JP6801635B2 - 駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、駆動装置に関する。

従来の駆動装置として、少なくとも屈曲振動する圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータにより駆動されて移動する移動部と、移動部を移動可能に保持する保持部と、圧電アクチュエータを移動部に向けて付勢する付勢部と、を備える駆動装置が知られている（例えば、特許文献１，２参照）。この駆動装置では、圧電アクチュエータに設けられた摩擦部材が付勢部により移動部に押し付けられ、移動部との間に摩擦力を生じさせる。

特許第４７４５６１５号公報 特許２００６−１８７１１４号公報

本発明の一側面は、省スペース化を図ることができる駆動装置を提供する。

本発明の一側面に係る駆動装置は、少なくとも屈曲振動する圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータにより駆動されて移動する移動部と、移動部を移動可能に保持する保持部と、圧電アクチュエータを移動部に向けて付勢する付勢部と、を備え、圧電アクチュエータは、互いに対向する一対の主面を有する圧電素子と、一方の主面に設けられた摩擦部と、を備え、摩擦部は、一対の主面が対向する方向で一方の主面と対向する対向面と、対向面の反対側を向く反対面と、を有し、かつ、圧電素子と共に屈曲振動する可撓性の板部材と、反対面に設けられ、かつ、移動部に接触して移動部との間に摩擦力を生じさせる摩擦部材と、を有しており、付勢部は、他方の主面よりも保持部側に配置されている。

この駆動装置では、付勢部が圧電素子の他方の主面よりも保持部側に配置されている。このため、付勢部が圧電素子の他方の主面に対し保持部の反対側に配置されている場合に比べて、付勢力方向における駆動装置の寸法を抑制することができる。これにより、省スペース化を図ることができる。

摩擦部材は、板部材と一体的に形成されていてもよい。この場合、圧電素子及び板部材の振動（変形）が摩擦部材に伝達され易い。この結果、駆動特性の向上を図ることができる。

付勢部は、板部材と一体的に形成されていてもよい。この場合、付勢部を板部材に取り付ける際の取り付け誤差が生じないので、付勢部による付勢力の大きさを安定化させることができる。

一対の主面は、長方形状を呈し、圧電素子は、一対の主面の短辺方向で互いに対向する一対の側面を更に有し、付勢部は、一対の側面が対向する方向から見て、圧電アクチュエータの屈曲振動の中心を通り、かつ、一対の主面が対向する方向に沿った直線上に配置されていてもよい。この場合、圧電アクチュエータにおいて、屈曲振動の中心を通り、かつ、一対の主面が対向する方向に沿った直線上に位置する部分では、他の部分に比べて振動が小さいので、付勢部が配置されても圧電アクチュエータの振動が阻害され難い。したがって、駆動装置の駆動特性が向上する。

移動部には、付勢部を貫通させる貫通孔が設けられていてもよい。この場合、付勢部が移動部の貫通孔内に配置されるので、例えば、付勢部が移動部の外側に配置される場合に比べて、付勢力方向に直交する方向における駆動装置の寸法についても抑制可能となる。これにより、省スペース化を更に図ることができる。

圧電素子は、積層された複数の圧電体層を有していてもよい。この場合、駆動装置の駆動特性が向上する。

本発明の一側面によれば、省スペース化を図ることができる。

図１は、一実施形態に係る駆動装置を示す斜視図である。 図２は、図１のII−II線に沿っての断面図である。 図３（ａ）及び図３（ｂ）は、圧電素子を示す斜視図である。 図４は、圧電素子の分解斜視図である。 図５は、圧電アクチュエータの側面図である。 図６（ａ）は、縦振動モードを示す図であり、図６（ｂ）は、屈曲振動モードを示す図である。 図７は、第一変形例に係る駆動装置を示す断面図である。 図８は、第二変形例に係る駆動装置の摩擦部及び付勢部について説明するための分解斜視図である。 図９は、第三変形例に係る駆動装置を示す断面図である。 図１０は、第四変形例に係る駆動装置を示す断面図である。

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、一実施形態に係る駆動装置を示す斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿っての断面図である。図１及び図２に示されるように、駆動装置１０は、圧電アクチュエータ１と、一対の溝部材６０，７０と、複数（ここでは、６つ）の転動部材８０と、付勢部９０と、を備えている。

圧電アクチュエータ１は、交流電圧が印加されることによって、少なくとも屈曲振動し、被駆動体である溝部材６０を移動させる機能を有している。圧電アクチュエータ１は、印加される電圧によって縦振動モードと屈曲振動モードとが合成された振動モードを発生させる。圧電アクチュエータ１は、圧電素子３と、摩擦部５０と、を備えている。圧電素子３は、積層体２と、後述の内部電極及び外部電極と、絶縁膜１１と、を有している。図１では、絶縁膜１１の図示が省略されている。

図３（ａ）及び図３（ｂ）は、圧電素子を示す斜視図である。ここでは、絶縁膜１１の図示が省略されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、積層体２は、直方体形状を呈している。積層体２は、互いに対向している一対の端面２ａ，２ｂと、互いに対向している一対の主面２ｃ，２ｄと、互いに対向している一対の側面２ｅ、２ｆと、を有している。一対の主面２ｃ，２ｄは、長方形状を呈している。本実施形態では、一対の端面２ａ，２ｂの対向する方向Ｄ１が、積層体２（圧電素子３）の長手方向である。一対の主面２ｃ，２ｄの対向する方向Ｄ２が、積層体２（圧電素子３）の高さ方向である。一対の側面２ｅ，２ｆの対向する方向Ｄ３が、積層体２（圧電素子３）の幅方向である。一対の主面２ｃ，２ｄの長辺方向は、方向Ｄ１と一致している。一対の主面２ｃ，２ｄの短辺方向は、方向Ｄ３と一致している。

一対の端面２ａ，２ｂは、一対の主面２ｃ，２ｄの間を連結するように、積層体２の高さ方向に延びている。一対の端面２ａ，２ｂは、一対の側面２ｅ，２ｆの間を連結するように、積層体２の幅方向にも延びている。一対の主面２ｃ，２ｄは、一対の端面２ａ，２ｂの間を連結するように、積層体２の長さ方向に延びている。一対の主面２ｃ，２ｄは、一対の側面２ｅ，２ｆの間を連結するように、積層体２の幅方向にも延びている。一対の側面２ｅ，２ｆは、一対の端面２ａ，２ｂの間を連結するように、積層体２の長さ方向に延びている。一対の側面２ｅ，２ｆは、一対の主面２ｃ，２ｄの間を連結するように、積層体２の高さ方向にも延びている。

積層体２は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料としては、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ_３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）などが挙げられる。本実施形態では、積層体２は、圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体である複数の圧電体層２０ａ〜２０ｆ（図４参照）を積層することによって形成されている。積層体２では、複数の圧電体層２０ａ〜２０ｆの積層方向が方向Ｄ３と一致する。実際の積層体２では、各圧電体層２０ａ〜２０ｆは、各圧電体層２０ａ〜２０ｆの間の境界が視認できない程度に一体化されている。本実施形態では、圧電体層２０ａの外表面が積層体２の側面２ｆを構成しており、圧電体層２０ｆの外表面が積層体２の側面２ｅを構成している。

図４は、圧電素子の分解斜視図である。ここでは、絶縁膜１１の図示が省略されている。図４に示されるように、圧電素子３は、第１内部電極２２と、第２内部電極２４と、第３内部電極２６と、第４内部電極２８と、第５内部電極３０と、第６内部電極３２と、第７内部電極３４と、第８内部電極３６と、第９内部電極３８と、備えている。各内部電極２２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，３６，３８は、積層型の電子素子の内部電極として通常用いられる導電性材料（例えば、Ｎｉ、Ｐｔ又はＰｄなど）からなる。各内部電極２２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，３６，３８は、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。

圧電体層２０ｂ上には、第１内部電極２２、第２内部電極２４、第３内部電極２６及び第４内部電極２８が配置されている。第１内部電極２２及び第２内部電極２４は、圧電体層２０ｂ上において、互いに電気的に絶縁されている（離間している）。第３内部電極２６及び第４内部電極２８は、圧電体層２０ｂ上において、互いに電気的に接続されている。

第１内部電極２２は、圧電体層２０ｂ上において、積層体２の端面２ａと主面２ｃとが形成する角部側に配置されている。第１内部電極２２は、主電極部２２ａと、接続部２２ｂと、を有している。主電極部２２ａと接続部２２ｂとは、一体に形成されている。接続部２２ｂは、主電極部２２ａから積層体２の主面２ｃ側に延在し、積層体２の主面２ｃに露出している。具体的には、接続部２２ｂは、積層体２の端面２ａ側寄りの位置において主面２ｃに露出している。

第２内部電極２４は、圧電体層２０ｂ上において、第１内部電極２２が配置された角部と対角の角部、すなわち積層体２の端面２ｂと主面２ｄとが形成する角部側に配置されている。第２内部電極２４は、主電極部２４ａと、接続部２４ｂと、を有している。主電極部２４ａと接続部２４ｂとは、一体に形成されている。接続部２４ｂは、主電極部２４ａから積層体２の主面２ｄ側に延在し、積層体２の主面２ｄに露出している。具体的には、接続部２４ｂは、積層体２の他方の端面２ｂ側寄りの位置において主面２ｄに露出している。

第３内部電極２６は、圧電体層２０ｂ上において、積層体２の端面２ｂと主面２ｃとが形成する角部側に配置されている。第３内部電極２６は、主電極部２６ａと、接続部２６ｂと、を有している。主電極部２６ａと接続部２６ｂとは、一体に形成されている。接続部２６ｂは、主電極部２６ａから積層体２の主面２ｃ側に延在し、積層体２の主面２ｃに露出している。具体的には、接続部２６ｂは、積層体２の他方の端面２ｂ側寄りの位置において主面２ｃに露出している。

第４内部電極２８は、圧電体層２０ｂ上において、第３内部電極２６が配置された角部と対角の角部、すなわち積層体の端面２ａと主面２ｄとが形成する角部側に配置されている。第４内部電極２８は、主電極部２８ａと、接続部２８ｂと、を有している。主電極部２８ａと接続部２８ｂとは、一体に形成されている。接続部２８ｂは、主電極部２８ａから積層体２の主面２ｄ側に延在し、積層体２の主面２ｄに露出している。具体的には、接続部２８ｂは、積層体２の端面２ａ側寄りの位置において主面２ｄに露出している。

第３内部電極２６と第４内部電極２８とは、接続部材２９により電気的に接続されている。具体的には、第３内部電極２６の主電極部２６ａと第４内部電極２８の主電極部２８ａとが、接続部材２９により電気的に接続されている。接続部材２９は、所定の間隔をあけて対角に配置された第１内部電極２２と第２内部電極２４との間に配置されている。接続部材２９は、導電性材料（例えば、Ｎｉ、Ｐｔ又はＰｄなど）からなる。接続部材２９は、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。

圧電体層２０ｃ上には、第５内部電極３０が配置されている。第５内部電極３０は、主電極部３０ａと、接続部３０ｂ，３０ｃと、を有している。主電極部３０ａは、積層体２の長手方向を当該主電極部３０ａの長手方向とする長方形状を呈している。主電極部３０ａは、圧電体層２０ｂを介して、第１内部電極２２（主電極部２２ａ）、第２内部電極（主電極部２４ａ）、第３内部電極２６（主電極部２６ａ）及び第４内部電極（主電極部２８ａ）と対向している。

接続部３０ｂは、主電極部３０ａの長手方向に沿う一方の側面から積層体２の主面２ｃ側に延在し、積層体２の主面２ｃに露出している。具体的には、接続部３０ｂは、積層体２の長手方向の中央の位置において主面２ｃに露出している。接続部３０ｃは、主電極部３０ａの長手方向に沿う他方の側面から積層体２の主面２ｄ側に延在に、積層体２の主面２ｄに露出している。具体的には、接続部３０ｃは、積層体２の長手方向の中央の位置において主面２ｄに露出している。

圧電体層２０ｄ上には、第６内部電極３２、第７内部電極３４、第８内部電極３６及び第９内部電極３８が配置されている。第６内部電極３２及び第７内部電極３４は、圧電体層２０ｄ上において、互いに電気的に接続されている。第８内部電極３６及び第９内部電極３８は、圧電体層２０ｄ上において、互いに電気的に絶縁されている。

第６内部電極３２は、圧電体層２０ｄ上において、積層体２の端面２ａと主面２ｃとが形成する角部側に配置されている。第６内部電極３２は、主電極部３２ａと、接続部３２ｂと、を有している。主電極部３２ａと接続部３２ｂとは、一体に形成されている。接続部３２ｂは、主電極部３２ａから積層体２の主面２ｃ側に延在し、積層体２の主面２ｃに露出している。具体的には、接続部３２ｂは、積層体２の端面２ａ側寄りの位置において主面２ｃに露出している。

第７内部電極３４は、圧電体層２０ｄ上において、第６内部電極３２が配置された角部と対角の角部、すなわち積層体２の端面２ｂと主面２ｄとが形成する角部側に配置されている。第７内部電極３４は、主電極部３４ａと、接続部３４ｂと、を有している。主電極部３４ａと接続部３４ｂとは、一体に形成されている。接続部３４ｂは、主電極部３４ａから積層体２の主面２ｄ側に延在し、積層体２の主面２ｄに露出している。具体的には、接続部３４ｂは、積層体２の他方の端面２ｂ側寄りの位置において主面２ｄに露出している。

第８内部電極３６は、圧電体層２０ｄ上において、積層体２の端面２ｂと主面２ｃとが形成する角部側に配置されている。第８内部電極３６は、主電極部３６ａと、接続部３６ｂと、を有している。主電極部３６ａと接続部３６ｂとは、一体に形成されている。接続部３６ｂは、主電極部３６ａから積層体２の主面２ｃ側に延在し、積層体２の主面２ｃに露出している。具体的には、接続部３６ｂは、積層体２の他方の端面２ｂ側寄りの位置において主面２ｃに露出している。

第９内部電極３８は、圧電体層２０ｄ上において、第８内部電極３６が配置された角部と対角の角部、すなわち積層体２の端面２ａと主面２ｄとが形成する角部側に配置されている。第９内部電極３８は、主電極部３８ａと、接続部３８ｂと、を有している。主電極部３８ａと接続部３８ｂとは、一体に形成されている。接続部３８ｂは、主電極部３８ａから積層体２の主面２ｄ側に延在し、積層体２の主面２ｄに露出している。具体的には、接続部３８ｂは、積層体２の端面２ａ側寄りの位置において主面２ｄに露出している。

第６内部電極３２と第７内部電極３４とは、接続部材４０により電気的に接続されている。具体的には、第６内部電極３２の主電極部３２ａと第７内部電極３４の主電極部３４ａとが、接続部材４０により電気的に接続されている。接続部材４０は、所定の間隔をあけて対角に配置された第８内部電極３６と第９内部電極３８との間に配置されている。

圧電体層２０ｅ上には、第５内部電極３０が配置されている。圧電体層２０ｆ上には、第１内部電極２２、第２内部電極２４、第３内部電極２６及び第４内部電極２８が配置されている。第３内部電極２６と第４内部電極２８とは、接続部材２９により電気的に接続されている。

図２、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、圧電素子３は、第１外部電極４と、第２外部電極５と、第３外部電極６と、第４外部電極７と、第５外部電極８と、第６外部電極９と、を備えている。図１では、これらの図示が省略されている。第１外部電極４は、積層体２の主面２ｃに配置されている。具体的には、第１外部電極４は、主面２ｃ上において、端面２ａ側に配置されている。第１外部電極４は、矩形状を呈している。本実施形態では、第１外部電極４は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第１外部電極４は、主面２ｃに露出する接続部２２ｂ及び接続部３２ｂと直接的に接続されている。これにより、第１外部電極４は、第１内部電極２２及び第６内部電極３２と電気的に接続されている。

第１外部電極４は、積層体２の主面２ｃに導電性ペーストを付与した後に所定温度（例えば、７００℃程度）にて焼き付けることにより形成される。導電性ペーストの焼き付けにより得られた焼付電極層に、電気めっきを施してめっき層を更に形成してもよい。導電性ペーストとしては、Ａｇを主成分とした導電材料を含む導電性ペーストを用いることができる。めっき層としては、Ｎｉ／Ａｕめっき層などが挙げられる。

第１外部電極４は、スパッタリング法、蒸着法などにより形成されてもよい。この場合、第１外部電極４を構成する膜構造は、Ｃｒ／Ｎｉ、ＮｉＣｕ／Ａｇ、ＳｎＡｇ、又はＡｕなどが挙げられる。以下、第２外部電極５、第３外部電極６、第４外部電極７、第５外部電極８及び第６外部電極９についても、第１外部電極４と同様に形成される。

第２外部電極５は、積層体２の主面２ｃに配置されている。具体的には、第２外部電極５は、主面２ｃ上において、他方の端面２ｂ側に配置されている。第２外部電極５は、矩形状を呈している。本実施形態では、第２外部電極５は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第２外部電極５は、主面２ｃに露出する接続部２６ｂ及び接続部３６ｂと直接的に接続されている。これにより、第２外部電極５は、第３内部電極２６及び第８内部電極３６と電気的に接続されている。

第３外部電極６は、積層体２の主面２ｃに配置されている。具体的には、第３外部電極６は、主面２ｃ上において、積層体２の長手方向の中央部に配置されている。すなわち、第３外部電極６は、積層体２の長手方向において、第１外部電極４と第２外部電極５との間に配置されている。第３外部電極６は、矩形状を呈している。本実施形態では、第３外部電極６は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第３外部電極６は、主面２ｃに露出する接続部３０ｂと直接的に接続されている。これにより、第３外部電極６は、第５内部電極３０と電気的に接続されている。

第４外部電極７は、積層体２の主面２ｄに配置されている。具体的には、第４外部電極７は、主面２ｄ上において、端面２ａ側に配置されている。第４外部電極７は、第１外部電極４と積層体２の高さ方向において対向する位置に配置されている。第４外部電極７は、矩形状を呈している。本実施形態では、第４外部電極７は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第４外部電極７は、主面２ｄに露出する接続部２８ｂ及び接続部３８ｂと直接的に接続されている。これにより、第４外部電極７は、第４内部電極２８及び第９内部電極３８と電気的に接続されている。

第５外部電極８は、積層体２の主面２ｄに配置されている。具体的には、第５外部電極８は、主面２ｄ上において、他方の端面２ｂ側に配置されている。第５外部電極８は、第２外部電極５と積層体２の高さ方向において対向する位置に配置されている。第５外部電極８は、矩形状を呈している。本実施形態では、第５外部電極８は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第５外部電極８は、主面２ｄに露出する接続部２４ｂ及び接続部３４ｂと直接的に接続されている。これにより、第５外部電極８は、第２内部電極２４及び第７内部電極３４と電気的に接続されている。

第６外部電極９は、積層体２の主面２ｄに配置されている。具体的には、第６外部電極９は、主面２ｄ上において、積層体２の長手方向の中央部に配置されている。すなわち、第６外部電極９は、積層体２の長手方向において、第４外部電極７と第５外部電極８との間に配置されている。第６外部電極９は、第３外部電極６と積層体２の高さ方向において対向する位置に配置されている。第６外部電極９は、矩形状を呈している。本実施形態では、第６外部電極９は、側面２ｅから側面２ｆにわたって形成されている。第６外部電極９は、主面２ｄに露出する接続部３０ｃと直接的に接続されている。これにより、第６外部電極９は、第５内部電極３０と電気的に接続されている。

図２に示されるように、絶縁膜１１は、積層体２の主面２ｄ上に設けられ、第４外部電極７、第５外部電極８、及び第６外部電極９を覆い、第４外部電極７、第５外部電極８、及び第６外部電極９と摩擦部５０とを絶縁している。絶縁膜１１は、例えばシリコン酸化膜により形成されている。絶縁膜１１の外表面１１ａは、圧電素子３の外表面の一部を構成している。第４外部電極７、第５外部電極８、及び第６外部電極９の端面は、摩擦部５０と接触していなければ、絶縁膜１１から露出していてもよいが、絶縁膜１１により覆われていることで、短絡の発生を抑制することができる。

図１及び図２に示されるように、摩擦部５０は、絶縁膜１１を介して圧電素子３の主面２ｄに設けられている。摩擦部５０は、板部材５２と、第１摩擦部材５４と、第２摩擦部材５６と、を有している。

板部材５２は、例えば長方形状を呈し、その厚さ方向において互いに対向する一対の主面５２ａ，５２ｂを有している。一対の主面５２ａ，５２ｂが対向する方向は、方向Ｄ２と一致している。主面５２ａは、方向Ｄ２で主面２ｄと対向する対向面である。主面５２ｂは、主面５２ａの反対側を向く反対面である。板部材５２は、例えば主面５２ａが絶縁膜１１の外表面１１ａに接着されることにより、絶縁膜１１を介して積層体２の主面２ｄに取り付けられている。

主面５２ａの長辺の長さは、例えば、主面２ｄの長辺の長さよりも短く、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６の設けられる位置に応じて、主面２ｄの長辺の長さの９６％程度に設定されている。主面５２ａの長辺の長さは、主面２ｄの長辺の長さと同等であってもよい。主面５２ａの短辺の長さは、例えば、主面２ｄの短辺の長さよりも長く、主面５２ａは、主面２ｄの短辺方向の全体を覆っている。主面５２ａの短辺の長さは、主面２ｄの短辺の長さと同等であってもよい。板部材５２は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）などの可撓性を有する材料から構成されている。板部材５２は、いわゆる板バネとして機能し、その厚さ方向に撓んで振動する。板部材５２は、圧電素子３と共に屈曲振動する。

第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、溝部材６０に接触して溝部材６０との間に摩擦力を生じさせるための部材である。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、板部材５２の主面５２ｂに設けられている。第１摩擦部材５４は、主面５２ｂの方向Ｄ１における一端部に設けられている。第２摩擦部材５６は、主面５２ｂの方向Ｄ１における他端部に設けられている。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、例えば、板部材５２と同じ材料で板部材５２と一体的に形成されている。

第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、例えば、円柱部材が断面半円形状に切断されたような形状を呈し、その切断面に相当する平面状の側面が主面５２ｂに対向するように主面５２ｂに配置されている。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、半円柱の延在方向が積層体２の幅方向（方向Ｄ３）に沿うように設けられている。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、板部材５２と別体であってもよい。その場合、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、ジルコニア又はアルミナなどの板部材５２と異なる材料から構成されていてもよい。

図５は、圧電アクチュエータの側面図である。図５に示されるように、第１摩擦部材５４は、後述する圧電素子３の腹Ｐ１〜Ｐ６以外の位置で、かつ、圧電素子３の長手方向の長さをＬとした場合に、端面２ａからの距離が１／３Ｌ未満となる位置に配置されている。本実施形態では、第１摩擦部材５４は、積層体２の端面２ａからの距離がＬ３の位置に配置されている。圧電素子３の長手方向の長さをＬとした場合、第１摩擦部材５４は、積層体２の端面２ａからの距離が１／１２Ｌの位置に配置されている。すなわち、圧電素子３の幅方向（方向Ｄ３）から見て、圧電素子３の長手方向（方向Ｄ１）及び高さ方向（方向Ｄ２）の中心Ｃから端面２ａまでの長さをＬ１（１／２Ｌ）とした場合、第１摩擦部材５４は、積層体２の端面２ａからの距離が１／６Ｌ１の位置に配置されている。本実施形態では、第１摩擦部材５４は、第４外部電極７よりも端面２ａ側の位置（第４外部電極７と重ならない位置）に配置されている。

第２摩擦部材５６は、後述する圧電素子３の腹Ｐ１〜Ｐ６以外の位置で、かつ、圧電素子３の長手方向の長さをＬとした場合に、他方の端面２ｂからの距離が１／３Ｌ未満となる位置に配置されている。本実施形態では、第２摩擦部材５６は、積層体２の他方の端面２ｂからの距離がＬ４の位置に配置されている。第１摩擦部材５４は、積層体２の端面２ｂからの距離が１／１２Ｌの位置に配置されている。すなわち、中心Ｃから端面２ｂまでの長さをＬ２（１／２Ｌ）とした場合、第２摩擦部材５６は、積層体２の端面２ｂからの距離が１／６Ｌ２の位置に配置されている。本実施形態では、第２摩擦部材５６は、第５外部電極８よりも端面２ｂ側の位置（第５外部電極８と重ならない位置）に配置されている。

図１及び図２に示されるように、溝部材６０は、例えば、直方体形状を呈し、方向Ｄ２で互いに対向する一対の主面６０ａ，６０ｂを有している。主面６０ａは、方向Ｄ２で圧電アクチュエータ１の主面５２ｂと互いに対向している。主面６０ａは、例えば、粗面化処理により摩擦係数が高められていてもよい。溝部材６０は、主面６０ａが第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６と接触するように配置されている。主面６０ｂには、複数（ここでは２つ）の溝６２が設けられている。溝６２は、断面Ｖ字状を呈し、溝部材６０の長手方向（方向Ｄ１）に延びている。溝６２の内面は、例えば、２つの平面により構成されている。２つの溝６２は、方向Ｄ３において並んで配置されている。

溝部材６０には、付勢部９０を貫通させる貫通孔６４が設けられている。貫通孔６４は、主面６０ａと主面６０ｂとを接続するように、溝部材６０を方向Ｄ２において貫通している。貫通孔６４は、方向Ｄ２から見て、圧電アクチュエータ１と重なるように配置されている。貫通孔６４は、方向Ｄ１に延びる長孔である。

溝部材７０は、直方体形状を呈し、方向Ｄ２で互いに対向する一対の主面７０ａ，７０ｂを有している。主面７０ａは、方向Ｄ２で溝部材６０の主面６０ｂと互いに対向している。主面７０ａには、複数（ここでは２つ）の溝７２が設けられている。溝７２の内面は、例えば、２つの平面により構成されている。溝７２は、断面Ｖ字状を呈し、溝部材７０の長手方向（方向Ｄ１）に延びている。２つの溝７２は、方向Ｄ３において並んで配置されている。溝部材７０の主面７０ａには、付勢部９０が挿入される（嵌め込まれる）凹部７０ｃが設けられている。凹部７０ｃは、断面形状が付勢部９０の断面形状と同等となるように形成されている。溝部材７０は、例えば、貫通孔６４の代わりに凹部７０ｃが設けられている点を除き、溝部材６０と同形状を呈している。溝部材７０の溝７２は、方向Ｄ２から見て溝部材６０の溝６２と重なるように配置されている。

転動部材８０は、例えば、ＳＵＳなどの金属製のボールである。互いに対向する一方の溝６２と一方の溝７２との間、及び互いに対向する他方の溝６２と他方の溝７２との間には、それぞれ複数（ここでは、３つ）の転動部材８０が配置されている。転動部材８０は、各溝６２，７２の内面にそれぞれ接している。各溝６２，７２の内面は、上述のように２つの平面により構成されているので、転動部材８０は、各溝６２，７２の内面と点接触している。転動部材８０は、溝６２，７２の間を方向Ｄ１に沿って転動する。

溝部材６０，７０は、転動部材８０が配置されていることにより、互いに離間し、接触していない。したがって、溝部材６０，７０は、転動部材８０の転動により、方向Ｄ１に沿って相対的に移動する。溝部材６０は、圧電アクチュエータ１により駆動されて、溝部材７０に対し、方向Ｄ１に移動する移動部として機能する。溝部材７０及び転動部材８０は、溝部材６０を方向Ｄ１に移動可能に保持する保持部として機能する。

付勢部９０は、圧電素子３の主面２ｃよりも溝部材７０側に配置されている。より具体的には、付勢部９０は、板部材５２の主面５２ｂと、溝部材７０の主面７０ｂとの間に配置されている。付勢部９０は、方向Ｄ３から見て、圧電アクチュエータ１の屈曲振動の中心を通り、かつ、方向Ｄ２に沿った直線上に配置されている。本実施形態では、後述のように圧電アクチュエータ１の屈曲振動の中心は、上述の中心Ｃと一致しているが、一致していなくてもよい。付勢部９０は、例えば、断面円形の柱状部材であり、軸方向が方向Ｄ２に沿うように配置されている。付勢部９０は、貫通孔６４を通り、板部材５２と溝部材７０とを互いに接続している。付勢部９０の軸方向の一端部９０ａは、板部材５２の中央部に接続されており、他端部９０ｂは溝部材７０の中央部に接続されている。

付勢部９０は、例えば、板部材５２と同じ材料で板部材５２と一体的に形成されている。付勢部９０の他端部９０ｂには、ネジ穴が設けられており、付勢部９０の他端部９０ｂは、溝部材７０の凹部７０ｃに挿入され、主面７０ｂから凹部７０ｃに向かって挿通されたボルト９１に締結されている。板部材５２及び溝部材７０の間には、第１摩擦部材５４、第２摩擦部材５６及び転動部材８０を介して、溝部材６０が配置されている。このため、例えば、ボルト９１による他端部９０ｂの締め付けを強めると、付勢部９０は、板部材５２及び溝部材７０に対して、互いに近づき合う方向の付勢力を付与する。

付勢部９０による付勢力の大きさは、例えば、ボルト９１による他端部９０ｂの締め付けを調整することにより調整される。付勢部９０の付勢力方向は、方向Ｄ２と一致している。付勢部９０が圧電アクチュエータ１を溝部材６０に向けて付勢する結果、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６が溝部材６０に押し付けられる。このように付勢部９０は、圧電アクチュエータ１を溝部材６０に向けて付勢し、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６を溝部材６０に押し付けることができる構成であればよい。

上記構成を有する圧電アクチュエータ１の動作について、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照して説明する。図６（ａ）は、縦振動モードを示す図であり、図６（ｂ）は、屈曲振動モードを示す図である。圧電アクチュエータ１は、駆動時においては２つの共振モードを有している。具体的には、圧電アクチュエータ１は、図６（ａ）に示されるように、方向Ｄ１に振動する縦振動モードと、図６（ｂ）に示されるように、方向Ｄ２への屈曲振動モードとの重ね合わせによって振動する。

圧電アクチュエータ１では、第３外部電極６をグラウンドに接続すると共に、第１外部電極４と、第２外部電極５とに、位相を９０°ずらした電圧をそれぞれ印加して圧電素子３を駆動させると、圧電素子３が方向Ｄ１で伸縮することにより、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６にそれぞれ位相が１８０°ずれた楕円運動が生じる。具体的には、各圧電体層２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅのうち、各内部電極２２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，３６，３８の間に配置された各部分が方向Ｄ１に伸縮する。これにより、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６と溝部材６０（図１参照）との間に交互に摩擦力が作用して、転動部材８０を転動させながら溝部材６０が移動する。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６の楕円運動は、同じ軌跡となってもよいし、異なる軌跡となってもよい。

本実施形態では、圧電アクチュエータ１は、方向Ｄ３から見て、中心Ｃを通り、かつ、圧電素子３の高さ方向（方向Ｄ２）に沿った直線に対して非対称である位置に、振動の腹（振動において振幅が最大となる位置）を有する。具体的には、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されるように、圧電アクチュエータ１の振動の腹は、例えば、Ｐ１〜Ｐ６で示す位置となる。圧電素子３では、圧電アクチュエータ１の振動の節（振動において振幅を生じない位置）に、第１外部電極４〜第６外部電極９が配置されている。

上述の振動の腹Ｐ１〜Ｐ６の位置は、縦振動モードの共振周波数と、屈曲振動モードの共振周波数とをずらすことにより実現されている。縦振動モードの共振周波数及び屈曲振動モードの共振周波数は、圧電アクチュエータ１（具体的には、板部材５２を組み合わせた状態の圧電素子３）の長手方向と幅方向との寸法比により調整される。したがって、圧電アクチュエータ１の寸法比を調整することにより、縦振動モードの共振周波数と屈曲振動モードの共振周波数とをずらすことができる。

また、上述の振動の腹Ｐ１〜Ｐ６の位置は、図４に示される第１内部電極２２〜第４内部電極２８、及び、第６内部電極３２〜第９内部電極３８の構成により実現されている。具体的には、本実施形態では、圧電体層２０ｂ上及び圧電体層２０ｆ上のそれぞれにおいて、第３内部電極２６と第４内部電極２８とを接続部材２９により電気的に接続し、圧電体層２０ｄ上において、第６内部電極３２と第７内部電極３４とを接続部材４０により電気的に接続している。圧電素子３では、内部電極において最大寸法となる部分（領域）において変位が生じる。例えば、圧電体層２０ｂ上においては、第３内部電極２６と第４内部電極２８とが接続部材２９により電気的に接続されているため、対角に位置する第３内部電極２６及び第４内部電極２８にわたって変位が生じる。これに対して、対角において孤立する第１内部電極２２及び第２内部電極２４は、それぞれの最大寸法となる部分で変位が生じる。このように、同一の圧電体層２０ｂ上において、変位量に差が生じる。これにより、圧電アクチュエータ１の振動の腹Ｐ１〜Ｐ６は、方向Ｄ３から見て、中心Ｃを通り、かつ、圧電素子３の高さ方向（方向Ｄ２）に沿った直線に対して非対称となる。すなわち、中心Ｃは、圧電アクチュエータ１の屈曲振動の中心と一致している。

以上説明したように、本実施形態に係る駆動装置１０では、付勢部９０が圧電素子３の主面２ｃよりも溝部材７０側に配置されている。これにより、駆動装置１０の方向Ｄ２の一端が、圧電素子３の主面２ｃによって規定される。したがって、付勢部９０が圧電素子３の主面２ｃに対し溝部材７０の反対側に配置され、駆動装置１０の方向Ｄ２の一端が、付勢部９０によって規定される場合に比べて、駆動装置１０の方向Ｄ２の寸法を抑制することができる。これにより、省スペース化を図ることができる。

より具体的には、付勢部９０は、板部材５２の主面５２ｂと、溝部材７０の主面７０ａとの間に配置されている。これにより、駆動装置１０の方向Ｄ２の一端が、圧電素子３の主面２ｃによって規定されると共に、他端が、溝部材７０の主面７０ｂによって規定される。したがって、付勢部９０が溝部材７０の主面７０ｂからはみ出して設けられている場合に比べて、駆動装置１０の方向Ｄ２の寸法を更に抑制することができる。これにより、省スペース化を更に図ることができる。

第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、板部材５２と一体的に形成されている。このため、圧電素子３及び板部材５２の振動（変形）が第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６に伝達され易い。この結果、駆動特性の向上を図ることができる。

付勢部９０は、板部材５２と一体的に形成されている。このため、付勢部９０を板部材５２に取り付ける際の取り付け誤差が生じないので、付勢部９０による付勢力の大きさを安定化させることができる。

付勢部９０は、方向Ｄ３から見て、圧電アクチュエータ１の屈曲振動の中心（中心Ｃ）を通り、かつ、方向Ｄ２に沿った直線上に配置されている。圧電アクチュエータ１において、屈曲振動の中心を通り、かつ、方向Ｄ２に沿った直線上に位置する部分では、他の部分に比べて振動が小さいので、付勢部９０が配置されても圧電アクチュエータ１の振動が阻害され難い。したがって、駆動装置の駆動特性が向上する。

溝部材６０には、付勢部９０を貫通させる貫通孔６４が設けられている。付勢部９０は貫通孔６４内に配置されるので、例えば、付勢部９０が溝部材６０の外側に配置される場合に比べて、付勢部９０の付勢力方向（方向Ｄ２）に直交する方向（方向Ｄ１及び方向Ｄ３）における駆動装置１０の寸法についても抑制可能となる。

圧電素子３は、積層された複数の圧電体層２０ａ〜２０ｆを有している。これにより、駆動装置１０の駆動特性が向上する。

駆動装置１０では、電圧が印加されて縦振動モード及び屈曲振動モードが合成された振動モードが発生すると、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６のそれぞれに楕円運動が生じる。第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、楕円運動の加速部分（楕円の長手方向の成分）において高い駆動力が得られる。圧電素子３の腹Ｐ１〜Ｐ６は、圧電素子３の幅方向から見て、中心Ｃを通り、かつ、高さ方向に沿った直線に対して非対称となる位置である。また、駆動装置１０では、第１摩擦部材５４を、圧電素子３の腹Ｐ１〜Ｐ６以外の位置で、かつ、端面２ａからの距離が１／３Ｌ未満となる位置に配置し、第２摩擦部材５６を、圧電素子３の腹Ｐ１〜Ｐ６以外の位置で、かつ、他方の端面２ｂからの距離が１／３Ｌ未満となる位置に配置している。この構成により、駆動装置１０では、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６の楕円運動において、楕円の長手方向の成分が圧電素子３の長手方向に沿うように、楕円の長手方向の成分を傾けることができる（楕円の長手方向の成分と圧電素子３の長手方向とが成す角度を小さくできる）。これにより、駆動装置１０では、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、楕円運動の加速部分において溝部材６０と接触する。したがって、駆動装置１０では、駆動力を確保することができる。その結果、駆動装置１０では、駆動特性の向上を図ることができる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

図７は、第一変形例に係る駆動装置を示す断面図である。図７に示されるように、第一変形例に係る駆動装置１０Ａは、圧電素子３Ａを備える点で、実施形態に係る駆動装置１０（図２参照）と相違している。圧電素子３Ａは、１つの圧電体層２１と、複数の外部電極１２，１３，１４と、絶縁膜１１と、を備えている。圧電体層２１は、厚さ方向（方向Ｄ２）で互いに対向する一対の主面２１ａ，２１ｂを有している。一対の主面２１ａ，２１ｂは、長方形状を呈している。主面２１ａの長辺方向の一方側には、外部電極１２が配置され、他方側には、外部電極１３が外部電極１２と離間して（絶縁されて）配置されている。主面２１ｂには外部電極１４が全面的に配置され、圧電体層２１を介して外部電極１２，１３と互いに対向している。主面２１ａの長辺方向の中央部には、外部電極１４とスルーホール導体（不図示）により接続された外部電極（不図示）が外部電極１２，１３と離間して（絶縁されて）配置されている。絶縁膜１１は、主面２１ｂ上に設けられ、外部電極１４を覆い、外部電極１４と摩擦部５０とを絶縁している。外部電極１４の端面は、摩擦部５０と接触していなければ、絶縁膜１１から露出していてもよいが、絶縁膜１１により覆われていることで、短絡の発生を抑制することができる。

駆動装置１０Ａでは、外部電極１４をグラウンドに接続すると共に、外部電極１２と、外部電極１３とに、位相を９０°ずらした電圧をそれぞれ印加して圧電素子３Ａを駆動させると、圧電素子３Ａが板部材５２と共に屈曲振動する。これにより、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６と溝部材６０との間に交互に摩擦力が作用して、転動部材８０を転動させながら溝部材６０が移動する。

図８は、第二変形例に係る駆動装置の摩擦部及び付勢部について説明するための分解斜視図である。図８では、図１に示される圧電素子３、溝部材７０、及び転動部材８０の図示が省略されると共に、溝部材６０が簡略化されて示されている。第二変形例に係る駆動装置１０Ｂは、溝部材６０に貫通孔６４が設けられておらず、付勢部９０が溝部材６０の外側に配置される点で、実施形態に係る駆動装置１０（図１参照）と主に相違している。

駆動装置１０Ｂでは、摩擦部５０の板部材５２は、長手方向（方向Ｄ１）の中央部から幅方向（方向Ｄ３）の両側に突出した一対の突出部５７を有している。突出部５７には、ボルト５９のネジを貫通させるための貫通孔５７ａが設けられている。駆動装置１０Ａは、一対の付勢部９０を有し、一対の付勢部９０は、溝部材６０の幅方向（方向Ｄ３）の両側に配置されている。付勢部９０の一端には、ネジ穴９２が設けられている。付勢部９０は、方向Ｄ２から見て、ネジ穴９２が貫通孔５７ａと重なるように配置されている。付勢部９０は、ボルト５９のネジが貫通孔５７ａを通ってネジ穴９２に締結されることにより、突出部５７に固定されている。図示を省略するが、例えば、溝部材７０は、（方向Ｄ１）の中央部から幅方向（方向Ｄ３）の両側に突出した一対の突出部を有しており、付勢部９０の他端は、溝部材７０の突出部に固定されている。このような駆動装置１０Ｂにおいても、付勢部９０が圧電素子３の主面２ｃよりも溝部材７０側に配置されているので、省スペース化を図ることができる。

図９は、第三変形例に係る駆動装置を示す断面図である。図９に示されるように、第三変形例に係る駆動装置１０Ｃでは、付勢部９０は、例えば、溝部材７０と同じ材料で溝部材７０と一体的に形成され、板部材５２と別体である。付勢部９０の一端部９０ａには、ネジ穴が設けられており、付勢部９０の一端部９０ａは、板部材５２に設けられた貫通孔に主面５２ａ側から挿通されたボルト９１に締結されている。付勢部９０による付勢力の大きさは、ボルト９１による一端部９０ａの締め付けを調整することにより調整される。

図１０は、第四変形例に係る駆動装置を示す断面図である。図１０に示されるように、第四変形例に係る駆動装置１０Ｄでは、付勢部９０は、例えば、板部材５２と同じ材料で板部材５２と一体的に形成されている。付勢部９０の他端部９０ｂの側面には、ネジが設けられている。付勢部９０の他端部９０ｂは、溝部材７０の主面７０ａ側に設けられたネジ穴に締結されている。付勢部９０による付勢力の大きさは、溝部材７０に対する他端部９０ｂの締め付けを調整することにより調整される。

上述のように、付勢部９０は、圧電アクチュエータ１を溝部材６０に向けて付勢し、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６を溝部材６０に押し付けることができる構成であればよく、板部材５２、付勢部９０、及び溝部材７０の組付け構造は、特に限定されない。図示を省略するが、付勢部９０は、板部材５２及び溝部材７０と別体であってもよい。この場合、例えば、付勢部９０の一端部９０ａはボルト（不図示）により板部材５２に固定され、付勢部９０の他端はボルト（不図示）により溝部材７０に固定されている。付勢部９０の付勢力の大きさは、これらのボルトによる一端部９０ａ及び他端部９０ｂの締め付けを調整することにより調整される。

上記実施形態では、付勢部９０が、板部材５２の主面５２ｂと、溝部材７０の主面７０ａとの間に配置されている形態を一例に説明した。しかし、付勢部９０は、少なくとも圧電素子３の主面２ｃよりも溝部材７０側に配置され、駆動装置１０の方向Ｄ２の一端が、圧電素子３の主面２ｃによって規定されていればよい。これにより、付勢部９０が圧電素子３の主面２ｃに対し溝部材７０の反対側に配置されている場合に比べて、付勢力方向（方向Ｄ２）における駆動装置１０の寸法を抑制することができる。

上記実施形態では、溝部材６０が、一部材で移動部として機能する形態を一例に説明した。しかし、駆動装置１０は、溝部材６０の主面６０ａに固定された摩擦係数の高い摩擦板を更に備え、溝部材６０が摩擦板と共に移動部として機能してもよい。この場合、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６と移動部との間に生じる摩擦力を高めることができるので、駆動特性の向上を図ることができる。

上記実施形態では、積層体２の主面２ｃに矩形状を呈する第１外部電極４〜第３外部電極６が配置されており、積層体２の主面２ｄに矩形状を呈する第４外部電極７〜第６外部電極９が配置されている形態を一例に説明した。しかし、外部電極の構成はこれに限定されない。

上記実施形態では、圧電体層２０ａ〜２０ｆが積層されることで積層体２が形成される形態を一例に説明した。しかし、圧電体層の積層数はこれに限定されず、設計に応じて適宜設定される。

上記実施形態では、図４に示される構成（形状）の第１内部電極２２〜第９内部電極３８を一例に説明した。しかし、内部電極の構成はこれに限定されない。

上記実施形態では、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６を備える形態を一例に説明した。しかし、摩擦部材を更に（３以上）備えていてもよい。

上記実施形態では、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６が、積層体２の幅方向（方向Ｄ３）に沿って連続して延在する形態を一例に説明した。しかし、第１摩擦部材５４及び第２摩擦部材５６は、積層体２の幅方向（方向Ｄ３）において断続的に配置されていてもよい。

上記実施形態では、圧電素子３が絶縁膜１１を備える形態を一例に説明した。しかし、板部材５２を圧電素子３に取り付ける際に、絶縁性の接着剤を用い、接着剤により第４外部電極７、第５外部電極８、及び第６外部電極９と摩擦部５０とを絶縁してもよい。

１…圧電アクチュエータ、３，３Ａ…圧電素子、２ａ，２ｂ…端面、２ｃ，２ｄ…主面、２ｅ，２ｆ…側面、１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ…駆動装置、２０ａ〜２０ｆ，２１…圧電体層、５０…摩擦部、５２…板部材、５２ａ，５２ｂ…主面、５４…第１摩擦部材、５６…第２摩擦部材、６０…溝部材、６４…貫通孔、７０…溝部材、８０…転動部材、９０…付勢部。

Claims (7)

1. 少なくとも屈曲振動する圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータにより駆動されて移動する移動部と、
   前記移動部を移動可能に保持する保持部と、
   前記圧電アクチュエータを前記移動部に向けて付勢する付勢部と、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、
   互いに対向する一対の主面を有する圧電素子と、
   一方の前記主面に設けられた摩擦部と、を備え、
   前記摩擦部は、
   一対の前記主面が対向する方向で一方の前記主面と対向する対向面と、前記対向面の反対側を向く反対面と、を有し、かつ、前記圧電素子と共に屈曲振動する可撓性の板部材と、
   前記反対面に設けられ、かつ、前記移動部に接触して前記移動部との間に摩擦力を生じさせる摩擦部材と、を有しており、
   前記付勢部は、他方の前記主面よりも前記保持部側に配置され、
   前記付勢部は、前記圧電アクチュエータに接続された一端部と、前記保持部に接続された他端部とを有する柱状部材である、駆動装置。
2. 少なくとも屈曲振動する圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータにより駆動されて移動する移動部と、
   前記移動部を移動可能に保持する保持部と、
   前記圧電アクチュエータを前記移動部に向けて付勢する付勢部と、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、
   互いに対向する一対の主面を有する圧電素子と、
   一方の前記主面に設けられた摩擦部と、を備え、
   前記摩擦部は、
   一対の前記主面が対向する方向で一方の前記主面と対向する対向面と、前記対向面の反対側を向く反対面と、を有し、かつ、前記圧電素子と共に屈曲振動する可撓性の板部材と、
   前記反対面に設けられ、かつ、前記移動部に接触して前記移動部との間に摩擦力を生じさせる摩擦部材と、を有しており、
   前記付勢部は、他方の前記主面よりも前記保持部側に配置され、
   前記移動部には、前記付勢部を貫通させる貫通孔が設けられている、駆動装置。
3. 前記摩擦部材は、前記板部材と一体的に形成されている、請求項１又は２に記載の駆動装置。
4. 前記付勢部及び前記板部材は一部材で構成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の駆動装置。
5. 一対の前記主面は、長方形状を呈し、
   前記圧電素子は、一対の前記主面の短辺方向で互いに対向する一対の側面を更に有し、
   前記付勢部は、一対の前記側面が対向する方向から見て、前記圧電アクチュエータの屈曲振動の中心を通り、かつ、一対の前記主面が対向する方向に沿った直線上に配置されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の駆動装置。
6. 前記圧電素子は、積層された複数の圧電体層を有している、請求項１〜５のいずれか一項に記載の駆動装置。
7. 前記摩擦部材は、半円形状の断面を有し、曲面で前記移動部に接触する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の駆動装置。

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