JP6798452B2 - Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
1.半導体発光素子
本実施形態の発光素子100の概略構成を図1に示す。発光素子100は、フェイスアップ型の半導体発光素子である。発光素子100は、III 族窒化物半導体から成る複数の半導体層を有する。図1に示すように、発光素子100は、基板110と、バッファ層120と、n型コンタクト層130と、n側静電耐圧層140と、n側超格子層150と、発光層160と、p側超格子層170と、p型コンタクト層180と、透明電極TE1と、p電極P1と、n電極N1と、を有している。
図2は、本実施形態の基板110の凹凸形状を説明するための図である。図2に示すように、基板110は、凹凸形状を有している。基板110は、第1面110aと第2面110bとを有している。第1面110aの側には、凹凸形状が形成されている。基板110の第1面110aは、底面111と凸部112とを有している。
図3は、本実施形態の製造装置1000の概略構成を示す図である。製造装置1000は、成長基板の上に半導体層をエピタキシー成長させるMOCVD炉である。製造装置1000は、気相成長装置の一種である。製造装置1000は、サセプター1110と、加熱器1120と、回転軸1130と、チャンバー1200と、ノズル1410と、吸引部1420と、制御部1500と、を有している。
ここで、本実施形態の発光素子100の製造方法について説明する。本実施形態の発光素子100の製造方法は、バッファ層120の製造工程に特徴点を有する。本実施形態では、有機金属化学気相成長法(MOCVD法)により、各半導体層の結晶をエピタキシャル成長させる。
基板準備工程では、第1面110aに凹凸形状を備える基板110を準備する。具体的には、例えば、ICPによるドライエッチングにより、基板110の第1面110aに底面111と複数の凸部112とを形成する。
製造装置1000のサセプター1110に基板110を配置する。次に、基板温度を1000℃以上に加熱する。そして、水素ガスをチャンバー1200の内部に供給する。これにより、基板110の表面は洗浄されるとともに還元される。この工程において、チャンバー1200の内圧は大気圧である。減圧下であってもよい。
次に、図4に示すように、製造装置1000のチャンバー1200の内部を減圧する。製造装置1000の内圧は1kPa以上19kPa以下である。好ましくは、1kPa以上10kPa以下である。そして、基板温度を900℃以上1500℃以下まで上昇させる。この環境下でTMAを供給する。TMAはAlを含有する有機金属ガスである。TMAの供給速度は、1.5×10-4mol/min以上である。そして、基板110の第1面110aの上にAl層を形成する。もしくは、基板110の表面にはAlドロップレットが形成されている。このように、基板110の表面はAlリッチな状態が実現されている。これは、TMAを高速で供給しているためである。TMAの供給速度は速いほどよい。ただし実際には、TMAの供給速度は、150×10-4mol/min以下である。
そして、TMAの供給を継続しつつNH3 を供給する。Alの融点は660℃近傍であり、上記の条件下では揮発しやすい。この工程では、NH3 の供給により、既に成膜したAl層を窒化してAlNバッファ層を形成するとともに、TMAおよびNH3 の供給によりAlNバッファ層をさらに成膜する。これにより、図5に示すように、5nm以上35nm以下の膜厚のAlNバッファ層が形成される。この工程における基板温度および内圧は、Al層成膜工程と同じでよい。つまり、基板温度は、900℃以上1500℃以下である。チャンバー1200の内圧は、1kPa以上19kPa以下である。この工程により、基板110の上にバッファ層120が形成される。バッファ層120は、前述のように高温AlNバッファ層である。
次に、バッファ層120の上にn型コンタクト層130を形成する。このときの基板温度は、900℃以上1200℃以下の範囲内である。基板温度は、バッファ層形成工程と同じであることが好ましい。バッファ層120の形成後に待ち時間なくすぐにn型コンタクト層130を形成できるからである。このときの製造装置1000の内圧は、減圧状態でも大気圧でもよい。これにより、n型コンタクト層130が形成される。ここで、n型コンタクト層130を成長させる際にファセット成長させてもよい。
そして、n型コンタクト層130の上にn側静電耐圧層140を形成する。i−GaN層を形成するため、シラン(SiH4 )の供給を停止する。このときの基板温度は、750℃以上950℃以下の範囲内である。n型GaNを形成するため、再びシラン(SiH4 )を供給する。このときの基板温度は、i−GaN層を形成する温度と同じ温度、すなわち750℃以上950℃以下の範囲内である。このときの製造装置1000の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
次に、n側静電耐圧層140の上にn側超格子層150を形成する。例えば、InGaN層と、n型GaN層と、を繰り返し積層する。その際の基板温度は、700℃以上950℃以下の範囲内である。このときの製造装置1000の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
次に、n側超格子層150の上に発光層160を形成する。例えば、InGaN層と、GaN層と、AlGaN層と、を繰り返し積層する。このときの基板温度を、700℃以上900℃以下の範囲内とする。このときの製造装置1000の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
次に、発光層160の上にp側超格子層170を形成する。例えば、p型GaN層と、p型AlGaN層と、p型InGaN層と、を繰り返し積層する。ドーパントガスとして、ビス(シクロペンタジエニル)マグネシウム(Mg(C5 H5 )2 )を用いればよい。このときの製造装置1000の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
次に、p側超格子層170の上にp型コンタクト層180を形成する。また、キャリアガスとして、少なくとも水素ガスを供給する。これにより、p型コンタクト層180の表面平坦性は向上する。基板温度を、800℃以上1200℃以下の範囲内とする。これにより、図6に示すように、基板110に各半導体層が積層されることなる。このときの製造装置1000の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
次に、p型コンタクト層180の上に透明電極TE1を形成する。その際、スパッタリング技術を用いてもよいし、蒸着技術を用いてもよい。
そして、図7に示すように、レーザーもしくはエッチングにより、p型コンタクト層180の側から半導体層の一部を抉ってn型コンタクト層130を露出させる。そして、その露出箇所に、n電極N1を形成する。また、透明電極TE1の上にp電極P1を形成する。p電極P1の形成工程とn電極N1の形成工程は、いずれを先に行ってもよい。
また、上記の工程の他、絶縁膜で素子を覆う工程や熱処理工程等、その他の工程を実施してもよい。以上により、図1の発光素子100が製造される。
5−1.従来技術
TMAは、高温条件下で分解しやすい。そのため、図8に示すように、高温条件下ではAl原子の多くが基板110の箇所までほとんど到達しない。つまり、Al原子の多くが基板110の手前のサセプターやチャンバー内壁に堆積することで消費されてしまう。また、Al原子が基板110に到達したとしても、基板110の表面に一様にAl原子を供給することは困難である。したがって、基板110の上にAl層を堆積させることは非常に難しい。
本実施形態では、チャンバー1200の内圧を1kPa以上19kPa以下とし、基板温度を900℃以上1500℃以下とし、Alを含有する有機金属ガスを1.5×10-4mol/min以上の供給速度で供給する。チャンバー1200の内圧が低いため、チャンバー1200の内部のガスの平均自由行程は長い。そのため、TMAは、分解消費される前に基板110の位置に到達する。
6−1.半導体層の成膜方法
基板110の上にバッファ層120を形成した後には、HVPE法等その他の気相成長法により半導体層を成膜してもよい。また、その他の液相エピタキシー法により半導体層を成膜してもよい。ただし、MOCVD法により連続して成膜すると、サイクルタイムは短い。
基板110の凹凸形状は、実施形態で説明したものに限らない。凸部の配置はハニカム状でなくてもよい。また、凸部の代わりに凹部が形成されていてもよい。
本実施形態の発光素子100は、フェイスアップ型の発光素子である。しかし、本明細書の技術をフリップチップ型の発光素子に適用することができる。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
以上詳細に説明したように、本実施形態の発光素子100の製造方法は、凹凸基板の上にAl層を形成し、そのAl層を窒化するとともにAlNバッファ層を形成する。このAlNバッファ層は、高温で成膜された高温AlNバッファ層である。高温AlNバッファ層の品質は安定しやすい。そのため、品質に優れた半導体発光素子が実現される。また、バッファ層の形成から半導体層の形成までの間に基板温度を昇降させる必要がない。そのため、この製造方法のサイクルタイムは短い。
8−1.基板
凹凸基板としてサファイア基板を用いた。サファイア基板は、図2に示すような六角錐形状の凸部112がハニカム状に配置されている。凸部112の高さH1は、1.9μmである。凸部112の幅D1は、3μmである。隣り合う凸部112同士に挟まれた底面111の幅D2は、0.5μmである。隣り合う凸部112同士のピッチ間隔I1は、3.5μmである。
実施例として、MOCVD炉の内部で凹凸基板の上に高温AlNバッファ層を成膜した。基板温度は1080℃であった。炉内圧力は4kPaであった。この条件下でまず、NH3 を供給せずTMAを供給した。TMAの供給速度は、2.0×10-4mol/minであった。TMAの供給時間は1分であった。そして、TMAの供給を継続しつつNH3 を供給してAlNバッファ層を形成した。TMAの供給速度は、2.0×10-4mol/minであった。
実施例および比較例ともに、その後、基板温度をそのままに炉内圧力を1気圧に上昇させた。そして、高温AlNバッファ層の上に膜厚2μmのGaN層を成膜した。その後、基板温度を1150℃まで上昇させてGaN層の平坦化を図った。そして、さらに膜厚4μmのGaN層を成膜した。
図9は、本実験の実施例におけるGaN層の表面を示す光学顕微鏡写真である。図9に示すように、実施例におけるGaN層の表面は平坦である。
このように、高温AlNバッファ層を形成するためには、TMAの到達距離をかせぐために低圧で成膜する必要がある。しかし、低圧ではAl原子は蒸発しやすい。基板に凹凸がある場合には、Al原子は基板からより離脱しやすい。このようにAl原子がより蒸発しやすい凹凸基板にAlを成膜もしくは付着させるためには、有機金属ガスの供給速度がAl原子の蒸発速度よりも速い必要がある。
第1の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、凹凸基板の凹凸形状部の上にAl層を成膜するAl層成膜工程と、Al層を窒化するとともにAlNバッファ層を形成するAlNバッファ層形成工程と、AlNバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有する。Al層成膜工程では、炉内の内圧を1kPa以上19kPa以下にするとともに凹凸基板の温度を900℃以上1500℃以下とし、Alを含有する有機金属ガスを1.5×10-4mol/min以上の供給速度で供給する。
110…基板
120…バッファ層
130…n型コンタクト層
140…n側静電耐圧層
150…n側超格子層
160…発光層
170…p側超格子層
180…p型コンタクト層
N1…n電極
P1…p電極
Claims (3)
- 主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、
前記凹凸基板の前記凹凸形状部の上にAl層を成膜するAl層成膜工程と、
前記Al層を窒化するとともにAlNバッファ層を形成するAlNバッファ層形成工程と、
前記AlNバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、
を有し、
前記Al層成膜工程では、
炉内の内圧を1kPa以上19kPa以下にするとともに前記凹凸基板の温度を900℃以上1500℃以下とし、
Alを含有する有機金属ガスを1.5×10-4mol/min以上の供給速度で供給すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記半導体層形成工程では、
前記III 族窒化物半導体層をファセット成長させること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記凹凸基板を支持するサセプターを備える気相成長装置を用い、
前記Al層成膜工程では、
前記気相成長装置の前記サセプターの位置におけるガスの流れる方向に垂直な断面の断面積あたりの前記有機金属ガスの流量は、
1.5×10-6mol/(min・cm2 )以上15×10-6mol/(min・cm2 )以下であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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