JP6797079B2 - プラズマ処理装置、プラズマ制御方法、及びプラズマ制御プログラム - Google Patents
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Description
最初に、実施形態に係るプラズマ処理装置10の概略的な構成を説明する。図1は、プラズマ処理装置の概略的な構成を示す概略断面図である。プラズマ処理装置10は、気密に構成され、電気的に接地電位とされた処理容器1を有している。この処理容器1は、円筒状とされ、例えば表面に陽極酸化被膜が形成されたアルミニウム等から構成されている。処理容器1は、プラズマが生成される処理空間を画成する。処理容器1内には、被処理体(work-piece)である半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という。)Wを水平に支持する第1の載置台2が収容されている。
次に、図2を参照して、第1の載置台2及び第2の載置台7の要部構成について説明する。図2は、第1の載置台及び第2の載置台の要部構成を示す概略断面図である。
次に、制御部100について詳細に説明する。図4は、プラズマ処理装置を制御する制御部の概略的な構成を示したブロック図である。制御部100は、プロセスコントローラ101と、ユーザインターフェース102と、記憶部103とが設けられている。
次に、本実施形態に係るプラズマ処理装置10を用いたプラズマ制御処理について説明する。図6は、プラズマ制御処理の流れの一例を示すフローチャートである。このプラズマ制御処理は、例えば、ウエハWごとに、プラズマ処理を開始する所定のタイミングで実行される。
本実施形態に係るプラズマ処理装置10は、第2の載置台7と、第3のRF電源10cと、電源制御部101bとを有する。第2の載置台7は、フォーカスリング5が載置される載置面7aに沿って内部にコイル9が設けられている。第3のRF電源10cは、コイル9に高周波電圧を印加する。電源制御部101bは、フォーカスリング5の消耗度合いに応じて、コイル9に印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう第3のRF電源10cを制御する。これにより、プラズマ処理装置10は、フォーカスリング5の消耗による処理特性の変動を抑制できる。
7 第2の載置台
7a 載置面
9 コイル
9a 配線
10 プラズマ処理装置
10c 第3のRF電源
90 コイル
100 制御部
101 プロセスコントローラ
101a 計測部
101b 電源制御部
103 記憶部
103a 消耗情報
103b 電力量情報
W ウエハ
Claims (10)
- フォーカスリングが載置される載置面に沿って内部にコイルが設けられた載置台と、
前記コイルに高周波電圧を印加する電源部と、
前記フォーカスリングの消耗度合いに応じて、前記コイルに印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう前記電源部を制御する電源制御部と、
を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記載置台は、前記コイルの周囲が誘電体で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイルは、前記フォーカスリング側に平坦面が形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイルは、当該コイルを構成する配線が中空形状とされている
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイルは、前記配線の中空内が熱媒体の流路とされている。
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記フォーカスリングの厚さを計測する計測部をさらに有し、
前記電源制御部は、前記計測部により計測されるフォーカスリングが薄くなるほど、前記コイルに印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう前記電源部を制御する
ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 新規のフォーカスリングに交換されてからのプラズマ処理の回数、または、プラズマ処理の累計処理時間を計測する計測部をさらに有し
前記電源制御部は、前記計測部により計測されるプラズマ処理の回数が多いほど、または、プラズマ処理の累計処理時間が長いほど、前記コイルに印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう前記電源部を制御する
ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - フォーカスリングの電圧を計測する計測部をさらに有し
前記電源制御部は、前記計測部により計測されるフォーカスリングの電圧が低いほど、前記コイルに印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう前記電源部を制御する
ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記載置台は、前記載置面に沿って内部にヒータがさらに設けられている
ことを特徴とする請求項1〜8の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - フォーカスリングが載置される載置面に沿って内部にコイルが設けられた載置台の前記載置面に載置された前記フォーカスリングの消耗を計測し、
計測された前記フォーカスリングの消耗度合い応じて、前記コイルに印加される高周波電圧のパワーが増加されるよう、前記コイルに高周波電圧を印加する電源部を制御する
処理をコンピュータが実行することを特徴とするプラズマ制御方法。
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