが押下されると、監視コントローラ３１０は、２画面切替処理時（ステップＳ２２）に、対象エラー情報を参照して、第２記憶部３１３ｂに保存されているアラーム画像データを右側画面に表示する（ステップＳ２３）。そして、対象エラー情報の搬送エラー発生時のイベント情報を取得して（ステップＳ２４）、イベント録画情報リストからイベント情報が一致するイベント録画ファイルの保存先ディレクトリとイベント情報の検索結果を取得し、イベント録画候補情報へ保存する（ステップＳ２５）。

そして、イベント録画候補情報に、イベント情報が一致する表示候補が無い場合は（ステップＳ２６においてＮＯ）、搬送エラー発生時のタイムスタンプと同じ日付のイベント画像データを保存したイベント録画情報リストを操作部ＰＣ４００の操作画面の左側画面に表示させる（ステップＳ２７）。

そして、イベント録画候補情報に、イベント情報が一致する表示候補がある場合は（ステップＳ２６においてＹＥＳ）、搬送エラー発生時と同一のイベント情報をもつイベント画像データを保存したイベント録画情報リストをイベント録画候補情報から取得して左側画面に表示させる（ステップＳ２８）。

そして、左側画面のリスト表示から同時再生するイベント録画ファイルが選択されると、選択されたイベント録画ファイルを参照して、第２記憶部３１３ａに保存されているイベント画像データを表示する（ステップＳ２９）。つまり、監視コントローラ３１０は、イベント画像データとアラーム画像データの両方を同じ画面に表示させる。そして、２画面同時再生ボタンが押下されると、左右画面でアラーム画像データとイベント画像データがシンクロ再生（同時再生）される（ステップＳ３０）。

なお、上述した２画面表示及び同時再生は、アラーム画像データとイベント画像データに限らず、アラーム画像データ同士やイベント画像データ同士を同じ画面に２画面表示させて同時再生させ、搬送エラーの障害解析に役立てることができる。

具体的には、監視コントローラ３１０にリモートで接続して操作画面を表示している操作部ＰＣ４００はアラーム通知を取得すると、図１９に示されているように操作画面に、装置コントローラ２１０の操作部と同様の障害情報画面を表示する。図１９の障害情報画面には、装置の概観を示す概観表示部４０７と、搬送エラー等の障害情報を表示する障害情報表示部４０９が含まれている。そして、概観表示部４０７と障害情報表示部４０９の表示内容により、搬送エラーが発生している装置や、搬送エラーの箇所や、搬送エラーの内容等を把握することができるように構成されている。また、図１９に示す障害情報画面には、カメラ９１〜９５が撮影した画像データを表示させる手段（Ｅ−ＣＡＭボタン）４１０が含まれている。そして、操作部ＰＣ４００の操作画面において、例えば図１４のＥ−ＣＡＭボタン４１０が押下されると、図２０に示されているような搬送エラーが発生した箇所を撮影していたカメラによる搬送エラーのライブ映像画面(イベント画像データ)が表示される。このライブ映像画面は、アラーム通知とともに録画終了される際の静止画である。すなわち、例えばウエハディスチャージ工程におけるウエハＷの搬送残りが検出された場合、搬送残りが発生したときの状況を確認することができる。また、図２０に示されている操作画面において録画映像を巻き戻したり、再生ボタンにより録画映像を再生したり、コマ送りボタンによりコマ送り再生することができる。

また、図２０には、アラームＩＤを検索するための検索セル４０６とアラームリスト４０８を表示する。アラームリスト４０８には、搬送エラーの発生日時とアラームＩＤが少なくとも含まれている。アラームリスト４０８からアラームＩＤや搬送エラー発生時刻が選択されると、選択されたアラームＩＤ、およびタイムスタンプから対応するカメラの第２記憶部３１３ｂが検索され、ライブ映像画面(イベント画像データ)より高精細な搬送エラー発生時の前後数十秒間の動画(アラーム画像データ)が表示され、高精細なアラーム画像データを参照してアラーム事由発生状況の詳細を確認することができる。

また、図２０に示されているように、搬送エラー発生画面には、比較参照ボタンである２画面表示Ａボタン４１１と２画面表示Ｂボタン４１２が設けられている。そして、２画面表示Ａボタン４１１が押下されることにより、図２１に示されているように比較参照用の２画面が表示されるよう構成される。すなわち、操作画面に低圧縮で高精細なアラーム画像データのファイルを選択可能にリストが表示され、所望のファイルを選択して同日の他の低圧縮で高精細なアラーム画像データと比較表示することができる。なお、同じアラームＩＤであるが異なる日時に発生した搬送エラーのアラーム画像データと比較表示することもできる。これにより、搬送エラーの発生要因が同一の要因であったのか、別の要因であったのか等を分析可能となる。

また、図２０に示されているような搬送エラー発生画面において、２画面表示Ｂボタン４１２が押下されることにより、図２２に示されているように、同じ搬送イベントにおける正常動作と、搬送エラーが発生したときの異常動作を２画面で比較表示することができる。

具体的には、右側の搬送エラー発生画面と同時再生したいイベント画像データをイベント録画ファイルのイベントラベル表示を参考に選択する。そして、２画面同時再生ボタン４１４を押下して、左側の正常時の高圧縮のイベント画像データの動画と、右側の低圧縮で高精細のアラーム画像データの動画をシンクロ再生する。同時シンクロ再生させて、映像がそろっていない場合は、図示の動画操作ボタンを利用して調整する。つまり、搬送エラー発生時の異常動作を正常動作と比較表示することで、正常動作とどこが異なっていたのか等を分析可能となる。

また、図２０に示す搬送エラー発生画面において、対象のアラーム動画を表示されているアラームリスト４０８から選択し、２画面表示Ｂボタン４１２を押下する。そして、選択したアラーム動画の再生開始タイムスタンプ（アラーム発生時刻のタイムスタンプ−２０秒）と対象のカメラ名からデータベース３１１ａを検索して第１画像データ（イベント画像データ）のファイルを第１記憶部３１３ａから取出す。左側に第１画像データを再生開始タイムスタンプで自動頭出しして表示する。オペレータは左側の第１画像データを操作して搬送エラーが発生するまでの動画を確認することができる。また、イベントラベル表示を参考に搬送エラーが発生するまでの動画を選んで再生することができる。

これにより、イベント画像データとして、搬送エラーが発生するまでの動画とアラーム画像データとして、搬送エラーの発生前後（アラーム発生前２０秒、アラーム発生後２０秒の合計４０秒）の動画を画面上に表示させることが可能である。

本実施形態によれば、Ｈ．２６４形式の動画であるイベント画像データにより保存されるので正常動作であればデータ圧縮される。一方、フレーム間で異なる部分、具体的には、正常な搬送動作では動かない部分であっても搬送エラーが発生する直前に動く部分があれば逃さずに録画することができ、搬送エラーまでに至るイベント画像データの推移を確認することができる。

また、カメラによる撮影した動画や静止画を表示する際、撮影対象の搬送手段だけでなく、周囲の環境も一緒に撮影することになる。これにより搬送手段が直接な起因ではなく撮影対象の搬送手段の周囲の部品に起因するエラーであっても、カメラによる撮影の範囲であれば（イベント画像データもしくはアラーム画像データに表示されていれば）画像を解析することにより、エラー要因を突き止めることができる。

そして、装置担当者は、操作部の表示部に表示される動画や静止画を何度も確認し、アラーム録画解析を行うことにより、搬送エラーが発生した状況を把握して復旧方法を判断し、電話、メール等により復旧指示をすることができる。そのあと、オペレータは装置復旧作業を指示に従い実施する。なお、操作部は、基板処理装置４が配置された工場から離間した位置に配置されてもよい。この場合、装置担当者は、装置復旧に向けた対応をクリーンルームにいるオペレータや装置エンジニアへ指示し、オペレータや装置エンジニアは装置復旧作業を指示に従い実施する。

(キャリアアンロード工程：Ｓ１７)
そして、ウエハディスチャージ工程における復旧処理により、エラーが解除されると次のキャリアアンロード工程が通常通りキャリアロードと反対の動作が開始される。監視コントローラ３１０は、開始イベントを受信すると、イベント画像データの録画をカメラ９１に開始させ、終了イベントを受信するとイベント画像データの録画をカメラ９１に終了させる。監視コントローラ３１０は、キャリアアンロード工程の間、カメラ９１で取得したイベント画像データを第１記憶部３１３ａに記憶するとともにイベント録画情報リストを更新するように構成されている。

本実施形態によれば、以下の(ａ)〜(ｄ)のうち、少なくとも一つ以上の効果を奏する。

(ａ)本実施形態によれば、基板搬送中の画像データを取得しつつ搬送エラー発生時に高精細な画像データを基板搬送中の画像データとは個別に取得し、該搬送エラーの解析時にそれぞれの画像データを利用することができ、搬送エラーの解析（障害解析）を行うことができる。

(ｂ)本実施形態において、搬送ロボット等の各搬送機構に設けられたセンサからウエハ搬送開始タイミング等を示すイベント毎に装置コントローラ２１０だけでなく操作部にイベント信号を通知するように構成される。これにより、操作部は、イベントの終了タイミングでカメラ設置個所に該当するイベント情報であるかを判定し、記憶部内に格納されているイベント録画ファイルのイベント発生時刻で頭出しを行い、正常な動作を確認することができ、また、複数のイベント情報の動画(イベント画像データ)を同時に比較表示することができる。

(ｃ)本実施形態において、監視コントローラ３１０のイベント録画情報リストから該当するイベント情報を選択すると、イベント発生時刻からカメラで取得された動画(イベント画像データ)が再生されるよう構成されている。このように、イベント毎にカメラ９１〜９５を設ける本構成によれば、装置が稼働している（もしくはウエハＷを搬送する各搬送手段が動いている）期間のみ録画することで、常時録画する場合と比較すると、カメラで録画する期間を長くすることができる。

(ｄ)本実施形態において、イベント録画情報ファイルとアラーム録画ファイルをそれぞれ選択することにより、同じ操作画面に表示することができるので、搬送エラー（障害）が発生した要因を追求することができる。

なお、本開示は以上の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。

（他の実施形態）
例えば、上述の実施形態によれば、データ取得周期は、１秒間に３０フレームであり、第２画像データはそのまま第２記憶部３１３ｂに保存され、第１画像データは、フレーム前後の画像データを比較してデータの変化の有無により画像データを圧縮して第１記憶部３１３ａに保存していた。しかしながら、この実施形態に限定することはない。

（実施例１）
データ取得周期は、上述の実施形態と同様に１秒間３０フレームであるが、第１画像データと第２画像データは解像度を異ならせる。例えば、第１画像データは、１６００×９００ピクセルとし、第２画像データは、３８４０×２１６０（４Ｋ）ピクセルとしても本実施形態と同様の効果を奏することができる。また、第１画像データと第２画像データを同時に送信するマルチストリーム機能を使用することで、一つのカメラで実装することができる。

（実施例２）
第１画像データと第２画像データでデータ取得周期を変更することができ、例えば、第１画像データは、１秒間に３フレームとし、第２画像データは、本実施形態と同様に１秒間３０フレームとすることができる。これにより、第１画像データは第２画像データの１０分の１のデータ量にすることができる。また、第２画像データの取り扱いは本実施形態と同じであるため、本実施形態と同様な効果を奏することができる。

本開示のおける実施形態においては、ウエハを処理する場合について説明したが、本開示は液晶パネルのガラス基板や磁気ディスクや光ディスク等の基板を処理する基板処理装置全般に適用することができる。

４ 処理装置（基板処理装置）
９１，９２，９３，９４，９５ カメラ（記録手段）
２１０ 装置コントローラ
３１０ 監視コントローラ

Claims (15)

1. 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
   基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
   前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
   前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
   前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理システム。
2. 基板を搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、
   前記第１制御手段は、前記検出手段から前記搬送エラーを示す通知を取得し、前記搬送エラーが発生した装置名、前記搬送エラーに対して設定されるアラームＩＤ、前記搬送エラーの発生時刻を少なくとも含むエラー情報を前記第２制御手段と前記操作部に通知するように構成されている請求項１記載の基板処理システム。
3. 前記第２制御手段は、前記搬送エラーの発生前後の所定時間分の前記第２画像データをファイル化し、前記第２記憶部に記憶させつつ、前記エラー情報に基づき前記搬送エラーが発生した装置の操作画面と同じ画面を前記操作部に表示させると共に、該同じ画面に前記記録手段が取得した前記第１画像データを表示させる指示を受付ける手段を表示させるように構成されている請求項２記載の基板処理システム。
4. 前記第２制御手段は、前記記録手段が取得した前記第１画像データを表示させる指示を受け付けると、前記搬送エラーが発生した時点の前記第１画像データと前記エラー情報を含む画面に切替えて前記操作部に表示させるように構成されている請求項３記載の基板処理システム。
5. 前記第２制御手段は、前記アラームＩＤ及び／又は前記発生時刻の選択指示を受け付けると、前記第２記憶部内を選択された前記アラームＩＤ及び／又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第２画像データを前記操作部に表示させるよう構成されている請求項２記載の基板処理システム。
6. 前記検出手段は、前記搬送手段による前記基板の搬送の開始及び終了を示すイベントデータを検出し、
   前記第１制御手段は、前記検出手段により前記イベントデータが検出されると前記第２制御手段に前記イベントデータを通知し、
   前記第２制御手段は、前記基板の搬送動作が終了したイベントデータを通知されると、前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した第１画像データを前記第１記憶部に記憶させるように構成されている請求項２記載の基板処理システム。
7. 前記第２制御手段は、前記第２記憶部内を前記アラームＩＤ及び/又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第２画像データと、前記第１記憶部内に予め格納されている前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した前記第１画像データを同じ画面に表示するように構成されている請求項２記載の基板処理システム。
8. 基板を搬送する複数の搬送機構と、
   前記搬送機構に設けられ、前記搬送機構による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、
   前記記録手段は、記録対象である前記搬送機構による前記基板の搬送動作を撮像するように構成され、
   前記第２制御手段は、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を第１画像データとして前記記録手段に記録させつつ、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして前記記録手段に記録させるように構成されている請求項１記載の基板処理システム。
9. 前記第２制御手段は、記録対象である前記搬送機構が前記基板もしくは前記基板を収納されたキャリアを搬送中のとき、前記記録手段に前記第１画像データ及び前記第２画像データを記録させるよう構成されている請求項８記載の基板処理システム。
10. 前記第２制御手段は、記録対象である前記搬送機構が停止中のとき、前記記録手段に前記第１画像データ及び前記第２画像データを記録させないように構成されている請求項８記載の基板処理システム。
11. 前記第２制御手段は、前記搬送エラー発生時に取得する前記搬送エラーに対して設定されるアラームＩＤの番号に応じて前記搬送エラーを発生させた前記搬送機構を特定可能に構成されている請求項８記載の基板処理システム。
12. 前記第２制御手段は、特定した前記搬送機構を記録する前記記録手段の前記第２画像データだけを取得するよう構成されている請求項１１記載の基板処理システム。
13. 前記搬送機構は、ロードポート、ポッド搬送装置、ボート、移載機よりなる群から選択される少なくとも一つである請求項８記載の基板処理システム。
14. 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
    基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
    前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
    前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
    前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理装置。
15. 基板を搬送する工程と、基板を処理する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
    前記基板を搬送する工程は、更に、
    前記基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する工程と、
    前記基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、前記基板の搬送動作を前記第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして取得し、それぞれ取得した前記第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる記憶工程と、
    前記第１画像データまたは前記第２画像データを表示する表示工程と、を有し、
    前記表示工程では、
    前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整する
    半導体装置の製造方法。

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